JP2000036723A

JP2000036723A - 水晶機能素子

Info

Publication number: JP2000036723A
Application number: JP10204116A
Authority: JP
Inventors: Takehiko Uno; 武彦宇野; Satoru Noge; 悟野毛; Yasushige Ueoka; 康茂植岡; Eiji Kamiyama; 栄治神山
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1998-07-17
Filing date: 1998-07-17
Publication date: 2000-02-02

Abstract

(57)【要約】【課題】温度特性及び周波数特性に優れ、しかも、小
型化が可能、設計が容易等の利点を有する水晶機能素子
を提供する。【解決手段】水晶基板１１の複数の領域のそれぞれの
両面に励振用の電極部１２，１３を形成し、これらの電
極部１２，１３に挟まれた領域をそれぞれ励振部３１と
し、水晶基板１１内に、かつ複数の励振部３１，３１，
…それぞれを囲むように、これらの励振部３１，３１，
…の電気軸と反対方向の電気軸を有する軸反転部３２を
形成したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータ等の
情報機器や無線通信機器のフィルタ等に好適に用いら
れ、周囲温度が変動する場合においても安定したフィル
タ周波数が得られ、さらに、小型化が可能な水晶機能素
子に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、複数の波長により構成される電気
信号から所望の波長の電気信号を選択し取り出す際に用
いられる電子部品としては、温度変化に対して安定した
共振周波数が得られる水晶フィルタ（水晶振動子）を複
数個用いて回路を構成したフィルタがある。このフィル
タとしては、水晶フィルタの接続構成の違いにより、対
称格子型フィルタと、ヤーマン型フィルタの２種がよく
知られている。

【０００３】図３は、従来の対称格子型フィルタを示す
回路図であり、インピーダンスがＺ _aの２つの水晶フィ
ルタ１，１を並列に配置し、これらの水晶フィルタ１，
１間にインピーダンスがＺ_bの水晶フィルタ２を配置す
ることにより１つの電気回路を構成したものである。こ
の対称格子型フィルタでは、ＩＮ側から入力する複数の
波長を有する電気信号から所望の波長の電気信号のみを
選択し、ＯＵＴ側に出力する。

【０００４】図４は、従来のヤーマン型フィルタを示す
回路図であり、インピーダンスが異なる（Ｚ_aとＺ_b）２
つの水晶フィルタ３，４を並列に配置し、これらの出力
側に１：−１の共振コイル５を配置することにより１つ
の電気回路を構成したものである。このヤーマン型フィ
ルタにおいても、上述した対称格子型フィルタと同様
に、ＩＮ側から入力する複数の波長を有する電気信号か
ら所望の波長の電気信号のみを選択し、ＯＵＴ側に出力
する。

【０００５】図５は、従来の水晶フィルタとして用いら
れる水晶振動子を示す斜視図であり、図において、符号
１１は電気軸（Ｘ）を有し２５℃における周波数の温度
係数が０であるＡＴカットの水晶基板、１２，１３は水
晶基板１１の両面に形成されたアルミニウム、金等から
なる励振用の電極、１４は電極１２，１３により挟まれ
た箱状の領域である励振部である。この水晶振動子で
は、電極１２，１３間に共振周波数近傍の高周波電圧を
印加することにより、１ｋＨｚ〜１００ＭＨｚ程度の範
囲内の固有の周波数の電気振動を発生させることができ
る。

【０００６】ところで、上述した水晶振動子の共振周波
数は、周囲温度をパラメータとした場合に３次曲線で表
される特性を有するので、温度変動の小さい場合には共
振周波数の変動は問題にならないくらい小さいが、温度
が大きく変動する環境下で用いる場合には、共振周波数
の変動が大きくなり無視することができなくなる。そこ
で、この特性を打ち消すような温度補償電圧を得ること
のできる感温素子、例えば、温度特性が指数関数で表さ
れるサーミスタを用いた温度補償回路と組み合せること
により、その共振周波数を周囲温度に対して略直線状に
変化させた温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）が提供され
ている。

【０００７】なお、一般に、電子デバイス用の結晶中に
双晶が存在すると、デバイスの特性に悪影響を及ぼすた
め、該結晶中には双晶が形成されないことが肝要である
とされており、前記水晶振動子や水晶発振器において
も、振動子として用いられる水晶基板中には双晶のない
ことが当然のこととされている。

