JP2000058740A - コモンモードフィルタ素子内蔵半導体デバイス - Google Patents

コモンモードフィルタ素子内蔵半導体デバイス

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JP2000058740A
JP2000058740A JP23031498A JP23031498A JP2000058740A JP 2000058740 A JP2000058740 A JP 2000058740A JP 23031498 A JP23031498 A JP 23031498A JP 23031498 A JP23031498 A JP 23031498A JP 2000058740 A JP2000058740 A JP 2000058740A
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filter element
mode filter
magnetic material
semiconductor device
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Naoharu Akino
直治 秋野
Yasuhiro Ono
恭裕 小野
Yoshiaki Akachi
義昭 赤地
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KANKYO DENJI GIJUTSU KENKYUSHO
TDK Corp
Electromagnetic Compatibility Research Laboratories Co., Ltd.
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KANKYO DENJI GIJUTSU KENKYUSHO
TDK Corp
Electromagnetic Compatibility Research Laboratories Co., Ltd.
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体デバイスにおける直流電源系ラインに
おいて生じるVHF帯からSHF帯のコモンモードの電
磁妨害雑音を抑圧すると共に、信号ライン、コントロー
ルラインにおいて生じるVHF帯からSHF帯のコモン
モードの電磁妨害雑音を抑圧する。 【解決手段】 直流電源供給用の対をなしたインナーリ
ード12a,12bの周囲に複合磁性材料21を環状に
設けてコモンモードフィルタ素子20を半導体デバイス
の外装パッケージ16内部に構成する。前記複合磁性材
料21は、フェライト粉末又は金属磁性粉末を樹脂で成
型したものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複合磁性材料を用
い形成したコモンモードフィルタ素子を内蔵した半導体
デバイスに関し、特に直流電源系、信号系、コントロー
ル系等のインナーリードに用いて、好適な、電磁妨害雑
音の抑制効果を実現するコモンモードフィルタ素子内蔵
半導体デバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体デバイス(IC等)におけ
る電磁妨害雑音の抑圧技術として以下に述べる構成が知
られている。
【0003】図20の如くICチップ1をマウントす
るベッド2上の直流電源ライン間にディスクリートの積
層セラミックチップコンデンサ3を搭載する(特開昭5
5−36936号の集積回路装置の構造)。
【0004】図21の如くICチップ4と出力端子5
の間に抵抗6とコンデンサ7から構成されるローパスフ
ィルタを挿入する(特開平2−68519号)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の半導
体デバイス(IC等)における電磁妨害雑音の抑圧技術
にあってはそれぞれ以下の問題点があった。
【0006】については、直流電源ラインへの適用の
みで、信号ライン、コントロールラインへ適用すると伝
