JP4176813B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
2 :高周波電源
3 :周波数整合器
32:演算処理回路
33:D/Aコンバータ
34:電圧制御発振器
35:デジタルI/O
36:周波数発生器
4 :増幅器(RF増幅器)
5 :伝送線路
6 :反射波パワーメータ
7 :位相検出器
8 :進行波パワーメータ
9 :圧力検出手段
Claims (2)
- 誘導性結合によりプラズマを励起する螺旋共振装置に電力供給する高周波電源と、当該高周波電源の発振周波数を負荷インピーダンスに整合させる周波数整合器とを有するプラズマ処理装置であって、
前記周波数整合器は、これに備えられた演算処理回路により、プラズマ励起前には予め設定記憶された周波数であって且つ負荷インピーダンスが最大となる前記螺旋共振装置の反共振周波数に相当する周波数に前記高周波電源の発振周波数を調整し、プラズマの励起と共に前記螺旋共振装置の共振周波数に前記発振周波数を調整する様に構成され、前記演算処理回路は、前記発振周波数を共振周波数に調整するに際し、前記高周波電源の出力側に設置された反射波パワーメータによって反射波電力を検出し、当該反射波電力に相当する共振周波数のずれ分を演算し、前記反射波パワーメータで検出される反射波電力が最小となる様に、前記発振周波数を信号処理によって調整する機能を備えると共に、
プラズマ励起後、予め設定記憶された進行波または反射波電力の許容値と、前記反射波パワーメータにより検知された反射波電力、または進行波パワーメータによって検知された進行は電力を比較し、許容値を超えた場合、高周波電源の異常と判別する機能を備え
ていることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 誘導性結合によりプラズマを励起する螺旋共振装置に電力供給する高周波電源と、当該高周波電源の発振周波数を負荷インピーダンスに整合させる周波数整合器とを有するプラズマ処理装置であって、
前記周波数整合器は、これに備えられた演算処理回路により、プラズマ励起前には予め設定記憶された周波数であって且つ負荷インピーダンスが最大となる前記螺旋共振装置の反共振周波数に相当する周波数に前記高周波電源の発振周波数を調整し、プラズマの励起と共に前記螺旋共振装置の共振周波数に前記発振周波数を調整する様に構成され、前記演算処理回路は、前記発振周波数を共振周波数に調整するに際し、前記高周波電源の出力側に設置された位相検出器によって進行波電力の電圧及び電流の位相差を検出し、当該位相ずれに相当する周波数のずれ分を演算し、前記伝送線路における進行波電力の位相差が0°となる様に、高周波電源の発振周波数を調整する機能を備えていることを特徴とするプラズマ処理装置。
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JP2007139116A JP4176813B2 (ja) | 2007-05-25 | 2007-05-25 | プラズマ処理装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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