【０００８】しかしながら、上述した水晶発振器（ＴＣ
ＸＯ）においては、温度補償回路を構成するために前記
サーミスタの他にいくつかの電子部品が必要になり、用
いる電子部品の点数が増加する分高価格になる、また、
この水晶発振器の回路の調整が複雑になる等、様々な欠
点があった。一方、３次曲線で表される水晶基板の共振
周波数−温度特性は、水晶基板固有の特性であるとされ
ており、水晶基板自体には改善の余地がないものと考え
られていた。

【０００９】一般に、水晶は、５７３℃（Ｔｃ）でα・
β相転移を起こすが、応力等により転移温度が低下し、
Ｔｃより低い温度で電気軸（Ｘ軸）が反転することが知
られている。そこで、本発明者等は、鋭意研究した結
果、水晶基板の表面に金属電極を付着させて熱処理を施
すことにより、この基板の切断方位および金属の種類に
よっては、Ｔｃよりはるかに低い温度で水晶基板の電気
軸が反転すること、及び、水晶基板内に励振部の電気軸
と反対方向の電気軸を有する軸反転部を形成することに
より、周囲温度が変動する場合であっても安定した共振
周波数を得ることができることを見い出し、水晶振動子
およびその製造方法を提案した（特願平９−１０９８９
４号）。

【００１０】図６は、本発明者等が提案した水晶振動子
を示す斜視図であり、図７は図６のＩ−Ｉ線に沿う断面
図である。図において、２１，２２は水晶基板１１内か
つ励振部１４の両側の近傍に形成された、該励振部１４
の電気軸（Ｘ）と反対方向の電気軸（−Ｘ）を有する軸
反転部である。なお、図６及び図７において、Ｗは電極
１２，１３の幅、Ｌは電極１２，１３の長さ、ｄは励振
部１４と軸反転部２１，２２との間隔、ｓは軸反転部２
１，２２の長さ、ｔは水晶基板１１の厚みであり、ｆは
長さ方向の振動変位の振幅分布である。

【００１１】この水晶振動子では、電極１２，１３間に
共振周波数近傍の高周波電圧を印加すると、図７に示す
ような振動変位の振幅分布ｆが得られる。すなわち、電
極１２，１３の質量付加効果に基づくエネルギー閉じ込
め効果により、励振部１４に振動エネルギーの大部分が
集中するが、一部は漏洩し軸反転部２１，２２に達し、
この結果、温度特性が改善される。

【００１２】ここで、この水晶振動子の温度特性につい
て、図８に基づき説明する。図８中、Ａは軸反転部を有
する水晶振動子の最適な特性、Ｂは軸反転部のないＡＴ
カット水晶振動子の特性、ＣはＡＴカット水晶基板のＸ
軸を反転処理した水晶振動子の特性、Ｄは軸反転部を有
する水晶振動子の温度補償の原理を確認するために行っ
た実験の結果である。なお、上記実験（Ｄ）に用いた試
料は、ｔが２０５μｍ、Ｗが５．０ｍｍ、Ｌが２．５ｍ
ｍ、ｓが２．５ｍｍ及びｄが２．０ｍｍのもので、熱処
理条件は、５５０℃で１時間３０分とした。また、測定
に用いた周波数ｆｒは８．０ＭＨｚとした。

【００１３】これより明かなように、ＡＴカット水晶振
動子（Ｂ）の共振周波数は３次曲線で表され、室温付近
では負の温度係数を有する。一方、反転処理した水晶振
動子（Ｃ）では、極めて大きな正の温度係数を有する。
したがって、図６に示すように、振動エネルギーの一部
（振幅分布ｆの裾の部分）を軸反転部２１，２２に漏洩
させることにより、正の温度係数と負の温度係数とが相
殺され、最適な特性（Ａ）が得られる。すなわち、その
温度係数は、約０〜７０℃の温度範囲でほぼ０となり、
７０℃を越えると温度上昇と共に僅かに増加する。

