JP2003249836A - 複合圧電すべり共振子及び圧電共振部品 - Google Patents
複合圧電すべり共振子及び圧電共振部品Info
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- JP2003249836A JP2003249836A JP2002304966A JP2002304966A JP2003249836A JP 2003249836 A JP2003249836 A JP 2003249836A JP 2002304966 A JP2002304966 A JP 2002304966A JP 2002304966 A JP2002304966 A JP 2002304966A JP 2003249836 A JP2003249836 A JP 2003249836A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 周波数変化が小さく安定しており、かつ、比
帯域が大きく安定している複合圧電すべり共振子と、こ
の複合圧電すべり共振子を利用して構成された圧電共振
部品とを提供する。 【解決手段】 本発明に係る複合圧電すべり共振子１
は、振動部材３と、その両側に連結された反射層６，７
と、反射層６，７の振動部材３が連結された側とは反対
側に連結された保持部材８，９とを備えており、振動部
材３と一方側の反射層６との界面から反射層６と保持部
材８との界面までの距離をＬｒ１とし、かつ、振動部材
３と他方側の反射層７との界面から反射層７と保持部材
９との界面までの距離をＬｒ２としたときにおける距離
Ｌｒ１，Ｌｒ２の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜の範囲が、０．
０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦０．
３で表される関係を有していることを特徴とする。
帯域が大きく安定している複合圧電すべり共振子と、こ
の複合圧電すべり共振子を利用して構成された圧電共振
部品とを提供する。 【解決手段】 本発明に係る複合圧電すべり共振子１
は、振動部材３と、その両側に連結された反射層６，７
と、反射層６，７の振動部材３が連結された側とは反対
側に連結された保持部材８，９とを備えており、振動部
材３と一方側の反射層６との界面から反射層６と保持部
材８との界面までの距離をＬｒ１とし、かつ、振動部材
３と他方側の反射層７との界面から反射層７と保持部材
９との界面までの距離をＬｒ２としたときにおける距離
Ｌｒ１，Ｌｒ２の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜の範囲が、０．
０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦０．
３で表される関係を有していることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は複合圧電すべり共振
子及び圧電共振部品に係り、詳しくは、振動部材から反
射層に伝播してきた振動を反射層と保持部材との界面で
反射する構成とされた複合圧電すべり共振子と、この複
合圧電すべり共振子を利用して構成された圧電共振部品
とに関する。
子及び圧電共振部品に係り、詳しくは、振動部材から反
射層に伝播してきた振動を反射層と保持部材との界面で
反射する構成とされた複合圧電すべり共振子と、この複
合圧電すべり共振子を利用して構成された圧電共振部品
とに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電発振子や帯域通過型フィルタ（Ｂ．
Ｐ．Ｆ）などとして使用される圧電すべり共振子のうち
には、ＬｉＴａＯ3 単結晶からなる圧電基板の両主面上
に励振電極が形成されており、共振周波数の近傍に発生
する不要なリップルを抑制するため、励振電極同士が互
いに対向しあって重なりあう長さと圧電基板の厚みとの
関係を適当な範囲内で規制する構成とされたものがある
（例えば、特許文献１参照。）。
Ｐ．Ｆ）などとして使用される圧電すべり共振子のうち
には、ＬｉＴａＯ3 単結晶からなる圧電基板の両主面上
に励振電極が形成されており、共振周波数の近傍に発生
する不要なリップルを抑制するため、励振電極同士が互
いに対向しあって重なりあう長さと圧電基板の厚みとの
関係を適当な範囲内で規制する構成とされたものがある
（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】また、厚みすべりモードを励振する圧電体
の互いに対向しあう主面上に励振電極がそれぞれ形成さ
れており、圧電体の側面である矩形状のずれひずみ面に
おける長辺と短辺の長さ比をポアソン比との関係で規制
する構成とされた圧電共振子もある（例えば、特許文献
２参照。）。そして、このような構成とされた圧電共振
子であれば、特定の長さ比を採用することにより圧電振
動部のエネルギー閉じ込め効率を向上させることが可能
になる。
の互いに対向しあう主面上に励振電極がそれぞれ形成さ
れており、圧電体の側面である矩形状のずれひずみ面に
おける長辺と短辺の長さ比をポアソン比との関係で規制
する構成とされた圧電共振子もある（例えば、特許文献
２参照。）。そして、このような構成とされた圧電共振
子であれば、特定の長さ比を採用することにより圧電振
動部のエネルギー閉じ込め効率を向上させることが可能
になる。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２４３８８９号公報
【特許文献２】特開平７−１４７５２７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した圧
電すべり共振子の各々はいずれもエネルギー閉じ込め型
といわれるものであり、圧電振動部に振動エネルギーを
閉じ込めるエネルギー閉じ込め型の圧電すべり共振子で
ある限りは、その圧電振動部の外側に対して比較的大き
な面積を有する振動減衰部を設けておくことが必要とな
る。従って、これらの圧電すべり共振子においては、そ
の長さ寸法が長くなり、大型化することが避けられない
という不都合が生じる。
電すべり共振子の各々はいずれもエネルギー閉じ込め型
といわれるものであり、圧電振動部に振動エネルギーを
閉じ込めるエネルギー閉じ込め型の圧電すべり共振子で
ある限りは、その圧電振動部の外側に対して比較的大き
な面積を有する振動減衰部を設けておくことが必要とな
る。従って、これらの圧電すべり共振子においては、そ
の長さ寸法が長くなり、大型化することが避けられない
という不都合が生じる。
【０００６】本発明はこれらの不都合に鑑みて創案され
たものであって、振動特性に悪影響を及ぼさない小型化
が可能であると共に、周波数変化が小さくなって安定し
ており、かつ、比帯域が大きくなって安定している複合
圧電すべり共振子と、この複合圧電すべり共振子を利用
して構成された圧電共振部品との提供を目的としてい
る。
たものであって、振動特性に悪影響を及ぼさない小型化
が可能であると共に、周波数変化が小さくなって安定し
ており、かつ、比帯域が大きくなって安定している複合
圧電すべり共振子と、この複合圧電すべり共振子を利用
して構成された圧電共振部品との提供を目的としてい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る複
合圧電すべり共振子は、第１の音響インピーダンス値Ｚ
１を有する材料からなり、すべりモードを励振する圧電
体の対向しあう主面上に励振電極がそれぞれ形成された
振動部材と、第１の音響インピーダンス値Ｚ１よりも低
い第２の音響インピーダンス値Ｚ２を有する材料からな
り、振動部材の両側にそれぞれ連結された反射層と、第
２の音響インピーダンス値Ｚ２よりも高い第３の音響イ
ンピーダンス値Ｚ３を有する材料からなり、反射層の振
動部材が連結された側とは反対側に連結された保持部材
とを備えている。
合圧電すべり共振子は、第１の音響インピーダンス値Ｚ
１を有する材料からなり、すべりモードを励振する圧電
体の対向しあう主面上に励振電極がそれぞれ形成された
振動部材と、第１の音響インピーダンス値Ｚ１よりも低
い第２の音響インピーダンス値Ｚ２を有する材料からな
り、振動部材の両側にそれぞれ連結された反射層と、第
２の音響インピーダンス値Ｚ２よりも高い第３の音響イ
ンピーダンス値Ｚ３を有する材料からなり、反射層の振
動部材が連結された側とは反対側に連結された保持部材
とを備えている。
【０００８】すなわち、この複合圧電すべり共振子は、
振動部材から反射層に伝播してきた振動を反射層と保持
部材との界面で反射する構成とされており、振動部材が
単独で振動する場合の振動の波長をλとしたとき、振動
部材と反射層との界面から反射層と保持部材との界面ま
での距離Ｌｒはｎ・λ／４±λ／８（ｎは奇数）の範囲
内にある。また、この際における振動部材と一方側の反
射層との界面から一方側の反射層と保持部材との界面ま
での距離をＬｒ１とし、かつ、振動部材と他方側の反射
層との界面から他方側の反射層と保持部材との界面まで
の距離をＬｒ２としたとき、これら距離Ｌｒ１，Ｌｒ２
の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜の範囲は ０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦
０．３ で表される関係とされていることを特徴とする。
振動部材から反射層に伝播してきた振動を反射層と保持
部材との界面で反射する構成とされており、振動部材が
単独で振動する場合の振動の波長をλとしたとき、振動
部材と反射層との界面から反射層と保持部材との界面ま
での距離Ｌｒはｎ・λ／４±λ／８（ｎは奇数）の範囲