送パルス波のスキュー(遅れ)、ジッター(揺らぎ)の
発生原因となること、 については、信号ラインへの適用のみであるが、抵抗
とコンデンサによる積分作用により伝送パルス波のスキ
ュー(遅れ)、ジッター(揺らぎ)を発生させる原因と
なること、更には、直流電源ラインへ適用すると抵抗に
よる消費電力が増大すること等の不具合に加え、直流電
源ライン、信号ライン、コントロールライン等、ICで
考慮しなければならない、電磁妨害雑音の総合的な抑圧
ができないという問題があった。
【0007】本発明は、各種IC等の半導体デバイスに
おける直流電源系ラインにおいて生じるVHF帯からS
HF帯(300MHz〜10GHz位)のコモンモード
の電磁妨害雑音を効果的に抑圧させると共に、半導体デ
バイスの信号ライン、コントロールラインにおいて生じ
るVHF帯からSHF帯のコモンモードの電磁妨害雑音
を伝送パルス波形にスキュー、ジッターを発生させるこ
となく効果的に抑圧させることを目的としている。即
ち、半導体デバイスの機能を損なうことなく、半導体デ
バイスで生じる電磁妨害雑音の新たな抑圧手段を提供す
ることにある。
【0008】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願第1発明のコモンモードフィルタ素子内蔵半導
体デバイスは、直流電源供給用のインナーリード対の周
囲に複合磁性材料を環状に設けてコモンモードフィルタ
素子を外装パッケージ内部に構成している。
【0010】本願第2発明のコモンモードフィルタ素子
内蔵半導体デバイスは、入出力信号の差動伝送を行うイ
ンナーリード対の周囲に複合磁性材料を環状に設けてコ
モンモードフィルタ素子を外装パッケージ内部に構成し
ている。
【0011】本願第3発明のコモンモードフィルタ素子
内蔵半導体デバイスは、直流電源供給用のインナーリー
ド対の周囲及び入出力信号(コントロール信号等の各種
信号も含む)の差動伝送を行うインナーリード対の周囲
にそれぞれ複合磁性材料を環状に設けてコモンモードフ
ィルタ素子を外装パッケージ内部に構成している。
【0012】前記第1、第2又は第3発明において、前
記複合磁性材料は、フェライト粉末又は金属磁性粉末を
樹脂で成型したものであってもよい。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るコモンモード
フィルタ素子内蔵半導体デバイスの実施の形態を図面に
従って説明する。
【0014】図1乃至図3で本発明に係るコモンモード
フィルタ素子内蔵半導体デバイスの第1の実施の形態を
説明する。図1は第1の実施の形態の構成図であり、図
2はその等価回路図、図3は第1の実施の形態の製造過
程で用いるリードフレームをそれぞれ示している。
【0015】図1に示すコモンモードフィルタ素子内蔵
半導体デバイスは、ICチップ15に複数本の導体リー
ド(導体ピン)11をボンディングワイヤ等で接続し、
直流電源を供給するための導体リード11a,11bの
外装パッケージ16内側に位置するインナーリード(イ
ンナーピン)12a,12bの対の周囲に複合磁性材料
21を環状に設けてコモンモードフィルタ素子20を構
成している。このコモンモードフィルタ素子20は、直
流電源供給用の隣合うインナーリード12a,12bに
おいて、電源供給の際の電流により生じる磁束が相殺し
合うように複合磁性材料21を両インナーリードに共通
した閉磁路を成すように設けたもので、コモンモードチ
ョークとして働くものである。なお、11a,12aは
DD用、11b,12bはVSS用の導体リード、インナ
ーリードを夫々示すものとする。
【0016】複合磁性材料21は、フェライト粉末又は
金属磁性粉末を樹脂で成型したものであり(詳細は後述
する)、図3のように、リードフレーム10を用いた製
造過程において図1の前記外装パッケージ16の成型前
に前記インナーリード12a,12bの対を環状に取り
囲むように複合磁性材料21を成型してコモンモードフ
ィルタ素子20を構成する。このとき、インナーリード
12a,12b間には複合磁性材料21が入りこまない
ように、図3の円A内に示す如く、リード厚みと同じ厚