【００１４】このように、振動エネルギーの一部を軸反
転部１１，１２に漏洩させて正の温度係数と負の温度係
数とを相殺することにより、温度特性を補償することが
できる。これにより、周囲温度が変動する場合において
も、温度補償回路等を用いることなく安定した共振周波
数を得ることができる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のフィルタでは、互いに独立した複数個の水晶フィル
タ１，２や水晶フィルタ３，４を外部接続して回路を構
成することにより、対称格子型フィルタやヤーマン型フ
ィルタとしている。そのために、用いる水晶フィルタ
１，２（または水晶フィルタ３，４）の温度特性を合わ
せることが難しく、水晶フィルタ１，２（または水晶フ
ィルタ３，４）を実装する際に、温度補償用回路等を設
けて温度特性を調整する必要があるという問題点があっ
た。

【００１６】また、フィルタ全体をさらに小型化するに
は水晶フィルタ１，２や水晶フィルタ３，４をさらに小
型化する必要があるが、これらの小型化には自ずと限界
があり、さらに小型化することは難しいという問題点が
あった。

【００１７】また、上述した従来のフィルタでは、最良
の周波数特性を得るために水晶フィルタ１，２（または
水晶フィルタ３，４）を実装した後に、別個設けた調整
用回路等を用いて結合度を微調整する必要があり、フィ
ルタの設計が複雑になり、微調整等の調整作業も多く作
業効率を向上させることが難しいという問題点があっ
た。

【００１８】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、温度特性及び周波数特性に優れ、しかも、
小型化が可能、設計が容易等の利点を有する水晶機能素
子を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様な水晶機能素子を提供する。すなわ
ち、請求項１記載の水晶機能素子は、水晶基板の複数の
領域のそれぞれの両面に励振用の電極部を形成し、これ
らの電極部に挟まれた前記複数の領域をそれぞれ励振部
とし、前記水晶基板内に、かつ該複数の励振部それぞれ
を囲むように、これらの励振部の電気軸と反対方向の電
気軸を有する軸反転部を形成してなることを特徴として
いる。

【００２０】請求項２記載の水晶機能素子は、請求項１
記載の水晶機能素子において、前記複数の励振部は、前
記水晶基板の１つの軸方向に沿って配列されていること
を特徴としている。

【００２１】請求項３記載の水晶機能素子は、請求項１
または２記載の水晶機能素子において、前記複数の励振
部それぞれを、互いに独立した通過帯域を有するフィル
タ部としたことを特徴としている。

【００２２】請求項４記載の水晶機能素子は、請求項
１、２または３記載の水晶機能素子において、前記軸反
転部の一部または全部が電極により覆われていることを
特徴としている。

【００２３】請求項５記載の水晶機能素子は、請求項
１、２、３または４記載の水晶機能素子において、前記
軸反転部がアースに接続されていることを特徴としてい
る。

【００２４】請求項６記載の水晶機能素子は、請求項
１、２、３または４記載の水晶機能素子において、互い
に隣接する前記励振部に挟まれる前記軸反転部の領域の
少なくともその一部を除去してなることを特徴としてい
る。

【００２５】本発明の請求項１、２または３記載の水晶
機能素子では、水晶基板内に、かつ複数の励振部それぞ
れを囲むように、これらの励振部の電気軸と反対方向の
電気軸を有する軸反転部を形成したことにより、１つの
水晶基板に、互いに独立した複数の励振部を形成するこ
とが可能になる。これにより、従来では、互いに独立し
た複数の水晶フィルタを外部接続することにより対称格
子型フィルタやヤーマン型フィルタを構成していたもの
を、１つの水晶基板でフィルタを構成することが可能に
なり、小型化及びコストダウンを図ることが可能にな
る。また、複数の励振部それぞれは、軸反転部の閉じ込
め効果により互いに分離されることにより、同一の水晶
基板内で互いに不要な干渉を起こすこと無く動作するこ
とが可能になる。

【００２６】請求項４記載の水晶機能素子では、前記軸
反転部の一部または全部が電極により覆われていること
により、該電極は前記複数の励振部各々に影響を及ぼす
ことなく電磁シールドとして作用する。これにより、隣
接する励振部間の電磁シールドを容易に実現することが
可能になる。

【００２７】請求項５記載の水晶機能素子では、前記軸
反転部をアースに接続したことにより、帯電等により生
じる静電位等の影響が除去され、該水晶機能素子におけ
る電圧のゆらぎ等が無くなり、電圧が安定化する。

