JP2000035371A - ミスト検出装置 - Google Patents
ミスト検出装置Info
- Publication number
- JP2000035371A JP2000035371A JP20160998A JP20160998A JP2000035371A JP 2000035371 A JP2000035371 A JP 2000035371A JP 20160998 A JP20160998 A JP 20160998A JP 20160998 A JP20160998 A JP 20160998A JP 2000035371 A JP2000035371 A JP 2000035371A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mist
- light
- infrared camera
- laser
- steam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、背景光の影響を受けることなく、
ＳＮ比を改善して良好な検出感度を得られるミスト検出
装置を提供する。 【解決手段】水蒸気３に対しレーザ発光部４よりレーザ
光５をスキャン照射させ、レーザ光５を水蒸気３に吸収
させて２次元的に表示される発熱部３１を発生させ、こ
の発熱部３１からの熱線を、レーザ光５のレーザ波長５
０１をフィルタ７によりカットして、検出対象の水蒸気
３の発熱部３１からの熱線波長３０１のみを赤外線カメ
ラ６により検出する。
ＳＮ比を改善して良好な検出感度を得られるミスト検出
装置を提供する。 【解決手段】水蒸気３に対しレーザ発光部４よりレーザ
光５をスキャン照射させ、レーザ光５を水蒸気３に吸収
させて２次元的に表示される発熱部３１を発生させ、こ
の発熱部３１からの熱線を、レーザ光５のレーザ波長５
０１をフィルタ７によりカットして、検出対象の水蒸気
３の発熱部３１からの熱線波長３０１のみを赤外線カメ
ラ６により検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種プラントの蒸
気漏れを始めとして、排気ガスや有害浮遊微粒子などの
検出に用いられるミスト検出装置に関するものである。
気漏れを始めとして、排気ガスや有害浮遊微粒子などの
検出に用いられるミスト検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、プラントなどの異常を検出する方
法として、これまでの人間による現場巡回や監視カメラ
による監視に代わって、プラントより取り込んだ画像に
対して画像処理を施すことにより、自動的に異常検出す
るものが種々提案されている。
法として、これまでの人間による現場巡回や監視カメラ
による監視に代わって、プラントより取り込んだ画像に
対して画像処理を施すことにより、自動的に異常検出す
るものが種々提案されている。
【０００３】そして、従来、このよう方法により異常検
出を行なうものとして、特開平６２−１９７７４５号公
報に開示される蒸気漏れ検出装置が考えられている。つ
まり、かかる蒸気漏れ検出装置では、図６に示すように
プラントに設置された配管５０の一部に亀裂５１が生
じ、この亀裂５１より水蒸気５２が漏洩すると、この漏
洩水蒸気５２に対してレーザ発生部５３よりレーザ光５
４を照射し、このレーザ光５４の照射により水蒸気５２
より発生する散乱光５５と周囲の壁面５６から反射され
る散乱光５７をテレビカメラ５８で撮像する。この場
合、テレビカメラ５８の前面には、図７に示すように検
光子５９１、５９２を有する回転板５９を配置し、この
回転板５９を駆動装置６０により一定速度で回転させ
る。すると、テレビカメラ５８前面に交互に出現する検
光子５９１、５９２により、水蒸気５２より発生する散
乱光５５は、照射光と平行な偏光方向のみが通過され、
壁面５６から反射される散乱光５７は、出現する検光子
５９１および５９２のいずれもが通過される。
出を行なうものとして、特開平６２−１９７７４５号公
報に開示される蒸気漏れ検出装置が考えられている。つ
まり、かかる蒸気漏れ検出装置では、図６に示すように
プラントに設置された配管５０の一部に亀裂５１が生
じ、この亀裂５１より水蒸気５２が漏洩すると、この漏
洩水蒸気５２に対してレーザ発生部５３よりレーザ光５
４を照射し、このレーザ光５４の照射により水蒸気５２
より発生する散乱光５５と周囲の壁面５６から反射され
る散乱光５７をテレビカメラ５８で撮像する。この場
