JP2000035320A - 蓄積型ラインセンサを用いた検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、種々の変動の影響を受けずに高精度
な検査を行う。 【解決手段】検査対象２と蓄積型ラインセンサ１とを相
対的に移動させたときの蓄積型ラインセンサ１の出力信
号と検査対象２を検査するための参照データとを比較し
て検査対象２の検査を行う場合、検査対象２の線幅に応
じた参照データの振幅に対する補正係数を予め保持する
補正係数保持部１７を設け、検査対象２の線幅に応じた
補正係数を参照データ補正部１８により補正係数保持部
１７から読み出し、この補正係数により参照データの振
幅を補正し、この補正された参照データと蓄積型ライン
センサ１の出力信号と比較して検査対象２の検査を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば線状のパタ
ーンが形成された検査対象と蓄積型ラインセンサ（ＴＤ
Ｉセンサ）とを相対的に移動させて、蓄積型ラインセン
サの出力信号と検査対象を検査するための参照データと
を比較して検査対象パターンの欠陥等の検査を行う蓄積
型ラインセンサを用いた検査方法及びその装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】蓄積型ラインセンサ１は、図７に示すよ
うに多段（ｎ段）例えば９６段にラインセンサ１−１、
１−２、…、１−ｎを並設した構成で、先ず、ラインセ
ンサ１−１に蓄積した電荷を次段のラインセンサ１−２
に転送してこのラインセンサ１−２に蓄積されている電
荷に加えて蓄積し、次にラインセンサ１−２に蓄積した
電荷を次段のラインセンサ１−３に転送してこのライン
センサ１−３に蓄積されている電荷に加えて蓄積し、以
降順次ラインセンサ１−４、…に蓄積されている電荷を
加えて蓄積して、最終的にラインセンサ１−ｎに蓄積さ
れた電荷すなわちｎ段のラインセンサ１−１、１−２、
…、１−ｎの各電荷を加えた結果を出力するものとなっ
ている。

【０００３】このような蓄積型ラインセンサ１は、例え
ば図８に示すように線状のパターンの形成された検査対
象２のパターン欠陥の検査に用いられる。図９は検査対
象２の線状パターンの模様を示しており、図１０に示す
ようにパターン濃淡が白レベルと黒レベルとから形成さ
れている。

【０００４】パターン欠陥の検査は、蓄積型ラインセン
サ１と半導体ウエハ等の検査対象２とを相対的に移動さ
せる、例えば検査対象２をＸＹテーブル上に載せて移動
機構３によって矢印イ方向に一定の速度で移動させ、こ
のときの蓄積型ラインセンサ１の出力信号を制御処理部
４で取り込む。これと共に制御処理部４は、参照データ
保持部５に保持されている検査対象２を検査するための
参照データを蓄積型ラインセンサ１の位置に応じて順次
読み出し展開し、図１０に示すように蓄積型ラインセン
サ１の出力信号と参照データとを比較する。この比較の
結果、制御処理部４は、蓄積型ラインセンサ１の出力信
号と参照データとが一致すれば、良品の検査対象２であ
ると判定し、不一致であれば欠陥の検査対象２であると
判定する。

【０００５】ところが、検査対象２の線幅（線幅）Ｗが
大きくなったり小さくなったり変動すると、この線幅Ｗ
の変動に伴って蓄積型ラインセンサ１の出力信号の振幅
の変動する。図１１(a) は線幅Ｗが太い場合の蓄積型ラ
インセンサ１の出力信号振幅値を示し、参照データの振
幅値よりも大きくなり、同図(b) は線幅Ｗが小さい場合
の蓄積型ラインセンサ１の出力信号振幅値を示し、参照
データの振幅値よりも小さくなっている。

【０００６】このため、検査対象２の線幅Ｗが変動した
ときに蓄積型ラインセンサ１の出力信号と参照データと
を比較して検査対象２の検査を行うと、良品の検査対象
２であるにも拘らず、欠陥の検査対象２であると誤判定
してしまう場合がある。たとえ、１つの決まったパター
ンに対して参照データの振幅値を合わせたとしても、相
違する線幅のパターンに対しては、その振幅のピークで
蓄積型ラインセンサ１の出力信号と差が生じ、誤判定し
てしまう場合がある。

