JP2009021240A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】周波数整合器の演算処理回路には、記憶部を利用し、供給電力とプラズマの共振周波数の関係データ、および、真空チャンバーの電気的特性と電源側の発振周波数の関係データが予め記憶される。そして、周波数整合器は、高周波電源から高周波電力を供給する際、出力される電力の大きさに応じて真空チャンバーにおける共振周波数が適切な周波数となる様に発振周波数を調整する。
【選択図】図8
Description
2 :高周波電源
3 :周波数整合器
32:演算処理回路
33:D/Aコンバータ
34:電圧制御発振器
35:デジタルI/O
36:周波数発生器
4 :増幅器(RF増幅器)
5 :伝送線路
6 :反射波パワーメータ
7 :位相検出器
8 :進行波パワーメータ
9 :圧力検出手段
Claims (1)
- 誘導性結合によりプラズマを励起する螺旋共振装置に電力供給する高周波電源と、当該高周波電源の発振周波数を負荷インピーダンスに整合させる周波数整合器とを有するプラズマ処理装置であって、前記周波数整合器は、高周波電源から高周波電力を供給する際、出力される電力の大きさに応じて発信周波数を調整することを特徴とするプラズマ処理装置。
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JP2008174723A JP2009021240A (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | プラズマ処理装置 |
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2008
- 2008-07-03 JP JP2008174723A patent/JP2009021240A/ja active Pending
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