JP2000055892A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 管状あるいは丸棒状の試験体の欠陥の検出を
行う検査装置において、検査装置の回転中に発生する振
動に対しても試験体に対する超音波探触子の所定の位置
決めが確実に行われ、かつ検査効率向上のためその位置
決め動作を容易に短時間で実施する必要があった。ま
た、超音波探触子のチャンネル数の増加及び検査装置の
小型化が課題であった。 【解決手段】 回転シャフト２５一軸のスライド及び回
転動作により超音波探触子２の位置決めを行う。また、
探触子ケーブル３の配線経路をケーシング２０の開口部
とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は回転せずに直進搬
送される管状あるいは丸棒状の試験体の周りを回転する
超音波探触子により、スパイラル状に探傷を行う検査装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１３，１４は従来の検査装置を示す図
である。図１３はＡに示す試験体搬送方向の断面図であ
り、図１４は試験体搬送方向と直交方向の断面図であ
る。図において１は管状あるいは丸棒状の試験体、２は
試験体１の周り配置された超音波探触子、３は超音波探
触子２に取り付けられる送受信用の探触子ケーブル、４
は超音波探触子２を保持しかつ探触子ケーブル３の配線
空間を有するハウジング、５はハウジング４に固着され
片側におすねじを有する中空シャフト、６は中空シャフ
ト５を案内する第一のブッシュ、７はハウジング４に固
着し中空シャフト５に平行に設けられた第一のガイドシ
ャフト、８は第一のガイドシャフト７を案内する第二の
ブッシュ、９は第一のブッシュ６及び第二のブッシュ８
を保持する円筒体、１０は円筒体９の試験体１の搬送方
向に対して上流側に設けられた第一のフランジ、１１は
円筒体９の搬送下流側に設けられた第二のフランジ、１
２は搬送上流側に設けられ試験体１外周に内接する第一
のせき、１３は搬送下流側に設けられ試験体１外周に内
接する第二のせき、１４は第一のせき１２と第二のせき
１３を連結する連結パイプ、１５は円筒体９内部に充填
され超音波探触子２から試験体１へ安定した超音波の伝
播を可能とする超音波媒質、１６は超音波媒質１５を円
筒体９に供給する超音波媒質供給口、１７は中空シャフ
ト５のおすねじと噛み合うめすねじを有するハンドル、
１８はハンドル１７の回転止めを行う第一のロックねじ
である。

【０００３】次に、動作について説明する。従来の検査
装置は上記のように構成され、試験体１を回転中心とし
て検査装置自体が回転しながら探傷検査を行う。回転が
定速状態となると、試験体１が搬送方向Ａから搬送され
第一のせき１２を通過し第二のせき１３に到達した時点
で、超音波媒質供給口１６より供給される超音波媒質１
５が円筒体９内部に充填され、超音波探触子２より超音
波媒質１５を介して試験体１に超音波が伝播され探傷検
査を開始する。ところで、外径の異なる試験体１を検査
する場合、第一のせき１２及び第二のせき１３をその試
験体１の外周に内接するものに交換すると同時に試験体
１に対する超音波探触子２の位置を再設定する必要があ
る。再設定するには、まず第一のロックねじ１８を緩め
ハンドル１７を回転可能状態とする。ハンドル１７を回
転させると、ハンドル１７と中空シャフト５がねじによ
り噛み合い、またハンドル１７がねじの軸方向の移動を
固定されているため、中空シャフト５がねじの軸方向に
移動し、超音波探触子２が搬送直交方向に移動すること
となり試験体１に対する位置を再設定することができ
る。また、第一のガイドシャフト７によりハンドル１７
と中空シャフトの共周りを防止している。さらに、探触
子ケーブル３はハウジング４の内部及び中空シャフト５
の内部に配線され検査装置外部と接続されており、鉄粉
等の不純物を含んだ超音波媒質１５と隔離することによ
り使用寿命を延ばすことができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の検査装置は以上
のように構成されているので次のような課題があった。
まず、検査装置自体が回転しながら探傷検査を行うた
め、回転により発生する遠心力及び振動に耐える検査装
置を得る必要があった。超音波探触子２の位置決めは同
時にハンドル１７の回転防止であるが、第一のロックね
じ１８によるハンドル１７外周面との摩擦力のみによる
回転防止のため振動に対しては不安定であり、管理運用
面からもロックねじ１８の締結トルクの管理に問題があ
った。次に超音波探触子２の位置決め作業であるが、第
一のロックねじ１８の締結作業及びハンドル１７の回転
作業は時間がかかり、また自動化の困難な構造であり、
検査効率の低下、ひいては生産効率の低下を招いてい
た。さらに、ハウジング４及び中空シャフト５の内部に
探触子ケーブル３を配線したため作業者の手が入らず配
線作業が困難となり配線交換中探触子ケーブル３が破損
するという問題があった。また、内部空間の制限から配
線可能な探触子ケーブル３の本数が限られ、超音波探触
子２のチャンネル数の増加による検査精度の向上が困難
であった。逆に、所定のチャンネル数を確保しようとす
ると探触子移動機構部の外形寸法が大きくなりおのずと
検査装置の外形寸法も大きくなってしまうという問題が
あった。先に述べた検査効率の向上においては試験体１
の搬送速度を上げると共に検査装置の高速回転化が条件
となっており、強度面での信頼性向上、省力化のため検
査装置の小型化が課題となっている。

