JP2000043274A - ノズルプレート及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
るノズルプレート及びその製造方法に関し、インクの噴
射量を高精度に制御できるようにすることを課題とす
る。 【解決手段】インクが噴射される噴射孔部25を有する
ノズル孔23が形成されたプレート本体22と、このプ
レート本体22に被膜形成された撥水膜27とを有し、
インクジェットヘッドに取り付けられるノズルプレート
において、プレート本体22に形成された噴射孔部25
の孔径と、撥水膜27にノズル孔と連通するよう形成さ
れた撥水膜孔28の孔径とを同一径寸法R3とする。
Description
その製造方法に係り、特にインクジェットヘッドに取り
付けられるノズルプレート及びその製造方法に関する。
一般に、インクを噴射して記録用紙に文字記号等の印刷
を行なうインクジェットヘッドは、インクが噴射される
複数のノズル孔が形成されたノズルプレート(金属板)
を有している。
に対し親水性を示すため、噴射時におけるインクの切れ
を良くしヘッド特性を向上させる点より、ノズルプレー
トの表面には撥水膜が形成されている。この撥水膜はイ
ンクの噴射特性に影響を与えるため、撥水膜の形成に際
してはインク噴射特性に適した状態で形成する必要があ
る。
の製造方法の一例を製造手順に沿って示している。尚、
図1及び図2に示す各製造方法は基本的には同一である
ため、先ず図1を用いてノズルプレートの基本的な製造
方法について説明する。図1(A)は、ノズルプレート
1を構成するプレート本体2を示している。このプレー
ト本体2は、例えばステンレス(SUS)よりなり、同
図に示すように、プレート本体2には予め機械加工或い
はエッチング等によりノズル孔3が形成されている。こ
のノズル孔3は、傾斜面を有したテーパ部4と、インク
が外部に噴射される噴射孔部5とにより構成されてい
る。
1(B)に示すように、レジスト材6が充填される(レ
ジスト材配設工程)。この際、レジスト材6はプレート
本体2のテーパ部4から装填される。これにより、ノズ
ル孔3はレジスト材6により埋められた状態となる。レ
ジスト材配設工程を実施することによりレジスト材6が
ノズル孔3内に配設されると、続いて図1(C)に示す
ように、プレート本体2の表面(噴射孔部5が形成され
た側の面)上に撥水膜7が被膜形成される(撥水膜形成
工程)。この撥水膜形成工程では、例えばニッケル等の
金属にフッ素系樹脂材料を分散させた複合メッキや、或
いは撥水性の樹脂材料を薄く塗布する等の方法を用いて
撥水膜7を形成する。
ト本体2との接合性は良好であるが、レジスト材6との
接合性は不良である材質が選定されている。よって、撥
水膜7は、レジスト材6の配設位置を除いた位置に形成
される。即ち、撥水膜7には孔が形成されることとなる
(以下、この孔を撥水膜孔8という)。撥水膜形成工程
を実施することにより撥水膜7が形成されると、続いて
レジスト材6を除去する処理(レジスト材除去工程)が
実施され、これにより、図1(D),(E)に示すプレ
ート本体2に撥水膜7が被膜形成された構成のノズルプ
レート1が完成する。この完成状態において、ノズル孔
3と撥水膜孔8とは連通し、よってインクを噴射するこ
とができる。
配設工程では、レジスト材6をノズル孔3内に配設する
処理が行なわれるが、この際最も良好なレジスト材6の
配設状態は、レジスト材6の先端面とプレート本体2の
表面とが面一となる状態である。この時、ノズル孔3の
噴射孔部5の径寸法と撥水膜孔8の径寸法は同一径寸法
となる。
とプレート本体2の表面とを面一とするのは困難であ
り、図1(B)に示すように、レジスト材6がプレート
本体2の表面からはみ出してしまったり、また図2
(B)に示すように、レジスト材6がプレート本体2の
