JP3137564B2 - ビーム照射部監視装置 - Google Patents
ビーム照射部監視装置Info
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- JP3137564B2 JP3137564B2 JP07194715A JP19471595A JP3137564B2 JP 3137564 B2 JP3137564 B2 JP 3137564B2 JP 07194715 A JP07194715 A JP 07194715A JP 19471595 A JP19471595 A JP 19471595A JP 3137564 B2 JP3137564 B2 JP 3137564B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被照射物の殺菌、
殺虫、食品の発芽防止、フィルムの硬化処理等の目的で
荷電粒子や電磁波を照射するビーム照射装置に適用され
るビーム照射部監視装置に関する。
殺虫、食品の発芽防止、フィルムの硬化処理等の目的で
荷電粒子や電磁波を照射するビーム照射装置に適用され
るビーム照射部監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の荷電粒子や電磁波を照射するビー
ム照射装置について、図３により説明する。なお、図３
には、上記装置の一例である電子ビーム照射装置が示さ
れており、以下この電子ビーム照射装置について説明す
る。
ム照射装置について、図３により説明する。なお、図３
には、上記装置の一例である電子ビーム照射装置が示さ
れており、以下この電子ビーム照射装置について説明す
る。
【０００３】図３において、１は電子ビーム２を放射す
る電子ビーム発生装置、４は同発生装置１の下方に設け
られ電子ビーム２が照射される被照射物３を搬送するコ
ンベア、５は同コンベア４の上方に設けられ同コンベア
４上を照明する蛍光灯、６は上記コンベア４の上方に設
けられ同コンベア４上を撮影する監視カメラである。
る電子ビーム発生装置、４は同発生装置１の下方に設け
られ電子ビーム２が照射される被照射物３を搬送するコ
ンベア、５は同コンベア４の上方に設けられ同コンベア
４上を照明する蛍光灯、６は上記コンベア４の上方に設
けられ同コンベア４上を撮影する監視カメラである。
【０００４】上記において、電子ビーム発生装置１は図
示しない真空排気装置により内部が真空に保持されてお
り、当該電子ビーム発生装置１から発生した電子ビーム
２は、当該装置１に設置されている図示しない薄膜を介
して真空中から大気中に出射し、被照射物３に電子ビー
ム２を照射する。当該被照射物３は大量に連続的に照射
処理できるように複数個が順次コンベア４の上にのせら
れており、当該コンベア４の作動により被照射物３は連
続的に電子ビーム２照射位置がずれていく。
示しない真空排気装置により内部が真空に保持されてお
り、当該電子ビーム発生装置１から発生した電子ビーム
２は、当該装置１に設置されている図示しない薄膜を介
して真空中から大気中に出射し、被照射物３に電子ビー
ム２を照射する。当該被照射物３は大量に連続的に照射
処理できるように複数個が順次コンベア４の上にのせら
れており、当該コンベア４の作動により被照射物３は連
続的に電子ビーム２照射位置がずれていく。
【０００５】この際、電子ビーム２の照射が不具合なく
遂行されるようにコンベア４上での被照射物３の設置状
況を確認する必要があるが、通常は、電子ビーム２の照
射を行う部屋では当該室に設置した蛍光灯５を光源とし
て前記状況を当該室内に設置された監視カメラ６を用い
て撮影し、別室内に設置した図示しないモニタを用いて
これを確認していた。
遂行されるようにコンベア４上での被照射物３の設置状
況を確認する必要があるが、通常は、電子ビーム２の照
射を行う部屋では当該室に設置した蛍光灯５を光源とし
て前記状況を当該室内に設置された監視カメラ６を用い
て撮影し、別室内に設置した図示しないモニタを用いて
これを確認していた。
【０００６】なお、電子ビーム２を被照射物３に照射し
た場合、当該電子ビーム２エネルギ、ビーム電流及び被
照射物３によって決定される波長及び強度をもった蛍光
７が被照射物３の電子ビーム２の照射位置から放出され
る。
た場合、当該電子ビーム２エネルギ、ビーム電流及び被
照射物３によって決定される波長及び強度をもった蛍光
７が被照射物３の電子ビーム２の照射位置から放出され
る。
【０００７】被照射物３への電子ビーム２照射状況（均
一性，強度等）の確認手段としては、図示しない吸収線
量確認用シールを被照射物３に貼付する等の手段によっ
ているが、被照射物３の電子ビーム２照射面全体に亘り
当該手段を講ずることはコスト面等から非現実的なもの