【０００５】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、超音波探触子２の位置決めを安定
させ、かつ位置決め作業を容易に短時間で可能なものと
し、さらに所定のチャンネル数の確保と検査装置の小型
化により検査精度、検査効率の高い検査装置を得ること
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】第１の発明による検査装
置は、探触子ケーブルが通過可能な開口部を有しまた内
壁が超音波探触子を取り付けたホルダとのスライド面と
なるケーシングを備えたものである。さらに第一のギア
と第二のギアを噛み合わせ、この第二のギアに固着する
回転シャフトに放射状の溝を設け、この溝と勘合する固
定ピン及び第二のギアに反発力を作用する第一のスプリ
ングを備えたものである。

【０００７】また、第２の発明による検査装置は、超音
波探触子の位置決め動作を自動化するため、回転力を発
生する第一のアクチュエータとその検出器及び直動力を
発生する第二のアクチュエータを備えたものである。

【０００８】また、第３の発明による検査装置は、ホル
ダとケーシングとの接触面にパッキンを備えたものであ
る。

【０００９】また、第４の発明による検査装置は、ホル
ダにスライド溝を設け、かつそのホルダとアームを連結
する第二のスプリングを備えたものである。

【００１０】また、第５の発明による検査装置は、昇降
シャフトとアームを分離し、そのアームに固着する第三
のガイドシャフトと、この第三のガイドシャフトに反発
力を作用する第三のスプリングを備えたものである。

【００１１】また、第６の発明による検査装置は、ケー
シングの側壁にバランスウェイトを備えたものである。

【００１２】また、第７の発明による検査装置は、第一
のせき及び第二のせきの替わりに、第一のガイドシュウ
及び第二のガイドシュウを備えたものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１，２，３はこ
の発明の実施の形態１を示す図であり、図１はＡに示す
試験体搬送方向の断面図、図２は試験体搬送方向と直交
方向の断面図、図３は回転ロック部の断面図である。図
において１，２，３，６，７，８，１０，１１，１２，
１３，１４，１５，１６は従来の装置と同一または相当
部分を示すものである。１９は超音波探触子２を取り付
けるホルダ、２０は探触子ケーブル３が通過可能な開口
部を有し内壁がホルダ１９とのスライド面となるケーシ
ング、２１はホルダ１９を連結するアーム、２２はアー
ム２１に固着し片側におすねじを有する昇降シャフト、
２３は昇降シャフト２２のおすねじと噛み合うめすねじ
を有する第一のギア、２４は第一のギア２３と噛み合う
第二のギア、２５は第二のギア２４に固着され端部に放
射状に配置された溝を有する回転シャフト、２６はこの
回転シャフト２５を案内する第三のブッシュ、２７は回
転シャフト２５の溝にはまり合う固定ピン、２８は第二
のギア２４に反発力を作用する第一のスプリングであ
る。