みを持つ非磁性材22をインナーリード12a,12b
間の隙間に予め設けてから複合磁性材料21を環状に成
型することが好ましい。
【0017】なお、リードフレーム10のチップ載置部
13上には図1のICチップ15が搭載され、ICチッ
プ15と各導体リード11との接続及び複合磁性材料2
1の成型後に前記外装パッケージ16の樹脂モールド等
による成型が行われる。
【0018】この第1の実施の形態において、VDDに接
続される電圧供給側導体リード11aとVSSに接続され
るグランド側導体リード11bとに逆極性の等しい直流
電源電流が流れている場合、複合磁性材料21で形成さ
れた閉磁路磁心内の磁束が互いに相殺されるため、イン
ダクタンスは実質零になり、ノーマルモードで流れる電
流に対しては何ら作用しない。一方、導体リード11
a,11bを流れる同相の電流、つまりコモンモードの
電流に対してはチョークを形成する前記閉磁路磁心内の
磁束はそれぞれ同方向となり、磁心の特性、形状、寸法
によって定まるインダクタンスを有することになり、そ
の同相電流を抑圧する作用を果たす。
【0019】図4は第1の実施の形態で示した構成の応
用例であり、差動伝送用のトランスミッタ用IC30及
びレシーバ用IC31のVCCに接続される導体リード1
1aのインナーリード12a部分とGNDに接続される
導体リード11bのインナーリード12b部分との対に
共通に複合磁性材料を環状に設けてコモンモードフィル
タ素子20を外装パッケージ内に構成したものである。
この場合、直流電源系ラインにおいて生じるコモンモー
ドの電磁妨害雑音を効果的に抑圧可能である。
【0020】図5は第1の実施の形態で示した構成の他
の応用例である。ICの出力レベルがロー(Low)か
らハイ(High)、あるいはハイからローへと同時に
スイッチされる際、図5に示したようにIC32に直流
電源を供給するラインに寄生する素子により△Iノイズ
が生じることが知られている。IC32の直流電源を給
電するラインに流れる電流は大きさが等しく互いに逆向
きのノーマルモードとみなせる。一方、IC32の出力
のスイッチングにより生じる△Iノイズは、VCC及びG
NDの各ラインを同相で流れるコモンモードとみなせ
る。そこで、VCCに接続される導体リード11aのイン
ナーリード12a部分とGNDに接続される導体リード
11bのインナーリード12b部分との対に共通に複合
磁性材料を環状に設けてコモンモードフィルタ素子20
を外装パッケージ内に構成している。
【0021】前述したように、コモンモードフィルタ素
子20は2本のラインを流れる往復の電流に対しては、
チョークを形成する閉磁路磁心内の磁束が互いに相殺さ
れるため、インダクタンスは実質零になり、ノーマルモ
ードで流れる電流に対しては何ら作用しない。一方、2
本のラインを流れる同相の電流に対してはチョークを形
成する閉磁路磁心内の磁束はそれぞれ同方向となり、磁
心の特性、形状、寸法によって定まるインダクタンスを
有することになる。この結果、△Iノイズのようなコモ
ンモードで生じる電磁妨害雑音に対し、IC32の直流
電源を供給する2本のインナーリード12a,12b対
の周囲に複合磁性材料を用い形成したコモンモードフィ
ルタ素子20が、抑圧機能を呈することになる。
【0022】上記第1の実施の形態によれば、次の通り
の効果を得ることができる。
【0023】(1) ICの動作(チップ内のスイッチン
グ等)に伴い発生する電磁妨害雑音を発生源近くのイン
ナーリード部分で抑圧できるため対策効果が大きい。例
えば、ICの出力がローレベルからハイレベルへとスイ
ッチされる際の、直流電源を供給するラインに寄生する
素子による△Iノイズの抑圧に有効である。
【0024】(2) ICのインナーリード部分でコモン
モードの電磁妨害雑音を抑圧できるため、ICを実装す
るプリント配線基板上の電磁妨害雑音抑圧用部品が不用
となる、あるいは個数を削減できる等の効果があり、基
板サイズの縮小、配線パターンの簡素化もでき、経済的
効果は大きい。
【0025】(3) 複合磁性材料21の材質を適切に選
ぶことで、VHF帯からSHF帯までのコモンモードの