内にある。また、この際における振動部材と一方側の反
射層との界面から一方側の反射層と保持部材との界面ま
での距離をＬｒ１とし、かつ、振動部材と他方側の反射
層との界面から他方側の反射層と保持部材との界面まで
の距離をＬｒ２としたとき、これら距離Ｌｒ１，Ｌｒ２
の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜の範囲は ０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦
０．３ で表される関係とされていることを特徴とする。
【０００９】請求項２の発明に係る複合圧電すべり共振
子は請求項１に記載したものであって、振動部材と、反
射層と、保持部材とを備え、振動部材から反射層に伝播
してきた振動を反射層と保持部材との界面で反射する構
成とされたものであり、振動部材が単独で振動する場合
の振動の波長をλとしたとき、反射層と保持部材との界
面から保持部材自体の外端面までの距離ｈはｎ・λ／４
±λ／８（ｎは奇数）の範囲内にある。そして、一方側
の反射層と一方側の保持部材との界面から保持部材自体
の外端面までの距離をｈ１とし、かつ、他方側の反射層
と他方側の保持部材との界面から保持部材自体の外端面
までの距離をｈ２としたとき、これら距離ｈ１，ｈ２の
差｜ｈ１−ｈ２｜の範囲は ０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ２） で表される関係とされていることを特徴とする。
子は請求項１に記載したものであって、振動部材と、反
射層と、保持部材とを備え、振動部材から反射層に伝播
してきた振動を反射層と保持部材との界面で反射する構
成とされたものであり、振動部材が単独で振動する場合
の振動の波長をλとしたとき、反射層と保持部材との界
面から保持部材自体の外端面までの距離ｈはｎ・λ／４
±λ／８（ｎは奇数）の範囲内にある。そして、一方側
の反射層と一方側の保持部材との界面から保持部材自体
の外端面までの距離をｈ１とし、かつ、他方側の反射層
と他方側の保持部材との界面から保持部材自体の外端面
までの距離をｈ２としたとき、これら距離ｈ１，ｈ２の
差｜ｈ１−ｈ２｜の範囲は ０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ２） で表される関係とされていることを特徴とする。
【００１０】請求項３の発明に係る複合圧電すべり共振
子は請求項１または請求項２に記載したものであり、保
持部材が振動部材とほぼ同一の厚みＴを有しており、か
つ、反射層と保持部材との界面から保持部材の外端面ま
での距離をｈとしたとき、比ｈ／Ｔの範囲は （１）０．１×α＜ｈ／Ｔ＜０．３×α （２）（０．５＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（０．８
＋１．６×ｎ）×α （３）（１．１＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（１．６
＋１．６×ｎ）×α （但し、音速比αは保持部材の音速Ｃｓを振動部材の音
速Ｃｒで除した値（α＝Ｃｓ／Ｃｒ）であり、ｎは正の
整数である） で表される関係とされていることを特徴とする。
子は請求項１または請求項２に記載したものであり、保
持部材が振動部材とほぼ同一の厚みＴを有しており、か
つ、反射層と保持部材との界面から保持部材の外端面ま
での距離をｈとしたとき、比ｈ／Ｔの範囲は （１）０．１×α＜ｈ／Ｔ＜０．３×α （２）（０．５＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（０．８
＋１．６×ｎ）×α （３）（１．１＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（１．６
＋１．６×ｎ）×α （但し、音速比αは保持部材の音速Ｃｓを振動部材の音
速Ｃｒで除した値（α＝Ｃｓ／Ｃｒ）であり、ｎは正の
整数である） で表される関係とされていることを特徴とする。
【００１１】請求項４の発明に係る複合圧電すべり共振
子は請求項１〜請求項３のいずれかに記載したものであ
り、保持部材に容量を形成していることを特徴とする。
子は請求項１〜請求項３のいずれかに記載したものであ
り、保持部材に容量を形成していることを特徴とする。
【００１２】請求項５の発明に係る圧電共振部品は請求
項１〜請求項４のいずれかに記載の複合圧電すべり共振
子を利用して構成されるものであり、容量を内蔵した基
板上に複合圧電すべり共振子を搭載し、かつ、この複合
圧電すべり共振子を基板上に接合された外装部材で取り
囲んで封止していることを特徴とする。
項１〜請求項４のいずれかに記載の複合圧電すべり共振
子を利用して構成されるものであり、容量を内蔵した基
板上に複合圧電すべり共振子を搭載し、かつ、この複合
圧電すべり共振子を基板上に接合された外装部材で取り
囲んで封止していることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１は実施の形
態１に係る複合圧電すべり共振子の全体構造を簡略化し
て示す斜視図であり、図２はその側面図である。そし
て、図３は複合圧電すべり共振子が備える反射層の長さ
の差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ
２）と共振周波数Ｆｒの変化率ｄＦｒ／Ｆｒとの関係を
示す説明図、図４は｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌ
ｒ２）とスプリアス振動の比帯域幅変化率との関係を示
す説明図であり、図５は複合圧電すべり共振子が備えて
いる保持部材の長さ及び厚みに基づく比ｈ／Ｔと電気機
械結合係数ｋとの関係を示す説明図である。
態１に係る複合圧電すべり共振子の全体構造を簡略化し
て示す斜視図であり、図２はその側面図である。そし
て、図３は複合圧電すべり共振子が備える反射層の長さ
の差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ
２）と共振周波数Ｆｒの変化率ｄＦｒ／Ｆｒとの関係を
示す説明図、図４は｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌ
ｒ２）とスプリアス振動の比帯域幅変化率との関係を示
す説明図であり、図５は複合圧電すべり共振子が備えて
いる保持部材の長さ及び厚みに基づく比ｈ／Ｔと電気機
械結合係数ｋとの関係を示す説明図である。
【００１４】また、図６は音速比αがα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝
√２である場合の比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの関
係を示す説明図、図７は音速比αがα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝１
／√２である場合の比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの
関係を示す説明図であり、図８は保持部材の長さの差に
基づく比｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ２）とスプリアス
振動の比帯域幅変化率との関係を示す説明図である。な
お、図１及び図２中の符号１は、複合圧電すべり共振子
を示している。
√２である場合の比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの関
係を示す説明図、図７は音速比αがα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝１
／√２である場合の比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの
関係を示す説明図であり、図８は保持部材の長さの差に
基づく比｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ２）とスプリアス
振動の比帯域幅変化率との関係を示す説明図である。な
お、図１及び図２中の符号１は、複合圧電すべり共振子
を示している。
【００１５】複合圧電すべり共振子１は、第１の音響イ
ンピーダンス値Ｚ１を有する材料、例えば、３．４×１
０7Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の音響インピーダンス値Ｚ１
を有するチタン酸鉛系セラミックスからなる角柱状の圧
電体２を具備して構成された振動部材３を備えている。
そして、分極方向Ｐが軸心方向（長手方向）と一致する
ようにして分極処理された圧電体２の互いに対向しあう
主面上には、励振電極４，５がそれぞれ形成されてい
る。
ンピーダンス値Ｚ１を有する材料、例えば、３．４×１
０7Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の音響インピーダンス値Ｚ１
を有するチタン酸鉛系セラミックスからなる角柱状の圧
電体２を具備して構成された振動部材３を備えている。
そして、分極方向Ｐが軸心方向（長手方向）と一致する
ようにして分極処理された圧電体２の互いに対向しあう
主面上には、励振電極４，５がそれぞれ形成されてい
る。
【００１６】すなわち、ここでの振動部材３は、すべり
モードを励振する圧電体２の主面上に励振電極４，５が
それぞれ形成されたものであり、圧電体２を挟んで互い
に対向しあう励振電極４，５間に交流電圧が印加される
と、振動部材３は厚みすべり振動モードで振動する。な
お、振動部材３の長さ（距離）はＬｅ、その厚みはＴで
表されている。
