JP2000049202A - 半導体集積回路装置およびその回路選択方法 - Google Patents
半導体集積回路装置およびその回路選択方法Info
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- JP2000049202A JP2000049202A JP10213084A JP21308498A JP2000049202A JP 2000049202 A JP2000049202 A JP 2000049202A JP 10213084 A JP10213084 A JP 10213084A JP 21308498 A JP21308498 A JP 21308498A JP 2000049202 A JP2000049202 A JP 2000049202A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本来必要とされる機能を実現するために必要な
パッドを配置した際のチップサイズを増大させず、また
針立て評価時にしか用いない信号ピン数を増加させない
ようにする。 【解決手段】1つのボンディングパッド領域106また
はこのボンディングパッド領域の近傍に、回路テストま
たは回路接続切替用の複数の針立て用パッド101〜1
05を設け、この複数の針立て用パッドは、複数の第1
の針立て用パッド101,102,104,105が、
内部回路に接続される複数の回路部115,116の入
出力端子111〜114の少くとも1つとそれぞれ接続
され、第2の針立て用パッド103が、前記複数の回路
部のうち1つを選択する回路として接続されたものから
なり、前記第1または第2の針立て用パッド101〜1
05の接・断により選択信号の入力なしに複数の回路部
115,116のうち1つを選択できるようにした。
パッドを配置した際のチップサイズを増大させず、また
針立て評価時にしか用いない信号ピン数を増加させない
ようにする。 【解決手段】1つのボンディングパッド領域106また
はこのボンディングパッド領域の近傍に、回路テストま
たは回路接続切替用の複数の針立て用パッド101〜1
05を設け、この複数の針立て用パッドは、複数の第1
の針立て用パッド101,102,104,105が、
内部回路に接続される複数の回路部115,116の入
出力端子111〜114の少くとも1つとそれぞれ接続
され、第2の針立て用パッド103が、前記複数の回路
部のうち1つを選択する回路として接続されたものから
なり、前記第1または第2の針立て用パッド101〜1
05の接・断により選択信号の入力なしに複数の回路部
115,116のうち1つを選択できるようにした。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路装置
およびその回路選択方法に関し、特に半導体集積回路の
ボンディングパッドの構造およびその利用方法に関す
る。
およびその回路選択方法に関し、特に半導体集積回路の
ボンディングパッドの構造およびその利用方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体回路装置の大規模化、搭載
回路の複雑化に伴い、半導体回路装置の機能確認を行う
ために、本来の半導体回路装置の機能として必要なく、
製造途中のチェックとなる針立て評価時にのみ用いるテ
スト信号ピンPINを用意している。このテスト信号ピ
ンPINは、プローブテスト時に探針が接触され、テス
ト信号が供給され試験が行われる。
回路の複雑化に伴い、半導体回路装置の機能確認を行う
ために、本来の半導体回路装置の機能として必要なく、
製造途中のチェックとなる針立て評価時にのみ用いるテ
スト信号ピンPINを用意している。このテスト信号ピ
ンPINは、プローブテスト時に探針が接触され、テス
ト信号が供給され試験が行われる。
【0003】また、半導体プロセスの微細化に伴い、プ
ロセスによる半導体回路装置の寸法ばらつきが従来±1
0%程度であったものが、±20%程度と大きくなって
きている。そのため一定の水準を持った水準回路を設計
し、この水準回路を参照して各半導体回路装置の評価を
行った後、良好な半導体回路装置を選択したいという状
態が発生している。実際、この半導体回路装置の評価を
行うために、評価用チップを設計・評価し、回路を選択
するということが行われているが、市場の推移が早いた
め評価用チップを設計・評価していると市場動向に間に
合わないという問題がある。そのため、これら水準回路
に付きそれぞれ1チップを作成したり、これら水準回路
を1チップに搭載し、選択用信号PINとボンディング
切り替えによって回路を選択しているため、本来必要な
PIN数以上のボンディング・パッドを用意することが
必要となっている。
ロセスによる半導体回路装置の寸法ばらつきが従来±1
0%程度であったものが、±20%程度と大きくなって
きている。そのため一定の水準を持った水準回路を設計
し、この水準回路を参照して各半導体回路装置の評価を
行った後、良好な半導体回路装置を選択したいという状
態が発生している。実際、この半導体回路装置の評価を
行うために、評価用チップを設計・評価し、回路を選択
するということが行われているが、市場の推移が早いた
め評価用チップを設計・評価していると市場動向に間に
合わないという問題がある。そのため、これら水準回路
に付きそれぞれ1チップを作成したり、これら水準回路
を1チップに搭載し、選択用信号PINとボンディング
切り替えによって回路を選択しているため、本来必要な
PIN数以上のボンディング・パッドを用意することが
必要となっている。
【0004】この様な理由でピン数が増加するというこ
とは、ボンディング・パッドの数もそれと同様に増加す
ることになる。特に、チップサイズの小さい半導体回路
装置では、内部回路規模よりも、ボンディング・パッド
の数でチップサイズが決まってしまう場合が多いことか
ら、このボンディング・パッドの増加がチップサイズを
大きくする一因となっている。
とは、ボンディング・パッドの数もそれと同様に増加す
ることになる。特に、チップサイズの小さい半導体回路
装置では、内部回路規模よりも、ボンディング・パッド
の数でチップサイズが決まってしまう場合が多いことか
ら、このボンディング・パッドの増加がチップサイズを
大きくする一因となっている。
【0005】この目的のために、従来例として、図6の
レイアウト図に示すように、パッド131,132を用
意すると共に、評価後選択したい回路部115,116
がある場合とする。これら回路部115,116は、パ
ッド131,132とそれぞれ接続される入出力端子1
11,113と、内部回路とそれぞれ接続される入出力
端子117,118とを有し、さらにこれら回路部11
5,116を選択するためのパワーダウン端子109,
114が用意される。
レイアウト図に示すように、パッド131,132を用
意すると共に、評価後選択したい回路部115,116