である。このため、連続的に当該状況を把握する方法と
して当該蛍光７を観測することが行われている。
一性，強度等）の確認手段としては、図示しない吸収線
量確認用シールを被照射物３に貼付する等の手段によっ
ているが、被照射物３の電子ビーム２照射面全体に亘り
当該手段を講ずることはコスト面等から非現実的なもの
である。このため、連続的に当該状況を把握する方法と
して当該蛍光７を観測することが行われている。
【０００８】しかし、当該蛍光７は蛍光灯５から放出さ
れる光よりも強度が低く且つ短波長であることから、当
該蛍光７は蛍光灯５から放出される光と重畳された状態
でしか監視カメラ６では認識できない。
れる光よりも強度が低く且つ短波長であることから、当
該蛍光７は蛍光灯５から放出される光と重畳された状態
でしか監視カメラ６では認識できない。
【０００９】このため、蛍光７確認時には照射室内の蛍
光灯５を一旦消灯し、当該蛍光灯５の光がない状況にて
前記監視カメラ６による確認を行っていた。なお、前記
蛍光７の強度分布を評価するためには、監視カメラ６で
得られた画像を図示しない画像処理装置にて画像処理を
施す必要があった。
光灯５を一旦消灯し、当該蛍光灯５の光がない状況にて
前記監視カメラ６による確認を行っていた。なお、前記
蛍光７の強度分布を評価するためには、監視カメラ６で
得られた画像を図示しない画像処理装置にて画像処理を
施す必要があった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来のビーム照射装置
において、前記のように電子線照射室の内部状況と被照
射物から放出される蛍光を同一カメラを用いて室内蛍光
灯の点・消灯により撮影を行う場合には、当該カメラか
ら得られる画像が内部状況または発生蛍光のいずれかの
みとなる。このため、内部状況及び電子ビーム照射状況
を連続的に確認することができなかった。
において、前記のように電子線照射室の内部状況と被照
射物から放出される蛍光を同一カメラを用いて室内蛍光
灯の点・消灯により撮影を行う場合には、当該カメラか
ら得られる画像が内部状況または発生蛍光のいずれかの
みとなる。このため、内部状況及び電子ビーム照射状況
を連続的に確認することができなかった。
【００１１】なお、当該課題は複数台のカメラを用い、
各々の確認分担を内部状況確認用と発生蛍光確認用とに
分離した場合も、両者の確認時には室内蛍光灯の点・消
灯を行う必要があるため、自動的には行うことができな
かった。本発明は上記の課題を解決しようとするもので
ある。
各々の確認分担を内部状況確認用と発生蛍光確認用とに
分離した場合も、両者の確認時には室内蛍光灯の点・消
灯を行う必要があるため、自動的には行うことができな
かった。本発明は上記の課題を解決しようとするもので
ある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係るビーム照射部監視装置は、コンベアにより搬送され
る被照射物にビーム発生装置よりビームが照射される照
射室内に設けられ第１の光学フィルタにより特定の波長
を発光する照明器、同照明器からの光を利用して上記照
射室内を撮影する観察カメラ、同カメラが撮影した画像
を入力して表示するモニタ、上記ビーム発生装置による
ビーム照射時に上記被照射物から発生する蛍光を透過し
上記照明器からの特定の波長の光を遮断する第２の光学
フィルタ、同第２のフィルタが設けられ同フィルタを透
過した蛍光を入射する蛍光カメラ、同蛍光カメラが撮影
した画像を入力して処理する画像処理装置、および同画
像処理装置より画像処理結果を入力して表示する表示装
置を備えたことを特徴としている。
係るビーム照射部監視装置は、コンベアにより搬送され
る被照射物にビーム発生装置よりビームが照射される照
射室内に設けられ第１の光学フィルタにより特定の波長
を発光する照明器、同照明器からの光を利用して上記照
射室内を撮影する観察カメラ、同カメラが撮影した画像
を入力して表示するモニタ、上記ビーム発生装置による
ビーム照射時に上記被照射物から発生する蛍光を透過し
上記照明器からの特定の波長の光を遮断する第２の光学
フィルタ、同第２のフィルタが設けられ同フィルタを透
過した蛍光を入射する蛍光カメラ、同蛍光カメラが撮影
した画像を入力して処理する画像処理装置、および同画
像処理装置より画像処理結果を入力して表示する表示装
置を備えたことを特徴としている。
【００１３】上記において、観察カメラは照射室内の照
明器により照明された照射室内の状況の画像を撮影す
る。一方、蛍光カメラは、照射室内を照明する照明器か
らの光を透過せず被照射物が発生する蛍光のみを透過す
る光学フィルタを有しているため、蛍光画像のみを撮影
することができる。
明器により照明された照射室内の状況の画像を撮影す