表面から窪んだ位置までしか装填されない場合が発生す
る。図1(B)に示すように、レジスト材6がプレート
本体2の表面から突出した場合には、撥水膜7に形成さ
れる撥水膜孔8の径寸法R1は、ノズル孔3の噴射孔部
5の径寸法rよりも大きくなってしまう(R1>r)。
一方、図2(B)に示すように、レジスト材6がプレー
ト本体2の表面から窪んだ位置までしか装填されなかっ
た場合には、撥水膜7に形成される撥水膜孔8の径寸法
R2は、ノズル孔3の噴射孔部5の径寸法rよりも大き
くなってしまう(R2<r)。
膜孔8の径寸法R1,R2とが一致しない場合、噴射さ
れるインク量を適正に制御することができなくなってし
まう。以下、この理由について説明する。図3は、撥水
膜孔8の径寸法R1が噴射孔部5の径寸法rよりも大き
い(R1>r)構成において、インク9が噴射される様
子を示している。図3(A)は噴射開始直後の状態を示
し、図3(B)は噴射中の状態を示している。
填されているインクジェットヘッドのインク室(図示せ
ず)は負圧となっており、このインク室と連通したノズ
ル孔3内も負圧となっている。このため、噴射孔部5内
におけるインク9の先端面(以下、これをメニスカス1
1という)は、図3(A)に破線で示すように、表面張
力により湾曲状に窪んだ状態となっている。
た圧電素子(図示せず)が駆動されて、インク室内の体
積が小さくなり、これによりインク9は加圧される。よ
って、ノズル孔3内のインク9は噴射孔部5から外部
(例えば、記録用紙等)に向け付勢された状態となる。
ところが、上記のように撥水膜孔8の径寸法R1が噴射
孔部5の径寸法rよりも大きい(R1>r)と、噴射孔
部5の外周縁部には撥水膜7が配設されていない、即ち
プレート本体2が露出した状態の露出部10が存在して
いる(図1(E)参照)。この露出部10(プレート本
体2)はインク9に対し親水性を有しているため、噴射
孔部5から噴出したインク9は、図3(A)に示すよう
に、先ず露出部10に付着する。
れることにより、図3(B)に示されるように、インク
9は記録用紙等に向け噴射される。この際、インク9が
記録用紙等に向け噴射付勢される力をF1とすると、上
記した露出部10には表面張力によりインク9が噴射さ
れるのを妨げる力F2(以下、この力F2を噴射阻止力
という)が作用する。
噴射阻止力F2も考慮して噴射量制御を行なう必要が生
じる。この噴射阻止力F2は露出部10の面積に相関す
るが、図1(B),(C)を用いて説明したように、露
出部10の面積はレジスト材6の噴射孔部5からのはみ
出し量により決まり、このはみ出し量は予測することは
困難である。
子の駆動制御を行なうのは難しく、図1及び図3に示さ
れる構成のノズルプレート1では、所望する所定噴射量
だけインク9を噴射させることが困難であるという問題
点がある。一方、図4は、撥水膜孔8の径寸法R2が噴
射孔部5の径寸法rよりも小さい(R2<r)構成にお
いて、インク9が噴射される様子を示している。図4
(A)は噴射開始前の状態を示し、図4(B)は噴射開
始直後の状態を示し、更に図4(C)は噴射中の状態を
示している。
寸法rよりも小さい(R2<r)場合は、撥水膜形成工
程において撥水膜7が噴射孔部5内にまで入り込み、内
部延出部12を形成している。よって、インク9のメニ
スカス11は、図4(A)に示すように、内部延出部1
2よりも内側に形成された状態となっている。即ち、メ
ニスカス11はノズルプレート1のインク噴射位置より
図中矢印ΔLだけ内側に位置した状態となっている。
室に配設された圧電素子が駆動されてインク9が加圧さ
れると、前記のようにノズル孔3内のインク9は噴射孔
部5から外部(例えば、記録用紙等)に向け付勢され
る。ところが、上記のように撥水膜孔8の径寸法R2が
噴射孔部5の径寸法rよりも小さい(R2<r)と、イ