【０００７】蓄積型ラインセンサ１の出力信号に対する
処理手段としては、例えば蓄積型ラインセンサ１により
測定した画像と同じようなエッジのボケ（なまり）を、
その比較に用いる参照データに対して同じようなボケを
持たせるために、参照データに対してガウシアン等の関
数を用い、エッジを数学的関数でなまらせている。しか
しながら、この数学的関数でなまらせたエツジは、傾き
を調整するパラメータがあるのみで、振幅を調整するパ
ラメータはない。

【０００８】一方、検査対象２をＸＹテーブル上に載せ
て移動機構３によって矢印イ方向に一定の速度で移動さ
せ、このときの蓄積型ラインセンサ１の出力信号を制御
処理部４で取り込んでいるが、蓄積型ラインセンサ１に
おいてｎ段分のラインセンサ１−１、１−２、…、１−
ｎの間を電荷が転送される時間内すなわち１段目のライ
ンセンサ１−１に電荷が取り込まれてからｎ段目のライ
ンセンサ１−ｎから最終的な電気信号として出力される
までの時間内に、検査対象２を移動しているＸＹテーブ
ルに速度変動が生じた場合、蓄積型ラインセンサ１は電
荷蓄積型のために、その出力信号には、ＸＹテーブルの
速度変動分の信号は減少して変動そのものとして現れな
い。

【０００９】ところが、参照データは、ＸＹテーブルの
速度又はテーブル位置に応じて参照データ保持部５から
順次読み出し展開しているので、参照データを読み出す
タイミングがＸＹテーブルの速度又はテーブル位置に応
じて変動し、ＸＹテーブルの速度又はテーブル位置の変
動をまともに受けたものとなる。

【００１０】このため、ＸＹテーブルの速度又はテーブ
ル位置が変動した場合、図１２に示すように蓄積型ライ
ンセンサ１の出力信号はＸＹテーブルの速度変動分を受
けないが、参照データはＸＹテーブルの速度又はテーブ
ル位置の変動をまともに受けて線の間隔のずれたデータ
となってしまい、センサ１の出力信号と参照データとの
間に不整合が生じてしまう。このような参照データにず
れが生じても線幅の大きな線状パターンであればその影
響をさほど受けないが、微細な線幅の線状パターンにな
るとその影響が現れ、検査結果に悪影響を与えてしま
う。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上のように検査対象
２の線幅Ｗが変動したときに蓄積型ラインセンサ１の出
力信号と参照データとを比較して検査対象２の検査を行
うと、蓄積型ラインセンサ１の出力信号と参照データと
が不一致となり、良品の検査対象２であるにも拘らず、
欠陥の検査対象２であると誤判定してしまう場合があ
る。

【００１２】又、ＸＹテーブルの速度又はテーブル位置
が変動した場合、このＸＹテーブルの速度又はテーブル
位置に応じて読み出し展開される参照データは、ＸＹテ
ーブルの速度又はテーブル位置の変動をまともに受けて
しまい、センサ１の出力信号と参照データとの間に不整
合が生じ、検査結果に悪影響を与えてしまう。そこで本
発明は、種々の変動の影響を受けずに高精度な検査がで
きる蓄積型ラインセンサを用いた検査方法及びその装置
を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、検査
対象と蓄積型ラインセンサとを相対的に移動させたとき
の蓄積型ラインセンサの出力信号と検査対象を検査する
ための参照データとを比較して検査対象の検査を行う蓄
積型ラインセンサを用いた検査方法において、検査対象
の線幅に応じた参照データの振幅に対する補正係数を予
め保持し、参照データの振幅を検査対象の線幅に応じた
補正係数で補正して積型ラインセンサの出力信号と比較
する蓄積型ラインセンサを用いた検査方法である。