モードを励振する圧電体２の主面上に励振電極４，５が
それぞれ形成されたものであり、圧電体２を挟んで互い
に対向しあう励振電極４，５間に交流電圧が印加される
と、振動部材３は厚みすべり振動モードで振動する。な
お、振動部材３の長さ（距離）はＬｅ、その厚みはＴで
表されている。
【００１７】また、振動部材３の軸心方向に沿う両側端
面には、この振動部材３が有する第１の音響インピーダ
ンス値Ｚ１よりも低い第２の音響インピーダンス値Ｚ
２、例えば、１．８７×１０6Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の
音響インピーダンス値Ｚ２を有するエポキシ樹脂などの
ような材料からなる反射層６，７がそれぞれ連結されて
いる。そして、この際における反射層６，７の長さ（距
離）は互いに異なっており、反射層６の長さはＬｒ１、
反射層７の長さはＬｒ２でそれぞれ表されることになっ
ている。
面には、この振動部材３が有する第１の音響インピーダ
ンス値Ｚ１よりも低い第２の音響インピーダンス値Ｚ
２、例えば、１．８７×１０6Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の
音響インピーダンス値Ｚ２を有するエポキシ樹脂などの
ような材料からなる反射層６，７がそれぞれ連結されて
いる。そして、この際における反射層６，７の長さ（距
離）は互いに異なっており、反射層６の長さはＬｒ１、
反射層７の長さはＬｒ２でそれぞれ表されることになっ
ている。
【００１８】すなわち、ここでは、振動部材３と一方側
の反射層６との界面から一方側の反射層６と保持部材８
（後述する）との界面までの距離をＬｒ１とし、かつ、
振動部材３と他方側の反射層７との界面から他方側の反
射層７と保持部材９（後述する）との界面までの距離を
Ｌｒ２としている。なお、Ｌｒ１＝Ｌｒ２であってもよ
いことは、勿論である。
の反射層６との界面から一方側の反射層６と保持部材８
（後述する）との界面までの距離をＬｒ１とし、かつ、
振動部材３と他方側の反射層７との界面から他方側の反
射層７と保持部材９（後述する）との界面までの距離を
Ｌｒ２としている。なお、Ｌｒ１＝Ｌｒ２であってもよ
いことは、勿論である。
【００１９】ところで、振動部材３が単独で振動する場
合の振動の波長をλとしたとき、反射層６及び反射層７
それぞれの長さ、つまり、振動部材３と反射層６，７と
の界面から反射層６，７のそれぞれと各別に連結される
保持部材８，９との界面までの距離Ｌｒは、ｎ・λ／４
±λ／８（ｎは奇数）の範囲内にあるように、好ましく
は、λ／４の近傍にあるようにして設定される。なお、
振動部材３で発生する振動の波長λはλ＝１／ｆ×√
（Ｅ／ρ）で表されることになり、ｆは振動部材３で発
生する振動の周波数、Ｅは保持部材８，９のヤング率、
ρは保持部材８，９の密度である。
合の振動の波長をλとしたとき、反射層６及び反射層７
それぞれの長さ、つまり、振動部材３と反射層６，７と
の界面から反射層６，７のそれぞれと各別に連結される
保持部材８，９との界面までの距離Ｌｒは、ｎ・λ／４
±λ／８（ｎは奇数）の範囲内にあるように、好ましく
は、λ／４の近傍にあるようにして設定される。なお、
振動部材３で発生する振動の波長λはλ＝１／ｆ×√
（Ｅ／ρ）で表されることになり、ｆは振動部材３で発
生する振動の周波数、Ｅは保持部材８，９のヤング率、
ρは保持部材８，９の密度である。
【００２０】さらに、これら反射層６，７それぞれの外
側端面、つまり、振動部材３が連結された側とは反対側
の端面には、第２の音響インピーダンス値Ｚ２よりも高
い第３の音響インピーダンス値Ｚ３、例えば、３．４×
１０7Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の音響インピーダンス値Ｚ
３を有するセラミックス材料からなる保持部材８，９が
連結されている。なお、これらの保持部材８，９は、反
射層６，７と同じく、振動部材３とほぼ同一の厚みＴを
有している。
側端面、つまり、振動部材３が連結された側とは反対側
の端面には、第２の音響インピーダンス値Ｚ２よりも高
い第３の音響インピーダンス値Ｚ３、例えば、３．４×
１０7Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の音響インピーダンス値Ｚ
３を有するセラミックス材料からなる保持部材８，９が
連結されている。なお、これらの保持部材８，９は、反
射層６，７と同じく、振動部材３とほぼ同一の厚みＴを
有している。
【００２１】そして、この際における保持部材８の長
さ、つまり、反射層６と保持部材８との界面から保持部
材８自体の外端面までの距離はｈ１で表される。また、
反射層７と連結された保持部材９の長さ、つまり、反射
層７と保持部材９との界面から保持部材９そのものの外
端面までの距離はｈ２で表される。なお、ｈ１＝ｈ２と
されている場合もあることは、勿論である。
さ、つまり、反射層６と保持部材８との界面から保持部
材８自体の外端面までの距離はｈ１で表される。また、
反射層７と連結された保持部材９の長さ、つまり、反射
層７と保持部材９との界面から保持部材９そのものの外
端面までの距離はｈ２で表される。なお、ｈ１＝ｈ２と
されている場合もあることは、勿論である。
【００２２】この複合圧電すべり共振子１では、反射層
６，７の有している第２の音響インピーダンス値Ｚ２が
振動部材３の有している第１の音響インピーダンス値Ｚ
１及び保持部材８，９の有している第３の音響インピー
ダンス値Ｚ３のいずれよりも低いので、振動部材３から
反射層６，７へと伝播してきた振動は、反射層６，７と
保持部材８，９との界面でそれぞれ反射されてしまう。
そこで、振動部材３の振動特性に何らの悪影響を及ぼす
こともなく、保持部材８，９を介して複合圧電すべり共
振子１を機械的に支持することが可能となる。
６，７の有している第２の音響インピーダンス値Ｚ２が
振動部材３の有している第１の音響インピーダンス値Ｚ
１及び保持部材８，９の有している第３の音響インピー
ダンス値Ｚ３のいずれよりも低いので、振動部材３から
反射層６，７へと伝播してきた振動は、反射層６，７と
保持部材８，９との界面でそれぞれ反射されてしまう。
そこで、振動部材３の振動特性に何らの悪影響を及ぼす
こともなく、保持部材８，９を介して複合圧電すべり共
振子１を機械的に支持することが可能となる。
【００２３】また、このような構成であれば、従来のよ
うに、比較的大きな面積を有する振動減衰部を圧電振動
部の外側に設けておく必要がなくなる。従って、エネル
ギー閉じ込め型のように、その長さ寸法が長くなって大
型化することは起こらず、エネルギー閉じ込め型の圧電
すべり共振子に比して小型化することが可能となる。
うに、比較的大きな面積を有する振動減衰部を圧電振動
部の外側に設けておく必要がなくなる。従って、エネル
ギー閉じ込め型のように、その長さ寸法が長くなって大
型化することは起こらず、エネルギー閉じ込め型の圧電
すべり共振子に比して小型化することが可能となる。
【００２４】ところで、本発明の発明者らが、振動部材
３の両側端面にそれぞれ連結された反射層６，７に着目
し、これら反射層６，７の長さＬｒ１，Ｌｒ２の差に基
づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）と共振
周波数Ｆｒの変化率ｄＦｒ／Ｆｒ（％）との関係を検討
してみたところ、図３で示すような関係にあることが見
いだされた。すなわち、ここでの検討課題は、図２で示
した複合圧電すべり共振子１が備えている左右一対の反
射層６，７における長さＬｒ１，Ｌｒ２の差が共振周波
数Ｆｒに及ぼす影響を調べることにある。
３の両側端面にそれぞれ連結された反射層６，７に着目
し、これら反射層６，７の長さＬｒ１，Ｌｒ２の差に基
づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）と共振
周波数Ｆｒの変化率ｄＦｒ／Ｆｒ（％）との関係を検討
してみたところ、図３で示すような関係にあることが見
いだされた。すなわち、ここでの検討課題は、図２で示
した複合圧電すべり共振子１が備えている左右一対の反
射層６，７における長さＬｒ１，Ｌｒ２の差が共振周波
数Ｆｒに及ぼす影響を調べることにある。
【００２５】図３で示す検討結果によれば、振動部材３
の両側端面に連結されている反射層６，７それぞれの長
さＬｒ１，Ｌｒ２の差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜の
範囲が０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ
２）≦０．３で表される関係にある限り、共振周波数Ｆ
ｒの変化率ｄＦｒ／Ｆｒはほぼ零％であり、共振周波数
Ｆｒは殆ど変化しないことが分かる。ところで、本実施
の形態に係る複合圧電すべり共振子１においては、振動
部材３単独の振動以外に、反射層６，７及び保持部材
８，９が一体となって共振する振動モードが振動部材３
の共振周波数の約２倍となる位置に存在するが、これは
不要なレスポンスであり、このようなレスポンスを弱め
るためには、反射層６，７それぞれの長さを互いに異な
らせることが望ましい。
の両側端面に連結されている反射層６，７それぞれの長
さＬｒ１，Ｌｒ２の差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜の
範囲が０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ
２）≦０．３で表される関係にある限り、共振周波数Ｆ
ｒの変化率ｄＦｒ／Ｆｒはほぼ零％であり、共振周波数
Ｆｒは殆ど変化しないことが分かる。ところで、本実施
の形態に係る複合圧電すべり共振子１においては、振動