がある場合とする。これら回路部115,116は、パ
ッド131,132とそれぞれ接続される入出力端子1
11,113と、内部回路とそれぞれ接続される入出力
端子117,118とを有し、さらにこれら回路部11
5,116を選択するためのパワーダウン端子109,
114が用意される。
【0006】それぞれの回路部115,116は、パッ
ド131,132からのテスト信号を入力、出力して評
価が行われた後、回路を選択するためパワーダウン端子
109,114の入力信号ピンを電源もしくは接地とし
て組み立てを行うという方法が用いらている。この場
合、内部回路からの選択信号とこの選択信号をインバー
タ130を介して反転した信号とを、パワーダウン端子
109,114に供給して、回路部115,116の一
方が選択される。ただし、評価後選択したい回路が存在
する場合には、組み立て後のピン配置を変更しないため
に複数チップを作成する場合もある。
ド131,132からのテスト信号を入力、出力して評
価が行われた後、回路を選択するためパワーダウン端子
109,114の入力信号ピンを電源もしくは接地とし
て組み立てを行うという方法が用いらている。この場
合、内部回路からの選択信号とこの選択信号をインバー
タ130を介して反転した信号とを、パワーダウン端子
109,114に供給して、回路部115,116の一
方が選択される。ただし、評価後選択したい回路が存在
する場合には、組み立て後のピン配置を変更しないため
に複数チップを作成する場合もある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の方法では、針立て評価時にしか用いない信号ピン
や、評価後選択したい回路の入出力ピン数および、回路
を選択するための信号ピン分のパッドを用意しなければ
ならないため、これらのピン数が増加し、ピン数分のパ
ッドを配置するために、本来必要とされる機能を実現す
るために必要なパッドを配置したチップサイズに対し
て、これを大きくする必要が出てくるという問題があ
る。
来の方法では、針立て評価時にしか用いない信号ピン
や、評価後選択したい回路の入出力ピン数および、回路
を選択するための信号ピン分のパッドを用意しなければ
ならないため、これらのピン数が増加し、ピン数分のパ
ッドを配置するために、本来必要とされる機能を実現す
るために必要なパッドを配置したチップサイズに対し
て、これを大きくする必要が出てくるという問題があ
る。
【0008】さらに、前述した針立て評価時にしか用い
ない信号ピンや、回路を選択するための信号ピンは組み
立て後は、電源もしくは接地されるが、チップ上電源/
接地の配線には接続されていないため、実質上無駄なピ
ンとなってしまうという問題も存在する。
ない信号ピンや、回路を選択するための信号ピンは組み
立て後は、電源もしくは接地されるが、チップ上電源/
接地の配線には接続されていないため、実質上無駄なピ
ンとなってしまうという問題も存在する。
【0009】そこで他の従来例として、特公平6−10
1500号公報に示されたものがある。この回路は、図
7に示すように、ボンディングパッド領域145をスリ
ットにより4つに分割した針立て用パッド141〜14
4を配置し、これら分割された針立て用パッド141〜
144を針立て評価時にのみ使用する信号入力端子15
1〜154にそれぞれ接続するものである。なお、信号
入力端子151〜154には、それぞれテスト回路15
5〜158が接続され、これらテスト回路155〜15
8の出力が内部回路に接続されている。このように針立
て評価時にはそれぞれに個別の信号を入力し評価を行
い、組み立て時には針立て用パッド141〜144を電
源もしくは接地に接続し、回路が動作しない様にする方
法が示されている。
1500号公報に示されたものがある。この回路は、図
7に示すように、ボンディングパッド領域145をスリ
ットにより4つに分割した針立て用パッド141〜14
4を配置し、これら分割された針立て用パッド141〜
144を針立て評価時にのみ使用する信号入力端子15
1〜154にそれぞれ接続するものである。なお、信号
入力端子151〜154には、それぞれテスト回路15
5〜158が接続され、これらテスト回路155〜15
8の出力が内部回路に接続されている。このように針立
て評価時にはそれぞれに個別の信号を入力し評価を行
い、組み立て時には針立て用パッド141〜144を電
源もしくは接地に接続し、回路が動作しない様にする方
法が示されている。
【0010】この方法は、針立て評価時にしか用いない
入力信号ピンを、通常の1パッド分の領域に複数接続す
ることで、針立て評価時にしか用いない入力信号ピン数
を減少させるという点において一応の効果を奏してい
る。
入力信号ピンを、通常の1パッド分の領域に複数接続す
ることで、針立て評価時にしか用いない入力信号ピン数
を減少させるという点において一応の効果を奏してい
る。
【0011】しかしながら、その方法で削減されるの
は、針立て評価時にのみ使用する信号ピンのうち、入力
信号ピンのみである上、針立て評価用の端子としてしか
使用できないのでやはりパッド数を増加させてしまう。
さらに、前述のスリットにより分割された針立て用パッ
ド141〜144は、組み立て後は、電源もしくは接地
となるが、チップ上電源/接地の配線には接続されてい
ないため、実質上無駄なピンとなってしまうという問題
も依然存在する。
は、針立て評価時にのみ使用する信号ピンのうち、入力
信号ピンのみである上、針立て評価用の端子としてしか
使用できないのでやはりパッド数を増加させてしまう。
さらに、前述のスリットにより分割された針立て用パッ
ド141〜144は、組み立て後は、電源もしくは接地
となるが、チップ上電源/接地の配線には接続されてい
ないため、実質上無駄なピンとなってしまうという問題
も依然存在する。
【0012】本発明の目的は、本来必要とされる機能を
実現するために必要なパッドを配置した際のチップサイ
ズに対して、チップサイズを増大させず、また針立て評
価時にしか用いない信号ピン数を増加させないようにし
た半導体集積回路装置およびその回路選択方法を提供す
ることにある。
実現するために必要なパッドを配置した際のチップサイ
ズに対して、チップサイズを増大させず、また針立て評
価時にしか用いない信号ピン数を増加させないようにし
た半導体集積回路装置およびその回路選択方法を提供す
ることにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
装置の構成は、1つのボンディングパッド領域またはこ
のボンディングパッド領域の近傍に、回路テストまたは
回路接続切替用の複数の針立て用パッドを設け、この複
数の針立て用パッドは、複数の第1の針立て用パッド
が、内部回路に接続される複数の回路部の入出力端子の
少くとも1つとそれぞれ接続され、第2の針立て用パッ
ドが、前記複数の回路部のうち1つを選択する回路とし
て接続されたものからなり、前記第1または第2の針立
