JP2000087112A - 耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具とその製造方法 - Google Patents
耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具とその製造方法Info
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Abstract
ム合金の切削加工において、耐溶着性に優れるダイヤモ
ンド焼結体工具とその製造方法を提供することを目的と
している。 【解決手段】 ダイヤモンド焼結体を素材として工具母
材にロウ付け接合した切削工具であって、該工具素材の
工具すくい面または工具逃げ面の表面に、Si、Si酸
化物、Si炭化物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中
から選ばれる少なくとも一つを含む表面層を有している
ことを特徴とする、耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結
体工具。
Description
れるダイヤモンド焼結体工具とその製造方法に関するも
のである。
性と高い強度のために、切削工具、掘削工具、線引きダ
イスのように強度と耐摩耗性が要求される分野におい
て、工具素材として広く用いられてきた。このようなダ
イヤモンド焼結体は従来、例えば特公昭52−1212
6号公報に示されるように、ダイヤモンド粉末をWC−
Co超硬合金製の容器に充填して、高温高圧下で超硬合
金母材から鉄族金属であるCoを含む、Co−W−C共
晶組成融液をダイヤモンド粉末に溶浸させて焼結するこ
とにより得られる。また、特公昭54−114513号
公報に示されているように、ダイヤモンド粉末と鉄族金
属の溶媒を含む粉末とを予め混合し、この混合粉末をダ
イヤモンドが得られる高温高圧下で保持することによっ
てダイヤモンド焼結体を得ることができる。
られるダイヤモンド焼結体工具は、非鉄金属における切
削加工、特にアルミニウム合金の切削加工に広く用いら
れている。ところが、この用途における切削加工では、
切削条件によっては、ダイヤモンド焼結体工具刃先に被
削材の溶着が発生し、被削材の仕上げ面粗さや加工精度
を悪化するという問題が発生していた。本発明は、軟質
金属における切削加工、特にアルミニウム合金の切削加
工において、耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具
とその製造方法を提供することを目的としている。
以下の各発明によって達成することができる。 (1)ダイヤモンド焼結体を素材として工具母材にロウ
付け接合した切削工具であって、該工具素材の工具すく
い面または工具逃げ面の表面に、Si、Si酸化物、S
i炭化物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中から選ば
れる少なくとも一つを含む表面層を有していることを特
徴とする、耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具。
ことを特徴とする、上記(1)に記載の耐溶着性に優れ
るダイヤモンド焼結体工具。 (3)前記Si炭化物がSiCであることを特徴とす
る、上記(1)に記載の耐溶着性に優れるダイヤモンド
焼結体工具。 (4)前記Si窒化物がSi3 N4 であることを特徴と
する、上記(1)に記載の耐溶着性に優れるダイヤモン
ド焼結体工具。 (5)前記表面層厚みが1Å〜1μmであることを特徴
とする、上記(1)〜(4)のいずれかに記載の耐溶着
性に優れるダイヤモンド焼結体工具。
属を第1の含有率で含む内部と、前記内部を取り囲み、
前記第1の含有率よりも低い第2の含有率で前記鉄族金
属を含む外部とを備えたことを特徴とする、上記(1)