【００２８】請求項６記載の水晶機能素子では、互いに
隣接する前記励振部に挟まれる前記軸反転部の領域の少
なくともその一部を除去したことにより、この除去した
部分、すなわちスリットとなる部分の形状を制御するこ
とで、水晶基板の形状の精度の影響を受けること無く、
励振部同士を弾性的に結合する。したがって、このスリ
ット部分の形状を調整することで、これらの励振部同士
の結合度を自由に調整することが可能になり、励振部の
共振特性の設計が容易になる。また、温度特性も向上す
る。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明の各実施形態について、図
面に基づき説明する。（第１の実施形態）図１は本発明の第１の実施形態のモ
ノリシッククリスタルフィルタ（水晶機能素子）（以
下、ＭＣＦと略称する）を示す斜視図であり、図におい
て、ＡＴカットの水晶基板１１に、該水晶基板１１の両
面に形成された電極１２，１３により挟まれＸ軸方向の
電気軸を有する励振部３１が複数個形成され、これら複
数の励振部３１，３１，…は前記水晶基板１１のＺ’軸
方向に沿って配列されている。そして、これらの励振部
３１，３１，…各々を囲むように水晶基板１１内に、こ
れらの励振部３１，３１，…の電気軸（Ｘ）と反対方向
の電気軸（−Ｘ）を有する軸反転部３２が形成されてい
る。

【００３０】この軸反転部３２のうち、互いに隣接する
励振部３１，３１に挟まれる軸反転部の領域の一部が除
去されてスリット部３３とされ、これらの励振部３１，
３１，…は、スリット部３３による干渉を利用すること
により直列に結合され、個々の励振部３１が互いに独立
した通過帯域を有するフィルタとされている。

【００３１】このＭＣＦは、１つの水晶基板１１に、互
いに独立した励振部３１，３１，…を水晶基板１１の
Ｚ’軸方向に沿って配列している。したがって、従来で
は、互いに独立した複数の水晶フィルタを外部接続する
ことによりフィルタを構成していたのに対し、このＭＣ
Ｆでは、１つの水晶基板１１内に複数の励振部３１を形
成することにより、小型化されたフィルタを構成するこ
とが可能になり、小型化及びコストダウンを図ることが
可能になる。

【００３２】また、スリット部３３の形状を制御するこ
とにより、水晶基板１１の形状の精度の影響を受けるこ
と無く、励振部３１，３１同士を弾性的に結合するの
で、このスリット部３３の幅を調整することで励振部３
１，３１間の結合度を自由に調整することが可能にな
り、励振部３１の共振特性の設計が容易になる。また、
温度特性も向上する。

【００３３】このＭＣＦでは、ＩＮ側から入力する複数
の波長を有する電気信号は、励振部３１，３１，…を通
過する間に所望の波長の電気信号のみが選択され、この
選択された波長の電気信号のみがＯＵＴ側から出力す
る。

【００３４】以上説明した様に、本実施形態のＭＣＦに
よれば、水晶基板１１に、励振部３１を複数個形成し、
これら複数の励振部３１，３１，…を前記水晶基板１１
のＺ’軸方向に沿って配列し、これらの励振部３１，３
１，…を囲むように水晶基板１内に、これらの励振部３
１，３１，…の電気軸（Ｘ）と反対方向の電気軸（−
Ｘ）を有する軸反転部３２を形成したので、１つの水晶
基板１１に、互いに独立した複数の励振部３１を形成す
ることができ、１つの水晶基板でフィルタを構成するこ
とができ、小型化及びコストダウンを図ることができ
る。また、励振部３１，３１，…は、軸反転部３２の閉
じ込め効果により互いに分離されるので、同一の水晶基
板１１内で互いに不要な干渉を起こすこと無く動作する
ことができる。

【００３５】また、互いに隣接する励振部３１，３１に
挟まれる軸反転部の領域の一部を除去してスリット部３
３としたので、水晶基板１１の形状の精度の影響を受け
ること無く、励振部３１同士を弾性的に結合することが
できる。したがって、このスリット部３３の幅を調整す
ることで、これらの励振部３１同士の結合度を自由に調
整することができ、励振部３１の共振特性の設計を容易
に行なうことができる。また、温度特性を向上させるこ
ともできる。