【００１４】前記のように構成された検査装置において
は、外径の異なる試験体１を検査するため試験体１に対
する超音波探触子２の位置を再設定する場合に次のよう
な作業を行う。まず、回転シャフト２５先端のビット部
に勘合するソケットレンチを使用し、回転シャフト２５
を第一のスプリング２８の反発力に逆らって押し付け
る。回転シャフト２５は第３のブッシュ２６により回転
及び軸方向のスライドを案内されている。回転シャフト
２５がスライドすることにより固定ピン２７が回転シャ
フト２５の溝から抜け回転シャフト２５が回転可能状態
となる。なお図１は回転シャフト２５が回転可能状態の
図を示している。次にその状態を保持しつつ回転シャフ
ト２５を回転させる。第２のギア２４は回転シャフト２
５に固着されているため共に回転し第１のギア２３に回
転を伝える。ここで第１のギア２３と昇降シャフト２２
はねじで噛み合っており、第１のギア２３のねじの軸方
向の移動を固定することにより昇降シャフト２２がねじ
の軸方向に移動し、アーム２１、ホルダ１９と共に超音
波探触子２が搬送直交方向に移動することとなり試験体
１に対する所定の位置を再設定することができる。ここ
で、超音波探触子２の移動ピッチをδＴ、昇降シャフト
先端のねじのピッチをＬ、第一のギアの歯数をＺ１、第
二のギアの歯数をＺ２、回転シャフト２５の回転角ピッ
チをδθ゜とすると、次式が成り立つ。 δＴ＝｛δθ゜×（Ｚ２／Ｚ１）／３６０゜｝×Ｌ ここで、超音波探触子２の所定の移動ピッチδＴに対す
る回転シャフト２５の回転角ピッチδθ゜を円周等分と
なるよう設定し、同時にそのδθ゜で回転シャフト２５
の端部に放射状に溝を配置する。さらに、超音波探触子
２の移動原点において回転シャフト２５の任意の溝を固
定ピン２７と一致するよう配置することにより、超音波
探触子２の所定の全位置において常に回転シャフト２５
の任意の溝と固定ピン２７が一致することとなる。よっ
て上記の試験体１に対する超音波探触子２の位置の再設
定後、ソケットレンチによる押し付け力を解放すると第
一のスプリング２８の作用により回転シャフト２５がス
ライドし固定ピン２７が回転シャフト２５の溝と再度勘
合し回転ロックの状態となる。また、第一のギア２３と
第二のギア２４は回転シャフト２５のスライドによって
も常に噛み合うよう歯幅が設定されており第二のギア２
４と同時に第一のギア２３もロック状態となる。よっ
て、探傷検査時の回転により振動が発生しても超音波探
触子２の位置決めは固定ピン２７の勘合により確実にロ
ックされ、従来の検査装置のような摩擦力に比べ信頼性
が向上する。また超音波探触子２の位置決め作業である
が、回転シャフト２５一軸の回転とスライドのみの単純
な動作で作業時間が短縮され、また自動化の容易な構造
であり、検査効率の向上、ひいては生産効率の向上を計
ることができる。