合、テレビカメラ５８の前面には、図７に示すように検
光子５９１、５９２を有する回転板５９を配置し、この
回転板５９を駆動装置６０により一定速度で回転させ
る。すると、テレビカメラ５８前面に交互に出現する検
光子５９１、５９２により、水蒸気５２より発生する散
乱光５５は、照射光と平行な偏光方向のみが通過され、
壁面５６から反射される散乱光５７は、出現する検光子
５９１および５９２のいずれもが通過される。
【０００４】この結果、水蒸気５２からの散乱光５５と
壁面５６からの散乱光５７が同じ測定視野内にあれば、
テレビカメラ５８で時間差をおいて撮像される検光子５
９１および５９２からの画像間には、水蒸気５２からの
散乱光５５の有無という差が生じるので、これら画像を
信号処理部６１により比較し、不一致状態を検出するこ
とにより蒸気漏れを検知するようにしている。
壁面５６からの散乱光５７が同じ測定視野内にあれば、
テレビカメラ５８で時間差をおいて撮像される検光子５
９１および５９２からの画像間には、水蒸気５２からの
散乱光５５の有無という差が生じるので、これら画像を
信号処理部６１により比較し、不一致状態を検出するこ
とにより蒸気漏れを検知するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
水蒸気５２からの散乱光５５と壁面５６からの散乱光５
７を検出する方法では、センシング手段であるテレビカ
メラ５８の感度波長帯にレーザ光５４の波長を含んでい
るため、壁面５６からの散乱光５７の影響を受け易く、
このためＳＮ比が悪化し検出感度が低下するという問題
があった。
水蒸気５２からの散乱光５５と壁面５６からの散乱光５
７を検出する方法では、センシング手段であるテレビカ
メラ５８の感度波長帯にレーザ光５４の波長を含んでい
るため、壁面５６からの散乱光５７の影響を受け易く、
このためＳＮ比が悪化し検出感度が低下するという問題
があった。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、ミスト検出を確実に行なうことができるとともに、
ＳＮ比を改善した良好な検出感度を得られるミスト検出
装置を提供することを目的とする。
で、ミスト検出を確実に行なうことができるとともに、
ＳＮ比を改善した良好な検出感度を得られるミスト検出
装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ミストを発熱させる光を照射する発光手段と、この発光
手段による光の照射により発熱したミストの熱線を検出
する赤外線カメラと、この赤外線カメラの信号からミス
ト検出を行なうミスト検出手段とにより構成している。
ミストを発熱させる光を照射する発光手段と、この発光
手段による光の照射により発熱したミストの熱線を検出
する赤外線カメラと、この赤外線カメラの信号からミス
ト検出を行なうミスト検出手段とにより構成している。
【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記発光手段は、レーザ光を照射するもの
であり、前記赤外線カメラは、前記レーザ光の波長をカ
ットするフィルタを有するものである。
明において、前記発光手段は、レーザ光を照射するもの
であり、前記赤外線カメラは、前記レーザ光の波長をカ
ットするフィルタを有するものである。
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記発光手段は、白色光を照射するもので
ある。
明において、前記発光手段は、白色光を照射するもので
ある。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明が適用されるミス
ト検出装置の概略構成を示している。図において、１は
プラントに設置された配管で、ここでは、配管１の一部
に亀裂部２が生じ、この亀裂部２より被検出対象のミス
トとして水蒸気３が漏洩している状態を示している。
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明が適用されるミス
ト検出装置の概略構成を示している。図において、１は
プラントに設置された配管で、ここでは、配管１の一部
に亀裂部２が生じ、この亀裂部２より被検出対象のミス
トとして水蒸気３が漏洩している状態を示している。
【００１１】配管１に対向してレーザ発光部４を配置し
ている。このレーザ発光部４は、図２に示すように配管
１の亀裂部２より漏洩される水蒸気３に対してレーザ光