て用パッドの接・断により選択信号の入力なしに前記複
数の回路部のうち1つを選択できるようにしたことを特
徴とする。
装置の構成は、1つのボンディングパッド領域またはこ
のボンディングパッド領域の近傍に、回路テストまたは
回路接続切替用の複数の針立て用パッドを設け、この複
数の針立て用パッドは、複数の第1の針立て用パッド
が、内部回路に接続される複数の回路部の入出力端子の
少くとも1つとそれぞれ接続され、第2の針立て用パッ
ドが、前記複数の回路部のうち1つを選択する回路とし
て接続されたものからなり、前記第1または第2の針立
て用パッドの接・断により選択信号の入力なしに前記複
数の回路部のうち1つを選択できるようにしたことを特
徴とする。
【0014】また、本発明の構成において、1つのボン
ディングパッド領域に少くとも5個の針立て用パッドが
設けられ、この5個の針立て用パッドのうち、4つの第
1の針立て用パッドが第1、第2の回路部の2つの入出
力端子とそれぞれ接続され、第2の針立て用パッドが他
に接続されないパッド部からなり、前記第1、第2の回
路部の選択回路が、前記各回路部の2つの入出力端子か
らの接続線を入力とし2入力の一致を検出しこれらが一
致した時にその回路部を活性化する論理回路からなり、
前記第2の針立て用パッドと接続された側の前記第1ま
たは第2の回路部が選択されるようにしてもよい。
ディングパッド領域に少くとも5個の針立て用パッドが
設けられ、この5個の針立て用パッドのうち、4つの第
1の針立て用パッドが第1、第2の回路部の2つの入出
力端子とそれぞれ接続され、第2の針立て用パッドが他
に接続されないパッド部からなり、前記第1、第2の回
路部の選択回路が、前記各回路部の2つの入出力端子か
らの接続線を入力とし2入力の一致を検出しこれらが一
致した時にその回路部を活性化する論理回路からなり、
前記第2の針立て用パッドと接続された側の前記第1ま
たは第2の回路部が選択されるようにしてもよい。
【0015】さらに、本発明の構成において、1つのボ
ンディングパッド領域に、2個の第1の針立て用パッド
が設けられ、これら第1の針立て用パッド近傍にそれぞ
れ離間してヒューズの両端が接続された2個づつの第2
の針立て用パッドが設けられ、前記ヒューズの両端に第
1、第2の抵抗を接続し、これら第1、第2の抵抗の両
端に電圧源を接続し、その抵抗分割点を前記第1、第2
の回路部の選択端子に接続し、前記ヒューズの接・断に
より前記第1、第2の回路部を選択するようにしてもよ
い。
ンディングパッド領域に、2個の第1の針立て用パッド
が設けられ、これら第1の針立て用パッド近傍にそれぞ
れ離間してヒューズの両端が接続された2個づつの第2
の針立て用パッドが設けられ、前記ヒューズの両端に第
1、第2の抵抗を接続し、これら第1、第2の抵抗の両
端に電圧源を接続し、その抵抗分割点を前記第1、第2
の回路部の選択端子に接続し、前記ヒューズの接・断に
より前記第1、第2の回路部を選択するようにしてもよ
い。
【0016】本発明の構成によれば、1つのボンディン
グ・パッド領域に、複数の針立て用パッドを設けて、針
立て評価時にはそれぞれ個別に評価可能とし、半導体集
積回路装置として用いる時には、複数の針立て用パッド
を選択的にボンディングしたり、選択的にヒューズを接
・断したりして、選択信号入力ピンを用いることなく所
望の回路を選択して組み立てることを可能としたことを
特徴とする。
グ・パッド領域に、複数の針立て用パッドを設けて、針
立て評価時にはそれぞれ個別に評価可能とし、半導体集
積回路装置として用いる時には、複数の針立て用パッド
を選択的にボンディングしたり、選択的にヒューズを接
・断したりして、選択信号入力ピンを用いることなく所
望の回路を選択して組み立てることを可能としたことを
特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は本発明の第1の実施の形態
を説明するレイアウト図である。本実施形態は、複数の
異なる回路部115,116と、ボンディングパッド領
域106に設けられた5個の針立て用パッド101〜1
05と、2個のEX―NOR回路107,108とから
なり、回路部115には、針立て用パッド101,10
2と接続される入出力端子111,112および内部回
路と接続される入出力端子117が設けられ、さらにE
X―NOR(排他的論理和否定)回路107を介してパ
ワーダウン端子(またはイネーブル端子)109が設け
られ、もう一方の回路部116には、針立て用パッド1
03,104と接続される入出力端子113,114お
よび内部回路と接続される入出力端子118が設けら
れ、さらにEX―NOR回路108を介してパワーダウ
ン端子110が設けられている。
を説明するレイアウト図である。本実施形態は、複数の
異なる回路部115,116と、ボンディングパッド領
域106に設けられた5個の針立て用パッド101〜1
05と、2個のEX―NOR回路107,108とから
なり、回路部115には、針立て用パッド101,10
2と接続される入出力端子111,112および内部回
路と接続される入出力端子117が設けられ、さらにE
X―NOR(排他的論理和否定)回路107を介してパ
ワーダウン端子(またはイネーブル端子)109が設け
られ、もう一方の回路部116には、針立て用パッド1
03,104と接続される入出力端子113,114お
よび内部回路と接続される入出力端子118が設けら
れ、さらにEX―NOR回路108を介してパワーダウ
ン端子110が設けられている。
【0018】本実施形態による針立て用パッド101〜
105は、近接するスクライブ線に対して垂直方向に、
従来のボンディングパッド領域の1.5倍とした領域1
06に配置され、それぞれスリットにより互に分離され
て、複数の異なる回路部115,116と接続され、針
立て評価時にはそれぞれ個別に評価可能とし、組み立て
を行う際には、ボンディングによる針立て用パッドをシ
ョートすることによって、針立て用パッド101〜10
5に接続したパワーダウン端子109,110の入力を
切り替え、組み立てを行う際には1回路のみを動作さ
せ、他回路は回路電流が流れない様にすることで、組み
立て後の半導体集積回路装置上では、ピンに選択された
回路のみが有効となるようにしている。
105は、近接するスクライブ線に対して垂直方向に、
従来のボンディングパッド領域の1.5倍とした領域1
06に配置され、それぞれスリットにより互に分離され
て、複数の異なる回路部115,116と接続され、針
立て評価時にはそれぞれ個別に評価可能とし、組み立て
を行う際には、ボンディングによる針立て用パッドをシ
ョートすることによって、針立て用パッド101〜10
5に接続したパワーダウン端子109,110の入力を
切り替え、組み立てを行う際には1回路のみを動作さ
せ、他回路は回路電流が流れない様にすることで、組み
立て後の半導体集積回路装置上では、ピンに選択された
