JP2000049000A5 - 高周波共振装置 - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力供給する高周波電源の発振周波数を負荷インピーダンスに整合させる周波数整合器であって、当該周波数整合器は、前記高周波電源の出力側に設置された反射波パワーメータによって検出される反射波電力が最小となる様に、前記高周波電源の発振周波数を調整し、さらにプラズマ励起前には負荷インピーダンスが最大となる反共振周波数に調整し、プラズマの励起と共に共振周波数に調整する機能を備えていることを特徴とする周波数整合器を備えた高周波共振装置。
【請求項２】
前記高周波共振装置は螺旋共振装置であることを特徴とする請求項１記載の高周波共振装置。

Claims (1)

  1. 電力供給する高周波電源の発振周波数を負荷インピーダンスに整合させる周波数整合器であって、当該周波数整合器は、前記高周波電源の出力側に設置された反射波パワーメータによって検出される反射波電力が最小となる様に、前記高周波電源の発振周波数を調整する機能を備えていることを特徴とする周波数整合器を備えた高周波共振装置。
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