電磁妨害雑音の周波数スペクトラムをカバーできる。な
お、複合磁性材料21の詳細については後述する。
【0026】(4) 金型を用いた樹脂成型工法を適用で
きるため、ICのインナーリードへコモンモードフィル
タ素子を形成する場合の形状、寸法設定の自由度が大き
い。
【0027】図6乃至図8で本発明に係るコモンモード
フィルタ素子内蔵半導体デバイスの第2の実施の形態を
説明する。図6は第2の実施の形態の構成図であり、図
7はその等価回路図、図8は第2の実施の形態の製造過
程で用いるリードフレームをそれぞれ示している。
【0028】図6に示すコモンモードフィルタ素子内蔵
半導体デバイスは、ICチップ15に複数本の導体リー
ド11をボンディングワイヤ等で接続し、ICの入出力
回路において差動伝送を行う2本の導体リード11c,
11dの外装パッケージ16内側に位置するインナーリ
ード12c,12dの対の周囲に複合磁性材料21を環
状に設けてコモンモードフィルタ素子20を構成してい
る。このコモンモードフィルタ素子20は、信号ライン
の相隣合うインナーリード12c,12dにおいて、伝
送パルス電流により生じる磁束が相殺し合うように複合
磁性材料21を両インナーリードに共通した閉磁路を成
すように設けたもので、コモンモードチョークとして働
くものである。
【0029】複合磁性材料21は、フェライト粉末又は
金属磁性粉末を樹脂で成型したものであり、図8のよう
に、リードフレーム10を用いた製造過程において前記
外装パッケージ16の成型前に前記インナーリード12
c,12dの対を環状に取り囲むように複合磁性材料2
1を成型してコモンモードフィルタ素子20を構成す
る。このとき、インナーリード12c,12d間には複
合磁性材料21が入りこまないように、図8の円B内に
示す如く、リード厚みと同じ厚みを持つ非磁性材22を
インナーリード12c,12d間の隙間に予め設けてか
ら複合磁性材料21を環状に成型することが好ましい。
【0030】なお、複合磁性材料21を設ける位置が異
なる点を除けば、前述の第1の実施の形態と同様であ
る。
【0031】この第2の実施の形態において、差動伝送
を行う2本の導体リード11c,11dに流れる電流は
通常ノーマルモードであり、コモンモードフィルタ素子
20を外装パッケージ16内に設けたことに起因して伝
送パルス波のスキュー(遅れ)やジッター(揺らぎ)が
発生することは無い。なお、差動伝送を行う導体リード
の対が複数ある場合、各々のインナーリードの対に対し
コモンモードフィルタ素子20を設ければよい。
【0032】図9は第2の実施の形態で示した構成の応
用例であり、IEEE1394コントローラ35の外装
パッケージ内部にコモンモードフィルタ素子20を設け
た例である。差動伝送される信号の速度は800Mbp
s、1600Mbpsと高速になり、2本の信号ライン
の僅かな長さの差異により、また対グランド間のインピ
ーダンスの差異により図10に示したように差動信号
(TPA+,TPA−)に非対称をもたらし、円C内に
示す如くGHz帯に及ぶコモンモードの電磁妨害雑音を
誘発するが、差動伝送用の2本の信号ラインに共通な環
状複合磁性材料を設けてコモンモードフィルタ素子20
を構成することによってこれを抑圧可能となる。
【0033】図11は第2の実施の形態で示した構成の
他の応用例であり、差動伝送を行うトランスミッタ用I
C40の出力回路及びレシーバ用IC41の入力回路に
コモンモードフィルタ素子20を内蔵させた例である。
つまり、IC40の出力回路及びIC41の入力回路と
なる導体リード11c,11dのインナーリード12
c,12d部分の対に共通に複合磁性材料を環状に設け
てコモンモードフィルタ素子20を外装パッケージ内に
構成している。このように、2本の差動伝送ラインにコ
モンモードフィルタ素子20を内蔵させたICを用いた
場合、図12に示したように差動伝送される本来の信号
品質を劣化させることなく、2本の信号ラインの僅かな
長さの差異による信号のスキュー、即ち、コモンモード
の電磁妨害雑音を抑圧させることができる。
【0034】図13乃至図15で本発明に係るコモンモ