ンク9は、先ず図中矢印ΔLで示す部分を進行して図4
(B)に示す状態となり、その後に図4(C)に示すよ
うに外部に向け噴射されることとなる。
図中矢印ΔLで示す部分を進行するのに要するインク量
も考慮して噴射量制御を行なう必要が生じる。この寸法
ΔLは内側延出部12の形成範囲と等価であるため、内
側延出部12の形成範囲が判れば噴射量制御に反映させ
ることが可能である。しかるに、内側延出部12の形成
範囲はレジスト材6の噴射孔部5の先端からの窪み量に
より決まり、この窪み量を予測することは困難である。
に要するインク量を考慮して圧電素子の駆動制御を行な
うのは難しく、図2及び図4に示される構成のノズルプ
レート1においても、所望する所定噴射量だけインク9
を噴射させることが困難であるという問題点がある。本
発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、インクの
噴射量を高精度に制御しうるノズルプレート及びその製
造方法を提供することを目的とする。
る各手段を講じることにより解決することができる。請
求項1記載の発明は、インクが噴射される噴射孔部を有
するノズル孔が形成されたプレート本体と、前記プレー
ト本体に被膜形成された撥水膜とを有し、インクジェッ
トヘッドに取り付けられるノズルプレートにおいて、前
記プレート本体に形成された前記噴射孔部の孔径と、前
記撥水膜に前記ノズル孔と連通するよう形成された撥水
膜孔の孔径とを同一としたことを特徴とするものであ
る。
2記載のノズルプレートにおいて、前記撥水膜を樹脂系
材料により形成したことを特徴とするものである。ま
た、請求項3記載の発明は、インクジェットヘッドに取
り付けられるノズルプレートの製造方法であって、イン
クが噴射される噴射孔部を有するノズル孔が形成された
プレート本体に撥水膜を被膜形成する撥水膜形成工程
と、前記ノズル孔内に入り込んだ前記撥水膜を、前記ノ
ズル孔をマスクとし除去手段により除去し、前記撥水膜
に前記噴射孔部と同一径寸法の撥水膜孔を形成する撥水
膜孔形成工程とを具備することを特徴とするものであ
る。
3記載のノズルプレートの製造方法において、前記除去
手段は、エキシマレーザ装置、または炭酸ガスレーザ装
置、または炭酸ガスパルスレーザ装置、またはウォータ
ジェット装置の内、何れか一の装置であることを特徴と
するものである。
3又は4記載のノズルプレートの製造方法において、前
記撥水膜形成工程を実施する前に、前記プレート本体の
前記噴射孔部が形成された面と反対側の面に保護テープ
を配設する保護テープ配設工程を実施し、前記撥水膜形
成工程において、前記プレート本体を撥水膜材料中に浸
漬することにより前記撥水膜を被膜形成し、前記撥水膜
形成工程の終了後に前記保護テープを除去し、その後に
前記撥水膜孔形成工程を実施することを特徴とするもの
である。
請求項1記載の発明によれば、インクが噴射される噴射
孔部の孔径と、撥水膜に形成された撥水膜孔の孔径とを
同一としたことにより、インク噴射前に形成されるイン
ク先端面(メニスカス)の位置は、常に一定の位置とな
る。具体的には、メニスカスは、ノズル孔内におけるプ
レート本体と撥水膜との界面に形成される。
となることにより、従来のようにメニスカスの位置のバ
ラツキをインク噴射制御において考慮する必要がなくな
り、インク噴射制御を容易に行なうことができる。ま
た、これにより安定したインクの噴射を実現でき、高品
質の印刷処理を行なうことが可能となる。また、請求項
2記載の発明によれば、撥水膜を樹脂系材料により形成
したことにより、樹脂系材料よりなる撥水膜の加工性は
良好であるため、容易に撥水膜孔の孔径とノズル孔の孔
径とを一致させることができる。
膜形成工程においてノズル孔が形成されたプレート本体
に撥水膜を被膜形成し、その後に撥水膜孔形成工程を実