部材３単独の振動以外に、反射層６，７及び保持部材
８，９が一体となって共振する振動モードが振動部材３
の共振周波数の約２倍となる位置に存在するが、これは
不要なレスポンスであり、このようなレスポンスを弱め
るためには、反射層６，７それぞれの長さを互いに異な
らせることが望ましい。
【００２６】そして、この際にあっては、反射層６，７
の長さＬｒ１，Ｌｒ２の差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２
｜の範囲を０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋
Ｌｒ２）とすれば、図４で示すように、反射層６，７の
長さＬｒ１，Ｌｒ２の差が大きくなるほど、反射層６，
７及び保持部材８，９の共振に伴って発生するスプリア
ス振動の比帯域幅変化率が低下して好ましい状態とな
る。すなわち、上記した数式で表される関係となる構成
を採用している場合には、複合圧電すべり共振子１にお
ける周波数変化が小さくなって安定化することとなる。
の長さＬｒ１，Ｌｒ２の差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２
｜の範囲を０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋
Ｌｒ２）とすれば、図４で示すように、反射層６，７の
長さＬｒ１，Ｌｒ２の差が大きくなるほど、反射層６，
７及び保持部材８，９の共振に伴って発生するスプリア
ス振動の比帯域幅変化率が低下して好ましい状態とな
る。すなわち、上記した数式で表される関係となる構成
を採用している場合には、複合圧電すべり共振子１にお
ける周波数変化が小さくなって安定化することとなる。
【００２７】また、複合圧電すべり共振子１が備える保
持部材８，９、つまり、反射層６，７の各々に対して連
結され、かつ、厚みがＴとされた保持部材８，９に着目
し、これら保持部材８，９の端部を拘束したうえで長さ
ｈ（＝ｈ１＝ｈ２）を変化させた場合における比ｈ／Ｔ
と電気機械結合係数ｋ（％）との関係を検討してみたと
ころ、図５で示すような検討結果が得られた。なお、こ
こでは、振動部材３の材料における音速がＣｒ、保持部
材８，９の材料における音速がＣｓであり、保持部材
８，９の音速Ｃｓを振動部材３の音速Ｃｒで除して得ら
れる音速比αはα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝１であるとしている。
持部材８，９、つまり、反射層６，７の各々に対して連
結され、かつ、厚みがＴとされた保持部材８，９に着目
し、これら保持部材８，９の端部を拘束したうえで長さ
ｈ（＝ｈ１＝ｈ２）を変化させた場合における比ｈ／Ｔ
と電気機械結合係数ｋ（％）との関係を検討してみたと
ころ、図５で示すような検討結果が得られた。なお、こ
こでは、振動部材３の材料における音速がＣｒ、保持部
材８，９の材料における音速がＣｓであり、保持部材
８，９の音速Ｃｓを振動部材３の音速Ｃｒで除して得ら
れる音速比αはα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝１であるとしている。
【００２８】そして、この際における検討結果によれ
ば、図５で示すように、保持部材８，９の長さｈを変化
させたとしても、電気機械結合係数ｋが極大値を示す３
つの範囲、つまり、ＡからＣまでの範囲が互いに並列す
るように存在していることが明らかとなる。すなわち、
図５中のＡ範囲では０．１＜ｈ／Ｔ＜０．３、Ｂ範囲で
は（０．５＋１．６×ｎ）＜ｈ／Ｔ＜（０．８＋１．６
×ｎ）となり、また、Ｃ範囲では（１．１＋１．６×
ｎ）＜ｈ／Ｔ＜（１．６＋１．６×ｎ）となっているこ
とが分かる。
ば、図５で示すように、保持部材８，９の長さｈを変化
させたとしても、電気機械結合係数ｋが極大値を示す３
つの範囲、つまり、ＡからＣまでの範囲が互いに並列す
るように存在していることが明らかとなる。すなわち、
図５中のＡ範囲では０．１＜ｈ／Ｔ＜０．３、Ｂ範囲で
は（０．５＋１．６×ｎ）＜ｈ／Ｔ＜（０．８＋１．６
×ｎ）となり、また、Ｃ範囲では（１．１＋１．６×
ｎ）＜ｈ／Ｔ＜（１．６＋１．６×ｎ）となっているこ
とが分かる。
【００２９】なお、ここでのｎは振動の波数を意味して
おり、正の整数で表される。また、これらの検討時にあ
ってはｈ１＝ｈ２としているが、保持部材８，９それぞ
れの長さｈ１，ｈ２が等しくない場合（ｈ１≠ｈ２）で
あっても、ｈ１，ｈ２の各々が上記した３つの範囲内に
ある限りは同様の結果が得られることも確認されてい
る。
おり、正の整数で表される。また、これらの検討時にあ
ってはｈ１＝ｈ２としているが、保持部材８，９それぞ
れの長さｈ１，ｈ２が等しくない場合（ｈ１≠ｈ２）で
あっても、ｈ１，ｈ２の各々が上記した３つの範囲内に
ある限りは同様の結果が得られることも確認されてい
る。
【００３０】さらに、本発明の発明者らが検討を重ねて
みたところ、電気機械結合係数ｋが極大値を示す比ｈ／
Ｔの範囲は音速比αに比例することも明らかとなってい
る。すなわち、例えば、音速比αがα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝√
２である場合には図６で示すような検討結果が得られ、
また、α＝Ｃｓ／Ｃｒ＝１／√２である場合には図７で
示すような検討結果が得られている。
みたところ、電気機械結合係数ｋが極大値を示す比ｈ／
Ｔの範囲は音速比αに比例することも明らかとなってい
る。すなわち、例えば、音速比αがα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝√
２である場合には図６で示すような検討結果が得られ、
また、α＝Ｃｓ／Ｃｒ＝１／√２である場合には図７で
示すような検討結果が得られている。
【００３１】そこで、電気機械結合係数ｋが極大値を示
す比ｈ／Ｔの範囲を整理すると、 Ａ範囲 ０．１×α＜ｈ／Ｔ＜０．３×α Ｂ範囲 （０．５＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（０．
８＋１．６×ｎ）×α Ｃ範囲 （１．１＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（１．
６＋１．６×ｎ）×α というように一般化される。従って、電気機械結合係数
ｋが極大値近傍となるよう、複合圧電すべり共振子１が
備えている保持部材８，９の比ｈ／Ｔを設定しておけ
ば、この複合圧電すべり共振子１の有する比帯域は大き
くなって安定する。そして、複合圧電すべり共振子１の
比帯域が大きい場合には、製品品質のばらつきを低減し
得ることとなり、フィルタ特性の向上を実現することが
可能となる。
す比ｈ／Ｔの範囲を整理すると、 Ａ範囲 ０．１×α＜ｈ／Ｔ＜０．３×α Ｂ範囲 （０．５＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（０．
８＋１．６×ｎ）×α Ｃ範囲 （１．１＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（１．
６＋１．６×ｎ）×α というように一般化される。従って、電気機械結合係数
ｋが極大値近傍となるよう、複合圧電すべり共振子１が
備えている保持部材８，９の比ｈ／Ｔを設定しておけ
ば、この複合圧電すべり共振子１の有する比帯域は大き
くなって安定する。そして、複合圧電すべり共振子１の
比帯域が大きい場合には、製品品質のばらつきを低減し
得ることとなり、フィルタ特性の向上を実現することが
可能となる。
【００３２】ところで、本実施の形態にあっては、振動
部材３と、その両側に連結された反射層６，７と、反射
層６，７のそれぞれに連結された保持部材８，９とを複
合圧電すべり共振子１が備えており、振動部材３が単独
で振動する場合の振動の波長をλとしたとき、振動部材
３と反射層６，７との界面から反射層６，７と各保持部
材８，９との界面までの距離Ｌｒはｎ・λ／４±λ／８
（ｎは奇数）の範囲内にあるとしている。また、このと
き、振動部材３と一方側の反射層６との界面から反射層
６と保持部材８との界面までの距離をＬｒ１とし、振動
部材３と他方側の反射層７との界面から反射層７と保持
部材９との界面までの距離をＬｒ２としたとき、これら
距離Ｌｒ１，Ｌｒ２の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜の範囲は、
０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦
０．３で表される関係を有するとしている。
部材３と、その両側に連結された反射層６，７と、反射
層６，７のそれぞれに連結された保持部材８，９とを複
合圧電すべり共振子１が備えており、振動部材３が単独
で振動する場合の振動の波長をλとしたとき、振動部材
３と反射層６，７との界面から反射層６，７と各保持部
材８，９との界面までの距離Ｌｒはｎ・λ／４±λ／８
（ｎは奇数）の範囲内にあるとしている。また、このと
き、振動部材３と一方側の反射層６との界面から反射層
６と保持部材８との界面までの距離をＬｒ１とし、振動
部材３と他方側の反射層７との界面から反射層７と保持
部材９との界面までの距離をＬｒ２としたとき、これら
距離Ｌｒ１，Ｌｒ２の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜の範囲は、
０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦
０．３で表される関係を有するとしている。
【００３３】しかしながら、本実施の形態に係る構成の
みに限定されることはなく、つぎのような構成とされた
複合圧電すべり共振子１を採用することも可能である。