〜(5)のいずれかに記載の耐溶着性に優れるダイヤモ
ンド焼結体工具。 (7)前記第2の含有率は2.0重量%以下であること
を特徴とする、上記(6)に記載の耐溶着性に優れるダ
イヤモンド焼結体工具。 (8)前記第2の含有率部分の厚みがダイヤモンド焼結
体表面から2〜5000nmであることを特徴とする、
上記(6)又は(7)に記載の耐溶着性に優れるダイヤ
モンド焼結体工具。
と、前記ダイヤモンド焼結体を加工することにより、ダ
イヤモンド焼結体工具を形成する工程と、前記ダイヤモ
ンド焼結体工具の工具すくい面または工具逃げ面表面
に、Si、Si酸化物、Si炭化物、Si窒化物及びこ
れらの固溶体の中から選ばれる少なくとも一つを含む表
面層を形成する工程とからなることを特徴とする、ダイ
ヤモンド焼結体工具の製造方法。
程と、前記ダイヤモンド焼結体の表面に、Si、Si酸
化物、Si炭化物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中
から選ばれる少なくとも一つを含む表面層を形成する工
程と、表面処理された前記ダイヤモンド焼結体を加工す
ることにより、ダイヤモンド焼結体工具を形成する工程
とからなることを特徴とする、ダイヤモンド焼結体工具
の製造方法。
体を準備する工程と、前記ダイヤモンド焼結体を加工す
ることにより、ダイヤモンド焼結体工具を形成する工程
と、前記ダイヤモンド焼結体工具を酸溶液に浸すことに
より、表面部から前記鉄族金属を除去して前記表面部の
鉄族金属の含有率を内部よりも小さくする工程と、前記
ダイヤモンド焼結体工具の工具すくい面または工具逃げ
面表面に、Si、Si酸化物、Si炭化物、Si窒化物
及びこれらの固溶体の中から選ばれる少なくとも一つを
含む表面層を形成する工程とからなることを特徴とす
る、ダイヤモンド焼結体工具の製造方法。
体を準備する工程と、前記ダイヤモンド焼結体を酸溶液
に浸すことにより、前記ダイヤモンド焼結体の表面部か
ら前記鉄族金属を除去して前記ダイヤモンド焼結体の前
記表面部の前記鉄族金属の含有率を内部よりも小さくす
る工程と、表面処理された前記ダイヤモンド焼結体を加
工することにより、ダイヤモンド焼結体工具を得る工程
と、表面処理された前記ダイヤモンド焼結体工具の工具
すくい面または工具逃げ面表面に、Si、Si酸化物、
Si炭化物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中から選
ばれる少なくとも一つを含む表面層を形成する工程とか
らなることを特徴とする、ダイヤモンド焼結体工具の製
造方法。
体を準備する工程と、前記ダイヤモンド焼結体を酸溶液
に浸すことにより、前記ダイヤモンド焼結体の表面部か
ら前記鉄族金属を除去して前記ダイヤモンド焼結体の前
記表面部の前記鉄族金属の含有率を内部よりも小さくす
る工程と、表面処理された前記ダイヤモンド焼結体表面
に、Si、Si酸化物、Si炭化物、Si窒化物及びこ
れらの固溶体の中から選ばれる少なくとも一つを含む表
面層を形成する工程と、ダイヤモンド焼結体工具を得る
工程とからなることを特徴とする、ダイヤモンド焼結体
工具の製造方法。
ことを特徴とする、上記(9)〜(13)のいずれかに
記載の耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具の製造
方法。 (15)前記Si炭化物がSiCであることを特徴とす
る、上記(9)〜(13)のいずれかに記載の耐溶着性
に優れるダイヤモンド焼結体工具の製造方法。 (16)前記Si窒化物がSi3 N4 であることを特徴
とする、上記(9)〜(13)のいずれかに記載の耐溶
着性に優れるダイヤモンド焼結体工具の製造方法。 (17)前記表面層厚みが1Å〜1μmであることを特
徴とする、上記(9)〜(13)のいずれかに記載の耐
溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具の製造方法。
