JP2000035382A - Gas-analyzing device - Google Patents
Gas-analyzing deviceInfo
- Publication number
- JP2000035382A JP2000035382A JP20401998A JP20401998A JP2000035382A JP 2000035382 A JP2000035382 A JP 2000035382A JP 20401998 A JP20401998 A JP 20401998A JP 20401998 A JP20401998 A JP 20401998A JP 2000035382 A JP2000035382 A JP 2000035382A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- humidifier
- water
- calibration
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ガス分析装置の
校正手段の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a calibration means of a gas analyzer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、自動車の排ガスを測定する赤外
線ガス分析計を校正する場合、前記ガス分析計が、排ガ
ス中に含まれている水分の干渉を受けるので、この干渉
を補正するために、所定量の飽和水蒸気を含有させた校
正ガス，すなわちゼロガスおよびスパンガスを擬似的に
発生させ、この校正ガスを前記ガス分析計に供給してい
る。また、ガス分析計に供給されるゼロガスとスパンガ
スとの水分含有率が異なると、その差が校正結果に悪影
響を与えるため、ゼロガスおよびスパンガスに対して予
め除湿処理を施すことによって、両者夫々の含有水分量
ならびに両者の間の水分含有率の差を可及的に小さく調
整しておくという配慮がなされている。2. Description of the Related Art For example, when calibrating an infrared gas analyzer for measuring exhaust gas from automobiles, the gas analyzer receives interference of moisture contained in exhaust gas. A calibration gas containing a predetermined amount of saturated water vapor, ie, a zero gas and a span gas, is generated in a pseudo manner, and the calibration gas is supplied to the gas analyzer. Also, if the moisture content of the zero gas and the span gas supplied to the gas analyzer are different, the difference will adversely affect the calibration result. Care has been taken to keep the water content and the difference in water content between the two as small as possible.
【０００３】そして、従来の低濃度赤外線ガス分析装置
の校正時のフローは、例えば図５に示すような構成にな
っている。同図において、１は校正ガス供給路であり、
その上流端が２つに分岐され、一方が常閉型の二方電磁
弁２を介してゼロガス源３に接続され、他方が常閉型の
二方電磁弁４を介してスパンガス源５に接続されてい
る。６は校正ガス供給路１の下流側に設けられた加湿装
置であり、水７を収容したバブラータンク８から構成さ
れている。９，１０，１１は加湿装置６の下流側に設け
られた除湿器，ニードル弁およびガス分析計である。[0003] The flow of calibration of a conventional low-concentration infrared gas analyzer is, for example, as shown in FIG. In the figure, 1 is a calibration gas supply path,
The upstream end is branched into two, one is connected to a zero gas source 3 via a normally closed two-way solenoid valve 2, and the other is connected to a span gas source 5 via a normally closed two-way solenoid valve 4. Have been. Reference numeral 6 denotes a humidifier provided on the downstream side of the calibration gas supply path 1, and is constituted by a bubbler tank 8 containing water 7. Reference numerals 9, 10 and 11 denote a dehumidifier, a needle valve and a gas analyzer provided on the downstream side of the humidifier 6.
【０００４】つぎに校正方法について説明する。まず、
ガス分析計１１をゼロ校正する場合、二方電磁弁２をオ
ンし、ゼロガス源３からゼロガスＺを校正ガス供給路１
に導入し、加湿装置６において、バブラータンク８の水
７中にゼロガスＺを通して加湿し、ついで除湿器９によ
りそのゼロガスＺの除湿処理を施し、除湿されたゼロガ
スをニードル弁１０により一定量に調整し、ガス分析計
１１に供給する。つぎにスパン校正する場合、二方電磁
弁４をオンし、スパンガス源５からスパンガスＳを校正
ガス供給路１に導入し、前記と同様、加湿装置６により
スパンガスＳを加湿し、除湿器９によりそのスパンガス
Ｓの除湿処理を施し、除湿されたスパンガスをニードル
弁１０を介してガス分析計１１に供給する。Next, a calibration method will be described. First,
When the gas analyzer 11 is zero-calibrated, the two-way solenoid valve 2 is turned on, and the zero gas Z is supplied from the zero gas source 3 to the calibration gas supply path 1.