回路のみが有効となるようにしている。
【0019】図1に示すように、例えばボンディングパ
ッドを近接するスクライブ線に対して垂直方向に1.5
倍としたボンディング領域106に配置された5個の針
立て用パッド101〜105を有し、針立て用パッド1
01に回路部115の入/出力端子111を、針立て用
パッド102に回路部115の入/出力端子112をそ
れぞれ接続し、針立て用パッド104に回路部116の
入/出力端子113を、針立て用パッド105に回路部
116の入/出力端子115をそれぞれ接続する。
ッドを近接するスクライブ線に対して垂直方向に1.5
倍としたボンディング領域106に配置された5個の針
立て用パッド101〜105を有し、針立て用パッド1
01に回路部115の入/出力端子111を、針立て用
パッド102に回路部115の入/出力端子112をそ
れぞれ接続し、針立て用パッド104に回路部116の
入/出力端子113を、針立て用パッド105に回路部
116の入/出力端子115をそれぞれ接続する。
【0020】また、針立て用パッド101,102に接
続される入/出力端子111,112をEX−NOR1
07の入力とし、その出力を回路部115に設けたパワ
ーダウン端子109に、針立て用パッド104,105
に接続される入/出力端子113,114をEX−NO
R108の入力とし、その出力を回路部116に設けた
パワーダウン端子110にそれぞれ接続する。ただし、
針立て用パッド103はどこにも接続されていない。
続される入/出力端子111,112をEX−NOR1
07の入力とし、その出力を回路部115に設けたパワ
ーダウン端子109に、針立て用パッド104,105
に接続される入/出力端子113,114をEX−NO
R108の入力とし、その出力を回路部116に設けた
パワーダウン端子110にそれぞれ接続する。ただし、
針立て用パッド103はどこにも接続されていない。
【0021】針立て評価を行う場合は、針立て用パッド
101,102、104,105をショートすること
で、EX−NOR107,108の入力111,11
2,113,114がそれぞれ同電位となるので、EX
−NOR107,108の出力すなわち回路部115,
116のパワーダウン端子109,110の入力は“H
igh”となるので、それぞれ回路部115,116は
アクティブ状態となり、回路115,116を用いての
評価を行うことが可能である。
101,102、104,105をショートすること
で、EX−NOR107,108の入力111,11
2,113,114がそれぞれ同電位となるので、EX
−NOR107,108の出力すなわち回路部115,
116のパワーダウン端子109,110の入力は“H
igh”となるので、それぞれ回路部115,116は
アクティブ状態となり、回路115,116を用いての
評価を行うことが可能である。
【0022】いま、回路115を有効として組み立てを
行おうとするときは、針立て用パッド101,102,
103を一緒に接続するボンディングを行って組み立て
ることにより、針立て用パッド101,102はショー
トしされ、これらを入力とするEX−NOR107の入
力は常に同一となるので、このEX−NOR107の出
力である回路部115のパワーダウン端子109の入力
は常に“High”となり回路部115はアクティブ状
態となる。また、針立て用パッド104,105はオー
プンなので、図2〜3に示す通りこれらを入力とするE
X−NOR108の入力は常に“VDD”と“GND”
となるので、このEX−NOR108の出力である回路
部116のパワーダウン端子110の入力は常に“Lo
w”となり回路116は回路電流が流れない状態とな
り、組み立て後の半導体集積回路装置上のピンでは回路
115のみが有効となる。
行おうとするときは、針立て用パッド101,102,
103を一緒に接続するボンディングを行って組み立て
ることにより、針立て用パッド101,102はショー
トしされ、これらを入力とするEX−NOR107の入
力は常に同一となるので、このEX−NOR107の出
力である回路部115のパワーダウン端子109の入力
は常に“High”となり回路部115はアクティブ状
態となる。また、針立て用パッド104,105はオー
プンなので、図2〜3に示す通りこれらを入力とするE
X−NOR108の入力は常に“VDD”と“GND”
となるので、このEX−NOR108の出力である回路
部116のパワーダウン端子110の入力は常に“Lo
w”となり回路116は回路電流が流れない状態とな
り、組み立て後の半導体集積回路装置上のピンでは回路
115のみが有効となる。
【0023】また、回路116を有効として組み立てる
場合には、針立て用パッド103,104,105を用
いてボンディングを行い組み立てることにより、前述と
同様に回路116はアクティブ状態となり、回路115
は回路電流が流れない状態となるので、組み立て後の半
導体集積回路装置上のピンでは回路116のみが有効と
なる。
場合には、針立て用パッド103,104,105を用
いてボンディングを行い組み立てることにより、前述と
同様に回路116はアクティブ状態となり、回路115
は回路電流が流れない状態となるので、組み立て後の半
導体集積回路装置上のピンでは回路116のみが有効と
なる。
【0024】すなわち、ボンディングを針立て用パッド
101,102,103、針立て用パッド103,10
4,105のどちらの領域を用いるかを切り替えること
によって回路115,116の一方を選択し、他方の回
路の回路電流が流れないようにすることができる。
101,102,103、針立て用パッド103,10
4,105のどちらの領域を用いるかを切り替えること
によって回路115,116の一方を選択し、他方の回
路の回路電流が流れないようにすることができる。
【0025】従って、異なる回路115,116を搭載
してもこれらを切り替えるための信号ピンが不要となる
ため、個別に切り替えが必要なこのような搭載回路が複
数存在する場合でもこれらを切り替えるための信号ピン
を用意する必要がなく、また組み立て後に必要ない評価
用の端子を他の信号ピンと抱き合わせることにより、こ
れらの信号ピンのボンディングパッドを確保する必要が
なくなるため、半導体集積回路装置の機能に必要な端子
以上のボンディングパッドを配置するために、チップサ
イズを増大させる必要がなくなるという効果がもたらさ
れる。
してもこれらを切り替えるための信号ピンが不要となる
ため、個別に切り替えが必要なこのような搭載回路が複
数存在する場合でもこれらを切り替えるための信号ピン
を用意する必要がなく、また組み立て後に必要ない評価
用の端子を他の信号ピンと抱き合わせることにより、こ
れらの信号ピンのボンディングパッドを確保する必要が
なくなるため、半導体集積回路装置の機能に必要な端子
以上のボンディングパッドを配置するために、チップサ
イズを増大させる必要がなくなるという効果がもたらさ
れる。