ム合金切削におけるダイヤモンド焼結体工具表面での被
削材の溶着に関して調査を行った。その結果、ダイヤモ
ンド焼結体工具の表面にSi、Si酸化物、Si炭化
物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中から選ばれる少
なくとも一つを含む表面層を形成することにより、被削
材の溶着防止に著しく効果が表れることを見出して本発
明に到達したのである。すなわち、切削中の工具すくい
面または工具逃げ面では、工具素材であるダイヤモンド
焼結体がアルミニウム合金と接触しているが、切削速度
の低い条件や乾式切削条件下では、化学的に安定なダイ
ヤモンド表面上にも、被削材であるアルミニウムの凝着
が発生する。これはダイヤモンド焼結体表面におけるダ
イヤモンドとアルミニウムとの結合が、比較的強固であ
るためだと考えられる。
表面にSi、Si酸化物、Si炭化物、Si窒化物及び
これらの固溶体の中から選ばれる少なくとも一つを含む
表面層を形成することにより、これら表面層はいずれも
アルミニウムとの結合が弱いために、強固に結びついて
いるダイヤモンド−アルミニウム間の接触を妨げ、工具
すくい面または工具逃げ面におけるアルミニウムの溶着
を防止できる。特に表面層が、Si、SiO2 、Si
C、Si3 N4 から成り立っている場合には、表面層が
化学的に安定であるために、表面層とアルミニウムとの
結合力がより低下して、アルミニウムの溶着防止により
効果が表れる。
行う。表面層がSiの場合は、例えば粒度0.1〜20
μmのSi粉末を押しつけて、極表面に薄いSiの吸着
層を形成し、Si酸化物、Si炭化物及び/又はSi窒
化物の場合は、例えばプラズマCVD法により、SiH
4 ,O2 ,N2 ,C2 H4 から選ばれる任意の原料ガス
を用いて温度400〜500℃の合成温度で形成する。
そのほか、同様の原料ガスを用い、真空蒸着法やスパッ
タ法、あるいはイオンプレーティング法などでも形成す
ることができる。
ためには、ダイヤモンド焼結体上に形成される表面層の
厚みは、少なくとも1Å以上必要である。また、表面層
の厚みが1μmを超える場合、表面層の形成により、表
面粗さが大きくなることが多く、これが原因で逆に被削
材の溶着を引き起こしやすくなる。このため、ダイヤモ
ンド焼結体上に形成される表面層の厚みは、1Å〜1μ
mの範囲内であることが好ましい。
Co、Niなど鉄族金属が焼結助剤として用いられてい
る場合には、これら鉄族金属とアルミニウムとの濡れ性
が良好であるために、これらが工具刃先に発生する溶着
の起点となりやすくなる。そこで、このダイヤモンド焼
結体中に含まれる鉄族金属を、予め表面から除去してお
き、その後前記表面層を形成することにより、長時間に
わたる切削により、部分的にダイヤモンド焼結体表面が
露出した場合においても、溶着を防止する効果が奏せら
れる。
結体を用いて、工具を形成し、その後この工具を酸溶液
中に浸すことにより、ダイヤモンド焼結体表面から鉄族
金属を除去し、このダイヤモンド焼結体工具の工具すく
い面または工具逃げ面に、Si、Si酸化物、Si炭化
物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中から選ばれる少
なくとも一つを含む表面層を形成することにより、長時
間の切削に対する耐溶着性を向上させることができる。
体を、酸溶液中に浸すことにより、ダイヤモンド焼結体
表面から鉄族金属を除去し、その後これを用いて工具を
形成し、この工具の工具すくい面または工具逃げ面に、
Si、Si酸化物、Si炭化物、Si窒化物及びこれら
の固溶体の中から選ばれる少なくとも一つを含む表面層
を形成することにより、長時間の切削に対する耐溶着性
を向上させる。さらに、鉄族金属を含むダイヤモンド焼
結体を、酸溶液中に浸すことにより、ダイヤモンド焼結
