JP2000061976A - 樹脂モールド装置 - Google Patents

樹脂モールド装置

Info

Publication number
JP2000061976A
JP2000061976A JP23664398A JP23664398A JP2000061976A JP 2000061976 A JP2000061976 A JP 2000061976A JP 23664398 A JP23664398 A JP 23664398A JP 23664398 A JP23664398 A JP 23664398A JP 2000061976 A JP2000061976 A JP 2000061976A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
cull
cavity
pot
resin molding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23664398A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshinori Kiyohara
俊範 清原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority to JP23664398A priority Critical patent/JP2000061976A/ja
Publication of JP2000061976A publication Critical patent/JP2000061976A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】マルチプランジャ方式の樹脂モールド装置でも
リードフレームの構造により生じる未充填やボイドは改
善できなかった。 【解決手段】下金型13に多数のポット14を形成し上
金型20の下面のポット14と対向する位置にカル部2
1を形成したマルチプランジャ方式の樹脂モールド装置
において、上記カル部21内に、その中央部とキャビテ
ィへの連通部21aとを結ぶ半径領域と隣接する部分に
突出部24を形成したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は樹脂モールド装置に
関し、多数のポットを有し各ポットに少数のキャピティ
を連通したマルチプランジャ方式の樹脂モールド装置に
好適な樹脂モールド装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子部品は電子部品本体の内部電極を外
部電極に接続し電子部品本体を外装して外力や腐食性ガ
スから電子部品本体を保護している。この電子部品本体
を保護する外装材として一般的に樹脂が用いられ、外部
電極としてリードフレームを用いるものでは、トランス
ファ樹脂モールド装置を用いて樹脂被覆される。この一
例を図9に示す。図において、1は下金型で、上面中央
部を窪ませてカル部2を形成し、このカル部2にランナ
3の一端を連通しさらにランナ3の他端を下金型1の側
壁に沿って延長させ、ランナ3に沿って多数のキャビテ
ィ(下キャビティ)4を配置し、ランナ3とキャビティ
4とをゲート5を介して連通している。このランナ3は
一つの金型1に複数本形成される。6は下金型1上に配
置され相対的に近接離隔して衝合する上金型で、カル部
2と対向する部分にポット7を形成し、下金型1のキャ
ビティ4と対向する部分にキャビティ(上キャビティ)
8を形成している。上下金型1、6は図示省略するが、
固定盤及び可動盤にそれぞれ固定され加熱される。9は
下金型1上のキャビティ4部分に配置されたリードフレ
ームで、図示省略するが電子部品本体がマウントされ、
電子部品本体上の電極とリードとが電気的に接続されて
いる。10はリードフレーム9を上下金型1、6が挟持
した状態でポット7に投入された樹脂タブレット、11
はポット7に挿入され樹脂タブレット10を加圧し流動
化した樹脂をランナ3からキャビティ4、8に圧送する
プランジャを示す。また図示省略するが各キャビティ
4、8は狭いすき間(エアベント)を通して金型外部と
連通させているが、このエアベントは開口面積が大きい
と樹脂漏れを起こすため樹脂が流入すると短時間で硬化
して塞ぐように開口面積が設定されている。この樹脂モ
ールド装置は多数枚のリードフレーム9上の要部を一括
して樹脂被覆することができる。ところが熱硬化性の樹
脂では加熱加圧により流動化した後、時間の経過ととも
に硬化が進行し、加熱された状態では硬化速度が促進さ
れ、樹脂の流動性が低下し、ランナ3末端のキャビティ
までの樹脂の到達時間が長くなり、未充填や樹脂内にボ
イドを生じ、金型上の位置によって成形品質がばらつき