【００１５】次に探触子ケーブル３の配線経路である
が、超音波媒質１５と隔離しつつケーシング２０の側壁
に設けられた開口部から超音波探触子２に直接取り付け
可能な構造としたため、探触子ケーブル３の交換時に作
業者の手が入らないということが無くなり作業が容易と
なり、メンテナンス上有利となる。ここで、超音波探触
子２の移動によってもホルダ１９が常にケーシング２０
の内壁に接するよう、かつ、探触子ケーブル３が干渉し
ないよう開口部の形状が設定されているため超音波媒質
１５は常に充填されている。さらに、超音波探触子２の
チャンネル数の増加による探触子ケーブル３の本数の増
加の場合も開口部の形状のみ影響を受けアーム２１、昇
降シャフト２２等探触子移動機構部は外形寸法上影響を
受けない。よって先に述べた従来の検査装置と比較して
も小型化が容易でありチャンネル数の増加も伴い検査精
度、検査効率の高い検査装置を得ることができる。

【００１６】実施の形態２．上記実施の形態１において
超音波探触子２の位置決め動作は回転シャフト２５一軸
の回転とスライドのみの単純な動作で自動化の容易な構
造であると述べたがここでは自動化の一例を述べる。

【００１７】図４はこの発明の実施の形態２を示す正面
図であり、図５はその側面図である。回転シャフト２５
の回転動作は、回転力を発生する第一のアクチュエータ
３０から減速機３１を介して回転シャフト２５先端のビ
ットに勘合するソケット２９に回転が伝達され行われ
る。ソケット２９の回転角は検出器３２により検出し第
一のアクチュエータ３０にフィードバックされる。次に
回転シャフト２５のスライド動作は、ソケット２９、第
一のアクチュエータ３０、減速機３１及び検出器３２を
保持するブラケット３３を第２のガイドシャフト３４を
案内として第二のアクチュエータ３５にて昇降させるこ
とにより行われる。実際の動作順序はまず第二のアクチ
ュエータ３５で予め設定された下降量分回転シャフト２
５を押し込み回転ロックを解除する。次に第一のアクチ
ュエータ３０で所定の回転角まで回転を与える。検出器
３２で回転角を確認後第二のアクチュエータ３５を待機
位置に戻し回転ロック状態とする。このような自動化に
より超音波探触子２の位置決め動作が短時間で行われ検
査効率の向上を計ることができる。

【００１８】実施の形態３．上記実施の形態１において
ホルダ１９が常にケーシング２０の内壁に接するよう構
成したと述べたが、実際にはスライド面でありわずかな
隙間が必要となるが、超音波媒質１５のケーシング２０
内の充填に影響のない程度の隙間でなければならない。
このような場合各部品の加工精度が厳しくなりコスト面
で不利となる。

【００１９】図６はこの発明の実施の形態３を示す断面
図であり、ホルダ１９のケーシング２０とのスライド面
に弾性体製の断面がひれ形状をしたパッキン３６を設け
たものである。このパッキン３６によりホルダ１９とケ
ーシング２０の隙間を埋めることにより各部品の加工精
度を上げることなく超音波媒質１５を充填させることが
できる。また断面がひれ形状のため超音波探触子２の移
動時に発生する摩擦抵抗が抑えられ実施の形態２で先に
述べた自動化においては第一のアクチュエータ３０の動
力が小さく設定できる。

【００２０】実施の形態４．実施の形態３ではホルダ１
９とケーシング２０の隙間を弾性体製のパッキン３６で
埋めたが以下のような構成で同様な効果を得ることがで
きる。

【００２１】図７はこの発明の実施の形態４を示す試験
体搬送方向と直交方向の断面図であり、ホルダ１９にス
ライド溝３７を設け超音波探触子２の移動方向と直交方
向にスライド可能とし、さらにホルダ１９とアーム２１
を第二のスプリング３８で連結したものである。探傷検
査前はホルダ１９は第二のスプリング３８により中央部
へ引き付けられているが、探傷検査開始のため検査装置
自体が回転し始めると遠心力Ｂが発生する。この遠心力
Ｂの分子Ｃによりホルダ１９はケーシング２０の内壁に
押し付けられ超音波媒質１５を充填し探傷検査を開始す
る。また実施の形態３のような超音波探触子２の移動時
の摩擦抵抗を無くすことができ、摩滅によるパッキン３
６の交換も無くなるというさらなる効果がある。