【００３６】（第２の実施形態）図２は本発明の第２の
実施形態のヤーマン型フィルタ（水晶機能素子）を示す
斜視図であり、図において、ＡＴカットの水晶基板１１
に、該水晶基板１１の両面に形成された電極１２，１３
により挟まれＸ軸方向の電気軸を有する励振部４１が複
数個（ここでは、２個）形成され、これらの励振部４
１，４１は前記水晶基板１１のＺ’軸方向に沿って配列
されている。そして、これらの励振部４１，４１各々を
囲むように水晶基板１１内に、これらの励振部４１，４
１の電気軸（Ｘ）と反対方向の電気軸（−Ｘ）を有する
軸反転部４２が形成されている。

【００３７】この軸反転部４２の両面には、これをほぼ
覆うように電極４３がそれぞれ形成され、表面側の電極
４３と裏面側の電極（図示せず）はそれぞれアース４４
に接続されている。この軸反転部４２には金属電極４３
を形成しても悪影響が無いので、アース４４に接続して
も何等問題が生じない。

【００３８】このフィルタは、１つの水晶基板１１に、
互いに独立した励振部４１，４１を水晶基板１１のＺ’
軸方向に沿って配列している。したがって、従来では、
互いに独立した複数の水晶フィルタを外部接続すること
によりフィルタを構成していたのに対し、このフィルタ
では、１つの水晶基板１１内に複数の励振部４１を形成
することにより、小型化されたフィルタを構成すること
が可能になり、小型化及びコストダウンを図ることが可
能になる。

【００３９】また、軸反転部４２の両面に、これをほぼ
覆うように電極４３を形成したことにより、電極４３が
複数の励振部４１各々に影響を及ぼすことなく電磁シー
ルドとして作用し、隣接する励振部４１，４１間の電磁
シールドを容易に実現することが可能になる。

【００４０】また、電極４３をアース４４に接続したこ
とにより、帯電等により生じる静電位等の影響を除去す
ることができ、このフィルタにおける電圧のゆらぎ等を
無くすことが可能になり、電圧が安定化する。このフィ
ルタでは、ＩＮ側から入力する複数の波長を有する電気
信号は、励振部４１，４１を通過する間に所望の波長の
電気信号のみが選択され、この選択された波長の電気信
号のみがＯＵＴ側から出力する。

【００４１】以上説明した様に、本実施形態のフィルタ
によれば、水晶基板１１に、励振部４１を複数個形成
し、これらの励振部４１，４１を前記水晶基板１１の
Ｚ’軸方向に沿って配列し、これらの励振部４１，４１
各々を囲むように水晶基板１１内に、これらの励振部４
１，４１の電気軸（Ｘ）と反対方向の電気軸（−Ｘ）を
有する軸反転部４２を形成したので、１つの水晶基板１
１に、互いに独立した複数の励振部４１を形成すること
ができ、１つの水晶基板でフィルタを構成することがで
き、小型化及びコストダウンを図ることができる。ま
た、励振部４１，４１は、軸反転部４２の閉じ込め効果
により互いに分離されるので、同一の水晶基板１１内で
互いに不要な干渉を起こすこと無く動作することができ
る。

【００４２】また、軸反転部４２の両面に、これをほぼ
覆うように電極４３を形成したので、電極４３が複数の
励振部４１各々に影響を及ぼすことなく電磁シールドと
して作用し、隣接する励振部４１，４１間の電磁シール
ドを容易に実現することができる。また、電極４３をア
ース４４に接続したので、帯電等により生じる静電位等
の影響を除去することができ、このフィルタにおける電
圧のゆらぎ等を無くすことができ、したがって、電圧を
安定化することができる。

【００４３】なお、第１及び第２の実施形態のフィルタ
においては、励振部３１（４１）及び軸反転部３２（４
２）やスリット部３３の形状は、上述した形状に限定さ
れること無く、様々な形状のものが実施可能である。