成形数が制限される。そのため特開昭60−1834号
公報(先行技術1)や特開昭61−180712号公報
(先行技術2)には図10に示すようにカル部2の中央
に錐形の凸部12を形成し、ポット7内に投入された樹
脂タブレット10をプランジャ11で凸部12に押し付
けて破砕し、破砕された樹脂タブレット10をポット7
の内周面に密着させることにより樹脂の溶融を速やかに
行わせるようにした樹脂モールド装置が開示されてい
る。しかしながら、樹脂の溶融速度によって充填時間が
制限され、樹脂モールド数を増加させるにはカル部2の
容量を増大させるだけでなくランナ3も長くする必要が
あって、カル部2やランナ3に残留し廃棄される樹脂量
が増大して樹脂の有効利用率が低下するため、最近では
一つの金型に多数のポットを形成し、一つ一つのポット
には少数のキャビティを連通しカル部やランナの容量も
可及的に小さくしたマルチプランジャ方式の樹脂モール
ド装置が用いられている。これを図11及び図12から
説明する。図において、図9及び図10と同一物又は同
一機能を有する物には同一符号を付し重複する説明を省
略する。この樹脂モールド装置は、下金型1に複数のポ
ット7を形成し、このポット7近傍の金型1上面からラ
ンナ3を延長形成し、ポット7の近傍に配置した少数の
キャビティ4と連通している。ポット7には下方よりプ
ランジャ11が挿入され小容量の樹脂タブレット10が
投入される。上金型6にはポット7と対向する部分にカ
ル部2が形成され、このカル部2の周縁の一部にはラン
ナ3と連通する連通部2aが形成されている。また下金
型1のキャビティ4と対向する部分には上キャビティ8
が形成され、このキャビティ4、8部分でリードフレー
ム9を挟持する。この樹脂モールド装置は一つのポット
から金型上の全てのキャビティに樹脂を供給するものに
比較して、ポット7からキャビティ4、8までの距離が
短いため短時間で樹脂注入でき、良好な樹脂成形ができ
るだけでなく廃棄樹脂の量も低減できる。この種装置で
は使用される樹脂タブレット10の径が小さいためポッ
ト7の内壁温度が樹脂内部へ短時間で伝導するが、それ
以上に流動化した樹脂のポット7からの排出量が大きい
ため図10に示す凸部12は不要であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ポット7内
の樹脂タブレット10はポット7から輻射熱を、プラン
ジャ11、カル部2から熱伝導を継続して受けるため、
成形作業最終段階ではキャビティに送られる樹脂は長時
間高温にさらされて硬化が進行し流動性が低下するため
成形には不適となる。この成形に不適な樹脂をランナ部
に集積することができればキャビティ内では良好な樹脂
成形ができる。一方キャビティ内に樹脂を高速注入する
とキャビティ内に残留した空気は急激に圧縮されてこの
圧縮空気がゲート5から注入される樹脂の流入を妨げる
ように作用する。このように樹脂の供給速度を速めると
圧縮空気による影響が顕著になり、一つのポット7から
供給される樹脂の注入速度は各キャビティ毎に異なるよ
うになる。このうち樹脂の注入速度が遅いキャビティで
は硬化が進行した樹脂の比率が高まり、キャビティ4、
8内での樹脂の流動性が悪くなる。キャビティ4、8内
における樹脂の流動性は、キャビティの内部形状、キャ
ビティに対するゲートの位置、キャビティ内に位置する
リードフレームの形状や電子部品本体によって影響を受
け、特に多機能の高集積半導体装置などのようにリード
間隔が狭い多リードの電子部品では高速移動する流動樹
脂にとってリード部分が隔壁となりキャビティ内を上下
に仕切るため、流動性が劣る樹脂が供給されると樹脂が
キャビティの全内面に一様に拡がらずキャビティ内の一
部に空気が残留して樹脂内に閉じ込められボイドを生じ
るという問題があった。このようなリードフレームだけ
でなく電子部品本体のキャビティに対する断面積が相対
的に大きい場合ものでは、電子部品本体が樹脂に対して
抵抗となり、キャビティ内での樹脂の拡がりを不均一に
してボイドや未充填の発生を高めていた。そのため、ポ
ットから送り出される樹脂の流動速度をキャビティに注
入される樹脂の硬化の進行度合いを考慮しつつ速めるた
め、先行技術2に開示された凸部を図11装置のカル部
2に適用してみたが、直径13mm、長さ22mmの小
径タブレットを用いるものでは、凸部高さは2.5mm
程度のカル部深さで制限されるため顕著な改善効果はみ
らず、カル部深さを深くして相対的に凸部高さを高くす
ると樹脂の利用率が下がるため先行技術2をマルチプラ
ンジャ方式の樹脂モールド装置に直ちに適用することは
できなかった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、下金型に複数のポット