る。一方、蛍光カメラは、照射室内を照明する照明器か
らの光を透過せず被照射物が発生する蛍光のみを透過す
る光学フィルタを有しているため、蛍光画像のみを撮影
することができる。
【００１４】従って、観察カメラと蛍光カメラは完全に
独立に画像撮影が可能となるため、照射室内状況とビー
ム照射状況を同時に、且つ自動的、連続的に確認するこ
とが可能となる。
独立に画像撮影が可能となるため、照射室内状況とビー
ム照射状況を同時に、且つ自動的、連続的に確認するこ
とが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態に係るビー
ム照射部監視装置を図１に示す。なお、図１に示す本実
施形態の装置は、電子ビーム照射室５０内に設けられ電
子ビーム５２を放射する電子ビーム発生装置５１、およ
び当該発生装置５１の下方に配設され被照射物５３を電
子ビーム照射位置まで連続的に順次搬送するコンベア５
４を備えた電子ビーム照射装置に適用されたものであ
り、この照射装置の作用は従来の装置と同様のため、説
明を省略する。
ム照射部監視装置を図１に示す。なお、図１に示す本実
施形態の装置は、電子ビーム照射室５０内に設けられ電
子ビーム５２を放射する電子ビーム発生装置５１、およ
び当該発生装置５１の下方に配設され被照射物５３を電
子ビーム照射位置まで連続的に順次搬送するコンベア５
４を備えた電子ビーム照射装置に適用されたものであ
り、この照射装置の作用は従来の装置と同様のため、説
明を省略する。
【００１６】図１に示す本実施形態のビーム照射部監視
装置は、上記電子ビーム照射室５０内において、電子ビ
ーム照射室５０内の状況を確認するための光源として使
用する照明器５５、この照明器５５が放射した光のうち
の特定の波長の光のみを透過する光学フィルタ５６、照
明器５５が放射し光学フィルタ５６を透過した光を利用
して照射室５０内の状況を観察する観察カメラ５７、前
記電子ビーム発生装置５１より電子ビーム５２が照射さ
れた被照射物５３から放出される蛍光５９を計測するた
めに照明器５５からの光を遮断し蛍光５９のみを透過す
る蛍光観察用光学フィルタ６０、およびこのフィルタ６
０を透過した蛍光５９のみを入射する蛍光カメラ６１を
備えている。
装置は、上記電子ビーム照射室５０内において、電子ビ
ーム照射室５０内の状況を確認するための光源として使
用する照明器５５、この照明器５５が放射した光のうち
の特定の波長の光のみを透過する光学フィルタ５６、照
明器５５が放射し光学フィルタ５６を透過した光を利用
して照射室５０内の状況を観察する観察カメラ５７、前
記電子ビーム発生装置５１より電子ビーム５２が照射さ
れた被照射物５３から放出される蛍光５９を計測するた
めに照明器５５からの光を遮断し蛍光５９のみを透過す
る蛍光観察用光学フィルタ６０、およびこのフィルタ６
０を透過した蛍光５９のみを入射する蛍光カメラ６１を
備えている。
【００１７】また、前記電子ビーム照射室５０外におい
ては、前記観察カメラ５７により得られた画像を表示す
るためのモニタ５８、前記蛍光カメラ６１により得られ
た画像を処理するための画像処理装置６２、および当該
画像処理装置６２により処理した結果を表示するための
ＣＲＴ６３を備えている。
ては、前記観察カメラ５７により得られた画像を表示す
るためのモニタ５８、前記蛍光カメラ６１により得られ
た画像を処理するための画像処理装置６２、および当該
画像処理装置６２により処理した結果を表示するための
ＣＲＴ６３を備えている。
【００１８】本実施形態のビーム照射部監視装置は、図
２に示す波長領域における光を検出することにより、画
像を得るためのものであり、以下に詳細に説明する。被
照射物５３がダンボールにより梱包されている場合に
は、電子ビーム５２を照射されたダンボールが、図２中
に示すように５００〔nm〕付近の波長でピークを示すス
ペクトルを持つ蛍光５９を発生する。
２に示す波長領域における光を検出することにより、画
像を得るためのものであり、以下に詳細に説明する。被
照射物５３がダンボールにより梱包されている場合に
は、電子ビーム５２を照射されたダンボールが、図２中
に示すように５００〔nm〕付近の波長でピークを示すス
ペクトルを持つ蛍光５９を発生する。
【００１９】そこで、本実施形態においては、図２中に
示す波長の範囲で透過特性を示す蛍光観察用光学フィル
タ６０を用いて、この蛍光５９の主な蛍光波長域である
３００〜６００〔nm〕の領域の光のみを透過させ、この
光を蛍光カメラ６１により撮影し、画像処理装置６２を
介してＣＲＴ６３に表示している。
示す波長の範囲で透過特性を示す蛍光観察用光学フィル
タ６０を用いて、この蛍光５９の主な蛍光波長域である
３００〜６００〔nm〕の領域の光のみを透過させ、この
光を蛍光カメラ６１により撮影し、画像処理装置６２を