すなわち、本実施の形態に係る複合圧電すべり共振子１
と同様、振動部材３と反射層６，７と保持部材８，９と
が一体的に連結されているものの、振動部材３が単独で
振動する場合の振動の波長をλとしたとき、反射層６，
７と保持部材８，９との界面から保持部材８，９自体の
外端面までの距離ｈがｎ・λ／４±λ／８（ｎは奇数）
の範囲内にあるように、好ましくは、λ／４の近傍にあ
るように設定された複合圧電すべり共振子１である。
みに限定されることはなく、つぎのような構成とされた
複合圧電すべり共振子１を採用することも可能である。
すなわち、本実施の形態に係る複合圧電すべり共振子１
と同様、振動部材３と反射層６，７と保持部材８，９と
が一体的に連結されているものの、振動部材３が単独で
振動する場合の振動の波長をλとしたとき、反射層６，
７と保持部材８，９との界面から保持部材８，９自体の
外端面までの距離ｈがｎ・λ／４±λ／８（ｎは奇数）
の範囲内にあるように、好ましくは、λ／４の近傍にあ
るように設定された複合圧電すべり共振子１である。
【００３４】そして、この複合圧電すべり共振子１で
は、一方側の反射層６と一方側の保持部材８との界面か
ら保持部材８自体の外端面までの長さ、つまり、距離を
ｈ１とし、かつ、他方側の反射層７と他方側の保持部材
９との界面から保持部材９自体の外端面までの距離をｈ
２としたとき、これら距離ｈ１，ｈ２の差｜ｈ１−ｈ２
｜の範囲が、０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ
２）で表される関係を有することとなっており、このよ
うな構成である限り、本実施の形態と同じく、共振周波
数Ｆｒは殆ど変化しない。
は、一方側の反射層６と一方側の保持部材８との界面か
ら保持部材８自体の外端面までの長さ、つまり、距離を
ｈ１とし、かつ、他方側の反射層７と他方側の保持部材
９との界面から保持部材９自体の外端面までの距離をｈ
２としたとき、これら距離ｈ１，ｈ２の差｜ｈ１−ｈ２
｜の範囲が、０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ
２）で表される関係を有することとなっており、このよ
うな構成である限り、本実施の形態と同じく、共振周波
数Ｆｒは殆ど変化しない。
【００３５】なお、このような複合圧電すべり共振子１
であっても、反射層６，７及び保持部材８，９が一体と
なって共振する振動モードが振動部材３の共振周波数の
約２倍となる位置に存在しているので、この不要なレス
ポンスを弱めるため、保持部材８，９それぞれの長さを
互いに異ならせておくことが望ましい。そして、このと
き、保持部材８，９の長さｈ１，ｈ２の差に基づく比｜
ｈ１−ｈ２｜の範囲を０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ
１＋ｈ２）としておけば、図８で示すように、保持部材
８，９の長さｈ１，ｈ２の差が大きくなるほど、反射層
６，７及び保持部材８，９の共振に伴って発生するスプ
リアス振動の比帯域幅変化率が低下し、好ましい状態と
なることが確認されている。
であっても、反射層６，７及び保持部材８，９が一体と
なって共振する振動モードが振動部材３の共振周波数の
約２倍となる位置に存在しているので、この不要なレス
ポンスを弱めるため、保持部材８，９それぞれの長さを
互いに異ならせておくことが望ましい。そして、このと
き、保持部材８，９の長さｈ１，ｈ２の差に基づく比｜
ｈ１−ｈ２｜の範囲を０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ
１＋ｈ２）としておけば、図８で示すように、保持部材
８，９の長さｈ１，ｈ２の差が大きくなるほど、反射層
６，７及び保持部材８，９の共振に伴って発生するスプ
リアス振動の比帯域幅変化率が低下し、好ましい状態と
なることが確認されている。
【００３６】（実施の形態２）図９は実施の形態２に係
る複合圧電すべり共振子の全体構造を簡略化して示す斜
視図、図１０はその等価回路図であり、図１１は変形例
に係る複合圧電すべり共振子の全体構造を簡略化して示
す斜視図、図１２はその等価回路図である。なお、図９
及び図１０における符号１１は複合圧電すべり共振子を
示し、図１１及び図１２における符号２１も複合圧電す
べり共振子を示している。また、これらの図９〜図１２
において、図１〜図８と互いに同一となる部材及び部分
については同一符号を付しており、ここでの詳しい説明
は省略する。
る複合圧電すべり共振子の全体構造を簡略化して示す斜
視図、図１０はその等価回路図であり、図１１は変形例
に係る複合圧電すべり共振子の全体構造を簡略化して示
す斜視図、図１２はその等価回路図である。なお、図９
及び図１０における符号１１は複合圧電すべり共振子を
示し、図１１及び図１２における符号２１も複合圧電す
べり共振子を示している。また、これらの図９〜図１２
において、図１〜図８と互いに同一となる部材及び部分
については同一符号を付しており、ここでの詳しい説明
は省略する。
【００３７】実施の形態２に係る複合圧電すべり共振子
１１は、第１の音響インピーダンス値Ｚ１を有する材
料、例えば、３．４×１０7Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の音
響インピーダンス値Ｚ１を有するチタン酸鉛系セラミッ
クスからなる角柱状の圧電体２と、その軸心方向（長手
方向）に沿う両側端面のそれぞれに連結された左右一対
の反射層６，７と、これら反射層６，７それぞれの外側
端面に連結された左右一対の保持部材８，９とを備えて
いる。そして、分極方向Ｐが軸心方向と一致するように
して分極処理された圧電体２の対向しあう主面上には励
振電極４，５がそれぞれ形成されており、圧電体２の上
側主面上に形成された励振電極４は、圧電体２の右側端
面に連結された反射層７及び保持部材９それぞれの上側
主面上にまで延出されている。
１１は、第１の音響インピーダンス値Ｚ１を有する材
料、例えば、３．４×１０7Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の音
響インピーダンス値Ｚ１を有するチタン酸鉛系セラミッ
クスからなる角柱状の圧電体２と、その軸心方向（長手
方向）に沿う両側端面のそれぞれに連結された左右一対
の反射層６，７と、これら反射層６，７それぞれの外側
端面に連結された左右一対の保持部材８，９とを備えて
いる。そして、分極方向Ｐが軸心方向と一致するように
して分極処理された圧電体２の対向しあう主面上には励
振電極４，５がそれぞれ形成されており、圧電体２の上
側主面上に形成された励振電極４は、圧電体２の右側端
面に連結された反射層７及び保持部材９それぞれの上側
主面上にまで延出されている。
【００３８】また、圧電体２の下側主面上に形成された
励振電極５は、圧電体２の左側端面に連結された反射層
６及び保持部材８の下側主面上にまで延出されている。
さらに、保持部材８の上側主面上と保持部材９の下側主
面上との各々に対しては、端子電極１２，１３がそれぞ
れ形成されている。そこで、この際における一方側の端
子電極１２は保持部材８を介したうえで励振電極５と対
向しあっていることになり、励振電極５と端子電極１２
とで挟まれた保持部材８内には仮想的な容量１４が形成
される。
励振電極５は、圧電体２の左側端面に連結された反射層
６及び保持部材８の下側主面上にまで延出されている。
さらに、保持部材８の上側主面上と保持部材９の下側主
面上との各々に対しては、端子電極１２，１３がそれぞ
れ形成されている。そこで、この際における一方側の端
子電極１２は保持部材８を介したうえで励振電極５と対
向しあっていることになり、励振電極５と端子電極１２
とで挟まれた保持部材８内には仮想的な容量１４が形成
される。
【００３９】さらにまた、他方側の端子電極１３も保持
部材９を介して励振電極４と対向しあっているため、励
振電極４と端子電極１３とで挟まれた保持部材９内にも
容量１５が形成されている。すなわち、実施の形態２に
係る複合圧電すべり共振子１１では、反射層６，７を介
して圧電体２の両側端面に連結された保持部材８，９の
内部に容量１４，１５がそれぞれ形成されており、図１
０の等価回路図で示すような構成、つまり、発振回路で
必要とされる負荷容量１４，１５が振動部材３に内蔵さ
れた回路構成が確保される。その結果、部品点数の削減
を実現し得ることとなる。
部材９を介して励振電極４と対向しあっているため、励
振電極４と端子電極１３とで挟まれた保持部材９内にも
容量１５が形成されている。すなわち、実施の形態２に
係る複合圧電すべり共振子１１では、反射層６，７を介
して圧電体２の両側端面に連結された保持部材８，９の
内部に容量１４，１５がそれぞれ形成されており、図１
０の等価回路図で示すような構成、つまり、発振回路で
必要とされる負荷容量１４，１５が振動部材３に内蔵さ
れた回路構成が確保される。その結果、部品点数の削減
を実現し得ることとなる。
【００４０】なお、複合圧電すべり共振子１１における
圧電体２は、その対向しあう主面上に励振電極４，５が
形成されているため、実施の形態１における振動部材３
として機能する。そこで、励振電極４，５間に交流電圧
が印加されると、振動部材３は厚みすべり振動モードで
振動することとなり、反射層６，７の有する音響インピ
ーダンス値Ｚ２が振動部材３の有する第１の音響インピ
ーダンス値Ｚ１及び保持部材８，９の有する第３の音響
インピーダンス値Ｚ３よりも低いため、振動部材３から
反射層６，７へと伝播してきた振動は反射層６，７及び
保持部材８，９の界面でそれぞれ反射されてしまう。
圧電体２は、その対向しあう主面上に励振電極４，５が
形成されているため、実施の形態１における振動部材３
として機能する。そこで、励振電極４，５間に交流電圧
が印加されると、振動部材３は厚みすべり振動モードで