【００１４】請求項２によれば、検査対象と蓄積型ライ
ンセンサとを相対的に移動させたときの蓄積型ラインセ
ンサの出力信号と検査対象を検査するための参照データ
とを比較して検査対象の検査を行う蓄積型ラインセンサ
を用いた検査装置において、検査対象の線幅に応じた参
照データの振幅に対する補正係数を予め保持する補正係
数保持手段と、検査対象の線幅に応じた補正係数を補正
係数保持手段から読み出し、この補正係数により参照デ
ータの振幅を補正する参照データ補正手段と、を備えた
蓄積型ラインセンサを用いた検査装置である。

【００１５】請求項３によれば、検査対象と蓄積型ライ
ンセンサとを相対的に移動させたときの蓄積型ラインセ
ンサの出力信号と検査対象を検査するための参照データ
とを比較して検査対象の検査を行う蓄積型ラインセンサ
を用いた検査方法において、検査対象と蓄積型ラインセ
ンサとを相対的な移動速度の変動を検出し、この速度変
動に応じて参照データを読み出し展開するタイミングを
補正する蓄積型ラインセンサを用いた検査方法である。

【００１６】請求項４によれば、検査対象と蓄積型ライ
ンセンサとを相対的に移動させたときの蓄積型ラインセ
ンサの出力信号と検査対象を検査するための参照データ
とを比較して検査対象の検査を行う蓄積型ラインセンサ
を用いた検査装置において、検査対象と蓄積型ラインセ
ンサとを相対的な移動速度の変動を検出する速度変動検
出手段と、この速度変動検出手段により検出された速度
変動に応じて参照データを読み出し展開するタイミング
を補正する読み出し展開補正手段と、を備えた蓄積型ラ
インセンサを用いた検査装置である。

【００１７】請求項５によれば、請求項４記載の蓄積型
ラインセンサを用いた検査装置において、速度変動検出
手段は、所定期間前までの検査対象と蓄積型ラインセン
サとを相対的な移動速度の平均と現在の移動速度とを比
較して速度変動を検出する。

【００１８】請求項６によれば、請求項４記載の蓄積型
ラインセンサを用いた検査装置において、読み出し展開
補正手段は、検査対象と蓄積型ラインセンサとを相対的
な移動速度が早ければ参照データを読み出し展開するタ
イミングを早く補正し、かつ移動速度が遅ければ参照デ
ータを読み出し展開するタイミングを遅く補正する。

【００１９】

【発明の実施の形態】(1) 以下、本発明の第１の実施の
形態について図面を参照して説明する。図１は蓄積型ラ
インセンサを用いた検査装置の構成図である。ＸＹテー
ブル１０上には、半導体ウエハ等の検査対象２が載置さ
れ、移動機構３の駆動によって矢印イ方向に移動するも
のとなっている。

【００２０】一方、制御処理部１１は、蓄積型ラインセ
ンサ１の出力信号を取り込んでこのセンサ出力信号と参
照データとを比較して検査対象２のパターン検査を行う
機能を有するもので、ＣＰＵ等から成る主制御部１２に
対して出力部１３、線幅入力部１４、センサデータ記憶
部１５及び参照データ保持部１６が接続されるととも
に、主制御部１２から発せられる指令により参照データ
補正部１８及び比較部１９が作動するものとなってい
る。

【００２１】このうち出力部１３は、主制御部１２から
発せられる移動機構３の移動指令を移動機構３に送出す
る機能を有している。線幅入力部１４は、例えばキーボ
ードやマウス等の各種入力機器で、パターン検査すると
きに既知である検査対象２に形成されている線状パター
ンの線幅のデータ入力を取り込む機能を有している。

【００２２】センサデータ記憶部１５には、蓄積型ライ
ンセンサ１の出力信号が記憶されるものとなっている。
又、参照データ保持部１６には、検査対象を検査するた
めの参照データが予め保持されている。

【００２３】補正係数保持部１７は、蓄積型ラインセン
サ１を用いて検査対象２を検査するときの、検査対象２
に形成されたパターンの線幅に応じた参照データの振幅
に対する補正係数を保持している。この補正係数は、次
の通りに求められる。

【００２４】先ず、線幅が既知のパターンの形成された
検査対象２を用意し、この検査対象２に対して蓄積型ラ
インセンサ１を走査させてその出力信号の振幅の最大
値、最小値及びレンジの測定を行う。この測定を数種類
のパターンに対して行う。