ードフィルタ素子内蔵半導体デバイスの第3の実施の形
態を説明する。図13は第3の実施の形態の構成図であ
り、図14はその等価回路図、図15は第3の実施の形
態の製造過程で用いるリードフレームをそれぞれ示して
いる。この第3の実施の形態は、第1の実施の形態の構
成と第2の実施の形態の構成とを兼ね備えたものであ
る。つまり、図13に示すコモンモードフィルタ素子内
蔵半導体デバイスは、ICチップ15に複数本の導体リ
ード11をボンディングワイヤ等で接続し、直流電源を
供給するための導体リード11a,11bの外装パッケ
ージ16内側に位置するインナーリード12a,12b
の対の周囲に複合磁性材料21を環状に設けてコモンモ
ードフィルタ素子20Aを構成するとともに、ICの入
出力回路において差動伝送を行う2本の導体リード11
c,11dの外装パッケージ16内側に位置するインナ
ーリード12c,12dの対の周囲に複合磁性材料21
を環状に設けてコモンモードフィルタ素子20Bを構成
している。
【0035】複合磁性材料21は、フェライト粉末又は
金属磁性粉末を樹脂で成型したものであり、図15のよ
うに、リードフレーム10を用いた製造過程において図
13の前記外装パッケージ16の成型前に前記インナー
リード12a,12bの対を環状に取り囲むように複合
磁性材料21を成型してコモンモードフィルタ素子20
Aを構成すると同時に前記インナーリード12c,12
dの対を環状に取り囲むように複合磁性材料21を成型
してコモンモードフィルタ素子20Bを構成する。この
とき、対をなすインナーリード間には複合磁性材料21
が入りこまないように、リード厚みと同じ厚みを持つ非
磁性材を対をなすインナーリード間の隙間に予め設けて
から複合磁性材料21を環状に成型することが好まし
い。
【0036】なお、その他の構成は前述した第1又は第
2の実施の形態と同様である。
【0037】この第3の実施の形態では、直流電源の供
給ラインのコモンモード電磁妨害雑音の抑圧とともに差
動伝送を行う2本の信号ラインのコモンモードの電磁妨
害雑音を抑圧可能である。その他の作用効果は、前述の
第1又は第2の実施の形態に述べた通りである。
【0038】図16は第3の実施の形態で示した構成の
応用例であり、差動伝送を行うトランスミッタ用IC4
0及びレシーバ用IC41のVCCに接続される導体リー
ド11aのインナーリード12a部分とGNDに接続さ
れる導体リード11bのインナーリード12b部分との
対に共通に複合磁性材料を環状に設けてコモンモードフ
ィルタ素子20Aを外装パッケージ内に構成するととも
に、IC40の出力回路及びIC41の入力回路となる
導体リード11c,11dのインナーリード12c,1
2d部分の対に共通に複合磁性材料を環状に設けてコモ
ンモードフィルタ素子20Bを外装パッケージ内に構成
している。
【0039】この図16の例では、直流電源系ラインに
おいて生じるコモンモードの電磁妨害雑音を効果的に抑
圧可能であるとともに、対をなす差動伝送ラインで差動
伝送される本来の信号品質を劣化させることなく、対を
なす信号ラインの僅かな長さの差異に起因するコモンモ
ードの電磁妨害雑音を抑圧可能である。
【0040】上述のようにICのインナーリードに付加
するコモンモードフィルタ素子20,20A,20Bを
形成するための複合磁性材料としては、図17に示した
ような複素比透磁率の実数部を示すフェライト粉末と樹
脂粉末とを配合、混練、成型したもの、図18に示した
ような複素比透磁率の実数部を示す金属磁性粉末と樹脂
粉末とを配合、混練、成型したものが挙げられる。
【0041】フェライト粉末を結合材としての樹脂で成
型した複合磁性材料の場合、フェライト粉末の母材には
高周波において複素比透磁率が大きいNi−Zn系が適
する。このNi−Zn系の母材を粉砕し、粒子の直径を
およそ30μmに整粒する。フェライト粉末をリードフ
レームのインナーリード部分に成型固着するための結合
材には、例えば、ポリエステル系の樹脂等が適する。フ
ェライト粉末の重量配合比率は50%から85%が磁気
特性と成型性の面から適性範囲である。
【0042】また金属磁性体粉末の場合、高周波におい