振動することとなり、反射層６，７の有する音響インピ
ーダンス値Ｚ２が振動部材３の有する第１の音響インピ
ーダンス値Ｚ１及び保持部材８，９の有する第３の音響
インピーダンス値Ｚ３よりも低いため、振動部材３から
反射層６，７へと伝播してきた振動は反射層６，７及び
保持部材８，９の界面でそれぞれ反射されてしまう。
【００４１】ところで、複合圧電すべり共振子１１にお
いては、圧電体２の上側主面上に形成された励振電極４
を反射層７及び保持部材９の上側主面上にまで延出し、
圧電体２の下側主面上に形成された励振電極５を反射層
６及び保持部材８の下側主面上にまで延出すると共に、
保持部材８の上側主面上と保持部材９の下側主面上との
それぞれに対して端子電極１２，１３を形成している。
しかしながら、図１１で変形例として示す複合圧電すべ
り共振子２１のように、端子電極１２，１３を形成する
ことなく、圧電体２の上側主面上に形成された励振電極
４を反射層６，７及び保持部材８の上側主面上にまで延
出し、かつ、圧電体２の下側主面上に形成された励振電
極５を反射層６及び保持部材８の下側主面上にまで延出
した構成であってもよい。
いては、圧電体２の上側主面上に形成された励振電極４
を反射層７及び保持部材９の上側主面上にまで延出し、
圧電体２の下側主面上に形成された励振電極５を反射層
６及び保持部材８の下側主面上にまで延出すると共に、
保持部材８の上側主面上と保持部材９の下側主面上との
それぞれに対して端子電極１２，１３を形成している。
しかしながら、図１１で変形例として示す複合圧電すべ
り共振子２１のように、端子電極１２，１３を形成する
ことなく、圧電体２の上側主面上に形成された励振電極
４を反射層６，７及び保持部材８の上側主面上にまで延
出し、かつ、圧電体２の下側主面上に形成された励振電
極５を反射層６及び保持部材８の下側主面上にまで延出
した構成であってもよい。
【００４２】このような構成を採用している場合には、
励振電極４が保持部材８を介したうえで励振電極５と対
向しあっているため、励振電極４，５によって挟まれた
保持部材８の内部には仮想的な容量２２が形成される。
そこで、変形例に係る複合圧電すべり共振子２１は、図
１２の等価回路図で示すような構成、つまり、振動部材
３と並列に容量２２が内蔵された回路構成であることに
なる。その結果、容量２２を調整するのに伴って振動部
材３の比帯域を変化させることが可能となり、発振周波
数をコントロールし得ることとなる。
励振電極４が保持部材８を介したうえで励振電極５と対
向しあっているため、励振電極４，５によって挟まれた
保持部材８の内部には仮想的な容量２２が形成される。
そこで、変形例に係る複合圧電すべり共振子２１は、図
１２の等価回路図で示すような構成、つまり、振動部材
３と並列に容量２２が内蔵された回路構成であることに
なる。その結果、容量２２を調整するのに伴って振動部
材３の比帯域を変化させることが可能となり、発振周波
数をコントロールし得ることとなる。
【００４３】（実施の形態３）図１３は実施の形態３に
係る圧電共振部品の全体構造を簡略化して示す分解斜視
図であり、図１３における符号３１は圧電共振部品を示
している。すなわち、本実施の形態に係る圧電共振部品
３１は、実施の形態１または実施の形態２に記載した複
合圧電すべり共振子１，１１，２１のいずれかを利用し
て構成されたものである。
係る圧電共振部品の全体構造を簡略化して示す分解斜視
図であり、図１３における符号３１は圧電共振部品を示
している。すなわち、本実施の形態に係る圧電共振部品
３１は、実施の形態１または実施の形態２に記載した複
合圧電すべり共振子１，１１，２１のいずれかを利用し
て構成されたものである。
【００４４】ここでの複合圧電すべり共振子３２は、例
えば、複合圧電すべり共振子１が備える圧電体２の上側
主面上に形成された励振電極４を反射層６及び保持部材
８の上側主面上から外側端面にまで延出しており、か
つ、圧電体２の下側主面上に形成された励振電極５を反
射層７及び保持部材９の下側主面上から外側端面にまで
延出してなる構成を有している。
えば、複合圧電すべり共振子１が備える圧電体２の上側
主面上に形成された励振電極４を反射層６及び保持部材
８の上側主面上から外側端面にまで延出しており、か
つ、圧電体２の下側主面上に形成された励振電極５を反
射層７及び保持部材９の下側主面上から外側端面にまで
延出してなる構成を有している。
【００４５】そして、複合圧電すべり共振子３２は容量
を内蔵した誘電体基板、いわゆるコンデンサ基板３３上
に搭載されており、励振電極４，５のそれぞれはコンデ
ンサ基板３３に形成された入出力電極３４，３５の各々
と半田３６を用いて接合されている。なお、図１３中の
符号３７は、コンデンサ基板３３に形成されたアース電
極を示している。
を内蔵した誘電体基板、いわゆるコンデンサ基板３３上
に搭載されており、励振電極４，５のそれぞれはコンデ
ンサ基板３３に形成された入出力電極３４，３５の各々
と半田３６を用いて接合されている。なお、図１３中の
符号３７は、コンデンサ基板３３に形成されたアース電
極を示している。
【００４６】また、このコンデンサ基板３３上に搭載さ
れた複合圧電すべり共振子３２は、これを取り囲んで配
置される外装部材であるところのキャップ３８、つま
り、アルミニウムやステンレス鋼などの導電性材料を使
用して作製されたキャップ３８が、絶縁性接着剤３９を
介してコンデンサ基板３３上に接合されることによって
封止されている。そこで、複合圧電すべり共振子３２
は、キャップ３８で電磁シールドされていることにな
る。なお、この際、複合圧電すべり共振子３２を封止す
るキャップ３８が、振動を阻害することのない内容積を
有していることは勿論である。
れた複合圧電すべり共振子３２は、これを取り囲んで配
置される外装部材であるところのキャップ３８、つま
り、アルミニウムやステンレス鋼などの導電性材料を使
用して作製されたキャップ３８が、絶縁性接着剤３９を
介してコンデンサ基板３３上に接合されることによって
封止されている。そこで、複合圧電すべり共振子３２
は、キャップ３８で電磁シールドされていることにな
る。なお、この際、複合圧電すべり共振子３２を封止す
るキャップ３８が、振動を阻害することのない内容積を
有していることは勿論である。
【００４７】
【発明の効果】請求項１の発明に係る複合圧電すべり共
振子であれば、反射層の有する第２の音響インピーダン
ス値Ｚ２が振動部材３の有する第１の音響インピーダン
ス値Ｚ１及び保持部材の有する第３の音響インピーダン
ス値Ｚ３のいずれよりも低いので、振動部材から反射層
へと伝播してきた振動は、反射層と保持部材との界面で
それぞれ反射されてしまう。そこで、振動部材の振動特
性に何らの悪影響を及ぼすこともなく、保持部材介して
複合圧電すべり共振子を機械的に支持することが可能と
なり、その全体構成を小型化することができる。
振子であれば、反射層の有する第２の音響インピーダン
ス値Ｚ２が振動部材３の有する第１の音響インピーダン
ス値Ｚ１及び保持部材の有する第３の音響インピーダン
ス値Ｚ３のいずれよりも低いので、振動部材から反射層
へと伝播してきた振動は、反射層と保持部材との界面で
それぞれ反射されてしまう。そこで、振動部材の振動特
性に何らの悪影響を及ぼすこともなく、保持部材介して
複合圧電すべり共振子を機械的に支持することが可能と
なり、その全体構成を小型化することができる。
【００４８】また、請求項１の発明では、振動部材が単
独で振動する場合の振動の波長をλとしたとき、振動部
材と反射層との界面から該反射層と保持部材との界面ま
での距離Ｌｒはｎ・λ／４±λ／８（ｎは奇数）の範囲
内にあり、また、振動部材と一方側の反射層との界面か
ら当該反射層と保持部材との界面までの距離をＬｒ１と
し、かつ、振動部材と他方側の反射層との界面から当該
反射層と保持部材との界面までの距離をＬｒ２としたと
きにおける距離Ｌｒ１，Ｌｒ２の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜
の範囲が、 ０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦
０．３ で表される関係とされている。このような構成である場
合には、共振周波数が殆ど変化しないため、複合圧電す
べり共振子における周波数変化が小さくなって安定する
という効果が得られる。
独で振動する場合の振動の波長をλとしたとき、振動部
材と反射層との界面から該反射層と保持部材との界面ま
での距離Ｌｒはｎ・λ／４±λ／８（ｎは奇数）の範囲
内にあり、また、振動部材と一方側の反射層との界面か
ら当該反射層と保持部材との界面までの距離をＬｒ１と
し、かつ、振動部材と他方側の反射層との界面から当該
反射層と保持部材との界面までの距離をＬｒ２としたと
きにおける距離Ｌｒ１，Ｌｒ２の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜
の範囲が、 ０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦
０．３ で表される関係とされている。このような構成である場
合には、共振周波数が殆ど変化しないため、複合圧電す
べり共振子における周波数変化が小さくなって安定する
という効果が得られる。
【００４９】請求項２の発明に係る複合圧電すべり共振
子では、振動部材が単独で振動する場合の振動の波長を
λとしたとき、反射層と保持部材との界面から該保持部
材自体の外端面までの距離ｈはｎ・λ／４±λ／８（ｎ
は奇数）の範囲内にあり、また、一方側の反射層と一方
側の保持部材との界面から該保持部材自体の外端面まで
の距離をｈ１とし、かつ、他方側の反射層と他方側の保
持部材との界面から該保持部材自体の外端面までの距離