【0026】また、ボンディングパッド領域に接続する
回路を論理もしくは出力レベルが異なる回路とすること
で、システムの仕様が未定の場合であっても、組み立て
時に選択する回路を変更することで対応が可能となる。
回路を論理もしくは出力レベルが異なる回路とすること
で、システムの仕様が未定の場合であっても、組み立て
時に選択する回路を変更することで対応が可能となる。
【0027】なお、本実施形態では、EX−NOR10
7,108を用いたが、回路部115,116のパワー
ダウン端子109,110の論理を反転すれば、これら
が、EX−OR(排他的論理和)回路でもよいことは明
らかである。
7,108を用いたが、回路部115,116のパワー
ダウン端子109,110の論理を反転すれば、これら
が、EX−OR(排他的論理和)回路でもよいことは明
らかである。
【0028】さらに、本実施形態では、針立て用パッド
の配置領域を従来のボンディングパッド領域の1.5倍
としたが、これは現状のボンディング装置の精度を考慮
したものであり、高精度のボンディング装置を用いるこ
とによって、針立て用パッドの配置領域がさらに小さく
できることは明らかである。
の配置領域を従来のボンディングパッド領域の1.5倍
としたが、これは現状のボンディング装置の精度を考慮
したものであり、高精度のボンディング装置を用いるこ
とによって、針立て用パッドの配置領域がさらに小さく
できることは明らかである。
【0029】図1においては、複数回路部115,11
6を1ピンに搭載した半導体集積回路装置のボンディン
グ切り替えによる組み立て時の回路選択方法が示されて
いるが、図2、3および図4は、図1の針立て用パッド
101〜105に接続される回路のパッドとの接続部分
の構成を示したものである。
6を1ピンに搭載した半導体集積回路装置のボンディン
グ切り替えによる組み立て時の回路選択方法が示されて
いるが、図2、3および図4は、図1の針立て用パッド
101〜105に接続される回路のパッドとの接続部分
の構成を示したものである。
【0030】図2は回路部115,116の入力部を図
1の針立て用パッド101〜105に接続する場合の回
路を示している。通常CMOS回路の入力部では、Pc
h/NchMOSトランジスタQ1,Q2のゲートを接
続し入力信号をこれに入力する。この回路は、PchM
OSトランジスタQ1のゲートを高抵抗R1(例えば5
Kオーム)によって電源電圧VDDに接続した上で、こ
のゲートを針立て用パッド101に接続する入力端子1
11とし、またNchMOSトランジスタQ2のゲート
は接地に高抵抗R2(例えば5Kオーム)によって接続
した上で、このゲートを針立て用パッド102に接続す
る入力端子112としている。
1の針立て用パッド101〜105に接続する場合の回
路を示している。通常CMOS回路の入力部では、Pc
h/NchMOSトランジスタQ1,Q2のゲートを接
続し入力信号をこれに入力する。この回路は、PchM
OSトランジスタQ1のゲートを高抵抗R1(例えば5
Kオーム)によって電源電圧VDDに接続した上で、こ
のゲートを針立て用パッド101に接続する入力端子1
11とし、またNchMOSトランジスタQ2のゲート
は接地に高抵抗R2(例えば5Kオーム)によって接続
した上で、このゲートを針立て用パッド102に接続す
る入力端子112としている。
【0031】図3は回路のプッシュプルタイプ出力部を
本発明の針立て用パッド101〜105に接続する場合
の回路の出力部である。通常CMOS回路のプッシュプ
ルタイプ出力部ではPch/NchMOSトランジスタ
Q3,Q4のドレインを接続し出力とする。この回路は
PchMOSトランジスタQ3のドレインを高抵抗R3
によってVDDに接続した上で、このドレインを針立て
用パッド101に接続する出力端子111とし、またN
chMOSトランジスタQ4のドレインはGNDに高抵
抗R4によって接続した上で、このドレインを針立て用
パッド102に接続する出力端子112としている。
本発明の針立て用パッド101〜105に接続する場合
の回路の出力部である。通常CMOS回路のプッシュプ
ルタイプ出力部ではPch/NchMOSトランジスタ
Q3,Q4のドレインを接続し出力とする。この回路は
PchMOSトランジスタQ3のドレインを高抵抗R3
によってVDDに接続した上で、このドレインを針立て
用パッド101に接続する出力端子111とし、またN
chMOSトランジスタQ4のドレインはGNDに高抵
抗R4によって接続した上で、このドレインを針立て用
パッド102に接続する出力端子112としている。
【0032】図4は回路のオープンドレインタイプ出力
部を針立て用パッド101〜105に接続する場合の回
路の出力部である。通常CMOS回路のオープンドレイ
ンタイプ出力部ではNchMOSトランジスタQ5のド
レインを出力とする。この回路はNchMOSトランジ
スタQ5のドレインをGNDに高抵抗R6によって接続
した上で、このドレインを針立て用パッド102に接続
する出力端子112とし、VDDに接続した高抵抗R5
を針立て用パッド101に接続する出力端子111とし
ている。
部を針立て用パッド101〜105に接続する場合の回
路の出力部である。通常CMOS回路のオープンドレイ
ンタイプ出力部ではNchMOSトランジスタQ5のド
レインを出力とする。この回路はNchMOSトランジ
スタQ5のドレインをGNDに高抵抗R6によって接続
した上で、このドレインを針立て用パッド102に接続
する出力端子112とし、VDDに接続した高抵抗R5
を針立て用パッド101に接続する出力端子111とし
ている。
【0033】なお、図2、図3および図4に示される回
路は、それぞれパワーダウン端子109を有しており、
この入力が“High”のとき回路部115がアクティ
ブとなり、“Low”のとき回路電流が流れなくなるよ
うに構成されている。
路は、それぞれパワーダウン端子109を有しており、
この入力が“High”のとき回路部115がアクティ
ブとなり、“Low”のとき回路電流が流れなくなるよ
うに構成されている。
【0034】このように、近接するスクライブ線に対し
て垂直方向に伸ばしたボンディングパッド領域103に
複数の異なるパワーダウン端子を有する回路を接続した
針立て用パッドを配置して組み立て時に回路を選択する
方法は、針立て評価時にしか用いない信号ピンがある場
合、これによるチップサイズの増大や、評価後個別に選
択したい回路が複数存在する場合に、評価を要する回路
を搭載することで発生する入出力ピンの増加およびこれ
らを切り替えるための信号入力ピンの増加によるチップ
サイズの増大がなく、また信号ピン配置の変更が無いよ
うに、複数のチップを作成する必要を無くすことがてき
る。
て垂直方向に伸ばしたボンディングパッド領域103に
複数の異なるパワーダウン端子を有する回路を接続した
針立て用パッドを配置して組み立て時に回路を選択する
方法は、針立て評価時にしか用いない信号ピンがある場