【００２５】次に、参照データは、線幅が既知であれ
ば、その振幅値が予め算出できるので、先に蓄積型ライ
ンセンサ１を用いて測定した検査対象２の線幅に対する
振幅値を算出する。

【００２６】次に、先に蓄積型ラインセンサ１を用いて
測定した検査対象２に対する振幅の最大値、最小値と、
先に算出した検査対象２の線幅に対する振幅値とを用い
て、数種類のパターンを持つ参照データを蓄積型ライン
センサ１の出力信号に一致させるための補正係数を求
め、これをテーブル化する。図２はかかる線幅に対する
参照データの補正係数を示しており、補正係数は線幅が
小さくなる程小さな値を示している。

【００２７】参照データ補正部１８は、線幅入力部１４
により取り込まれた検査対象２の線幅データを受け、こ
の線幅に応じた補正係数を補正係数保持部１７から読み
出し、この補正係数によりＸＹテーブル１０の移動位置
に応じて順次読み出される参照データの振幅をリアルタ
イムに補正する機能を有している。

【００２８】比較部１９は、蓄積型ラインセンサ１の出
力信号と参照データ補正部１８により振幅補正された参
照データとを比較して検査対象２の検査を行う機能を有
している。

【００２９】次に上記の如く構成された装置での検査作
用について説明する。半導体ウエハ等の検査対象２が決
まると、この検査対象２の線幅データが線幅入力部１４
から入力される。この線幅データは、主制御部１２の指
令により参照データ補正部１８に送られる。

【００３０】ＸＹテーブル１０上に検査対象２が載置さ
れ、主制御部１２の指令により移動機構３が駆動する
と、ＸＹテーブル１０は、検査対象２を載せた状態で矢
印イ方向に移動する。

【００３１】このとき、蓄積型ラインセンサ１は、ＸＹ
テーブル１０上に載って移動している検査対象２からの
像を受光して各ラインセンサ１−１、１−２、…、１−
ｎで順次電荷を転送しながら蓄積し、最終段のラインセ
ンサ１−ｎから検査対象２の像の電気信号を１ライン毎
に順次出力する。この蓄積型ラインセンサ１の出力信号
は、センサデータ記憶部１５に順次記憶される。

【００３２】一方、比較部１９は、蓄積型ラインセンサ
１から１ライン毎に順次出力される信号を受けるととも
に、ＸＹテーブル１０の移動位置に応じて参照データ保
持部１６から順次参照データを読み出し展開し、これら
蓄積型ラインセンサ１の出力信号と参照データとを順次
比較するが、その際に参照データ補正部１８は、線幅入
力部１４により取り込まれた検査対象２の線幅データを
受け、この線幅に応じた補正係数を補正係数保持部１７
に保持されている補正係数から読み出し、この補正係数
によりＸＹテーブル１０の移動位置に応じた参照データ
の振幅をリアルタイムに補正する。図３は検査対象２の
線幅が大きい場合と小さい場合とにおける蓄積型ライン
センサ１の出力信号と参照データとの各振幅の不一致の
状態を示すと共に、参照データの振幅を補正して蓄積型
ラインセンサ１の出力信号と参照データとの各振幅が一
致した状態を示している。

【００３３】しかるに、比較部１９は、蓄積型ラインセ
ンサ１の出力信号と参照データ補正部１８により振幅補
正された参照データとを比較し、蓄積型ラインセンサ１
の出力信号と参照データとが一致すれば、良品の検査対
象２であると判定し、不一致であれば欠陥の検査対象２
であると判定する。

【００３４】このように上記第１の実施の形態において
は、検査対象２の線幅に応じた参照データの振幅に対す
る補正係数を補正係数保持部１７に予め保持し、検査対
象２を載せたＸＹテーブル１０の移動位置に応じて参照
データを順次読み出すとともにその参照データを検査対
象２の線幅に応じた補正係数で補正し、この振幅補正さ
れた参照データと蓄積型ラインセンサ１の出力信号とを
比較して検査対象２を検査するようにしたので、検査対
象２の線幅Ｗが変動、特に線幅Ｗが小さく変動しても蓄
積型ラインセンサ１の出力信号と参照データとの各振幅
が不一致となって誤判定することなく、高精度に検査対
象２の検査ができる。 (2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。

