JPS6022480A - 表面波モ−タの圧電素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面波モータの圧電素子に関するものである。

〈１〉従来技術の問題点 一般的に、表面波モータを駆動するには数十キロヘルツ
程度の高周波電源を必要とし、その周波数は温湿度等の
環境条件や負荷条件に拘らず高精度の安定性が要求され
ている。なぜならば、表面波モータの固定子は一定の周
波数で共振するものであり、わずかな周波数の違いで全
く振動しなくなるからである。

ところで、高周波電源として用いられ得るものには、自
動式と他励式に大別することが出来る。しかし、上記の
理由などから、自励式および他励式にはつぎの如き欠点
を伴せ有している。

自励型においては、振動帰還型であるので主発振器は必
要とせず、装置や回路は簡潔となり得るが、振動周波数
検出用の素子が別途に必要となる。

他方、他励式に主発振器を必要とするので、装置や回路
が複雑とならざるを得ない。

〈２〉本発明の目的 そこで、本発明は自励型高周波電源において振−周波数
検出素子を別途に取付けることなく、表面波モータの励
振用圧電素子の一部を利用して振動周波数の検出を行い
、この出力を高周波電源に帰還し、発振を行わせること
を目的とするものである。

〈３〉本発明の実施例について 第１図はリング状固定子の斜視図であり、圧電素子４の
上面は励振用の電極２および電極３があり、それらの電
極間に電極１を配置せしめたものである。

２− 弾性体５のわずかな振動が圧電素子４に誘電分極を発生
させ、その両端面に正負の電荷があられれる。この電荷
は電極１上の電圧となって取り出され、自励発振器の入
力側に供給される。

自励発振器はその信号を増幅し、その出力を表面波モー
タの励振用圧電素子の電極２または３に印加される。そ
の結果、圧電素子４Ｆｉひずみを発生し、弾性体５を固
有の振動数で励振することになる。

〈４〉本発明の効果について 本発明は以上説明１−たように励振用圧電素子の一部を
利用して振動周波数の検出を行い、この出力を高周波電
源に帰還し発振を行わせるのであるから、高周波電源が
簡潔となり信頼性も向上する。

また、自動的に共振周波数の高周波が得られるから、温
湿度等の環境条件や負荷条件の変動によって共振周波数
がずれたとしても自動追゛尾可能である。

さらに、振動周波数検出用電極から振動状態をモニター
することもできる。

この結果、簡潔な高周波電源で、かつ自動的に共振周波
数の高周波が得られる等のメリットを有する表面波モー
タを提供することができる。

また、励振用圧電素子の一部を利用している点から、別
途電極を設けるに比べ、余分な費用負担をせずに済むこ
とは容易に推察できる。

以上、数多くの効果を排せ有する本発明は極めて有用と
いうべきものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は表面波モータ固定子の斜視図である。 １・・・振動周波数検出用電極 ２．３　・・・励振用電極 ４・・・圧電素子 ５・・・弾性体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧電素子上の励振用圧電素子の一部を振動検出用の電極
   として利用１．たことを特徴とする表面波モータの圧電
   素子。