体表面から鉄族金属を除去し、その後このダイヤモンド
焼結体表面に、Si、Si酸化物、Si炭化物、Si窒
化物及びこれらの固溶体の中から選ばれる少なくとも一
つを含む表面層を形成し、これを用いて工具を形成する
ことにより、長時間の切削に対する耐溶着性を向上させ
ることができる。
除去されたダイヤモンド焼結体は、鉄族金属を第1の含
有率で含む内部と、前記内部を取り囲み、前記第1の含
有率よりも低い第2の含有率で前記鉄族金属を含む外部
とを備えたことを特徴としている。鉄族金属の含有率に
対する、この様な焼結体構造にしている理由は、この焼
結体を工具として使用した場合の、切削性能に起因して
いる。すなわち、ダイヤモンド焼結体全体に渡って鉄族
金属を除去した場合には、ダイヤモンド焼結体中に空隙
が存在しており強度が低く、工具欠損が発生しやすいと
いう問題があった。本発明ではダイヤモンド焼結体の表
面層のみについて鉄族金属の除去が行われるために、焼
結体強度の低下が少なく、工具欠損が発生することな
く、耐溶着性の向上に対して効果を上げている。
属の第2の含有率が2.0重量%以下であることが必要
である。また、この第2の含有率の焼結体部分の厚みが
2nm以下の場合では、ダイヤモンド焼結体表面から鉄
族金属を除去することによる、耐溶着性に対する効果が
現れにくく、また、5000nmを超える場合には、工
具刃先の欠損が発生しやすくなる。このため、第2の含
有率の範囲は、ダイヤモンド焼結体表面から2nm〜5
000nmである場合が好ましい。特に本発明の好まし
い態様では、ダイヤモンドの粒子径が0.1〜60μ
m、ダイヤモンドの焼結体の焼結ダイヤモンド粒子の含
有率が80〜96容量%である。
るが限定を意図するものではない。 (実施例1)
結体工具の耐溶着性に及ぼす影響を調べるために準備さ
れた種々のダイヤモンド焼結体工具の例を示している。
すなわち、表1における工具においては、いずれも0.
1〜4μmの範囲内の粒子径を有するダイヤモンド焼結
体が工具素材として用いられているが、そのダイヤモン
ド焼結体工具のすくい面、および逃げ面に種々の組成の
表面層が形成されている。
体からなる切れ刃を有する所望の形状のスローアウェイ
チップに作製された。その後工具1Aは、ダイヤモンド
焼結体の工具すくい面、および逃げ面にシリコーングリ
ースを塗布することにより、表1に示すシロキサン結合
(−Si−O−Si−O−)を分子構造の骨格とする、
シリコーン層が表1に示す厚さに形成された。工具1B
は、ダイヤモンド焼結体の工具すくい面、および逃げ面
部分にSiの粉末を押しつけることにより、表1の厚み
のSi層を形成した。
D法により、それぞれSiH4 、O 2 、N2 、C2 H4
から選ばれるガスを用い、400〜500℃の合成温度
にて、表1に示す組成の表面層が形成された。なお、こ
れと比較するために工具1Fには表面層を形成する処理
が施されなかった。これら工具を、以下に示す条件にて
切削することにより、それぞれの工具の溶着性の評価を
行った。
〜1Eを用いて加工した場合、ダイヤモンド焼結体工具
のすくい面および逃げ面に、アルミニウムとの結合力の
弱い表面層が存在するために、アルミニウム合金の溶着
が生ずることなく、優れた仕上げ面粗さを得られること
が明らかとなった。これに対して、特別な表面層が存在
しない工具1Fは、工具すくい面に、アルミニウム合金
の溶着が発生し、これに起因する仕上げ面粗さの悪化が
認められた。
焼結体工具の耐溶着性に及ぼす影響を調べるために準備
された種々のダイヤモンド焼結体工具の例を示してい
る。すなわち、表4における工具においては、いずれも
4〜10μmの範囲内の粒子径を有するダイヤモンド焼
結体が工具素材として用いられているが、そのダイヤモ
ンド焼結体工具のすくい面に種々の厚さの表面層が形成
されている。工具2A〜2Dは、まずラッピング加工さ
れたダイヤモンド焼結体表面に、イオンプレーティング