て複素比透磁率が大きいSi−Fe系が適する。このS
i−Fe系粉末は扁平状に粉砕したもので、およそ巾1
0μm、長さ50μm、厚さ5μmに整粒する。この粉
末をリードフレームのインナーリード部分に成型固着す
るために用いる結合材には、例えばポリエステル系樹脂
等が用いられる。この場合、金属磁性粉末の重量配合比
率は磁気特性と成型性の面から40%から80%が適性
範囲である。
【0043】図19は厚さ0.15mmの42アロイ合金
を用いた巾0.4mmの導体リードを1.27mmの配列ピッ
チで配置した場合、相隣合う2本のインナーリードに巾
2.3mm、厚さ1.8mm、長さ2mmの矩形筒状となるよう
に前記Si−Fe系の扁平状金属磁性粉末80%、結合
材20%の重量配合比率の複合磁性材料を用いて加熱、
成型してなるコモンモードフィルタ素子の1本のインナ
ーリード当たりの周波数特性である。図中、Rは等価直
列抵抗成分、Xはリアクタンス成分、Zはインピーダン
ス成分を示す。この図から、GHz帯でのコモンモード
の電磁妨害雑音を抑圧させるためのコモンモードフイル
タ素子を実現させ得ることが判る。
【0044】なお、上述のフェライト粉末の母材におい
ては、適用対象周波数の関係からMn−Mg系、Mn−
Zn系等を用い得ることは当然である。
【0045】同様に金属磁性材料の場合、Fe−Ni
系、Fe−Al−Si系等を用い得ることも当然であ
る。
【0046】また、結合材として用いる樹脂にはポリエ
ステル系の他、ポリフェニレンサルファイド等のような
熱可塑性樹脂、エポキシ系、フェノール系等の熱硬化性
樹脂等があげられる。
【0047】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
【0048】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るコモ
ンモードフィルタ素子内蔵半導体デバイスによれば、次
のような効果を奏することができる。
【0049】(1) 半導体デバイスの動作(ICチップ
内のスイッチング等)に伴い発生する電磁妨害雑音を発
生源近くのインナーリード(インナーピン)部分で抑圧
できるため対策効果が大きい。例えば、ICの出力がロ
ーレベルからハイレベルへとスイッチされる際、直流電
源を供給するラインに寄生する素子による△Iノイズの
抑圧に有効である。更に、ICの入、出力回路におい
て、差動伝送を行う2つのラインの長さの違い及び対グ
ランド間のインピーダンスの差異による信号のスキュー
に起因したコモンモードノイズの抑圧に有効である。な
お、通常の伝送パルス波形に対してコモンモードフィル
タ素子はスキュー、ジッターを発生させることはない。
【0050】(2) 半導体デバイスのインナーリード部
分でコモンモードの電磁妨害雑音を抑圧できるため半導
体デバイスを実装するプリント配線基板上の電磁妨害雑
音抑圧用部品を不用とすることが可能、あるいは個数を
削減できる等の効果があり、基板サイズの縮小、配線パ
ターンの簡素化もでき、経済的効果は大きい。
【0051】(3) Si−Fe系等の扁平状金属磁性粉
末と樹脂との複合材においてはVHF帯からSHF帯
で、フェライト粉末と樹脂との複合材においてはVHF
帯からUHF帯で、複素比透磁率の効用が大きく、ディ
ジタルICが発生する電磁妨害雑音の周波数スペクトラ
ムをカバーする。ちなみにCPU(マイクロプロセッ
サ)のクロック周波数は400MHzまで上り、電磁妨
害雑音となるクロック周波数の高調波成分はUHF帯か
らSHF帯に及ぶ。また、パーソナルコンピューターの
メインクロック周波数は100MHzにまで至り、電磁
妨害雑音となる高調波成分はVHF帯からUHF帯に及
ぶ。
【0052】(4) 金型を用いた樹脂成型工法を適用で
きるため、半導体デバイスのインナーピンへコモンモー
ドフィルタ素子を形成する場合の形状、寸法設定の自由
度が大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るコモンモードフィルタ素子内蔵半
導体デバイスの第1の実施の形態を示す平断面図であ