In the humidifier 6, the zero gas Z is humidified in the water 7 of the bubbler tank 8 through the zero gas Z, and then the zero gas Z is dehumidified by the dehumidifier 9, and the dehumidified zero gas is adjusted to a constant amount by the needle valve 10. Then, the gas is supplied to the gas analyzer 11. Next, when performing span calibration, the two-way solenoid valve 4 is turned on, the span gas S is introduced from the span gas source 5 into the calibration gas supply path 1, the span gas S is humidified by the humidifier 6, and the The span gas S is subjected to a dehumidification process, and the dehumidified span gas is supplied to the gas analyzer 11 via the needle valve 10.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】前記ガス分析装置の場
合、加湿装置６において、バブラータンク８の水７中に
校正ガスを通して加湿しているため、校正ガスに所定量
の飽和水蒸気を含有させるのに多大の時間を要するとい
う問題がある。特に水溶性のガスについては溶解により
現実的にはこうした方法での加湿はできない場合もあ
る。しかも、バブラータンク８における水７の水面レベ
ル、すなわちタンク８内の空気の体積によってガスの応
答速度にばらつきが生じるという問題がある。また、加
湿中の加圧時、校正ガス供給路１において、加湿装置６
の入口側のパイプが何らかの原因で抜けてしまうと、逆
圧がかかってバブラータンク８の水７が外部へ吹き出し
てしまうという問題がある。さらに、校正ガスに含有さ
せる水分の量を調整するには、バブラータンク８の水量
を常に所定のレベルに保持する必要があり、メンテナン
スが必要になるという問題がある。In the case of the gas analyzer, since the calibration gas is humidified in the humidifier 6 in the water 7 of the bubbler tank 8, a predetermined amount of saturated steam is contained in the calibration gas. Requires a lot of time. In particular, water-soluble gases may not be practically humidified by dissolution due to dissolution. In addition, there is a problem that the response speed of the gas varies depending on the level of the water 7 in the bubbler tank 8, that is, the volume of air in the tank 8. In addition, at the time of pressurization during humidification, the humidifier 6
If the pipe on the inlet side of the tank comes off for some reason, there is a problem that back pressure is applied and the water 7 in the bubbler tank 8 blows out. Furthermore, in order to adjust the amount of moisture contained in the calibration gas, the amount of water in the bubbler tank 8 needs to be constantly maintained at a predetermined level, which causes a problem that maintenance is required.
【０００６】本発明は、前記の点に留意してなされたも
のであって、その目的は、校正ガスに所定量の飽和水蒸
気を含有させる時間を短縮し、ガスの応答速度のばらつ
きをなくすとともに、突発的なガス圧上昇などによる水
漏れを防止でき、メンテナンス性を向上できるガス分析
装置を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above points, and has as its object to reduce the time required for a calibration gas to contain a predetermined amount of saturated water vapor, to reduce the variation in gas response speed, and Another object of the present invention is to provide a gas analyzer capable of preventing water leakage due to a sudden increase in gas pressure or the like and improving maintainability.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１記載のガス分析装置は、ガス分析
計への校正ガス供給路に、内部に水分を透過する半透膜
からなるチューブを有する加湿器を介装し、前記加湿器
に導入された水あるいは加湿ガスの水分を、前記チュー
ブを介して前記チューブ内を通過する前記校正ガスに供
給させるようにしたものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a gas analyzer comprising a semi-permeable membrane through which moisture is permeable in a calibration gas supply path to a gas analyzer. A humidifier having a tube consisting of: is interposed, and the water or humidified gas introduced into the humidifier is supplied to the calibration gas passing through the tube through the tube. .
【０００８】したがって、加湿器に導入された水あるい
は加湿ガスの水分を、加湿器の内部に設けられた半透膜
からなるチューブを介して、チューブ内を通過する校正
ガスに供給させるようにしたため、校正ガスに所定量の
飽和水蒸気を含有させる時間を短縮できる。また、水溶
性ガスについても直接ガスが水と接することがないた
め、加湿が可能となり、大幅な時間短縮が可能である。
しかも、水量によって生じるガスの応答速度のばらつき
をなくすことができ、測定精度を向上することができ
る。また、バブラータンクを用いていないため、突発的
なガス圧上昇などによる水漏れを防止することができ
る。Therefore, the water introduced into the humidifier or the moisture of the humidifying gas is supplied to the calibration gas passing through the tube via the tube made of a semipermeable membrane provided inside the humidifier. In addition, the time required for the calibration gas to contain a predetermined amount of saturated steam can be reduced. In addition, since the water-soluble gas does not come into direct contact with water, humidification is possible, and the time can be significantly reduced.