合、これによるチップサイズの増大や、評価後個別に選
択したい回路が複数存在する場合に、評価を要する回路
を搭載することで発生する入出力ピンの増加およびこれ
らを切り替えるための信号入力ピンの増加によるチップ
サイズの増大がなく、また信号ピン配置の変更が無いよ
うに、複数のチップを作成する必要を無くすことがてき
る。
【0035】図5は本発明の他の実施形態を説明するレ
イアウト図である。図1ではボンディング切り替えによ
って搭載回路の切り替えを実現したが、本実施形態は、
ヒューズF1,F2を用いても同様の効果を得ることが
できる回路を構成したものである。これらヒューズの一
方の切断によって、針立て用パッド121〜126に接
続された回路115,116に設けたパワーダウン端子
入力109,110の入力を切り替え、組み立てを行う
際には1回路のみを動作させ、他回路は回路電流が流れ
ない様にすることで組み立て後の半導体集積回路装置上
では、ピンに選択された回路のみが有効となっている様
にしている。
イアウト図である。図1ではボンディング切り替えによ
って搭載回路の切り替えを実現したが、本実施形態は、
ヒューズF1,F2を用いても同様の効果を得ることが
できる回路を構成したものである。これらヒューズの一
方の切断によって、針立て用パッド121〜126に接
続された回路115,116に設けたパワーダウン端子
入力109,110の入力を切り替え、組み立てを行う
際には1回路のみを動作させ、他回路は回路電流が流れ
ない様にすることで組み立て後の半導体集積回路装置上
では、ピンに選択された回路のみが有効となっている様
にしている。
【0036】図において、回路部115,116はボン
ディングパッドに近接するスクライブ線に対して垂直方
向に1.5倍とした領域に配置された6個の針立て用パ
ッド121〜126の針立て用パッド125,126に
それぞれ接続されてる。これら回路部115,116は
それぞれパワーダウン端子109,110を有してお
り、この入力が“Low”のとき回路はアクティブとな
り、“High”のとき回路電流が流れなくなるように
構成されている。
ディングパッドに近接するスクライブ線に対して垂直方
向に1.5倍とした領域に配置された6個の針立て用パ
ッド121〜126の針立て用パッド125,126に
それぞれ接続されてる。これら回路部115,116は
それぞれパワーダウン端子109,110を有してお
り、この入力が“Low”のとき回路はアクティブとな
り、“High”のとき回路電流が流れなくなるように
構成されている。
【0037】回路部115,116のパワーダウン端子
109,110は回路をアクティブ状態とする電源(本
例ではVDD)に高抵抗R7,R10を介して接続する
と共に、回路電流が流れなくなる電源(本例ではGN
D)に針立て用パッド121,122、123,124
間に設けられたヒューズF1,F2と高抵抗R8,R9
を介して接続されている。
109,110は回路をアクティブ状態とする電源(本
例ではVDD)に高抵抗R7,R10を介して接続する
と共に、回路電流が流れなくなる電源(本例ではGN
D)に針立て用パッド121,122、123,124
間に設けられたヒューズF1,F2と高抵抗R8,R9
を介して接続されている。
【0038】この場合、高抵抗R7,R10>>高抵抗
R8,R9となっており、高抵抗R7,R10が50K
オーム程度で、高抵抗R8,R9が5Kオーム程度であ
る。高抵抗R8,R9、高抵抗R7,R10およびヒュ
ーズF1,F2が接続されている状態ではパワーダウン
端子109,110の入力は“Low”となっており、
針立て用パッド125,126に接続されている回路部
115,116はそれぞれアクティブ状態にある。従っ
て、針立て評価を行うときは、針立て用パッド125,
126によってそれぞれの回路115,116を用いて
評価することが可能である。
R8,R9となっており、高抵抗R7,R10が50K
オーム程度で、高抵抗R8,R9が5Kオーム程度であ
る。高抵抗R8,R9、高抵抗R7,R10およびヒュ
ーズF1,F2が接続されている状態ではパワーダウン
端子109,110の入力は“Low”となっており、
針立て用パッド125,126に接続されている回路部
115,116はそれぞれアクティブ状態にある。従っ
て、針立て評価を行うときは、針立て用パッド125,
126によってそれぞれの回路115,116を用いて
評価することが可能である。
【0039】いま、回路115を有効として組み立てを
行おうとするときは、針立て用パッド121,122間
に接続されているヒューズF1を切断し、回路116の
パワーダウン端子110の入力を“High”とするこ
とで、回路116は回路電流が流れない状態となる、ま
た、回路115は前述の通り高抵抗R7>>高抵抗R8
であることからパワーダウン端子109の入力は“Lo
w”となり、回路115はアクティブ状態となっている
ので、針立て用パッド125,126を用いてボンディ
ングを行うことによって、組み立て後の半導体集積回路
上のPINでは回路115のみが有効となる。
行おうとするときは、針立て用パッド121,122間
に接続されているヒューズF1を切断し、回路116の
パワーダウン端子110の入力を“High”とするこ
とで、回路116は回路電流が流れない状態となる、ま
た、回路115は前述の通り高抵抗R7>>高抵抗R8
であることからパワーダウン端子109の入力は“Lo
w”となり、回路115はアクティブ状態となっている
ので、針立て用パッド125,126を用いてボンディ
ングを行うことによって、組み立て後の半導体集積回路
上のPINでは回路115のみが有効となる。
【0040】また、回路116を有効として組み立てを
行おうとするときは、針立て用パッド121,122間
に接続されているヒューズF1を切断し、回路115の
パワーダウン端子110の入力を“High”とするこ
とで、回路115は回路電流が流れない状態となる、ま
た、回路116は前記の通り高抵抗R10>>高抵抗R
9であることからパワーダウン端子110の入力は“L
ow”となり、回路116はアクティブ状態となってい
るので、針立て用パッド125,126を用いてボンデ
ィングを行うことによって、組み立て後の半導体集積回
路装置上のピンでは回路116のみが有効となる。
行おうとするときは、針立て用パッド121,122間
に接続されているヒューズF1を切断し、回路115の
パワーダウン端子110の入力を“High”とするこ
とで、回路115は回路電流が流れない状態となる、ま
た、回路116は前記の通り高抵抗R10>>高抵抗R
9であることからパワーダウン端子110の入力は“L
ow”となり、回路116はアクティブ状態となってい
るので、針立て用パッド125,126を用いてボンデ
ィングを行うことによって、組み立て後の半導体集積回
路装置上のピンでは回路116のみが有効となる。
【0041】すなわち、針立て用パッド121〜124