を開口させその上部開口端近傍に複数のキャビティを配
置し、下金型上に配置されて下金型に相対的に近接して
衝合する上金型のポット開口端と対向する部分を窪ませ
てカル部を形成し、各ポットにプランジャを挿入し、さ
らにポット内に樹脂タブレットを投入して型締めした上
下金型内で流動化した樹脂をプランジャによってキャビ
ティに圧送する樹脂モールド装置において、上記カル部
内に、その中央部とキャビティへの連通部とを結ぶ半径
領域と隣接する部分を突出させて突出部を形成したこと
を特徴とする樹脂モールド装置を提供する。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明による樹脂モールド装置は
マルチプランジャ方式の樹脂モール装置であって、プラ
ンジャと樹脂タブレットを介して対向するカル部内に、
その中央部とキャビティへの連通部とを結ぶ半径領域と
隣接する部分を突出させて突出部を形成したことを特徴
とするが、キャビティへの連通部を結ぶ半径領域とカル
部内周面との間に複数の突出部を形成することができ
る。この場合、複数の突出部をほぼ平行配置することが
でき、さらには平行配置された複数の突出部の端部をキ
ャビティへの連通部側に向けることができる。また上記
複数の突出部のうち、カル部の半径領域に近い突出部の
高さを他の領域の突出部高さより低く設定することがで
きる。
【0006】
【実施例】以下に本発明の実施例を図1から説明する。
図において、13は下金型で、その表面に図2に示すよ
うに多数のポット14を一つの直線に沿って配列し、各
ポット14の一つの直径方向両側にポット14から離隔
してランナ15をを形成しこのランナ15の外端にゲー
ト16を介してキャビティ(下キャビティ)17を形成
している。18は各ポット14にその下方から挿入した
プランジャ、19はポット14内に投入した樹脂タブレ
ットを示す。20は下金型13上に配置され下金型13
に対して相対的に上下動して近接し衝合する上金型で、
ポット13の上部開口端と対向する部分にカル部21を
形成している。このカル部21には一つの直径方向に外
端がランナ15と連通する延長部21aが形成されてい
る。22は下キャビティ17と対向する位置に設けられ
た上キャビティで、各キャビティ17、22部分でリー
ドフレーム23を挟持する。このリードフレーム23に
は図示省略するが予め電子部品本体がマウントされ電子
部品本体上の電極とリードとが電気的に接続されてい
る。本発明による樹脂モールド装置は上記カル部21内
に、図3に示すようにその中央部と、延長部21aとラ
ンナ15の接続部(キャビティへの連通部)とを結ぶ半
径領域(図示斜線部分)と隣接する部分を底面21bよ
り突出させて突出部24を形成したことを特徴とする。
この突出部24は図示例では半径領域の両側に2本ずつ
互いに平行に形成され、各突出部24はその頂面が下金
型20の衝合面から突出しない高さに設定され、側壁は
頂面から底面に向かって近接するように傾斜している。
また各突出部24の長手方向両端部はカル部21の内周
面21cから離隔している。このようにカル部底面21
bと突出部24とでカル部21内には方向性を持った凹
凸が形成される。この装置は従来装置と同様に動作す
る。即ち、上下金型13、20を開いて金型上をクリー
ニングし、プランジャ18を下げ、ポット14内に樹脂
タブレット19を投入する。この時点から樹脂タブレッ
ト19はポット14からの輻射熱とプランジャ18から
の熱伝導を受けて加熱され樹脂の軟化が始まる。引き続
きキャビティ17上にリードフレーム23を載置し上下
金型13、20を型締めする。そしてプランジャ18を
上昇させて、樹脂タブレット19をカル部21に押し付
け、流動化した樹脂をカル部21内に充満させる。さら
にプランジャ18を上昇させると流動化した樹脂は延長
部21aからランナ15、ゲート16を通ってキャビテ
ィ17、22に注入され、リードフレーム23上の要部
を樹脂被覆する。このときプランジャ18による加圧の
初期段階では、樹脂タブレット19の上端はカル部21
に形成した突出部24の頂部と当接するが、頂部はその
面積が小さいため加圧力が集中し樹脂タブレット19上
端を溶融させて食い込み樹脂タブレット19の上端部を
押し拡げてその周面をポット14内周面に密着させ速や
かに温度上昇させる。さらに樹脂タブレット19の端面
に突出部24が食い込んでカル部21底面21bに達す
ると、樹脂タブレット19の端面には突出部24の傾斜
面を含む広い加熱された面が接触して、金型の熱を効率
よく樹脂タブレット19に伝達できる。このようにして
樹脂タブレット19の上端部での温度上昇を速めて流動
化をスムーズにできる。一方、プランジャ18から樹脂
タブレット19の軸方向にかかる加圧力は最終的に突出