【００３５】図４は蓄積型ラインセンサを用いた検査装
置の構成図である。制御処理部２０は、蓄積型ラインセ
ンサ１の出力信号を取り込んでこのセンサ出力信号と参
照データとを比較して検査対象２のパターン検査を行う
機能を有するもので、ＣＰＵ等から成る主制御部２１か
ら発せられる指令により速度変動検出部２２及び読み出
し展開補正部２３が作動するものとなっている。

【００３６】速度変動検出部２２は、検査対象２と蓄積
型ラインセンサ１とを相対的な移動速度の変動すなわち
ＸＹテーブル１０の速度の変動を検出するもので、所定
期間前までのＸＹテーブル１０の移動速度の平均と現在
の移動速度とを比較して速度変動を検出する機能を有し
ている。

【００３７】読み出し展開補正部２３は、速度変動検出
部２２により検出された速度変動に応じて参照データ保
持部１６から参照データを読み出し展開するタイミング
を補正するもので、ＸＹテーブル１０の移動速度が早け
れば参照データを読み出し展開するタイミングを早く補
正し、かつ移動速度が遅ければ参照データを読み出し展
開するタイミングを遅く補正する機能を有している。

【００３８】次に上記の如く構成された装置での検査作
用について説明する。ＸＹテーブル１０上に検査対象２
が載置され、主制御部１２の指令により移動機構３が駆
動すると、ＸＹテーブル１０は、検査対象２を載せた状
態で矢印イ方向に移動する。

【００３９】このとき、蓄積型ラインセンサ１は、ＸＹ
テーブル１０上に載って移動している検査対象２からの
像を受光して各ラインセンサ１−１、１−２、…、１−
ｎで順次電荷を転送しながら蓄積し、最終段のラインセ
ンサ１−ｎから検査対象２の像の電気信号を１ライン毎
に順次出力する。この蓄積型ラインセンサ１の出力信号
は、センサデータ記憶部１５に順次記憶される。

【００４０】これと共に速度変動検出部２２は、所定期
間前までのＸＹテーブル１０の移動速度の平均すなわち
過去ｎ−１個の速度を取り出してその平均速度を求め、
この平均速度と現在の移動速度とを比較して速度変動を
検出する。図５は理想のＸＹテーブル１０の速度を示す
とともにＸＹテーブル１０の速度変動を矢印の傾きで示
している。

【００４１】従って、読み出し展開補正部２３は、速度
変動検出部２２により検出された速度変動に応じて参照
データ保持部１６から参照データを読み出し展開するタ
イミングを補正する。例えば、ＸＹテーブル１０の移動
速度が早ければ参照データを読み出し展開するタイミン
グを早く補正し、又移動速度が遅ければ参照データを読
み出し展開するタイミングを遅く補正する。

【００４２】これにより、ＸＹテーブル１０に速度変動
が起きても、蓄積型ラインセンサ１の１ライン毎の出力
信号と順次読み出し展開された参照データとは、その位
置が一致するものとなる。

【００４３】比較部１９は、蓄積型ラインセンサ１から
１ライン毎に順次出力される信号と参照データ保持部１
６から読み出し展開タイミングの補正された参照データ
とを比較し、上記同様に蓄積型ラインセンサ１の出力信
号と参照データとが一致すれば、良品の検査対象２であ
ると判定し、不一致であれば欠陥の検査対象２であると
判定する。

【００４４】このように上記第２の実施の形態において
は、検査対象２を載置するＸＹテーブル１０の移動速度
の変動を速度変動検出部２２で検出し、この速度変動検
出部２２により検出された速度変動に応じて参照データ
保持部１６から参照データを読み出し展開するタイミン
グを読み出し展開補正部２３により補正するので、ＸＹ
テーブル１０の速度が変動しても、このＸＹテーブル１
０の速度に応じて読み出し展開される参照データの位置
を蓄積型ラインセンサ１から１ライン毎に順次出力され
る信号の位置とを一致させることができ、蓄積型ライン
センサ１の出力信号と参照データとの間に不整合が生じ
ることなく高精度に検査対象２の検査ができる。特に線
幅の大きな線状パターンであればＸＹテーブル１０の速
度変動の影響をさほど受けないが、微細な線幅の線状パ
ターンになるとその影響が現れて検査結果に悪影響を与
えるが、かかる装置であれば、高精度に検査対象２の検
査ができる。(3) 以下、本発明の第３の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。なお、図１及び図４と同
一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略す
る。