介してＣＲＴ６３に表示している。
【００２０】一方、照明器５５からの光は、図２中に示
す波長の範囲で透過特性を示す光学フィルタ５６により
６００〔nm〕近傍の波長より長い波長の光のみが透過さ
れ、電子ビーム照射室５０内部に照射されており、この
光を用いて観察カメラ５７で照射室５０内の状況が観察
され、モニター５８により表示されている。
す波長の範囲で透過特性を示す光学フィルタ５６により
６００〔nm〕近傍の波長より長い波長の光のみが透過さ
れ、電子ビーム照射室５０内部に照射されており、この
光を用いて観察カメラ５７で照射室５０内の状況が観察
され、モニター５８により表示されている。
【００２１】本実施形態の装置は、上記のように構成さ
れ作用するため、その操作を全て自動で行うことがで
き、且つ照射室内の監視及び電子ビームが確実に被照射
物に照射されていることの確認のための蛍光モニタを同
時に行うことができる。
れ作用するため、その操作を全て自動で行うことがで
き、且つ照射室内の監視及び電子ビームが確実に被照射
物に照射されていることの確認のための蛍光モニタを同
時に行うことができる。
【００２２】なお、本実施形態においては、ビーム照射
部監視装置について、電子ビームを例にとり具体的に説
明したが、電子ビーム照射装置に限定されるものではな
く、イオンビーム等の荷電粒子ビーム及びレーザビーム
でも同様に蛍光がビーム照射位置から発生するため、適
用が可能である。
部監視装置について、電子ビームを例にとり具体的に説
明したが、電子ビーム照射装置に限定されるものではな
く、イオンビーム等の荷電粒子ビーム及びレーザビーム
でも同様に蛍光がビーム照射位置から発生するため、適
用が可能である。
【００２３】
【発明の効果】本発明のビーム照射部監視装置は、被照
射物に電子ビームを照射する電子ビーム発生装置が配設
された照射室内に設けられ第１のフィルタを有する照明
器、同照明器からの発光により上記照射室内を撮影する
観察カメラ、上記被照射物が発生する蛍光のみを透過す
る第２のフィルタが設けられ同フィルタを透過した蛍光
を撮影する蛍光カメラ、同カメラに接続されＣＲＴが設
けられた画像処理装置、および上記観察カメラに接続さ
れたモニタを備えたことによって、照射室内部状況及び
ビーム照射状況を同時、且つ自動的、連続的に確認する
ことが可能となり、安全性、作業効率、品質管理等の向
上が可能になる。
射物に電子ビームを照射する電子ビーム発生装置が配設
された照射室内に設けられ第１のフィルタを有する照明
器、同照明器からの発光により上記照射室内を撮影する
観察カメラ、上記被照射物が発生する蛍光のみを透過す
る第２のフィルタが設けられ同フィルタを透過した蛍光
を撮影する蛍光カメラ、同カメラに接続されＣＲＴが設
けられた画像処理装置、および上記観察カメラに接続さ
れたモニタを備えたことによって、照射室内部状況及び
ビーム照射状況を同時、且つ自動的、連続的に確認する
ことが可能となり、安全性、作業効率、品質管理等の向
上が可能になる。
【図１】本発明の実施の一形態に係るビーム照射部監視
装置の説明図である。
装置の説明図である。
【図２】上記実施の一形態に係る光学フィルタの透過特
性と蛍光スペクトルの説明図である。
性と蛍光スペクトルの説明図である。
【図３】第３図は、従来のビーム照射部監視装置の説明
図である。
図である。
５０ 電子ビーム照射室 ５１ 電子ビーム発生装置 ５２ 電子ビーム ５３ 被照射物 ５４ コンベア ５５ 照明器 ５６ フィルタ ５７ 観察カメラ ５８ モニター ５９ 蛍光 ６０ 蛍光観察用フィルタ ６１ 蛍光カメラ ６２ 画像処理装置 ６３ ＣＲＴ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原田 朋弘 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三 菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 森末 明秀 名古屋市港区大江町10番地 三菱重工業 株式会社名古屋航空宇宙システム製作所 内 (56)参考文献 特開 平４−108451（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−89735（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−265738（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−101897（ＪＰ，Ａ) 実公 昭42−2558（ＪＰ，Ｙ１) 田村善蔵ら編、「けい光分析」、第１ 版、講談社、昭和49年１月20日、ｐ．58 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 A61L 2/00 - 2/26 A61L 9/00 - 9/22 G21K 5/00 - 5/10