部24とカル部底面21bにかかるが、突出部24側壁
は傾斜してカル部底面21bに向かって縮径しているた
め、カル部21内の溶融樹脂にかかる圧力は突出部24
頂部からカル部21c底面に向かって増大する。このよ
うにカル部21に向かって圧力上昇しつつ突出部24間
に押し込まれる樹脂は突出部24の配列方向に沿って移
動し延長部21aへガイドされる。ここでカル部21に
突出部24を形成していない場合には、カル部21に押
し込まれた樹脂はその底面で放射方向に拡がり内周面で
放射方向の進行が停止されるため、樹脂の延長部21a
に向かう移動効率はきわめて悪く、先行技術2に開示さ
れた凸部を形成したとしても凸部高さが2〜3mm程度
と低いため十分な効果が得られない。これに対して本発
明を適用した樹脂モールド装置では突出部24によって
圧力上昇した樹脂は連続的に延長部21aに向かってガ
イドされるため速やかに流動化させた樹脂を速やかに延
長部に送り込むことができる。そのため、キャビティ1
7、22内に残留し圧縮された空気による圧力に抗して
ポット14内の樹脂をキャビティに高速で注入すること
ができ、キャビティ内の中央部でリードフレーム23に
よってキャビティ内が上下に2分された状態でボイドを
生じやすい構造であってもキャビティ内に注入された樹
脂をリードフレーム23の上下両面から充填でき未充填
やボイドのない樹脂成形ができる。上記実施例ではカル
部21内に形成した4つの突出部24を互いに平行配置
したが、その両端部24aを図5に示すように、延長部
21aに向けることができ、これにより延長部21aに
向かう樹脂の流動性をより良好にできる。また図6に示
すように延長部21aを通半径領域に近い突出部を外方
の突出部より低く形成することもでき、これにより樹脂
タブレット19の外周部の溶融樹脂を内側の突出部を越
えて延長部に移動させることができる。本発明は上記実
施例にのみ限定されるものではなく、例えば、図7に示
すように島状に形成することができる。また複数の突出
部24を直線的に平行形成するだけでなく、図8に示す
ように同心配置することもできる。さらには延長部21
aを一直線状に形成するだけでなく、2方向(十字状)
以上の多方向に形成したものにも適用できることはいう
までもない。
【0007】
【発明の効果】以上のように本発明によれば樹脂タブレ
ットの上端をポット及びカル部に密着させ流動化した樹
脂を圧力上昇させてキャビティへの連通部へ効率よくガ
イドできるため、樹脂の注入速度が制限されるとボイド
が発生し易い構造のリードフレームであっても未充填や
ボイドのない良好な樹脂モールドができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示す側断面図
【図2】 図1装置の下金型の要部平面図
【図3】 図1装置の上金型の要部下面図
【図4】 図3に示す上金型の側断面図
【図5】 本発明の変形例を示す上金型の要部下面図
【図6】 本発明の変形例を示す上金型の側断面図
【図7】 本発明の他の実施例を示す上金型の要部下面
【図8】 本発明の他の実施例を示す上金型の要部下面
【図9】 従来の樹脂モールド装置の一例を示す側断面
【図10】 図9装置の課題を解決した樹脂モールド装
置の要部側断面図
【図11】 マルチブランジャ方式の樹脂モールド装置
の一例を示す側断面図
【図12】 図11装置の要部断面斜視図
【符号の説明】
13 下金型 14 ポット 17 キャビティ 18 プランジャ 19 樹脂タブレット 20 上金型 21 カル部 24 突出部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】上下方向に貫通させた複数のポットの上部
    開口端近傍に各ポットと連通する複数のキャビティを配
    置した下金型と、下金型上に配置されポット開口端と対
    向する部分を窪ませてカル部を形成し下金型に相対的に
    近接して衝合する上金型と、下金型の下方からポットに
    挿入されポット内に投入された樹脂タブレットを支持し
    衝合された上下金型内で樹脂タブレットをカル部に押圧
    し流動化した樹脂をキャビティに圧送するプランジャと
    を備えた樹脂モールド装置において、 上記カル部内に、その中央部とキャビティへの連通部と
    を結ぶ半径領域と隣接する部分に突出部を形成したこと
    を特徴とする樹脂モールド装置。
  2. 【請求項2】キャビティへの連通部を結ぶ半径領域とカ
    ル部内周面との間に複数の突出部を形成したことを特徴
    とする請求項1に記載の樹脂モールド装置。
  3. 【請求項3】複数の突出部をほぼ平行配置したことを特
    徴とする請求項2に記載の樹脂モールド装置。
  4. 【請求項4】平行配置された複数の突出部の端部をキャ