In addition, the variation in the response speed of the gas caused by the amount of water can be eliminated, and the measurement accuracy can be improved. Further, since no bubbler tank is used, it is possible to prevent water leakage due to a sudden increase in gas pressure or the like.
【０００９】また、本発明の請求項２記載のガス分析装
置は、複数個の前記チューブを並列に接続したものであ
る。Further, in the gas analyzer according to a second aspect of the present invention, a plurality of the tubes are connected in parallel.
【００１０】さらに、本発明の請求項３記載のガス分析
装置は、前記チューブの長さを変更可能としたものであ
る。Further, in the gas analyzer according to claim 3 of the present invention, the length of the tube can be changed.
【００１１】また、本発明の請求項３記載のガス分析装
置は、前記加湿器の周囲温度を変更可能としたものであ
る。In the gas analyzer according to a third aspect of the present invention, the ambient temperature of the humidifier can be changed.
【００１２】したがって、複数個のチューブを並列に接
続したり、チューブの長さを変更したり、加湿器の周囲
温度を変更したりすることにより、校正ガスに透過させ
る水分の量を調整することができる。このため、従来の
バブラータンクを用いたガス分析装置の場合、校正ガス
に含有させる水分の量を調整するには、バブラータンク
の水量を常に所定のレベルに保持する必要があるが、本
発明の半透膜を用いたガス分析装置の場合では、水量を
常に所定のレベルに保持する必要はなく、メンテナンス
性を向上することができる。Therefore, by connecting a plurality of tubes in parallel, changing the length of the tubes, or changing the ambient temperature of the humidifier, the amount of water permeating the calibration gas is adjusted. Can be. For this reason, in the case of a conventional gas analyzer using a bubbler tank, in order to adjust the amount of water contained in the calibration gas, it is necessary to always maintain the water amount in the bubbler tank at a predetermined level. In the case of a gas analyzer using a semipermeable membrane, it is not necessary to always maintain the amount of water at a predetermined level, and the maintainability can be improved.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】実施の形態につき、図１ないし図
４を参照して説明する。それらの図において、図５と同
一符号は同一もしくは相当するものを示す。 （形態１）まず、形態１を示した図１および図２におい
て、図５と異なる点は、校正ガス供給路１における除湿
器９の上流側に、内部に半透膜からなるチューブ１２を
設けた加湿器１３を介装した点であり、この加湿器１３
は、チューブ１２と、チューブ１２の外周囲に水あるい
は加湿ガスを流動させるためのチャンバーＣを形成する
ケーシング１４とから構成され、ケーシング１４の長手
方向の両端部に水あるいは加湿ガスの導入孔１５および
導出孔１６が設けられている。なお、前記半透膜の材質
は、例えばナフィオン（デュポン社の商標）等の含フッ
素ポリマにより構成されたものであり、加湿ガスは半透
膜の材質を浸食しないガスであればなんでもよい。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment will be described with reference to FIGS. In those figures, the same reference numerals as those in FIG. 5 indicate the same or corresponding elements. (Embodiment 1) First, FIGS. 1 and 2 showing Embodiment 1 are different from FIG. 5 in that a tube 12 made of a semipermeable membrane is provided inside the calibration gas supply path 1 upstream of the dehumidifier 9. That the humidifier 13 is interposed.
Is composed of a tube 12 and a casing 14 forming a chamber C for flowing water or a humidified gas around the outer periphery of the tube 12. Water or humidified gas introduction holes 15 are provided at both longitudinal ends of the casing 14. And an outlet hole 16 are provided. The material of the semi-permeable membrane is made of, for example, a fluorine-containing polymer such as Nafion (trademark of DuPont), and the humidifying gas may be any gas as long as it does not corrode the material of the semi-permeable membrane.