Claims (1)
- 【請求項１】 コンベアにより搬送される被照射物にビ
ーム発生装置よりビームが照射される照射室内に設けら
れ第１の光学フィルタにより特定の波長を発光する照明
器、同照明器からの光を利用して上記照射室内を撮影す
る観察カメラ、同カメラが撮影した画像を入力して表示
するモニタ、上記ビーム発生装置によるビーム照射時に
上記被照射物から発生する蛍光を透過し上記照明器から
の特定の波長の光を遮断する第２の光学フィルタ、同第
２のフィルタが設けられ同フィルタを透過した蛍光を入
射する蛍光カメラ、同蛍光カメラが撮影した画像を入力
して処理する画像処理装置、および同画像処理装置より
画像処理結果を入力して表示する表示装置を備えたこと
を特徴とするビーム照射部監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07194715A JP3137564B2 (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | ビーム照射部監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07194715A JP3137564B2 (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | ビーム照射部監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943164A JPH0943164A (ja) | 1997-02-14 |
| JP3137564B2 true JP3137564B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=16329049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07194715A Expired - Fee Related JP3137564B2 (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | ビーム照射部監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3137564B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000167029A (ja) | 1998-12-01 | 2000-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | 放射線照射装置 |
| JP6164981B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2017-07-19 | 日立造船株式会社 | 電子線滅菌装置における電子線監視装置 |
| JPWO2015072047A1 (ja) * | 2013-11-14 | 2017-03-16 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 投影システム |
| JP7236660B2 (ja) * | 2018-03-01 | 2023-03-10 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 浄化方法、浄化装置及び浄化システム |
| WO2019167593A1 (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-06 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 浄化方法、浄化装置及び浄化システム |
-
1995
- 1995-07-31 JP JP07194715A patent/JP3137564B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 田村善蔵ら編、「けい光分析」、第１版、講談社、昭和４９年１月２０日、ｐ．５８ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0943164A (ja) | 1997-02-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001031 |
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