【００４５】図６は蓄積型ラインセンサを用いた検査装
置の構成図である。この蓄積型ラインセンサを用いた検
査装置は、上記第１及び第２の実施の形態を組み合わせ
たものである。

【００４６】このような構成であれば、検査対象２の線
幅データが線幅入力部１４から入力され、主制御部１２
の指令により参照データ補正部１８に送られる。ＸＹテ
ーブル１０上に検査対象２が載置され、このＸＹテーブ
ル１０が検査対象２を載せた状態で矢印イ方向に移動す
ると、蓄積型ラインセンサ１は、検査対象２からの像を
受光して各ラインセンサ１−１、１−２、…、１−ｎで
順次電荷を転送しながら蓄積し、最終段のラインセンサ
１−ｎから検査対象２の像の電気信号を１ライン毎に順
次出力する。この蓄積型ラインセンサ１の出力信号は、
センサデータ記憶部１５に順次記憶される。

【００４７】これと共に速度変動検出部２２は、所定期
間前までのＸＹテーブル１０の移動速度の平均速度を求
め、この平均速度と現在の移動速度とを比較して速度変
動を検出する。

【００４８】そして、読み出し展開補正部２３は、速度
変動検出部２２により検出された速度変動に応じて参照
データ保持部１６から参照データを読み出し展開するタ
イミングを補正する。

【００４９】又、参照データ補正部１８は、線幅入力部
１４により取り込まれた検査対象２の線幅データを受
け、この線幅に応じた補正係数を補正係数保持部１７に
保持されている補正係数から読み出し、この補正係数に
より読み出し展開補正部２３により読み出し展開された
参照データの振幅をリアルタイムに補正する。

【００５０】比較部１９は、蓄積型ラインセンサ１から
１ライン毎に順次出力される信号と参照データ保持部１
６から読み出し展開タイミングが補正されかつその振幅
が補正された参照データとを比較し、上記同様に蓄積型
ラインセンサ１の出力信号と参照データとが一致すれ
ば、良品の検査対象２であると判定し、不一致であれば
欠陥の検査対象２であると判定する。

【００５１】このように上記第３の実施の形態であれ
ば、検査対象２の線幅Ｗが変動、特に線幅Ｗが小さく変
動しても蓄積型ラインセンサ１の出力信号と参照データ
との各振幅が不一致となって誤判定することなく、かつ
ＸＹテーブル１０の速度が変動しても、このＸＹテーブ
ル１０の速度に応じて読み出し展開される参照データの
位置を蓄積型ラインセンサ１から１ライン毎に順次出力
される信号の位置とを一致させることができ、蓄積型ラ
インセンサ１の出力信号と参照データとの間に不整合が
生じることなく高精度に検査対象２の検査ができる。

【００５２】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、種
々の変動の影響を受けずに高精度な検査ができる蓄積型
ラインセンサを用いた検査方法及びその装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる蓄積型ラインセンサを用いた検
査装置の第１の実施の形態を示す構成図。