施し、ノズル孔内に入り込んだ撥水膜をノズル孔をマス
クとして除去することにより撥水膜孔を形成する。この
撥水膜孔形成工程では、上記のようにノズル孔をマスク
としてノズル孔内に入り込んだ撥水膜を除去するため、
形成される撥水膜孔の径寸法と噴射孔部の径寸法は同一
径寸法となる。また、従来のレジストを用いた製造方法
に比べ、レジスト処理の条件管理等を必要とせず、よっ
て噴射孔部の径寸法と同一径寸法を有した撥水膜孔を容
易に形成することができる。
手段として、エキシマレーザ装置、または炭酸ガスレー
ザ装置、または炭酸ガスパルスレーザ装置、またはウォ
ータジェット装置の内、何れか一の装置を用いたことに
より、撥水膜の除去はレーザ光或いはウォータジェット
により行なわれるため、機械加工等に比べ、ノズル孔を
マスクとした撥水膜の除去処理を容易かつ正確に行なう
ことができる。
ザ装置を用いた場合には、炭酸ガスパルスレーザ加工時
に発生する熱により撥水膜加工部が溶融し、その後に再
び固まるため、ノズル孔に滑らかな撥水膜が形成され、
よってインク切れ特性を向上させることができる。更
に、請求項5記載の発明によれば、撥水膜形成工程を実
施する前に保護テープ配設工程を実施し、プレート本体
の噴射孔部が形成された面と反対側の面に保護テープを
配設する。これにより、ノズル孔は噴射孔部を除き保護
テープにより塞がれた構成となる。
し、プレート本体を撥水膜材料中に浸漬することにより
前記撥水膜を被膜形成する。この際、上記のようにノズ
ル孔は噴射孔部を除き保護テープにより塞がれているた
め、過剰にノズル孔内に撥水膜が進入することを防止で
きる。この撥水膜形成工程の終了後に保護テープは除去
され、その後に撥水膜孔形成工程を実施することにより
撥水膜孔が形成される。上記のように、保護テープを配
設することにより、ノズル孔内に過剰の撥水膜が進入す
ることを防止しているため、ノズル孔内に進入した撥水
膜を容易に除去することができ、撥水膜孔の形成を効率
的に行なうことができる。
て図面と共に説明する。図5及び図6は、本発明の一実
施例であるノズルプレート20を示している。図5はノ
ズルプレート20を配設したインクジェットヘッド30
を示しており、図6はノズルプレート20の断面(図5
におけるA−A線に沿う断面)を示している。
0はヘッド本体22の前面に配設された板状部材であ
り、その表面には複数のノズル孔23が形成されてい
る。ヘッド本体32は、その内部に図示しないインク室
と圧電素子が配設されており、この圧電素子を駆動する
ことによりインク室内の体積を縮小し、インク室内の充
填されたインク29をノズル孔23から噴射する構成と
されている。
ついて説明する。ノズルプレート20は、大略するとプ
レート本体22と撥水膜27とにより構成されている。
プレート本体22は、例えばステンレス(SUS)より
なる金属版であり、複数のノズル孔23が形成されてい
る。このプレート本体22の内側面22aがヘッド本体
32に接続され、表面22bに撥水膜27が被膜形成さ
れる。
25とを連続的に形成した構成とされている。テーパ部
24の内側面22a側は、ノズルプレート20をヘッド
本体32に取り付けた状態において、前記したヘッド本
体32のインク室に連通するよう構成されている。よっ
て、インク室内のインク29は、このノズル孔23の内
部にも充填される。
向け噴射される小孔であり、インク噴射に適した所定の
径寸法R3を有している。尚、このテーパ部24及び噴
射孔部25を有したノズル孔23は、機械加工或いはエ
ッチング加工等により形成することが可能である。ま
た、プレート本体22自体は、インク29に対して親水
性(濡れやすい性質)を有している。
水性を有する樹脂(例えば、フッ化系樹脂,ポリイミド
系樹脂等)よりなり、プレート本体22の表面22bに