法により表4に示す厚みのSiO2 層が、ダイヤモンド
焼結体表面に形成された。その後、この焼結体を超硬合
金製のリーマシャンクにロウ付けし、所望の形状を有す
るダイヤモンド焼結体リーマ工具に作製された。
ダイヤモンド焼結体工具を用い、2A〜2Dと同様の方
法により工具の作製を行い、工具2Eを得た。これら工
具を、以下に示す条件にて切削することにより、それぞ
れの工具の溶着性の評価を行った。
〜2Cを用いて加工した場合、ダイヤモンド焼結体工具
のすくい面に、アルミニウムとの結合力の弱い表面層が
存在するために、アルミニウム合金の溶着が生ずること
なく、優れた仕上げ面粗さを得られることが明らかとな
った。一方、表面層の厚みの厚い工具2Dは、厚い表面
層のために工具すくい面の粗さが、表6に示すように悪
化したため、これが原因でアルミニウム合金の溶着がわ
ずかに発生し、仕上げ面粗さも問題ない範囲であるが、
やや悪化することが認められた。一方、特別な表面層が
存在しない工具2Eは、工具すくい面のダイヤモンドと
アルミニウムが強く結びつき、被削材の溶着が発生し、
これに起因する仕上げ面粗さの悪化が認められた。
モンド焼結体工具において、表面層を形成する前に、鉄
族金属の除去深さがダイヤモンド焼結体工具の耐溶着性
に及ぼす影響を調べるために準備された種々のダイヤモ
ンド焼結体工具の例を示している。すなわち、表7にお
ける工具においては、いずれも2〜8μmの範囲内の粒
子径を有し、Coを主な焼結助剤とするダイヤモンド焼
結体が工具素材として用いられているが、表面層を工具
すくい面に形成する前に、実質的に鉄族金属を含有しな
い表面層が種々の深さに形成されている。
所望のリーマ工具形状に作製した後、常温の硝酸溶液中
に浸漬させることにより、ダイヤモンド焼結体工具のす
くい面および逃げ面から、Coを溶出・抽出した。それ
ぞれの浸漬時間は5分、60分、300分であった。そ
の結果、実質的に鉄族金属を含まない表面層(鉄族金属
含有率が2重量%以下)が、表7に示す深さで形成され
た。その後、実施例1と同様の方法により、工具3A〜
3Cのすくい面および逃げ面の表面に、シリコーングリ
スを塗布することにより、ダイヤモンド焼結体表面に、
Siを含有する表面層を3nmの厚みで形成した。これ
と比較するために3A〜3Cと同様の作製方法である
が、酸溶液に浸漬せずに、ダイヤモンド焼結体の表面に
表面層を形成した工具3D、および酸溶液の浸漬も表面
層の形成も行わなかった工具3Eを作製した。これを以
下に示す切削条件にてリーマ加工を実施し、溶着の評価
を行った。
〜3Dを用いて加工した場合、ダイヤモンド焼結体工具
のすくい面に、アルミニウムとの結合力の弱い表面層が
存在するために、アルミニウム合金の溶着が生ずること
なく、優れた仕上げ面粗さを得られることが明らかとな
った。中でも、ダイヤモンド焼結体工具の表面から鉄族
金属を除去した後に、表面層を形成した工具3Aと3B
は、長時間の切削においても被削材の溶着が認められ
ず、溶着防止に対して著しく効果が現れることが確認さ
れた。同様に鉄族金属を除去した後に、表面層を形成し
た工具3Cは、溶着は観察されないものの、鉄族金属が
除去されたダイヤモンド焼結体厚みが厚く、刃先強度が
低いために、場合によっては、刃先にチッピングが観察
された。また、表面の処理を何も行っていない、工具3
Eには大きな溶着が確認された。
ンド焼結体中の鉄族金属の含有量が、溶着に及ぼす影響
を調べるために準備された種々のドリル工具の例を示し
ている。すなわち、表10における工具4A〜4Cにお
いては、それぞれのダイヤモンド焼結体工具素材が、ま
ず塩酸溶液中に浸漬され、鉄族金属の溶解・抽出が行わ
れた。この時、ダイヤモンド焼結体表面部分の鉄族金属
の含有量は、塩酸の濃度を変化させることにより、表1
0に示す濃度に調整された。その後、それぞれの工具素
材は超硬合金製のドリル工具母材に、ロウ付け接合さ