に接続されているヒューズF1,F2のいずれかを切断
することによって、図1の場合と同様、回路115,1
16を選択し、残りの回路の回路電流が流れないように
することができる。従って、異なる回路115,116
を搭載してもこれらを切り替えるための信号ピンが不要
となるため、個別に切り替えが必要な搭載回路が複数存
在する場合でも、これらを切り替えるための信号ピンを
用意する必要はない。また、組み立て後に必要ない評価
用の端子を他の信号ピンと抱き合わせることにより、こ
れらの信号ピンのボンディングパッドを確保する必要が
なくなるため、半導体集積回路装置の機能に必要な端子
以上のボンディングパッドを配置するために、チップサ
イズを増大させる必要がなくなるという効果がある。
に接続されているヒューズF1,F2のいずれかを切断
することによって、図1の場合と同様、回路115,1
16を選択し、残りの回路の回路電流が流れないように
することができる。従って、異なる回路115,116
を搭載してもこれらを切り替えるための信号ピンが不要
となるため、個別に切り替えが必要な搭載回路が複数存
在する場合でも、これらを切り替えるための信号ピンを
用意する必要はない。また、組み立て後に必要ない評価
用の端子を他の信号ピンと抱き合わせることにより、こ
れらの信号ピンのボンディングパッドを確保する必要が
なくなるため、半導体集積回路装置の機能に必要な端子
以上のボンディングパッドを配置するために、チップサ
イズを増大させる必要がなくなるという効果がある。
【0042】また、ボンディングパッド領域127に接
続する回路を論理もしくは出力レベルが異なる回路とす
ることで、システムの仕様が未定の場合であっても、組
み立て時に選択する回路を変更することで対応が可能と
なる。さらに本実施形態では、いずれの回路を選択した
場合でも、組み立て時のボンディング位置を変更する必
要が無いという効果もある。
続する回路を論理もしくは出力レベルが異なる回路とす
ることで、システムの仕様が未定の場合であっても、組
み立て時に選択する回路を変更することで対応が可能と
なる。さらに本実施形態では、いずれの回路を選択した
場合でも、組み立て時のボンディング位置を変更する必
要が無いという効果もある。
【0043】なお、本実施形態では、ヒューズF1,2
の+側端子をパワーダウン端子109,110の接続し
たが、回路部115,116のパワーダウン端子の論理
を反転したものを用いた場合には、ヒューズF1,2の
−側端子をパワーダウン端子109,110の接続し、
抵抗R7,10の抵抗値を5Kオームとし、抵抗R8,
9の抵抗値を50Kオームと逆にすればよく、また本実
施形態では高抵抗R7,R10>>高抵抗R8,R9と
したが、高抵抗R8,R9>>高抵抗R7,R10であ
ってもヒューズF1,F2の切断を逆にすればよいこと
も明らかであり、これらは設計条件により任意に選択す
ることができる。
の+側端子をパワーダウン端子109,110の接続し
たが、回路部115,116のパワーダウン端子の論理
を反転したものを用いた場合には、ヒューズF1,2の
−側端子をパワーダウン端子109,110の接続し、
抵抗R7,10の抵抗値を5Kオームとし、抵抗R8,
9の抵抗値を50Kオームと逆にすればよく、また本実
施形態では高抵抗R7,R10>>高抵抗R8,R9と
したが、高抵抗R8,R9>>高抵抗R7,R10であ
ってもヒューズF1,F2の切断を逆にすればよいこと
も明らかであり、これらは設計条件により任意に選択す
ることができる。
【0044】さらに、本実施形態では、針立て用パッド
の配置領域を従来のボンディングパッド領域に1.5倍
としたが、これは現状のボンディング装置の精度を考慮
したものであり、高精度のボンディング装置を用いるこ
とによって、針立て用パッドの配置領域がさらに小さく
できることは明らかである。
の配置領域を従来のボンディングパッド領域に1.5倍
としたが、これは現状のボンディング装置の精度を考慮
したものであり、高精度のボンディング装置を用いるこ
とによって、針立て用パッドの配置領域がさらに小さく
できることは明らかである。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
針立て用パッドを配置して組み立て時に回路を選択する
方法は、針立て評価時にしか用いない信号ピンがある場
合のチップサイズの増大や、評価後個別に選択したい回
路が複数存在する場合に、評価を要する回路を搭載する
ことで発生する入出力ピンの増加およびこれらを切り替
えるための信号入力ピンの増加によるチップサイズの増
大や、信号ピン配置の変更が無いように、複数のチップ
を作成する必要を無くすことができる。
針立て用パッドを配置して組み立て時に回路を選択する
方法は、針立て評価時にしか用いない信号ピンがある場
合のチップサイズの増大や、評価後個別に選択したい回
路が複数存在する場合に、評価を要する回路を搭載する
ことで発生する入出力ピンの増加およびこれらを切り替
えるための信号入力ピンの増加によるチップサイズの増
大や、信号ピン配置の変更が無いように、複数のチップ
を作成する必要を無くすことができる。
【0046】従って、針立て評価時にしか用いない信号
ピンが多数必要である場合、または評価後選択したい回
路が複数存在する場合でも、これらを搭載しない場合
と、同様のチップサイズの半導体集積回路装置を1チッ
プに作成すれば良く、さらに、ボンディングパッド領域
に接続する回路を論理もしくは出力レベルが異なる回路
とすることで、システムの仕様が未定の場合であって
も、組み立て時に選択する回路を変更することで対応が
可能となるという効果が得られる。
ピンが多数必要である場合、または評価後選択したい回
路が複数存在する場合でも、これらを搭載しない場合
と、同様のチップサイズの半導体集積回路装置を1チッ
プに作成すれば良く、さらに、ボンディングパッド領域
に接続する回路を論理もしくは出力レベルが異なる回路
とすることで、システムの仕様が未定の場合であって
も、組み立て時に選択する回路を変更することで対応が
可能となるという効果が得られる。
【図1】本発明の第1の実施形態の構成を説明するレイ
アウト図。
アウト図。
【図2】図1の回路に入力部を接続する場合の回路図。
【図3】図1の回路に出力部を接続する場合の回路図。
【図4】図1の回路にオープンドレイン型出力部を接続
する場合の回路図。
する場合の回路図。
【図5】本発明の第2の実施形態の構成を説明するレイ
アウト図。
アウト図。
【図6】従来例のパッドと回路部との接続を説明するレ
イアウト図。
イアウト図。
【図7】従来例の他のパッドと回路部との接続状態を示
すレイアウト図。
すレイアウト図。
101〜105,121〜126 針立て用パッド 106,127,145 ボンディングパッド領域 107,108 EX―NOR 109,110 パワーダウン端子 111〜114,117,118, 入出力端子 115,116 回路部 130 インバータ 131,132,141〜144 パッド 151〜154 入力端子 155〜158 テスト回路 Q1,3,5 PchMOSトランジスタ Q2,4 NchMOSトランジスタ R1〜R10 高抵抗