【図２】線幅に対する参照データの補正係数を示す図。

【図３】参照データの振幅を補正して蓄積型ラインセン
サの出力信号と参照データとの各振幅が一致した状態を
示す図。

【図４】本発明に係わる蓄積型ラインセンサを用いた検
査装置の第２の実施の形態を示す構成図。

【図５】理想のＸＹテーブルの速度を示すとともにＸＹ
テーブルの速度変動を傾きで示す図。

【図６】本発明に係わる蓄積型ラインセンサを用いた検
査装置の第３の実施の形態を示す構成図。

【図７】蓄積型ラインセンサの原理を示す模式図。

【図８】同蓄積型ラインセンサを用いた線状パターンの
欠陥検査を示す概略図。

【図９】線状パターンの模様を示す模式図。

【図１０】蓄積型ラインセンサの出力信号による欠陥検
査の作用を示す図。

【図１１】線幅の変動に対する蓄積型ラインセンサの出
力信号振幅値と参照データの振幅値とを示す図。

【図１２】ＸＹテーブルの速度又はテーブル位置が変動
したときに読み出し展開された参照データのずれを示す
模式図。

【符号の説明】

１：蓄積型ラインセンサ、 ２：検査対象、 ３：移動機構、 １０：ＸＹテーブル、 １１：制御処理部、 １２，２１：主制御部、 １４：線幅入力部、 １５：センサデータ記憶部、 １６：参照データ保持部、 １７：補正係数保持部、 １８：参照データ補正部、 １９：比較部、 ２２：速度変動検出部、 ２３：読み出し展開補正部。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年３月４日（１９９９．３．４）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象と蓄積型ラインセンサとを相対
   的に移動させたときの前記蓄積型ラインセンサの出力信
   号と前記検査対象を検査するための参照データとを比較
   して前記検査対象の検査を行う蓄積型ラインセンサを用
   いた検査方法において、 前記検査対象の線幅に応じた前記参照データの振幅に対
   する補正係数を予め保持し、前記参照データの振幅を前
   記検査対象の線幅に応じた補正係数で補正して前記蓄積
   型ラインセンサの出力信号と比較することを特徴とする
   蓄積型ラインセンサを用いた検査方法。
2. 【請求項２】 検査対象と蓄積型ラインセンサとを相対
   的に移動させたときの前記蓄積型ラインセンサの出力信
   号と前記検査対象を検査するための参照データとを比較
   して前記検査対象の検査を行う蓄積型ラインセンサを用
   いた検査装置において、 前記検査対象の線幅に応じた前記参照データの振幅に対
   する補正係数を予め保持する補正係数保持手段と、 前記検査対象の線幅に応じた補正係数を前記補正係数保
   持手段から読み出し、この補正係数により前記参照デー
   タの振幅を補正する参照データ補正手段と、を具備した
   ことを特徴とする蓄積型ラインセンサを用いた検査装
   置。
3. 【請求項３】 検査対象と蓄積型ラインセンサとを相対
   的に移動させたときの前記蓄積型ラインセンサの出力信
   号と前記検査対象を検査するための参照データとを比較
   して前記検査対象の検査を行う蓄積型ラインセンサを用
   いた検査方法において、 前記検査対象と前記蓄積型ラインセンサとを相対的な移
   動速度の変動を検出し、この速度変動に応じて前記参照
   データを読み出し展開するタイミングを補正することを
   特徴とする蓄積型ラインセンサを用いた検査方法。
4. 【請求項４】 検査対象と蓄積型ラインセンサとを相対
   的に移動させたときの前記蓄積型ラインセンサの出力信
   号と前記検査対象を検査するための参照データとを比較
   して前記検査対象の検査を行う蓄積型ラインセンサを用
   いた検査装置において、 前記検査対象と前記蓄積型ラインセンサとを相対的な移
   動速度の変動を検出する速度変動検出手段と、 この速度変動検出手段により検出された前記速度変動に
   応じて前記参照データを読み出し展開するタイミングを
   補正する読み出し展開補正手段と、を具備したことを特
   徴とする蓄積型ラインセンサを用いた検査装置。
5. 【請求項５】 前記速度変動検出手段は、所定期間前ま
   での前記検査対象と前記蓄積型ラインセンサとを相対的
   な移動速度の平均と現在の移動速度とを比較して速度変
   動を検出することを特徴とする請求項４記載の蓄積型ラ
   インセンサを用いた検査装置。
6. 【請求項６】 読み出し展開補正手段は、前記検査対象
   と前記蓄積型ラインセンサとを相対的な移動速度が早け
   れば前記参照データを読み出し展開するタイミングを早
   く補正し、かつ前記移動速度が遅ければ前記参照データ
   を読み出し展開するタイミングを遅く補正することを特
   徴とする請求項４記載の蓄積型ラインセンサを用いた検
   査装置。