れ、刃先形状が形成された。その後、実施例1と同様の
手法によりダイヤモンド焼結体ドリルの工具すくい面お
よび工具逃げ面に、SiC表面層が3nm形成された。
は、4A〜4Cと同様の作製方法ではあるが、それぞれ
のダイヤモンド工具素材が酸溶液に浸漬されずに工具が
作製され、その後工具すくい面および工具逃げ面に、S
iC表面層が3nm形成された。また、工具4Eは酸溶
液中の浸漬も、表面層の形成も施されずに、工具が形成
された。これを以下に示す切削条件にてドリル加工を実
施し、溶着の評価を行った。
〜4Dを用いて加工した場合、アルミニウム合金の溶着
が生ずることなく、規格内の加工穴径を得られることが
明らかとなった。特に、工具4A〜4Cは加工中に表面
層が摩耗して、ダイヤモンド焼結体表面が部分的に露出
しても、より溶着の起点となりやすい鉄族金属が、露出
したダイヤモンド焼結体表面に存在しないために、長時
間にわたり溶着防止の効果が現れることが確認された。
なお、前記ダイヤモンド焼結体工具を作製する上で、ダ
イヤモンド焼結体工具素材に酸処理が施された後、この
ダイヤモンド焼結体素材の表面に表面層を形成し、その
後ロウ付け・刃付けにより工具が作製された場合におい
ても、同様の効果が現れることを確認した。
ては、工具素材の工具すくい面又は工具逃げ面の表面に
特定の表面層を有するので、特に軟質金属における切削
加工、特にアルミニウム合金の切削加工において、耐溶
着性に優れた性能を発揮する。
Claims (17)
- 【請求項1】 ダイヤモンド焼結体を素材として工具母
材にロウ付け接合した切削工具であって、該工具素材の
工具すくい面または工具逃げ面の表面に、Si、Si酸
化物、Si炭化物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中
から選ばれる少なくとも一つを含む表面層を有している
ことを特徴とする、耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結
体工具。 - 【請求項2】 前記Si酸化物がSiO2 であることを
特徴とする、請求項1に記載の耐溶着性に優れるダイヤ
モンド焼結体工具。 - 【請求項3】 前記Si炭化物がSiCであることを特
徴とする、請求項1に記載の耐溶着性に優れるダイヤモ
ンド焼結体工具。 - 【請求項4】 前記Si窒化物がSi3 N4 であること
を特徴とする、請求項1に記載の耐溶着性に優れるダイ
ヤモンド焼結体工具。 - 【請求項5】 前記表面層厚みが1Å〜1μmであるこ
とを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の耐溶
着性に優れるダイヤモンド焼結体工具。 - 【請求項6】 前記ダイヤモンド焼結体が、鉄族金属を
第1の含有率で含む内部と、前記内部を取り囲み、前記
第1の含有率よりも低い第2の含有率で前記鉄族金属を
含む外部とを備えたことを特徴とする、請求項1〜5の
いずれかに記載の耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結体
工具。 - 【請求項7】 前記第2の含有率は2.0重量%以下で
あることを特徴とする、請求項6に記載の耐溶着性に優
れるダイヤモンド焼結体工具。 - 【請求項8】 前記第2の含有率部分の厚みがダイヤモ
ンド焼結体表面から2〜5000nmであることを特徴
とする、請求項6又は7に記載の耐溶着性に優れるダイ
ヤモンド焼結体工具。 - 【請求項9】 ダイヤモンド焼結体を準備する工程と、
前記ダイヤモンド焼結体を加工することにより、ダイヤ
モンド焼結体工具を形成する工程と、前記ダイヤモンド
焼結体工具の工具すくい面または工具逃げ面表面に、S
i、Si酸化物、Si炭化物、Si窒化物及びこれらの
固溶体の中から選ばれる少なくとも一つを含む表面層を
形成する工程とからなることを特徴とする、ダイヤモン