【００１４】そして、ケーシング１４の導入孔１５に
は、ニードル弁１７が介装された導入流路１８が接続さ
れ、この導入流路１８には加湿ガス源１９が接続されて
いる。一方、導出孔１６には、吸引ポンプ２０が介装さ
れた導出流路２１が接続されている。なお、加湿器１３
のチャンバーＣ内を流動する加湿ガスの圧力は、ニード
ル弁１７による流量調節を行うことによって所定の値に
設定される。An introduction passage 18 in which a needle valve 17 is interposed is connected to the introduction hole 15 of the casing 14, and a humidification gas source 19 is connected to the introduction passage 18. On the other hand, the outlet hole 16 is connected to an outlet channel 21 in which a suction pump 20 is interposed. The humidifier 13
The pressure of the humidifying gas flowing in the chamber C is set to a predetermined value by adjusting the flow rate by the needle valve 17.
【００１５】つぎに校正方法について説明する。まず、
加湿器１３でおおよその加湿を行い、後段に除湿器９を
設ける場合には二方電磁弁２をオンし、ゼロガスＺを校
正ガス供給路１を介して加湿器１３のチューブ１２内に
通過させる。一方、ニードル弁１７により流量調節が行
われた所定圧力の加湿ガスが導入流路１８を介して加湿
器１３のチャンバーＣ内に導入され、チャンバーＣ内の
加湿ガスが吸引ポンプ２０により吸引されて外部に排出
される。この際、図２に示すように、加湿ガスの水分が
チューブ１２内のゼロガスＺに供給されて加湿され、そ
の後、除湿器９により、加湿されたゼロガスＺの除湿処
理を施し、除湿された校正ガスをニードル弁１０により
一定量に調整し、ガス分析計１１に供給する。この場
合、例えば必要とされる水分濃度は約７０００ｐｐｍ
（１℃飽和）で、除湿器９により一定に調整される。つ
ぎにスパン校正する場合、二方電磁弁４をオンし、スパ
ンガス源５からスパンガスＳを校正ガス供給路１に導入
し、前記と同様、加湿器１３によりスパンガスＳを加湿
し、除湿器９により、加湿されたスパンガスＳの除湿処
理を施し、除湿された校正ガスをニードル弁１０を介し
てガス分析計１１に供給する。つぎに、加湿ガスを流動
させて、水に溶けやすいガス、例えばＮＯ2 またはＳＯ
2 ，ＮＨ3 またはＨＣｌを測定するガス分析計１１をゼ
ロ校正する場合には、加湿器１３のチューブ１２の数や
長さ等を調整し、ほぼ一定の加湿条件を確保し、後段の
除湿器９は設けない系で同様の効果を得ることができ
る。Next, the calibration method will be described. First,
When the humidifier 13 roughly performs humidification, and when the dehumidifier 9 is provided at a subsequent stage, the two-way solenoid valve 2 is turned on, and the zero gas Z is passed through the calibration gas supply path 1 into the tube 12 of the humidifier 13. . On the other hand, the humidifying gas of a predetermined pressure whose flow rate has been adjusted by the needle valve 17 is introduced into the chamber C of the humidifier 13 through the introduction flow path 18, and the humidifying gas in the chamber C is sucked by the suction pump 20. It is discharged outside. At this time, as shown in FIG. 2, the moisture of the humidified gas is supplied to the zero gas Z in the tube 12 to be humidified, and thereafter, the dehumidifier 9 performs a dehumidification process on the humidified zero gas Z to perform the dehumidified calibration The gas is adjusted to a constant amount by the needle valve 10 and supplied to the gas analyzer 11. In this case, for example, the required water concentration is about 7000 ppm
(1 ° C. saturation), and is adjusted to be constant by the dehumidifier 9. Next, when performing span calibration, the two-way solenoid valve 4 is turned on, the span gas S is introduced from the span gas source 5 into the calibration gas supply path 1, and the span gas S is humidified by the humidifier 13, and Then, the humidified span gas S is subjected to a dehumidification process, and the dehumidified calibration gas is supplied to the gas analyzer 11 through the needle valve 10. Next, a humidifying gas is caused to flow, and a gas that easily dissolves in water, for example, NO 2 or SO 2
2. When the gas analyzer 11 for measuring NH 3 or HCl is to be zero-calibrated, the number and length of the tubes 12 of the humidifier 13 are adjusted to ensure substantially constant humidification conditions, and the dehumidifier at the subsequent stage is used. The same effect can be obtained in a system in which 9 is not provided.