【００２２】実施の形態５．実施の形態４では検査装置
回転時の遠心力を利用しているが、試験体１に対する超
音波探触子２の位置決めにおいても利用することができ
る。

【００２３】図８，９はこの発明の実施の形態５を示す
図であり、図８は試験体搬送方向と直交方向の断面図で
あり、図９は試験体搬送方向の断面図である。ガイドシ
ャフト７及び昇降シャフト２２をアーム２１と分離し、
第１のガイドシャフト７と昇降シャフト２２をプレート
４１で連結する。そしてアーム２１に第三のガイドシャ
フト３９を設け、その第三のガイドシャフト３９のフラ
ンジ部を第三のスプリング４０で押し付け超音波探触子
２が最下点で待機するよう構成したものである。超音波
探触子２の位置決めにおいては分離された昇降シャフト
２２のみを所定の位置に移動し、検査装置の定速回転状
態で発生する遠心力Ｅにより超音波探触子２、ホルダ１
９及びアーム２１が移動し、昇降シャフト２２下面とア
ーム２１上面が接触した時点で超音波探触子２が位置決
めされることとなる。よって実施の形態２で述べた自動
化においては第一のアクチュエータ３０に加わる負荷が
大幅に減少し、省力化及び設定の高速化が可能となる。

【００２４】実施の形態６．探傷検査時に検査装置が回
転することは述べたが、超音波探触子２の移動により検
査装置の重心が変動し遠心力のアンバランスが生じてし
まい、ここでは図示していないが検査装置を回転させる
回転機に異常振動が発生し、高速回転化に伴いより重要
な問題となってきている。

【００２５】図１０，１１はこの発明の実施の形態６を
示す図であり、図１０は試験体搬送方向と直交方向の断
面図であり、図１１はその詳細な側面図である。ケーシ
ング２０側面に超音波探触子２の移動方向と同方向にス
ライド可能なバランスウェイト４２を設けたものであ
る。超音波探触子２の再設定時は、超音波探触子２の所
定の位置において遠心力がバランスするよう設定された
目盛４３にバランスウェイト４２を合わせ第二のロック
ねじ４４を締結する。このようにして、検査装置の重心
を一定に保ち、異常振動を抑えることにより機械寿命を
延長することができる。

【００２６】実施の形態７．探傷検査においては試験体
１の中心と検査装置の回転中心が一致することが検査精
度上望ましい。ここでは図示していないが通常試験体１
の搬送ライン上において検査装置の前後に試験体１を保
持するピンチローラが設置されており、搬送振動による
試験体１のあばれを抑え、また試験体１自体の曲がりを
ある程度補正している。この前後のピンチローラは互い
の間隔が狭ければ狭い程より効果が大きく検査精度の向
上が計れる。

【００２７】図１２はこの発明の実施の形態７を示す試
験体搬送方向の断面図であり、ピンチローラの間隔を狭
めるのと同様の効果をもたらすもので、検査装置内部で
試験体１を保持しようとするものである。実施の形態１
における第一のせき１２と第二のせき１３をそれぞれ第
一のガイドシュウ４４と第二のガイドシュウ４５に置換
え、超音波媒質１５の漏れ防止と試験体１の保持の二つ
の機能を持たせたものである。第一のガイドシュウ４５
及び第二のガイドシュウ４６は試験体１との接触に耐え
るよう硬度の高い材料から製作され、また接触面積が大
きくなるように円筒形状をしている。このようにして、
試験体１を最短距離で保持することにより試験体１の中
心と検査装置の回転中心を一致させ検査精度を向上させ
ることができる。

【００２８】

【発明の効果】第１の発明によれば、昇降シャフト、第
一のギア、第二のギア、回転シャフト、固定ピン及び第
一のスプリングの協働により、探傷検査時発生する振動
に対しても超音波探触子の位置決めが確実に行われ、さ
らに、その位置決め動作が単純で自動化が容易となる。
また、探触子ケーブルの配線経路をケーシングの開口部
としたため探触子ケーブルの交換が容易となりメンテナ
ンス性が向上し、さらに検査装置の小型化及び超音波探
触子のチャンネル数の増加が容易となり検査精度を向上
させることができる。