をｈ２としたときにおける距離ｈ１，ｈ２の差｜ｈ１−
ｈ２｜の範囲が、 ０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ２） で表される関係とされている。このような構成であれ
ば、共振周波数が殆ど変化せず、複合圧電すべり共振子
における周波数変化が小さくなって安定するという効果
が得られる。
子では、振動部材が単独で振動する場合の振動の波長を
λとしたとき、反射層と保持部材との界面から該保持部
材自体の外端面までの距離ｈはｎ・λ／４±λ／８（ｎ
は奇数）の範囲内にあり、また、一方側の反射層と一方
側の保持部材との界面から該保持部材自体の外端面まで
の距離をｈ１とし、かつ、他方側の反射層と他方側の保
持部材との界面から該保持部材自体の外端面までの距離
をｈ２としたときにおける距離ｈ１，ｈ２の差｜ｈ１−
ｈ２｜の範囲が、 ０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ２） で表される関係とされている。このような構成であれ
ば、共振周波数が殆ど変化せず、複合圧電すべり共振子
における周波数変化が小さくなって安定するという効果
が得られる。
【００５０】請求項３の発明に係る複合圧電すべり共振
子においては、保持部材が振動部材とほぼ同一の厚みＴ
を有し、かつ、反射層と保持部材との界面から保持部材
の外端面までの距離をｈとしたとき、比ｈ／Ｔの範囲は （１）０．１×α＜ｈ／Ｔ＜０．３×α （２）（０．５＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（０．８
＋１．６×ｎ）×α （３）（１．１＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（１．６
＋１．６×ｎ）×α （但し、音速比αは保持部材の音速Ｃｓを振動部材の音
速Ｃｒで除した値（α＝Ｃｓ／Ｃｒ）であり、ｎは正の
整数である）で表される関係を有している。そこで、電
気機械結合係数ｋが極大値近傍となるよう、複合圧電す
べり共振子が備える保持部材の比ｈ／Ｔを設定しておけ
ば、この複合圧電すべり共振子の比帯域が大きくなって
安定する。その結果、複合圧電すべり共振子における製
品品質のばらつきを低減することが可能となり、フィル
タ特性の向上を実現することができる。
子においては、保持部材が振動部材とほぼ同一の厚みＴ
を有し、かつ、反射層と保持部材との界面から保持部材
の外端面までの距離をｈとしたとき、比ｈ／Ｔの範囲は （１）０．１×α＜ｈ／Ｔ＜０．３×α （２）（０．５＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（０．８
＋１．６×ｎ）×α （３）（１．１＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（１．６
＋１．６×ｎ）×α （但し、音速比αは保持部材の音速Ｃｓを振動部材の音
速Ｃｒで除した値（α＝Ｃｓ／Ｃｒ）であり、ｎは正の
整数である）で表される関係を有している。そこで、電
気機械結合係数ｋが極大値近傍となるよう、複合圧電す
べり共振子が備える保持部材の比ｈ／Ｔを設定しておけ
ば、この複合圧電すべり共振子の比帯域が大きくなって
安定する。その結果、複合圧電すべり共振子における製
品品質のばらつきを低減することが可能となり、フィル
タ特性の向上を実現することができる。
【００５１】請求項４の発明に係る複合圧電すべり共振
子にあっては、その保持部材に容量を形成することが行
われている。従って、この複合圧電すべり共振子は、発
振回路で必要とされる負荷容量が振動部材に内蔵された
回路構成を有していることとになり、その結果として部
品点数の削減を実現し得るという効果が確保される。
子にあっては、その保持部材に容量を形成することが行
われている。従って、この複合圧電すべり共振子は、発
振回路で必要とされる負荷容量が振動部材に内蔵された
回路構成を有していることとになり、その結果として部
品点数の削減を実現し得るという効果が確保される。
【００５２】請求項５の発明に係る圧電共振部品は、容
量を内蔵した基板上に複合圧電すべり共振子を搭載し、
かつ、この複合圧電すべり共振子を基板上に接合された
外装部材で取り囲んで封止していることを特徴とする。
すなわち、このような構成であれば、複合圧電すべり共
振子との電気的な接続不良が生じがたいコンデンサ基板
を備えた圧電共振部品が極めて容易に作製されることに
なり、コンデンサ基板の入出力電極を介したうえでプリ
ント配線基板などへ実装することが効率的に行えるとい
う利点が確保される。
量を内蔵した基板上に複合圧電すべり共振子を搭載し、
かつ、この複合圧電すべり共振子を基板上に接合された
外装部材で取り囲んで封止していることを特徴とする。
すなわち、このような構成であれば、複合圧電すべり共
振子との電気的な接続不良が生じがたいコンデンサ基板
を備えた圧電共振部品が極めて容易に作製されることに
なり、コンデンサ基板の入出力電極を介したうえでプリ
ント配線基板などへ実装することが効率的に行えるとい
う利点が確保される。
【図１】実施の形態１に係る複合圧電すべり共振子の全
体構造を示す斜視図である。
体構造を示す斜視図である。
【図２】その側面図である。
【図３】複合圧電すべり共振子が備える反射層の長さの
差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）
と共振周波数Ｆｒの変化率ｄＦｒ／Ｆｒとの関係を示す
説明図である。
差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）
と共振周波数Ｆｒの変化率ｄＦｒ／Ｆｒとの関係を示す
説明図である。
【図４】反射層の長さの差に基づく比｜Ｌｒ１−Ｌｒ２
｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）とスプリアス振動の比帯域幅変
化率との関係を示す説明図である。
｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）とスプリアス振動の比帯域幅変
化率との関係を示す説明図である。
【図５】複合圧電すべり共振子が備えている保持部材の
長さ及び厚みに基づく比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋと
の関係を示す説明図である。
長さ及び厚みに基づく比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋと
の関係を示す説明図である。
【図６】音速比αがα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝√２である場合の
比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの関係を示す説明図で
ある。
比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの関係を示す説明図で
ある。
【図７】音速比αがα＝Ｃｓ／Ｃｒ＝１／√２である場
合の比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの関係を示す説明
図である。
合の比ｈ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの関係を示す説明
図である。
【図８】保持部材の長さの差に基づく比｜ｈ１−ｈ２｜
／（ｈ１＋ｈ２）とスプリアス振動の比帯域幅変化率と
の関係を示す説明図である。
／（ｈ１＋ｈ２）とスプリアス振動の比帯域幅変化率と
の関係を示す説明図である。
【図９】実施の形態２に係る複合圧電すべり共振子の全
体構造を示す斜視図である。
体構造を示す斜視図である。
【図１０】その等価回路図である。
【図１１】変形例に係る複合圧電すべり共振子の全体構
造を示す斜視図である。
造を示す斜視図である。
【図１２】その等価回路図である。
【図１３】実施の形態３に係る圧電共振部品の全体構造
を簡略化して示す分解斜視図である。
を簡略化して示す分解斜視図である。
１ 複合圧電すべり共振子
３ 振動部材
４ 励振電極
５ 励振電極
６ 反射層
７ 反射層
８ 保持部材
９ 保持部材
１１ 複合圧電すべり共振子
１４ 容量
１５ 容量
２１ 複合圧電すべり共振子
２２ 容量
３１ 圧電共振部品
３２ 複合圧電すべり共振子
３３ コンデンサ基板（容量を内蔵した基板）
Ｚ１ 第１の音響インピーダンス値
Ｚ２ 第２の音響インピーダンス値
Ｚ３ 第３の音響インピーダンス値
Ｌｒ１ 反射層６の長さ（振動部材３と一方側の反射層
６との界面から反射層６と保持部材８との界面までの距
離） Ｌｒ２ 反射層７の長さ（振動部材３と他方側の反射層
７との界面から反射層７と保持部材９との界面までの距
離） ｈ１ 保持部材８の長さ（一方側の反射層６と一方側の
保持部材８との界面から該保持部材８自体の外端面まで
の距離） ｈ２ 保持部材９の長さ（他方側の反射層７と他方側の
保持部材９との界面から該保持部材９自体の外端面まで
の距離） Ｔ 保持部材８，９の厚み
６との界面から反射層６と保持部材８との界面までの距
離） Ｌｒ２ 反射層７の長さ（振動部材３と他方側の反射層
７との界面から反射層７と保持部材９との界面までの距
離） ｈ１ 保持部材８の長さ（一方側の反射層６と一方側の
保持部材８との界面から該保持部材８自体の外端面まで
の距離） ｈ２ 保持部材９の長さ（他方側の反射層７と他方側の
保持部材９との界面から該保持部材９自体の外端面まで
の距離） Ｔ 保持部材８，９の厚み
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5J108 BB04 CC04 CC12 DD02 EE03