【００１６】そして下記の表１は、本発明の半透膜を用
いた半透膜加湿方法により得られた，外気温度が２５．
２℃の時の校正ガスの露点と、従来のバブリングによる
直接加湿方法により得られた，外気温度が２４．４℃の
時の校正ガスの露点を示し、半透膜加湿方法により得ら
れた露点の方が、直接加湿方法により得られた露点より
も低い値を示しているが、十分な水分濃度が得られてい
る。Table 1 below shows that the outside air temperature obtained by the semipermeable membrane humidification method using the semipermeable membrane of the present invention was 25.
The dew point of the calibration gas at 2 ° C and the dew point of the calibration gas when the outside air temperature is 24.4 ° C, obtained by the conventional direct humidification method using bubbling, and the dew point obtained by the semipermeable membrane humidification method Shows a value lower than the dew point obtained by the direct humidification method, but a sufficient moisture concentration is obtained.
【００１７】[0017]
【表１】 [Table 1]
【００１８】また図３は、２００ｃｃ容量のポットに４
Ｌ／分の校正ガスを流したときの，前記両加湿方法によ
るガスの応答速度の違いを示した図であり、横軸に校正
ガスを流動させた時間(sec) をとり、縦軸にガスの応答
感度(ppm) をとっている。図中の曲線Ａは半透膜加湿方
法での応答速度の波形を示し、曲線Ｂは直接加湿方法で
の応答速度の波形を示しており、曲線Ｂは曲線Ａに対し
て約２０秒程の遅れが生じている。これは、直接加湿方
法では、校正ガスに所定量の飽和水蒸気を含有させるの
に多大の時間を要するからである。これに対し、半透膜
加湿方法では、チューブ１２内を通過する校正ガスに水
分を供給するようにしたため、校正ガスに所定量の飽和
水蒸気を含有させる時間を短縮でき、応答性が改善され
ている。FIG. 3 shows a 200 cc capacity pot.
FIG. 6 is a diagram showing a difference in response speed of gas between the two humidification methods when a calibration gas is flowed at L / min. The horizontal axis represents the time (sec) of flowing the calibration gas, and the vertical axis represents the gas. Response sensitivity (ppm). The curve A in the figure shows the waveform of the response speed in the semi-permeable membrane humidification method, the curve B shows the waveform of the response speed in the direct humidification method, and the curve B is about 20 seconds from the curve A. There is a delay. This is because the direct humidification method requires a great deal of time to cause the calibration gas to contain a predetermined amount of saturated steam. On the other hand, in the semi-permeable membrane humidification method, since water is supplied to the calibration gas passing through the tube 12, the time for causing the calibration gas to contain a predetermined amount of saturated steam can be reduced, and the responsiveness is improved. I have.
【００１９】（形態２）つぎに、形態２を示した図４に
おいて、図１と同一符号は同一もしくは相当するものを
示し、異なる点は、校正ガス供給路１に、内部に並列に
接続した複数個のチューブ１２を設けた加湿器２２を介
装した点であり、この加湿器２２のケーシング２３に
は、校正ガスの導入口２４および導出口２５，ならびに
校正ガスの分流用チャンバー２６および合流用チャンバ
ー２７が設けられている。そして、校正ガス供給路１か
らの校正ガスが導入口２４を介して分流用チャンバー２
６に導入されて分流され、分流された校正ガスが各チュ
ーブ１２を通過する。この際、加湿器２２のチャンバー
Ｃ内に導入された所定圧力の加湿ガスにより、各チュー
ブ１２の校正ガスが加湿され、加湿された各チューブ１
２の校正ガスが合流用チャンバー２７により合流され
る。この場合、加湿ガスとの接触面積がより大きくな
り、校正ガスに多くの水分を透過させることができる。(Embodiment 2) Next, in FIG. 4 showing Embodiment 2, the same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same or corresponding parts, and the difference is that the calibration gas supply path 1 is internally connected in parallel. A humidifier 22 provided with a plurality of tubes 12 is interposed. A casing 23 of the humidifier 22 has an inlet 24 and an outlet 25 for the calibration gas, a chamber 26 for dividing the calibration gas, and a junction 26. Chamber 27 is provided. Then, the calibration gas from the calibration gas supply path 1 is supplied to the flow dividing chamber 2 through the inlet 24.
The calibration gas that has been introduced into and divided by 6 is passed through each tube 12. At this time, the calibration gas of each tube 12 is humidified by the humidification gas of a predetermined pressure introduced into the chamber C of the humidifier 22, and the humidified tubes 1
The two calibration gases are joined by the joining chamber 27. In this case, the contact area with the humidified gas becomes larger, and a large amount of moisture can be transmitted to the calibration gas.