【００２９】また、第２の発明によれば、超音波探触子
の位置決め動作を自動化したため検査効率の向上、ひい
ては生産効率の向上を計ることができる。

【００３０】また、第３の発明によれば、ホルダにパッ
キンを設けたことにより各部品の加工精度を上げること
なく超音波媒質を充填させることができる。また断面が
ひれ形状のため超音波探触子の移動時に発生する摩擦抵
抗が抑えられるという効果もある。

【００３１】また、第４の発明によれば、ホルダを超音
波探触子の移動方向と直交方向にスライド可能としたた
め、実施の形態３と同様な効果を得るとともに、超音波
探触子の移動時の摩擦抵抗を無くすことができる。

【００３２】また、第５の発明によれば、アームと昇降
シャフトを分離したため、実施の形態２で述べたような
自動化においては負荷が大幅に減少し、省力化、または
超音波探触子の位置決めの高速化が可能となる。

【００３３】また、第６の発明によれば、バランスウェ
イトを設けたことにより検査装置の重心を一定に保ち、
異常振動を抑え機械寿命を延長することができる。

【００３４】また、第７の発明によれば、ガイドシュウ
に超音波媒質の漏れ防止と試験体の保持の二つの機能を
持たせたことにより、試験体の中心と検査装置の回転中
心を一致させ検査精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明による検査装置の実施の形態１を示
す試験体搬送方向の断面図である。

【図２】 この発明による検査装置の実施の形態１を示
す試験体搬送方向と直交方向の断面図である。

【図３】 この発明による検査装置の実施の形態１を示
す回転ロック部の断面図である。

【図４】 この発明による検査装置の実施の形態２を示
す正面図である。

【図５】 この発明による検査装置の実施の形態２を示
す側面図である。

【図６】 この発明による検査装置の実施の形態３を示
す断面図である。

【図７】 この発明による検査装置の実施の形態４を示
す試験体搬送方向と直交方向の断面図である。

【図８】 この発明による検査装置の実施の形態５を示
す試験体搬送方向と直交方向の断面図である。

【図９】 この発明による検査装置の実施の形態５を示
す試験体搬送方向の断面図である。

【図１０】 この発明による検査装置の実施の形態６を
示す試験体搬送方向と直交方向の断面図である。

【図１１】 この発明による検査装置の実施の形態６を
示す詳細な側面図である。

【図１２】 この発明による検査装置の実施の形態７を
示す試験体搬送方向の断面図である。

【図１３】 従来の検査装置を示す試験体搬送方向の断
面図である。

【図１４】 従来の検査装置を示す試験体搬送方向と直
交方向の断面図である。

【符号の説明】

１ 試験体、２ 超音波探触子、３ 探触子ケーブル、
６ 第一のブッシュ、７ 第一のガイドシャフト、８
第二のブッシュ、１０ 第一のフランジ、１１第二のフ
ランジ、１２ 第一のせき、１３ 第二のせき、１４
連結パイプ、１５ 超音波媒質、１６ 超音波媒質供給
口、１９ ホルダ、２０ ケーシング、２１ アーム、
２２ 昇降シャフト、２３ 第一のギア、２４ 第二の
ギア、２５ 回転シャフト、２６ 第三のブッシュ、２
７ 固定ピン、２８ 第一のスプリング、２９ ソケッ
ト、３０ 第一のアクチュエータ、３１ 減速機、３２
検出器、３３ ブラケット、３４ 第二のガイドシャフ
ト、３５ 第二のアクチュエータ、３６ パッキン、３
７ スライド溝、３８ 第二のスプリング、３９ 第三
のガイドシャフト、４０ 第三のスプリング、４１ プ
レート、４２バランスウェイト、４３ 目盛、４４ 第
二のロックねじ、４５ 第一のガイドシュウ、４６ 第
二のガイドシュウ。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年９月１０日（１９９８．９．１
０）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項２