所定の膜厚で形成されている。この撥水膜27は、イン
ク29に対して撥水性を有することにより、噴射時にお
けるインク29の切れを良くし、これによりヘッド特性
を向上させる機能を奏するものである。
る位置には、撥水膜孔28が形成されている。本実施例
では、この撥水膜27に形成された撥水膜孔28の孔径
が、噴射孔部25の孔径と一致するよう構成したことを
特徴とするものである。即ち、撥水膜孔28の孔径と噴
射孔部25の孔径は、共に直径R3となるよう構成され
ている。
部25の孔径を同一としたことにより、インク噴射前に
形成されるインク先端面(メニスカス)の位置を常に一
定位置とすることができ、これにより安定したインクの
噴射を実現することができる。尚、この点についての詳
細は、説明の便宜上後述するものとする。続いて、上記
構成とされたノズルプレート20の製造方法について説
明する。図7は、本発明の一実施例であるノズルプレー
ト20の製造方法を製造手順に沿って示している。
図7に示すプレート本体22を作成する。前記のよう
に、プレート本体22は、例えばステンレス(SUS)
よりなり、機械加工或いはエッチング加工等を用いてテ
ーパ部24及び噴射孔部25を有するノズル孔23を形
成する。上記構成とされたプレート本体22が形成され
ると、続いて図7(B)に示すように、プレート本体2
2の噴射孔部25が形成された表面22aと反対側に位
置する内側面22aに保護テープ26を配設する(保護
テープ配設工程)。
7を形成した後に容易に剥がすことができる構成であれ
ば、その材質は特に限定されるもではない。具体的に
は、剥離可能な接着剤が塗布された樹脂テープの使用が
考えられる。上記のように、保護テープ配設工程におい
て内側面22aに保護テープ26を配設されることによ
り、ノズル孔23は噴射孔部25を除き保護テープ26
により塞がれた構成となる。
撥水膜形成工程が実施される。この撥水膜形成工程で
は、プレート本体22の表面22a(噴射孔部25が形
成されている面)を撥水膜材料が充填された撥水膜材料
槽中に浸漬する。これにより、プレート本体22の表面
22aには撥水膜27が被膜形成される。図7(C)
は、撥水膜27が被膜形成されたプレート本体22を示
している。
25には保護テープ26は配設されておらず、よって外
部に対して開口した状態となっている。よって、プレー
ト本体22の表面22aを撥水膜材料槽中に浸漬した
際、撥水膜材料は噴射孔部25の内部にも進入して撥水
膜27が形成される(以下、この噴射孔部25内に形成
される撥水膜27を孔内延出部33という)。
噴射孔部25を除き保護テープ26により塞がれてい
る。よって、プレート本体22を撥水膜材料槽中に浸漬
した際、ノズル孔23内に存在する空気はその逃げ道が
ないため、ノズル孔23内に撥水膜材料が進行するのを
阻止する機能を奏する。これにより、ノズル孔23内へ
の過剰な撥水膜材料の進入は防止され、よって孔内延出
部33の体積を小さくすることができる。具体的には、
孔内延出部33は噴射孔部25内にのみ存在した構成と
なっている(図7(C)参照)。
護テープ26は除去され、続いて撥水膜孔形成工程が実
施される。この撥水膜孔形成工程では、ノズル孔23内
に入り込んだ孔内延出部33(撥水膜27)をノズル孔
23をマスクとし除去手段により除去する処理を行な
う。この除去手段としては、例えばエキシマレーザ装
置、炭酸ガスレーザ装置、炭酸ガスパルスレーザ装置、
またはウォータジェット装置等を用いることが可能であ
る。尚、本実施例では、除去手段として炭酸ガスパルス
レーザ装置を用いた例について説明する。
レーザ装置は、プレート本体22の内側面22aに向け
レーザ光を照射する構成とされている。この構成とする
ことにより、レーザ光は撥水膜27の全てに照射され
ず、ノズル孔23をマスクとして孔内延出部33にのみ