【００２０】なお、校正ガスに透過させる水分の量を調
整する方法として、チューブの長さを変更したり、加湿
器の周囲温度を変更したり、ガス圧を変化させたりして
もよい。As a method of adjusting the amount of moisture permeating the calibration gas, the length of the tube may be changed, the ambient temperature of the humidifier may be changed, or the gas pressure may be changed.
【００２１】また、前記形態１，２のいずれの場合も、
除湿器９を用いたが、室温程度の露点に適したガス分析
計１１であれば、必ずしも除湿器９を用いる必要はな
い。In each of the first and second embodiments,
Although the dehumidifier 9 was used, it is not always necessary to use the dehumidifier 9 if the gas analyzer 11 is suitable for a dew point at about room temperature.
【００２２】さらに、加湿器のチャンバーに加湿ガスを
流動させたが、水を流動させるようにしてもよい。Further, while the humidifying gas is caused to flow in the chamber of the humidifier, water may be allowed to flow.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス分析
装置は、加湿器に導入された水あるいは加湿ガスの水分
を、加湿器の内部に設けられた半透膜からなるチューブ
を介して、チューブ内を通過する校正ガスに供給させる
ようにしたため、校正ガスに所定量の飽和水蒸気を含有
させる時間を短縮できる。また、水溶性ガスについても
直接ガスが水と接することがないため、加湿が可能とな
り、大幅な時間短縮が可能である。しかも、水量によっ
て生じるガスの応答速度のばらつきをなくすことがで
き、測定精度を向上することができる。また、バブラー
タンクを用いていないため、突発的なガス圧上昇などに
よる水漏れを防止することができる。As described above, in the gas analyzer of the present invention, the water introduced into the humidifier or the moisture of the humidified gas is supplied through the tube made of a semipermeable membrane provided inside the humidifier. Since the calibration gas is supplied through the tube, the time required for the calibration gas to contain a predetermined amount of saturated water vapor can be reduced. In addition, since the water-soluble gas does not come into direct contact with water, humidification is possible, and the time can be significantly reduced. In addition, the variation in the response speed of the gas caused by the amount of water can be eliminated, and the measurement accuracy can be improved. Further, since no bubbler tank is used, it is possible to prevent water leakage due to a sudden increase in gas pressure or the like.
【００２４】また、複数個のチューブを並列に接続した
り、チューブの長さを変更したり、加湿器の周囲温度を
変更したりすることにより、校正ガスに透過させる水分
の量を調整することができる。このため、従来のバブラ
ータンクを用いたガス分析装置の場合、校正ガスに含有
させる水分の量を調整するには、バブラータンクの水量
を常に所定のレベルに保持する必要があるが、本発明の
半透膜を用いたガス分析装置の場合では、水量を常に所
定のレベルに保持する必要はなく、メンテナンス性を向
上することができる。Further, the amount of moisture permeated into the calibration gas is adjusted by connecting a plurality of tubes in parallel, changing the length of the tubes, or changing the ambient temperature of the humidifier. Can be. For this reason, in the case of a conventional gas analyzer using a bubbler tank, in order to adjust the amount of water contained in the calibration gas, it is necessary to always maintain the water amount in the bubbler tank at a predetermined level. In the case of a gas analyzer using a semipermeable membrane, it is not necessary to always maintain the amount of water at a predetermined level, and the maintainability can be improved.
【図１】本発明の実施の形態１の低濃度赤外線ガス分析
装置のフローを示した図である。FIG. 1 is a diagram showing a flow of a low-concentration infrared gas analyzer according to Embodiment 1 of the present invention.
【図２】図１の一部の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a part of FIG.
【図３】本発明の半透膜加湿方法のガスの応答速度と従
来の直接加湿方法のガスの応答速度とを比較した特性図
である。FIG. 3 is a characteristic diagram comparing the response speed of gas of the semi-permeable membrane humidification method of the present invention with the response speed of gas of a conventional direct humidification method.
【図４】本発明の実施の形態２の低濃度赤外線ガス分析
装置のフローを示した図である。FIG. 4 is a diagram showing a flow of a low-concentration infrared gas analyzer according to Embodiment 2 of the present invention.