る。
【図2】同等価回路図である。
【図3】第1の実施の形態の製造過程で用いるリードフ
レーム及びこれに成型されたコモンモードフィルタ素子
を示す平面図である。
【図4】第1の実施の形態の構成を適用した応用例を示
す等価回路図である。
【図5】同じく他の応用例を示す等価回路図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態を示す平断面図であ
る。
【図7】同等価回路図である。
【図8】第2の実施の形態の製造過程で用いるリードフ
レーム及びこれに成型されたコモンモードフィルタ素子
を示す平面図である。
【図9】第2の実施の形態の構成を適用した応用例を示
す等価回路図である。
【図10】差動伝送ラインにおいてコモンモード電磁妨
害雑音が発生する理由を示す波形図である。
【図11】第2の実施の形態の構成を適用した他の応用
例を示す等価回路図である。
【図12】図11の回路においてコモンモードフィルタ
素子を設けたときの伝送信号への影響を説明する波形図
である。
【図13】本発明の第3の実施の形態を示す平断面図で
ある。
【図14】同等価回路図である。
【図15】第3の実施の形態の製造過程で用いるリード
フレーム及びこれに成型されたコモンモードフィルタ素
子を示す平面図である。
【図16】第3の実施の形態の構成を適用した応用例を
示す等価回路図である。
【図17】コモンモードフィルタ素子を構成するための
複合磁性材料の1例であって、フェライト粉末と樹脂の
複合磁性材料の複素比透磁率の実数部を示すグラフであ
る。
【図18】コモンモードフィルタ素子を構成するための
複合磁性材料の他の例であって、金属磁性粉末と樹脂の
複合磁性材料の複素比透磁率の実数部を示すグラフであ
る。
【図19】金属磁性粉末と樹脂の複合磁性材料を用いた
コモンモードフィルタ素子の1本のインナーリード当た
りのインピーダンスの周波数特性を示すグラフである。
【図20】従来のICにおける電磁妨害雑音抑圧技術の
1例を示す斜視図である。
【図21】従来のICにおける電磁妨害雑音抑圧技術の
他の例を示す回路図である。
【符号の説明】
1,4,15 ICチップ 10 リードフレーム 11,11a,11b,11c,11d 導体リード 12a,12b,12c,12d インナーリード 16 外装パッケージ 20,20A,20B コモンモードフィルタ素子 21 複合磁性材料 22 非磁性材 30,31,32,40,41 IC 35 コントローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野 恭裕 宮城県仙台市泉区泉が丘3丁目20番24号ヒ ルコート泉203 (72)発明者 赤地 義昭 東京都中央区日本橋一丁目13番1号ティー ディーケイ株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 直流電源供給用のインナーリード対の周
    囲に複合磁性材料を環状に設けてコモンモードフィルタ
    素子を外装パッケージ内部に構成したことを特徴とする
    コモンモードフィルタ素子内蔵半導体デバイス。
  2. 【請求項2】 入出力信号の差動伝送を行うインナーリ
    ード対の周囲に複合磁性材料を環状に設けてコモンモー
    ドフィルタ素子を外装パッケージ内部に構成したことを
    特徴とするコモンモードフィルタ素子内蔵半導体デバイ
    ス。
  3. 【請求項3】 直流電源供給用のインナーリード対の周
    囲及び入出力信号の差動伝送を行うインナーリード対の
    周囲にそれぞれ複合磁性材料を環状に設けてコモンモー
    ドフィルタ素子を外装パッケージ内部に構成したことを
    特徴とするコモンモードフィルタ素子内蔵半導体デバイ
    ス。
  4. 【請求項4】 前記複合磁性材料は、フェライト粉末又
    は金属磁性粉末を樹脂で成型したものである請求項1,
    2又は3記載のコモンモードフィルタ素子内蔵半導体デ
    バイス。
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