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G032 AA00 AB00 AE07 AK03 AK11 AK14 AL00 AL05 4M106 AA02 AC02 AC08 AD13 AD14 AD23 AD24 BA01 BA14
Claims (9)
- 【請求項1】 1つのボンディングパッド領域またはこ
のボンディングパッド領域の近傍に、回路テストまたは
回路接続切替用の複数の針立て用パッドを設け、この複
数の針立て用パッドは、複数の第1の針立て用パッド
が、内部回路に接続される複数の回路部の入出力端子の
少くとも1つとそれぞれ接続され、第2の針立て用パッ
ドが、前記複数の回路部のうち1つを選択する回路とし
て接続されたものからなり、前記第1または第2の針立
て用パッドの接・断により選択信号の入力なしに前記複
数の回路部のうち1つを選択できるようにしたことを特
徴とする半導体集積回路装置。 - 【請求項2】 前記請求項1記載の半導体集積回路装置
の回路選択方法において、前記第1または第2の針立て
用パッドを接続または断続することにより、回路選択信
号を入力せずに前記複数の回路部のうち1つを選択する
ことを特徴とする半導体集積回路装置の回路選択方法。 - 【請求項3】 1つのボンディングパッド領域に少くと
も5個の針立て用パッドが設けられ、この5個の針立て
用パッドのうち、4つの第1の針立て用パッドが第1、
第2の回路部の2つの入出力端子とそれぞれ接続され、
第2の針立て用パッドが他に接続されないパッド部から
なり、前記第1、第2の回路部の選択回路が、前記各回
路部の2つの入出力端子からの接続線を入力とし2入力
の一致を検出しこれらが一致した時にその回路部を活性
化する論理回路からなり、前記第2の針立て用パッドと
接続された側の前記第1または第2の回路部が選択され
るようにした請求項1記載の半導体集積回路装置。 - 【請求項4】 論理回路が排他的論理和回路または排他
的論理和否定回路からなる請求項3記載の半導体集積回
路装置。 - 【請求項5】 前記請求項3または4記載の半導体集積
回路装置の回路選択方法において、前記第2の針立て用
パッドと前記第1または第2各回路部の2つの入出力端
子からの接続線と接続した側の第1の針立て用パッドと
をボンディングし、ボンディングされた側の第1または
第2の回路部を選択することを特徴とする半導体集積回
路装置の回路選択方法。 - 【請求項6】 1つのボンディングパッド領域に、2個
の第1の針立て用パッドが設けられ、これら第1の針立
て用パッド近傍にそれぞれ離間してヒューズの両端が接
続された2個づつの第2の針立て用パッドが設けられ、
前記ヒューズの両端に第1、第2の抵抗を接続し、これ
ら第1、第2の抵抗の両端に電圧源を接続し、その抵抗
分割点を前記第1、第2の回路部の選択端子に接続し、
前記ヒューズの接・断により前記第1、第2の回路部を
選択するようにした請求項1記載の半導体集積回路装
置。 - 【請求項7】 高電圧側の第1の抵抗の抵抗値を低電圧
側の第2の抵抗よりも数倍以上大きくし、ヒューズの高
電圧側を各回路部の選択端子に接続した請求項5記載の
半導体集積回路装置。 - 【請求項8】 高電圧側の第1の抵抗の抵抗値を低電圧
側の第2の抵抗より数分の1以下にし、ヒューズの低電
圧側を各回路部の選択端子に接続した請求項5記載の半
導体集積回路装置。 - 【請求項9】 前記請求項6記載の半導体集積回路装置
の回路選択方法において、前記ヒューズの一方を切断
し、前記第1、第2の回路部の一方を選択することを特
徴とする半導体集積回路装置の回路選択方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21308498A JP3179415B2 (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | 半導体集積回路装置およびその回路選択方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000049202A true JP2000049202A (ja) | 2000-02-18 |
JP3179415B2 JP3179415B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=16633297
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP21308498A Expired - Fee Related JP3179415B2 (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | 半導体集積回路装置およびその回路選択方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6717235B2 (en) * | 2001-08-16 | 2004-04-06 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor integrated circuit device having a test path |
JP2011047733A (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-10 | Nec Corp | 劣化検出回路、劣化検出システム及び劣化検出方法 |
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1998
- 1998-07-28 JP JP21308498A patent/JP3179415B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US6717235B2 (en) * | 2001-08-16 | 2004-04-06 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor integrated circuit device having a test path |
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Publication number | Publication date |
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JP3179415B2 (ja) | 2001-06-25 |
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