【図５】従来例の低濃度赤外線ガス分析装置のフローを
示した図である。FIG. 5 is a diagram showing a flow of a conventional low-concentration infrared gas analyzer.
１…校正ガス供給路、１１…ガス分析計、１２…チュー
ブ、１３…加湿器、２２…加湿器。1 ... Calibration gas supply path, 11 ... Gas analyzer, 12 ... Tube, 13 ... Humidifier, 22 ... Humidifier
Claims (4)
に水分を透過する半透膜からなるチューブを有する加湿
器を介装し、 前記加湿器に導入された水あるいは加湿ガスの水分を、
前記チューブを介して前記チューブ内を通過する前記校
正ガスに供給させることを特徴とするガス分析装置。1. A humidifier having a tube made of a semipermeable membrane through which moisture permeates is interposed in a calibration gas supply path to a gas analyzer, and water or moisture of the humidified gas introduced into the humidifier is provided. To
A gas analyzer that supplies the calibration gas passing through the tube through the tube.
ことを特徴とする請求項１に記載のガス分析装置。2. The gas analyzer according to claim 1, wherein a plurality of the tubes are connected in parallel.
とを特徴とする請求項１又は２に記載のガス分析装置。3. The gas analyzer according to claim 1, wherein the length of the tube is changeable.
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガス
分析装置。4. The gas analyzer according to claim 1, wherein an ambient temperature of the humidifier can be changed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20401998A JP2000035382A (en) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | Gas-analyzing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20401998A JP2000035382A (en) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | Gas-analyzing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000035382A true JP2000035382A (en) | 2000-02-02 |
Family
ID=16483427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20401998A Pending JP2000035382A (en) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | Gas-analyzing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000035382A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014035244A (en) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | Minute amount moisture generation device and minute amount moisture generation method |
| JP2022537230A (en) * | 2018-08-09 | 2022-08-25 | ケイリクス，インコーポレイテッド | Gas sampling with controlled humidity |
-
1998
- 1998-07-17 JP JP20401998A patent/JP2000035382A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014035244A (en) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | Minute amount moisture generation device and minute amount moisture generation method |
| JP2022537230A (en) * | 2018-08-09 | 2022-08-25 | ケイリクス，インコーポレイテッド | Gas sampling with controlled humidity |
| JP7483710B2 (en) | 2018-08-09 | 2024-05-15 | ケイリクス，インコーポレイテッド | Gas Sampling with Controlled Humidity |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2542525A1 (en) | Oxygen humidifier | |
| JP3280701B2 (en) | Method and apparatus for supplying gas to a sensitive analyzer | |
| JP2017009342A (en) | Continuous measuring method of hydrogen gas concentration and hydrogen gas concentration measuring device using the same | |
| JP2000035382A (en) | Gas-analyzing device | |
| KR101126995B1 (en) | Humidifying device and oxygen concentrating apparatus | |
| WO2019167389A1 (en) | Ozone generating apparatus and ozone generating method | |
| JP3882612B2 (en) | Infrared gas analyzer | |
| JPH10300640A (en) | Method for calibrating sulfur dioxide measuring device for environmental atmosphere | |
| JPH0572094A (en) | Continuous measurement system for polution gas | |
| JPH07333129A (en) | Gas flux measuring method and apparatus | |
| JPH0961352A (en) | Gas introducing device | |
| JP2696692B2 (en) | Fluid modulation type gas analyzer | |
| JPH03242530A (en) | Humidistat | |
| CN100542623C (en) | Damping device and oxygen concentrating system | |
| JPH04329337A (en) | Measuring method for gas permeability of film | |
| JPH07113605B2 (en) | Gas analyzer | |
| JP2002071536A (en) | Continuous gas analyzer | |
| US12078627B2 (en) | Measurement method and measurement device using gas sensor | |
| US11761893B2 (en) | Water vapor differential minimization systems and methods for gas exchange measurements of aqueous or water saturated samples | |
| JPH0283015A (en) | Gas dehumidification | |
| JP3571940B2 (en) | Hydrocarbon analyzer | |
| JPH08145886A (en) | Apparatus and method for calibrating fluid-modulating type analyzer | |
| JPH06265464A (en) | Corrosion tester | |
| JPS6339632Y2 (en) | ||
| JP2526265Y2 (en) | Fluid modulation type gas analyzer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040224 |