照射される構成となる。よって、孔内延出部33は除去
され、これにより撥水膜27には噴射孔部25と連通し
た撥水膜孔28が形成される。これにより、図7
(D),(E)に示されるように、ノズルプレート20
が製造される。
際、上記のように炭酸ガスパルスレーザ装置は、ノズル
孔23をマスクとしてノズル孔25内に入り込んだ撥水
膜27(孔内延出部33)を除去する構成とされてい
る。このため、形成される撥水膜孔28の径寸法は、噴
射孔部25の径寸法と同一径寸法R3となる。また、上
記の撥水膜孔28の形成方法によれば、先に図1及び図
2を用いて説明した従来のレジストを用いた製造方法に
比べ、レジスト処理の条件管理等を必要とせず、よって
噴射孔部25の径寸法と同一径寸法を有した撥水膜孔2
8を容易に形成することができる。
いることにより、ノズル孔23内に進入する撥水膜材料
の量は少なくなっている。よって、これによっても撥水
膜孔28の形成の容易化及び効率化を図ることができ
る。また、本実施例では、撥水膜27として樹脂系材料
を選定しているため、炭酸ガスパルスレーザ装置による
撥水膜27(孔内延出部33)の加工性は良好であり、
容易に撥水膜孔28の孔径と噴射孔部25の孔径とを一
致させることができる。
スパルスレーザ装置を用いた例について示したが、除去
手段としてエキシマレーザ装置、炭酸ガスレーザ装置、
ウォータジェット装置等を用いることが可能であり、上
記の何れの装置を用いた場合でも、機械加工等に比べて
撥水膜孔28の形成を容易かつ正確に行なうことができ
る。
炭酸ガスパルスレーザ装置を用いた場合には、炭酸ガス
パルスレーザ加工時に発生する熱により撥水膜加工部が
溶融し、その後に再び固まるため、ノズル孔23に滑ら
かな撥水膜27が形成され、よってインク切れ特性を向
上させることができる。ところで、先に述べたように、
ノズルプレート20に形成される撥水膜孔28の孔径と
噴射孔部25の孔径を同一とすることにより、安定した
インク29の噴射を実現することができる。以下、この
理由について、図8を用いて説明する。
ト20において、インク29が噴射前の状態を示してい
る。このインク29の噴射前状態では、インク29が装
填されているインクジェットヘッド30(図5参照)の
インク室は負圧となっており、このインク室と連通した
ノズル孔23内も負圧となっている。このため、噴射孔
部25内におけるインク29の先端面(メニスカス3
1)は、表面張力により湾曲状に窪んだ状態となってい
る。ここで、メニスカス31の位置に注目すると、本実
施例のように撥水膜孔28の孔径と噴射孔部25の孔径
が同一であると、メニスカス31は、常にノズル孔23
内におけるプレート本体22と撥水膜27との界面に形
成されることとなる。これは、インク29はプレート本
体22の一部である噴射孔部25とは親水性があり、ま
た撥水膜孔28に対しては撥水性があることに起因して
おり、よってメニスカス31は常に両者22,28の界
面に形成されることとなる。
始されると、インク室に配設された圧電素子が駆動され
て、インク室内の体積が小さくなり、これによりインク
29は加圧される。よって、図8(B)に示されるよう
に、ノズル孔23内のインク29は噴射孔部5から外部
(例えば、記録用紙等)に向け噴射付勢される。このイ
ンク噴射の際、上記のように本実施例のノズルプレート
20を用いることによりメニスカス31の位置は常に一
定となり、よって従来のようにメニスカスの位置のバラ
ツキをインク噴射制御において考慮する必要がなくな
る。具体的には、図3を用いて説明した噴射阻止力F2
を考慮して圧電素子の駆動制御を行なう必要はなくな
り、また図4を用い説明した矢印ΔLで示す部分を進行
するのに要するインク量を考慮して圧電素子の駆動制御
を行なう必要はなくなる。
撥水膜孔28の孔径と噴射孔部25の孔径を同一とし、