５を所定の振り角度θでスキャン照射し、水蒸気３にレ
ーザ光５を吸収させることにより、２次元的に表示され
る発熱部３１を発生させるようにしている。
ている。このレーザ発光部４は、図２に示すように配管
１の亀裂部２より漏洩される水蒸気３に対してレーザ光
５を所定の振り角度θでスキャン照射し、水蒸気３にレ
ーザ光５を吸収させることにより、２次元的に表示され
る発熱部３１を発生させるようにしている。
【００１２】また、配管１に対向して赤外線カメラ６を
配置している。この赤外線カメラ６は、配管１の亀裂部
２より漏洩される水蒸気３の２次元的に表示される発熱
部３１の熱線を検知するものである。また、この赤外線
カメラ６の前面には、レーザ光５のレーザ波長をカット
するためのフィルタ７を配置している。この場合、レー
ザ光５のレーザ波長５０１は、１．０６４μｍ程度であ
るのに対し、水蒸気３の発熱部３１より発生する熱線波
長３０１は、数〜数十μｍで、これらの関係は、図３に
示すようになっており、このうちのレーザ光５によるレ
ーザ波長５０１をフィルタ７によりカットするようにな
っている。
配置している。この赤外線カメラ６は、配管１の亀裂部
２より漏洩される水蒸気３の２次元的に表示される発熱
部３１の熱線を検知するものである。また、この赤外線
カメラ６の前面には、レーザ光５のレーザ波長をカット
するためのフィルタ７を配置している。この場合、レー
ザ光５のレーザ波長５０１は、１．０６４μｍ程度であ
るのに対し、水蒸気３の発熱部３１より発生する熱線波
長３０１は、数〜数十μｍで、これらの関係は、図３に
示すようになっており、このうちのレーザ光５によるレ
ーザ波長５０１をフィルタ７によりカットするようにな
っている。
【００１３】赤外線カメラ６には、信号処理部８を接続
している。この信号処理部８は、赤外線カメラ６からの
出力を信号処理することで、水蒸気の有無を検知し、こ
の結果を表示部９に表示するようにしている。
している。この信号処理部８は、赤外線カメラ６からの
出力を信号処理することで、水蒸気の有無を検知し、こ
の結果を表示部９に表示するようにしている。
【００１４】このような構成において、いま、配管１の
亀裂部２より被検出対象のミストである水蒸気３が漏洩
しているものとする。
亀裂部２より被検出対象のミストである水蒸気３が漏洩
しているものとする。
【００１５】この状態から、水蒸気３に対してレーザ発
光部４よりレーザ光５を所定の振り角度θでスキャン照
射させる。すると、レーザ光５は、水蒸気３に吸収さ
れ、図２に示すように２次元的に表示される発熱部３１
を発生させる。
光部４よりレーザ光５を所定の振り角度θでスキャン照
射させる。すると、レーザ光５は、水蒸気３に吸収さ
れ、図２に示すように２次元的に表示される発熱部３１
を発生させる。
【００１６】この状態で、この２次元的に表示される発
熱部３１の熱線を、フィルタ７を介して赤外線カメラ６
で検出する。この場合、レーザ光５のレーザ波長５０１
は、フィルタ７によりカットされるので、図３に示すよ
うにレーザ波長５０１より十分に帯域の離れている水蒸
気３の発熱部３１より発生する熱線波長３０１のみが赤
外線カメラ６で検出される。つまり、赤外線カメラ６
は、レーザ光５のレーザ波長５０１が除去され、水蒸気
３からの散乱光を始め、周囲の壁面１０から反射される
散乱光１１などの影響を受けない発熱部３１からの熱線
波長３０１のみを検出することになる。
熱部３１の熱線を、フィルタ７を介して赤外線カメラ６
で検出する。この場合、レーザ光５のレーザ波長５０１
は、フィルタ７によりカットされるので、図３に示すよ
うにレーザ波長５０１より十分に帯域の離れている水蒸
気３の発熱部３１より発生する熱線波長３０１のみが赤
外線カメラ６で検出される。つまり、赤外線カメラ６
は、レーザ光５のレーザ波長５０１が除去され、水蒸気
３からの散乱光を始め、周囲の壁面１０から反射される
散乱光１１などの影響を受けない発熱部３１からの熱線
波長３０１のみを検出することになる。
【００１７】そして、この赤外線カメラ６からの出力
は、信号処理部８に与えられ、ここで信号処理されるこ
とで、水蒸気３の有無が判定され、この結果が表示部９
に表示される。
は、信号処理部８に与えられ、ここで信号処理されるこ
とで、水蒸気３の有無が判定され、この結果が表示部９
に表示される。
【００１８】なお、周囲の壁面１０が吸光性の良いもの
であれば、レーザ光５４により昇温され、熱線を発する
ことがあるが、この昇温部分は、レーザ光の散乱部分よ
り小さいので、この熱線が赤外線カメラ６による水蒸気