【００４４】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明の請求項１、
２または３記載の水晶機能素子によれば、水晶基板内
に、かつ複数の励振部それぞれを囲むように、これらの
励振部の電気軸と反対方向の電気軸を有する軸反転部を
形成したので、１つの水晶基板に、互いに独立した複数
の励振部を形成することができる。したがって、従来で
は、互いに独立した複数の水晶フィルタを外部接続する
ことにより対称格子型フィルタやヤーマン型フィルタを
構成していたのに対し、このフィルタでは、１つの水晶
基板でフィルタを構成することができ、小型化及びコス
トダウンを図ることができる。また、複数の励振部それ
ぞれは、軸反転部の閉じ込め効果により互いに分離され
るので、同一の水晶基板内で互いに不要な干渉を起こす
こと無く動作することができる。

【００４５】また、請求項４記載の水晶機能素子によれ
ば、前記軸反転部の一部または全部を電極により覆うこ
ととしたので、該電極が前記複数の励振部各々に影響を
及ぼすことなく電磁シールドとして作用し、隣接する励
振部間の電磁シールドを容易に実現することができる。

【００４６】請求項５記載の水晶機能素子によれば、前
記軸反転部をアースに接続したので、帯電等により生じ
る静電位等の影響を除去することができ、その結果、該
水晶機能素子における電圧のゆらぎ等を無くすことがで
き、電圧を安定化することができる。

【００４７】請求項６記載の水晶機能素子によれば、互
いに隣接する前記励振部に挟まれる前記軸反転部の領域
の少なくともその一部を除去したので、この除去した部
分の形状を制御することで、水晶基板の形状の精度の影
響を受けること無く、励振部同士を弾性的に結合するこ
とができる。したがって、この除去した部分の形状を調
整することで、これらの励振部同士の結合度を自由に調
整することができ、励振部の共振特性の設計が容易にな
り、温度特性も向上させることができる。以上により、
温度特性及び周波数特性に優れ、しかも、小型化が可
能、設計が容易等の利点を有する水晶機能素子を提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態のモノリシッククリ
スタルフィルタを示す斜視図である。

【図２】本発明の第２の実施形態のヤーマン型フィル
タを示す斜視図である。

【図３】従来の対称格子型フィルタを示す回路図であ
る。

【図４】従来のヤーマン型フィルタを示す回路図であ
る。

【図５】従来の水晶振動子を示す斜視図である。

【図６】従来の他の水晶振動子を示す斜視図である。

【図７】図６のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。

【図８】従来の他の水晶振動子の共振周波数と温度特
性との関係を示す図である。

【符号の説明】

１〜４水晶フィルタ５共振コイル１１ＡＴカットの水晶基板１２，１３励振用の電極１４励振部２１，２２軸反転部３１励振部３２軸反転部３３スリット部４１励振部４２軸反転部４３電極４４アースＷ電極の幅Ｌ電極の長さｄ励振部と軸反転部との間隔ｓ軸反転部の長さｆ長さ方向の振動変位の振幅分布Ａ水晶振動子の最適な特性ＢＡＴカット水晶振動子の特性Ｃ反転処理した水晶振動子の特性Ｄ温度補償の原理確認実験結果Ｘ電気軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者神山栄治埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地三菱マテリアル株式会社総合研究所内Ｆターム(参考） 5J033 AA04 AA07 BB02 CC04 CC10 CC13 DD02 EE03 FF01 FF07 FF11 JJ01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水晶基板の複数の領域のそれぞれの両面
に励振用の電極部を形成し、これらの電極部に挟まれた
前記複数の領域をそれぞれ励振部とし、前記水晶基板内に、かつ該複数の励振部それぞれを囲む
ように、これらの励振部の電気軸と反対方向の電気軸を
有する軸反転部を形成してなることを特徴とする水晶機
能素子。
【請求項２】前記複数の励振部は、前記水晶基板の１
つの軸方向に沿って配列されていることを特徴とする請
求項１記載の水晶機能素子。
【請求項３】前記複数の励振部それぞれを、互いに独
立した通過帯域を有するフィルタ部としたことを特徴と
する請求項１または２記載の水晶機能素子。
【請求項４】前記軸反転部の一部または全部が電極に
より覆われていることを特徴とする請求項１、２または
３記載の水晶機能素子。
【請求項５】前記軸反転部は、アースに接続されてい
ることを特徴とする請求項１、２、３または４記載の水
晶機能素子。
【請求項６】互いに隣接する前記励振部に挟まれる前
記軸反転部の領域の少なくともその一部を除去してなる
ことを特徴とする請求項１、２、３または４記載の水晶
機能素子。