これによりメニスカス31がノズル孔23内の一定位置
に形成されるよう構成することにより、インク噴射制御
を容易に行なうことが可能となり、またこれにより安定
したインク29の噴射を実現でき、高品質の印刷処理を
行なうことが可能となる。
種々の効果を実現することができる。請求項1記載の発
明によれば、インク噴射前に形成されるインク先端面
(メニスカス)の位置は常に一定の位置となるため、従
来のようにメニスカスの位置のバラツキをインク噴射制
御において考慮する必要がなくなりインク噴射制御を容
易に行なうことができると共に、安定したインクの噴射
を実現できるため高品質の印刷処理を行なうことが可能
となる。
系材料よりなる撥水膜の加工性は良好であるため、容易
に撥水膜孔の孔径とノズル孔の孔径とを一致させること
ができる。また、請求項3記載の発明によれば、噴射孔
部の径寸法と同一径寸法を有した撥水膜孔を容易に形成
することができる。
加工等に比べてノズル孔をマスクとした撥水膜の除去処
理を容易かつ正確に行なうことができる。更に、請求項
5記載の発明によれば、保護テープを配設することによ
り、ノズル孔内に過剰の撥水膜が進入することが防止さ
れ、よってノズル孔内に進入した撥水膜を容易に除去す
ることができ、撥水膜孔の形成を効率的に行なうことが
できる。
説明するための図である(その1)。
説明するための図である(その2)。
の図である(その1)。
の図である(その2)。
たインクジェットヘッドを示す斜視図である。
図である。
方法を製造手順に沿って示す図である。
ク噴射時における作用を説明するための図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 インクが噴射される噴射孔部を有するノ
ズル孔が形成されたプレート本体と、前記プレート本体
に被膜形成された撥水膜とを有し、インクジェットヘッ
ドに取り付けられるノズルプレートにおいて、 前記プレート本体に形成された前記噴射孔部の孔径と、
前記撥水膜に前記ノズル孔と連通するよう形成された撥
水膜孔の孔径とを同一としたことを特徴とするノズルプ
レート。 - 【請求項2】 請求項2記載のノズルプレートにおい
て、 前記撥水膜は、樹脂系材料により形成されていることを
特徴とするノズルプレート。 - 【請求項3】 インクジェットヘッドに取り付けられる
ノズルプレートの製造方法であって、 インクが噴射される噴射孔部を有するノズル孔が形成さ
れたプレート本体に撥水膜を被膜形成する撥水膜形成工
程と、 前記ノズル孔内に入り込んだ前記撥水膜を、前記ノズル
孔をマスクとし除去手段により除去し、前記撥水膜に前
記噴射孔部と同一径寸法の撥水膜孔を形成する撥水膜孔
形成工程と、を具備することを特徴とするノズルプレー
トの製造方法。 - 【請求項4】 請求項3記載のノズルプレートの製造方
法において、 前記除去手段は、エキシマレーザ装置、または炭酸ガス
レーザ装置、または炭酸ガスパルスレーザ装置、または
ウォータジェット装置の内、何れか一の装置であること
を特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 【請求項5】 請求項3又は4記載のノズルプレートの
製造方法において、 前記撥水膜形成工程を実施する前に、前記プレート本体
の前記噴射孔部が形成された面と反対側の面に保護テー
プを配設する保護テープ配設工程を実施し、 前記撥水膜形成工程において、前記プレート本体を撥水
膜材料中に浸漬することにより前記撥水膜を被膜形成
し、 前記撥水膜形成工程の終了後に前記保護テープを除去
し、その後に前記撥水膜孔形成工程を実施することを特
徴とするノズルプレートの製造方法。
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