３の検出に影響を与えることはない。
であれば、レーザ光５４により昇温され、熱線を発する
ことがあるが、この昇温部分は、レーザ光の散乱部分よ
り小さいので、この熱線が赤外線カメラ６による水蒸気
３の検出に影響を与えることはない。
【００１９】従って、このようにすれば、水蒸気３に対
しレーザ発光部４よりレーザ光５を所定の振り角度θで
スキャン照射させ、レーザ光５を水蒸気３に吸収させて
２次元的に表示される発熱部３１を発生させ、この発熱
部３１からの熱線を赤外線カメラ６により検出すること
により、水蒸気３つまりミストの有無を確実に検出する
ことができる。また、同時に、レーザ光５のレーザ波長
５０１をフィルタ７によりカットして、検出対象の水蒸
気３の発熱部３１からの熱線波長３０１のみを検出する
ようにしたので、周囲の壁面１０から反射される散乱光
１１などの影響を受けることが全くない、ＳＮ比を改善
した良好な検出感度を得ることもできる。 （第２の実施の形態）第１の実施の形態では、水蒸気３
に対してレーザ発光部４よりレーザ光５を照射し、これ
による熱線を赤外線カメラ６で検出しているが、レーザ
光５は、波長帯域が狭いため、水蒸気３が吸収する波長
の一部しか利用できず、昇温効率に問題がある。そこ
で、この第２の実施の形態では、フラッシュランプの水
蒸気が吸収する波長をいくつか含む白色光を用いること
で、これらの問題点を解消している。
しレーザ発光部４よりレーザ光５を所定の振り角度θで
スキャン照射させ、レーザ光５を水蒸気３に吸収させて
２次元的に表示される発熱部３１を発生させ、この発熱
部３１からの熱線を赤外線カメラ６により検出すること
により、水蒸気３つまりミストの有無を確実に検出する
ことができる。また、同時に、レーザ光５のレーザ波長
５０１をフィルタ７によりカットして、検出対象の水蒸
気３の発熱部３１からの熱線波長３０１のみを検出する
ようにしたので、周囲の壁面１０から反射される散乱光
１１などの影響を受けることが全くない、ＳＮ比を改善
した良好な検出感度を得ることもできる。 （第２の実施の形態）第１の実施の形態では、水蒸気３
に対してレーザ発光部４よりレーザ光５を照射し、これ
による熱線を赤外線カメラ６で検出しているが、レーザ
光５は、波長帯域が狭いため、水蒸気３が吸収する波長
の一部しか利用できず、昇温効率に問題がある。そこ
で、この第２の実施の形態では、フラッシュランプの水
蒸気が吸収する波長をいくつか含む白色光を用いること
で、これらの問題点を解消している。
【００２０】図４は、本発明の第２の実施の形態の概略
構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付し
ている。
構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付し
ている。
【００２１】この場合、配管１に対向して発光装置２１
を配置している。この発光装置２１は、フラッシュラン
プ２２を有するもので、このフラッシュランプ２２から
の白色光を配管１の亀裂部２より漏洩される水蒸気３に
照射するようにしている。この場合、フラッシュランプ
２２は、水蒸気３が吸収する波長をいくつか含む昇温効
率の良い白色光を発生するもので、このような白色光
を、例えば数百ワットで短時間照射することにより、水
蒸気３を急激に昇温させるようにしている。
を配置している。この発光装置２１は、フラッシュラン
プ２２を有するもので、このフラッシュランプ２２から
の白色光を配管１の亀裂部２より漏洩される水蒸気３に
照射するようにしている。この場合、フラッシュランプ
２２は、水蒸気３が吸収する波長をいくつか含む昇温効
率の良い白色光を発生するもので、このような白色光
を、例えば数百ワットで短時間照射することにより、水
蒸気３を急激に昇温させるようにしている。
【００２２】その他は、図１と同様である。
【００２３】このような構成において、まず、図５
（ｂ）に示すようにフラッシュランプ２２による白色光
を短時間、例えばｍｓｅｃオーダで照射する。すると、
同図（ａ）に示すように水蒸気３の温度２３は、背景の
壁面１０が加熱される前に、急激に上昇し、その後、徐
々に降下する。
（ｂ）に示すようにフラッシュランプ２２による白色光
を短時間、例えばｍｓｅｃオーダで照射する。すると、
同図（ａ）に示すように水蒸気３の温度２３は、背景の
壁面１０が加熱される前に、急激に上昇し、その後、徐
々に降下する。
【００２４】そして、フラッシュランプ２２による白色