EE07 EE18 GG03 GG08 GG15
GG16 JJ02
Claims (5)
- 【請求項１】 第１の音響インピーダンス値Ｚ１を有す
る材料からなり、すべりモードを励振する圧電体の対向
しあう主面上に励振電極がそれぞれ形成された振動部材
と、前記第１の音響インピーダンス値Ｚ１よりも低い第
２の音響インピーダンス値Ｚ２を有する材料からなり、
前記振動部材の両側にそれぞれ連結された反射層と、前
記第２の音響インピーダンス値Ｚ２よりも高い第３の音
響インピーダンス値Ｚ３を有する材料からなり、前記反
射層の振動部材が連結された側とは反対側に連結された
保持部材とを備えており、前記振動部材から前記反射層
に伝播してきた振動を前記反射層と前記保持部材との界
面で反射する構成とされた複合圧電すべり共振子であっ
て、 前記振動部材が単独で振動する場合の振動の波長をλと
したとき、前記振動部材と前記反射層との界面から該反
射層と前記保持部材との界面までの距離Ｌｒはｎ・λ／
４±λ／８（ｎは奇数）の範囲内にあり、また、前記振
動部材と一方側の前記反射層との界面から該反射層と前
記保持部材との界面までの距離をＬｒ１とし、かつ、前
記振動部材と他方側の前記反射層との界面から該反射層
と前記保持部材との界面までの距離をＬｒ２としたと
き、これら距離Ｌｒ１，Ｌｒ２の差｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜
の範囲は ０．０１≦｜Ｌｒ１−Ｌｒ２｜／（Ｌｒ１＋Ｌｒ２）≦
０．３ で表される関係とされていることを特徴とする複合圧電
すべり共振子。 - 【請求項２】 第１の音響インピーダンス値Ｚ１を有す
る材料からなり、すべりモードを励振する圧電体の対向
しあう主面上に励振電極がそれぞれ形成された振動部材
と、前記第１の音響インピーダンス値Ｚ１よりも低い第
２の音響インピーダンス値Ｚ２を有する材料からなり、
前記振動部材の両側にそれぞれ連結された反射層と、前
記第２の音響インピーダンス値Ｚ２よりも高い第３の音
響インピーダンス値Ｚ３を有する材料からなり、前記反
射層の振動部材が連結された側とは反対側に連結された
保持部材とを備えており、前記振動部材から前記反射層
に伝播してきた振動を前記反射層と前記保持部材との界
面で反射する構成とされた複合圧電すべり共振子であっ
て、 前記振動部材が単独で振動する場合の振動の波長をλと
したとき、前記反射層と前記保持部材との界面から該保
持部材自体の外端面までの距離ｈはｎ・λ／４±λ／８
（ｎは奇数）の範囲内にあり、また、一方側の前記反射
層と一方側の前記保持部材との界面から該保持部材自体
の外端面までの距離をｈ１とし、かつ、他方側の前記反
射層と他方側の前記保持部材との界面から該保持部材自
体の外端面までの距離をｈ２としたとき、これら距離ｈ
１，ｈ２の差｜ｈ１−ｈ２｜の範囲は ０．０１≦｜ｈ１−ｈ２｜／（ｈ１＋ｈ２） で表される関係とされていることを特徴とする請求項１
に記載の複合圧電すべり共振子。 - 【請求項３】 前記保持部材が前記振動部材とほぼ同一
の厚みＴを有しており、かつ、前記反射層と前記保持部
材との界面から該保持部材の外端面までの距離をｈとし
たとき、比ｈ／Ｔの範囲は （１）０．１×α＜ｈ／Ｔ＜０．３×α （２）（０．５＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（０．８
＋１．６×ｎ）×α （３）（１．１＋１．６×ｎ）×α＜ｈ／Ｔ＜（１．６
＋１．６×ｎ）×α （但し、音速比αは保持部材の音速Ｃｓを振動部材の音
速Ｃｒで除した値（α＝Ｃｓ／Ｃｒ）であり、ｎは正の
整数である） で表される関係とされていることを特徴とする請求項１
または請求項２に記載の複合圧電すべり共振子。 - 【請求項４】 保持部材に容量を形成していることを特
徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の複合圧
電すべり共振子。 - 【請求項５】 請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
複合圧電すべり共振子を利用して構成される圧電共振部
品であって、 容量を内蔵した基板上に複合圧電すべり共振子を搭載
し、かつ、該複合圧電すべり共振子を前記基板上に接合
された外装部材で取り囲んで封止していることを特徴と
する圧電共振部品。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002304966A JP3864887B2 (ja) | 2001-12-18 | 2002-10-18 | 複合圧電すべり共振子及び圧電共振部品 |
| US10/307,289 US6967432B2 (en) | 2001-12-04 | 2002-12-02 | Piezoelectric shear resonator, composite piezoelectric shear resonator, and piezoelectric resonator component |
| CN02154826.9A CN1237713C (zh) | 2001-12-04 | 2002-12-02 | 压电滑动共振子、复合压电滑动共振子以及压电共振零件 |
| DE10256708A DE10256708B4 (de) | 2001-12-04 | 2002-12-04 | Piezoelektrischer Scherresonator und zusammengesetzter piezoelektrischer Scherresonator |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-384444 | 2001-12-18 | ||
| JP2001384444 | 2001-12-18 | ||
| JP2002304966A JP3864887B2 (ja) | 2001-12-18 | 2002-10-18 | 複合圧電すべり共振子及び圧電共振部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003249836A true JP2003249836A (ja) | 2003-09-05 |
| JP3864887B2 JP3864887B2 (ja) | 2007-01-10 |
Family
ID=28676816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002304966A Expired - Fee Related JP3864887B2 (ja) | 2001-12-04 | 2002-10-18 | 複合圧電すべり共振子及び圧電共振部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3864887B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007091376A1 (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電振動子 |
| WO2007091433A1 (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電振動子 |
| JP2014143531A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Kyocera Corp | 圧電部品 |
-
2002
- 2002-10-18 JP JP2002304966A patent/JP3864887B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007091376A1 (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電振動子 |
| WO2007091433A1 (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電振動子 |
| GB2447192A (en) * | 2006-02-08 | 2008-09-03 | Murata Manufacturing Co | Piezoelectric vibrator |
| JPWO2007091433A1 (ja) * | 2006-02-08 | 2009-07-02 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子 |
| US7583007B2 (en) | 2006-02-08 | 2009-09-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibrator |
| GB2447192B (en) * | 2006-02-08 | 2011-02-02 | Murata Manufacturing Co | Piezoelectric vibrator |
| JP4811411B2 (ja) * | 2006-02-08 | 2011-11-09 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子 |
| JP2014143531A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Kyocera Corp | 圧電部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3864887B2 (ja) | 2007-01-10 |
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