    ビティへの連通部側に向けたことを特徴とする請求項3
    に記載の樹脂モールド装置。
  5. 【請求項5】カル部の半径領域に近い突出部の高さを他
    の領域の突出部高さより低く設定したことを特徴とする
    請求項2に記載の樹脂モールド装置。
JP23664398A 1998-08-24 1998-08-24 樹脂モールド装置 Pending JP2000061976A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23664398A JP2000061976A (ja) 1998-08-24 1998-08-24 樹脂モールド装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23664398A JP2000061976A (ja) 1998-08-24 1998-08-24 樹脂モールド装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000061976A true JP2000061976A (ja) 2000-02-29

Family

ID=17003670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23664398A Pending JP2000061976A (ja) 1998-08-24 1998-08-24 樹脂モールド装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000061976A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102357997A (zh) * 2011-08-25 2012-02-22 铜陵三佳山田科技有限公司 一种免高频预热型树脂成型的流道

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102357997A (zh) * 2011-08-25 2012-02-22 铜陵三佳山田科技有限公司 一种免高频预热型树脂成型的流道

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100193592B1 (ko) 릴리스필름을 이용한 수지몰드장치와 수지몰드방법 및 거기에 이용되는 릴리스필름
US6261501B1 (en) Resin sealing method for a semiconductor device
KR101643451B1 (ko) 수지 밀봉 장치 및 수지 밀봉 방법
JP3680005B2 (ja) 半導体装置の製造方法及び樹脂封止装置
JPH10305439A (ja) 樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置
JP3642685B2 (ja) トランスファ成形装置
JP2001079878A (ja) 樹脂封止方法及び樹脂封止装置
KR20190017684A (ko) 수지 성형품의 반송 기구, 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법
JPH04147814A (ja) 樹脂封入成形用金型
JP2000061976A (ja) 樹脂モールド装置
JPS622456B2 (ja)
JP3321023B2 (ja) 液体樹脂を用いる樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置
JP3999909B2 (ja) 樹脂封止装置及び封止方法
JP3241553B2 (ja) リリースフィルムを用いる樹脂モールド装置
JP2675644B2 (ja) 半導体装置用樹脂モールド金型装置
JP3214790B2 (ja) 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法
JP2666630B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP3808746B2 (ja) 樹脂パッケージ型半導体装置の製造方法
JPH10156862A (ja) 樹脂モールド装置及び樹脂タブレット
JPH071496A (ja) 成形方法および装置
JP3575592B2 (ja) リードフレーム組立体の樹脂モールド用成形型及び樹脂モールド成形法
JPH0919939A (ja) トランスファ成形装置
JP2002113739A (ja) 樹脂封止装置及び樹脂封止方法
JPS5961933A (ja) トランスフア成形機
JPH0794542A (ja) 成形方法および成形装置