光の照射が終了した時点で、同図（ｃ）に示すよう図示
しないトリガ回路よりトリガを発生させ、同図（ｄ）に
示すタイミングで降下中の水蒸気温度２３による熱線を
赤外線カメラ６で取り込む。
光の照射が終了した時点で、同図（ｃ）に示すよう図示
しないトリガ回路よりトリガを発生させ、同図（ｄ）に
示すタイミングで降下中の水蒸気温度２３による熱線を
赤外線カメラ６で取り込む。
【００２５】ここで、赤外線カメラ６への熱線の取り込
みをフラッシュランプ２２による白色光の照射が終了し
てから行なうのは、白色光には、赤外線カメラ６が検出
する熱線波長を含むからで、フラッシュランプ２２の照
射中に赤外線カメラ６を作動させると、ハレーションを
生じてしまうからである。
みをフラッシュランプ２２による白色光の照射が終了し
てから行なうのは、白色光には、赤外線カメラ６が検出
する熱線波長を含むからで、フラッシュランプ２２の照
射中に赤外線カメラ６を作動させると、ハレーションを
生じてしまうからである。
【００２６】その後、赤外線カメラ６に取り込まれた水
蒸気温度２３にかかる出力は、信号処理部８に与えら
れ、ここで信号処理されて水蒸気３の有無が判定され、
この結果が表示部９に表示される。
蒸気温度２３にかかる出力は、信号処理部８に与えら
れ、ここで信号処理されて水蒸気３の有無が判定され、
この結果が表示部９に表示される。
【００２７】従って、このようにすれば、フラッシュラ
ンプ２２による白色光を用いて、水蒸気３を短時間で加
熱するようにしたので、背景が加熱される前に水蒸気３
だけを加熱することができる。つまり、背景が加熱され
る前に、検出対象の水蒸気３のみを効果的に加熱でき、
この時の熱線のみを赤外線カメラ６により検出できるの
で、背景光の影響を受けることが全くない、ＳＮ比を改
善した良好な検出感度を得ることができる。
ンプ２２による白色光を用いて、水蒸気３を短時間で加
熱するようにしたので、背景が加熱される前に水蒸気３
だけを加熱することができる。つまり、背景が加熱され
る前に、検出対象の水蒸気３のみを効果的に加熱でき、
この時の熱線のみを赤外線カメラ６により検出できるの
で、背景光の影響を受けることが全くない、ＳＮ比を改
善した良好な検出感度を得ることができる。
【００２８】なお、上述した実施の形態では、被検出対
象のミストとして水蒸気３の例をのべたが、排気ガスや
有害浮遊微粒子などの検出に適用することもできる。
象のミストとして水蒸気３の例をのべたが、排気ガスや
有害浮遊微粒子などの検出に適用することもできる。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、発
光手段による光の照射により発熱したミストの熱線を赤
外線カメラで検出し、この赤外線カメラの信号からミス
ト検出を行なうようにしたので、ミストの有無を確実に
検出することができる。
光手段による光の照射により発熱したミストの熱線を赤
外線カメラで検出し、この赤外線カメラの信号からミス
ト検出を行なうようにしたので、ミストの有無を確実に
検出することができる。
【００３０】また、発光手段からのレーザ光の照射に対
して、赤外線カメラ側に、レーザ光の波長をカットする
フィルタを設けるようにしたので、周囲から反射される
散乱光などの影響を受けることが全くない、ＳＮ比を改
善した良好な検出感度を得ることができる。
して、赤外線カメラ側に、レーザ光の波長をカットする
フィルタを設けるようにしたので、周囲から反射される
散乱光などの影響を受けることが全くない、ＳＮ比を改
善した良好な検出感度を得ることができる。
【００３１】さらに、白色光を照射する発光手段を用い
ることにより、背景が加熱される前に検出対象のミスト
のみを加熱でき、これによる熱線のみを赤外線カメラに
より検出できるので、背景光の影響を受けることが全く
ない、ＳＮ比を改善した良好な検出感度を得ることがで
きる。
ることにより、背景が加熱される前に検出対象のミスト
のみを加熱でき、これによる熱線のみを赤外線カメラに
より検出できるので、背景光の影響を受けることが全く
ない、ＳＮ比を改善した良好な検出感度を得ることがで
きる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図２】第１の実施の形態でのレーザ光と発熱部の関係
を示す図。
を示す図。
【図３】第１の実施の形態のレーザ光のレーザ波長と発
熱部の熱線波長の関係を示す図。
熱部の熱線波長の関係を示す図。