【補正方法】変更

【補正内容】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 舘野 重昭 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 三 菱電機エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 河田 忠則 愛知県東海市荒尾町ワノ割１番地 愛知製 鋼株式会社内 (72)発明者 澤 清和 愛知県東海市荒尾町ワノ割１番地 愛知製 鋼株式会社内 (72)発明者 林 義博 愛知県東海市荒尾町ワノ割１番地 愛知製 鋼株式会社内 Ｆターム(参考） 2G047 AB01 AD18 BB06 BC07 EA09 EA11 EA15 GA19 GB04

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転せずに直進搬送される管状あるいは
   丸棒状の試験体の欠陥の検出を行う検査装置において、
   試験体の周りを回転する超音波探触子と、この超音波探
   触子に取り付けられる送受信用の探触子ケーブルと、上
   記超音波探触子を取り付けるホルダと、上記探触子ケー
   ブルが通過可能な開口部を有し内壁が上記ホルダとのス
   ライド面となるケーシングと、上記ホルダを連結するア
   ームと、このアームに固着し片側におすねじを有する昇
   降シャフトと、この昇降シャフトを案内する第一のブッ
   シュと、上記アームに固着し上記昇降シャフトに平行に
   設けられた第一のガイドシャフトと、この第一のガイド
   シャフトを案内する第二のブッシュと、上記昇降シャフ
   トのおすねじと噛み合うめすねじを有する第一のギア
   と、この第一のギアと噛み合う第二のギアと、この第二
   のギアに固着され端部に放射状に配置された溝を有する
   回転シャフトと、この回転シャフトを案内する第三のブ
   ッシュと、上記回転シャフトの溝に勘合する固定ピン
   と、上記第二のギアに反発力を作用する第一のスプリン
   グから構成されたことを特徴とする検査装置。
2. 【請求項２】 上記回転シャフト先端に勘合し回転を伝
   達するソケットと、このソケットに回転を与える第一の
   アクチュエータと、この第一のアクチュエータから上記
   ソケットに回転力を伝達する減速機と、この減速機を介
   して上記ソケットの回転角度を検出する検出器と、この
   検出器、上記第一のアクチュエータ及び上記減速機を保
   持するブラケットと、このブラケットを昇降させる第二
   のアクチュエータと、上記ブラケットを案内する第二の
   ガイドシャフトを設けたことを特徴とする請求項１記載
   の検査装置。
3. 【請求項３】 上記ホルダにおいて上記ケーシングとの
   接触面にパッキンを設けたことを特徴とする請求項１ま
   たは２記載の検査装置。
4. 【請求項４】 上記ホルダにスライド溝を設け、かつこ
   のホルダと上記アームを第二のスプリングで連結したこ
   とを特徴とする請求項１または２記載の検査装置。
5. 【請求項５】 上記昇降シャフト及び上記第一のガイド
   シャフトを上記アームと分離し、この昇降シャフトと上
   記第一のガイドシャフトを連結するプレートと、上記ア
   ームに固着する第三のガイドシャフトと、この第三のガ
   イドシャフトに反発力を作用する第三のスプリングを設
   けたことを特徴とする請求項１または２記載の検査装
   置。
6. 【請求項６】 上記ケーシングの側壁に沿ってスライド
   可能なバランスウェイトと、このバランスウェイトを所
   定の位置に設定するための目盛と、上記バランスウェイ
   トを固定する第二のロックねじを設けたことを特徴とす
   る請求項１または２記載の検査装置。
7. 【請求項７】 上記第一のせき及び上記第二のせきの替
   わりに、第一のガイドシュウ及び第二のガイドシュウを
   設けたことを特徴とする請求項１または２記載の検査装
   置。