ド焼結体工具の製造方法。 - 【請求項10】 ダイヤモンド焼結体を準備する工程
と、前記ダイヤモンド焼結体の表面に、Si、Si酸化
物、Si炭化物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中か
ら選ばれる少なくとも一つを含む表面層を形成する工程
と、表面処理された前記ダイヤモンド焼結体を加工する
ことにより、ダイヤモンド焼結体工具を形成する工程と
からなることを特徴とする、ダイヤモンド焼結体工具の
製造方法。 - 【請求項11】 鉄族金属を含むダイヤモンド焼結体を
準備する工程と、前記ダイヤモンド焼結体を加工するこ
とにより、ダイヤモンド焼結体工具を形成する工程と、
前記ダイヤモンド焼結体工具を酸溶液に浸すことによ
り、表面部から前記鉄族金属を除去して前記表面部の鉄
族金属の含有率を内部よりも小さくする工程と、前記ダ
イヤモンド焼結体工具の工具すくい面または工具逃げ面
表面に、Si、Si酸化物、Si炭化物、Si窒化物及
びこれらの固溶体の中から選ばれる少なくとも一つを含
む表面層を形成する工程とからなることを特徴とする、
ダイヤモンド焼結体工具の製造方法。 - 【請求項12】 鉄族金属を含むダイヤモンド焼結体を
準備する工程と、前記ダイヤモンド焼結体を酸溶液に浸
すことにより、前記ダイヤモンド焼結体の表面部から前
記鉄族金属を除去して前記ダイヤモンド焼結体の前記表
面部の前記鉄族金属の含有率を内部よりも小さくする工
程と、表面処理された前記ダイヤモンド焼結体を加工す
ることにより、ダイヤモンド焼結体工具を得る工程と、
表面処理された前記ダイヤモンド焼結体工具の工具すく
い面または工具逃げ面表面に、Si、Si酸化物、Si
炭化物、Si窒化物及びこれらの固溶体の中から選ばれ
る少なくとも一つを含む表面層を形成する工程とからな
ることを特徴とする、ダイヤモンド焼結体工具の製造方
法。 - 【請求項13】 鉄族金属を含むダイヤモンド焼結体を
準備する工程と、前記ダイヤモンド焼結体を酸溶液に浸
すことにより、前記ダイヤモンド焼結体の表面部から前
記鉄族金属を除去して前記ダイヤモンド焼結体の前記表
面部の前記鉄族金属の含有率を内部よりも小さくする工
程と、表面処理された前記ダイヤモンド焼結体表面に、
Si、Si酸化物、Si炭化物、Si窒化物及びこれら
の固溶体の中から選ばれる少なくとも一つを含む表面層
を形成する工程と、ダイヤモンド焼結体工具を得る工程
とからなることを特徴とする、ダイヤモンド焼結体工具
の製造方法。 - 【請求項14】 前記Si酸化物がSiO2 であること
を特徴とする、請求項9〜13のいずれかに記載の耐溶
着性に優れるダイヤモンド焼結体工具の製造方法。 - 【請求項15】 前記Si炭化物がSiCであることを
特徴とする、請求項9〜13のいずれかに記載の耐溶着
性に優れるダイヤモンド焼結体工具の製造方法。 - 【請求項16】 前記Si窒化物がSi3 N4 であるこ
とを特徴とする、請求項9〜13のいずれかに記載の耐
溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具の製造方法。 - 【請求項17】 前記表面層厚みが1Å〜1μmである
ことを特徴とする、請求項9〜16のいずれかに記載の
耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具の製造方法。
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JP25677798A JP2000087112A (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 耐溶着性に優れるダイヤモンド焼結体工具とその製造方法 |
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