【図４】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図５】第２の実施の形態の動作を説明するための図。
【図６】従来のミスト検出装置の概略構成を示す図。
【図７】従来のミスト検出装置に用いられる回転板の概
略構成を示す図。
略構成を示す図。
１…配管 ２…亀裂部 ３…水蒸気 ３１…発熱部 ３０１…熱線波長 ４…レーザ発光部 ５…レーザ光 ６…赤外線カメラ ７…フィルタ ８…信号処理部 ９…表示部 １０…壁面 １１…散乱光 ２１…発光装置 ２２…フラッシュランプ ２３…水蒸気温度
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G040 AA05 AB12 BA13 BA23 BA29 BB04 CA02 CA12 CA23 DA06 DA12 DA15 EA06 EB02 EC02 GA07 HA02 HA11 2G059 AA05 BB01 CC09 CC19 EE01 FF01 FF05 GG01 GG08 HH01 HH02 JJ03 KK04 LL04 NN01 NN05 PP04 2G067 AA01 AA11 AA48 BB17 CC04 DD08 DD11 EE03 EE08 EE09
Claims (3)
- 【請求項１】 ミストを発熱させる光を照射する発光手
段と、 この発光手段による光の照射により発熱したミストの熱
線を検出する赤外線カメラと、 この赤外線カメラの信号からミスト検出を行なうミスト
検出手段とを具備したことを特徴とするミスト検出装
置。 - 【請求項２】 前記発光手段は、レーザ光を照射するも
のであり、前記赤外線カメラは、前記レーザ光の波長を
カットするフィルタを有するものであることを特徴とす
る請求項１記載のミスト検出装置。 - 【請求項３】 前記発光手段は、白色光を照射するもの
であることを特徴とする請求項１記載のミスト検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20160998A JP2000035371A (ja) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | ミスト検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20160998A JP2000035371A (ja) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | ミスト検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000035371A true JP2000035371A (ja) | 2000-02-02 |
Family
ID=16443906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20160998A Withdrawn JP2000035371A (ja) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | ミスト検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000035371A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009517630A (ja) * | 2005-07-27 | 2009-04-30 | エル−３ コミュニケイションズ サイテラ コーポレイション | エネルギー物質検出器 |
| US8292496B1 (en) | 2005-07-27 | 2012-10-23 | L-3 Communications Cyterra Corporation | Energetic material detector |
| KR101604398B1 (ko) * | 2015-02-09 | 2016-03-17 | (주)나스텍이앤씨 | 맨홀 수밀 검사방법 및 검사장치 |
| JPWO2022163528A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | ||
| WO2023084958A1 (ja) * | 2021-11-15 | 2023-05-19 | 三菱パワー株式会社 | 部品の検査方法、部品の製造方法、及び部品の検査装置 |
-
1998
- 1998-07-16 JP JP20160998A patent/JP2000035371A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009517630A (ja) * | 2005-07-27 | 2009-04-30 | エル−３ コミュニケイションズ サイテラ コーポレイション | エネルギー物質検出器 |
| US8292496B1 (en) | 2005-07-27 | 2012-10-23 | L-3 Communications Cyterra Corporation | Energetic material detector |
| KR101604398B1 (ko) * | 2015-02-09 | 2016-03-17 | (주)나스텍이앤씨 | 맨홀 수밀 검사방법 및 검사장치 |
| JPWO2022163528A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | ||
| WO2022163528A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 照明システム、制御方法、プログラム及び環境制御システム |
| JP7499477B2 (ja) | 2021-01-29 | 2024-06-14 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 照明システム、制御方法、プログラム及び環境制御システム |
| WO2023084958A1 (ja) * | 2021-11-15 | 2023-05-19 | 三菱パワー株式会社 | 部品の検査方法、部品の製造方法、及び部品の検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4001862B2 (ja) | 多重角度および多重波長照射を用いるウェハ検査システムのためのシステムおよび方法 | |
| US7605924B2 (en) | Laser-ultrasound inspection using infrared thermography | |
| JP5351081B2 (ja) | 漏油遠隔監視装置および方法 | |
| JPH09311109A (ja) | 光を使用した欠陥検査方法、およびその装置 | |
| JPH09304281A (ja) | 油検知装置 | |
| JPH06510121A (ja) | 光音響漏れ検出及び方法 | |
| JP4439454B2 (ja) | 漏洩検出装置および漏洩検出方法 | |
| JP2008527366A (ja) | 粒子状物質検出器 | |
| KR100975417B1 (ko) | 디지털 방사선 투과 검사 시스템 및 방법 | |
| KR101769243B1 (ko) | 복합재료 결함 검출을 위한 비접촉 비파괴 검사시스템 및 검사방법 | |
| JP2000046537A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2008153119A (ja) | 電池検査システム、及び電池検査方法 | |
| JP3886875B2 (ja) | トンネル覆工の内部欠陥検査装置 | |
| JP2000035371A (ja) | ミスト検出装置 | |
| JP2006184177A (ja) | 赤外検査装置及び赤外検査方法 | |
| KR20110111144A (ko) | 결점 검사장치 | |
| JP2003130752A (ja) | ガス漏れ検知装置 | |
| KR101480968B1 (ko) | X-선 ct 및 레이저 표면 검사를 이용하는 검사 장치 및 검사 방법 | |
| JP2004117193A (ja) | トンネル覆工の内部欠陥検出装置 | |
| JP2915025B2 (ja) | 検査方法 | |
| JP5255763B2 (ja) | 光学検査方法および装置 | |
| JP3137564B2 (ja) | ビーム照射部監視装置 | |
| JP2004257776A (ja) | 光透過体検査装置 | |
| JPH04249761A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH05142088A (ja) | ガス漏れ検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20051004 |