JP2001319223A - パターン周期測定方法及び装置 - Google Patents
パターン周期測定方法及び装置Info
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- JP2001319223A JP2001319223A JP2000139453A JP2000139453A JP2001319223A JP 2001319223 A JP2001319223 A JP 2001319223A JP 2000139453 A JP2000139453 A JP 2000139453A JP 2000139453 A JP2000139453 A JP 2000139453A JP 2001319223 A JP2001319223 A JP 2001319223A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 縞パターンの未知のパターン周期を正確かつ
高精度に測定することができるパターン周期測定方法及
び装置を提供する。 【解決手段】 一定のパターン周期を持った縞パターン
を有する被測定物のパターン周期測定方法であって、被
測定物１の対象の縞パターン１ａの画像をＣＣＤカメラ
３で取り込んて画像メモリ５に格納し、画素のサイズと
画像上の縞パターンの間隔とその間隔の変動から対象の
縞パターンのパターン周期を演算手段６で演算すること
により、縞パターン１ａの未知のパターン周期をＣＣＤ
カメラ３の画素サイズ以下の精度で測定できるようにし
た。
高精度に測定することができるパターン周期測定方法及
び装置を提供する。 【解決手段】 一定のパターン周期を持った縞パターン
を有する被測定物のパターン周期測定方法であって、被
測定物１の対象の縞パターン１ａの画像をＣＣＤカメラ
３で取り込んて画像メモリ５に格納し、画素のサイズと
画像上の縞パターンの間隔とその間隔の変動から対象の
縞パターンのパターン周期を演算手段６で演算すること
により、縞パターン１ａの未知のパターン周期をＣＣＤ
カメラ３の画素サイズ以下の精度で測定できるようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主に液晶パネル上
のパターンなどの周期的なパターンのパターン周期の測
定を画像処理にて行うパターン周期測定方法及び装置、
並びにパターン検査方法及び装置に関するものである。
のパターンなどの周期的なパターンのパターン周期の測
定を画像処理にて行うパターン周期測定方法及び装置、
並びにパターン検査方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、一定の周期を持った縞パターンの
パターン周期を、ＣＣＤカメラの画像から測定する場合
には、最初にＣＣＤカメラにて縞パターンの画像を取り
込み、次の縞の部分を画像処理にて抽出し、縞の間隔を
画像上での距離に置き換えて測定する。画像上での距離
と実空間での距離との関係は既知であるので、演算処理
により実際の縞パターンのパターン周期を得ることがで
きる。
パターン周期を、ＣＣＤカメラの画像から測定する場合
には、最初にＣＣＤカメラにて縞パターンの画像を取り
込み、次の縞の部分を画像処理にて抽出し、縞の間隔を
画像上での距離に置き換えて測定する。画像上での距離
と実空間での距離との関係は既知であるので、演算処理
により実際の縞パターンのパターン周期を得ることがで
きる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際に
はＣＣＤカメラで入力された画像は有限の大きさを持っ
た画素から構成されているので、ＣＣＤカメラの画素の
サイズが縞パターンの周期の公約数でなければ、縞パタ
ーンのパターン周期は一定であるにも関わらず、ＣＣＤ
カメラで入力された画像上での縞パターンの縞間隔は一
定になることはない。よって、正確なパターン周期の測
定ができず、測定の精度はＣＣＤカメラの画素サイズ以
下にはできないという問題があった。
はＣＣＤカメラで入力された画像は有限の大きさを持っ
た画素から構成されているので、ＣＣＤカメラの画素の
サイズが縞パターンの周期の公約数でなければ、縞パタ
ーンのパターン周期は一定であるにも関わらず、ＣＣＤ
カメラで入力された画像上での縞パターンの縞間隔は一
定になることはない。よって、正確なパターン周期の測
定ができず、測定の精度はＣＣＤカメラの画素サイズ以
下にはできないという問題があった。
【０００４】また、画像上でのパターン周期が一定にな
らないということが原因で、光学的な検査、特にパター
ン検査を行う際に、パターン周期の画像上での変動をパ
ターンの異常と誤認識するという問題があった。
らないということが原因で、光学的な検査、特にパター
ン検査を行う際に、パターン周期の画像上での変動をパ
ターンの異常と誤認識するという問題があった。
【０００５】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、縞パ
ターンの未知のパターン周期を正確かつ高精度に測定す
ることができるパターン周期測定方法及び装置、並びに
パターン周期が既知の場合に逆に縞パターンのパターン
間隔の変動を求めて適正にパターン欠陥を検出できるパ
ターン欠陥検出方法及び装置を提供することを目的とし
ている。
ターンの未知のパターン周期を正確かつ高精度に測定す
ることができるパターン周期測定方法及び装置、並びに
パターン周期が既知の場合に逆に縞パターンのパターン
間隔の変動を求めて適正にパターン欠陥を検出できるパ
ターン欠陥検出方法及び装置を提供することを目的とし
ている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のパターン周期測
定方法は、一定のパターン周期を持った縞パターンを有
する被測定物のパターン周期測定方法であって、対象の
縞パターンの画像をＣＣＤカメラで取り込む工程と、画
素のサイズと画像上の縞パターンの間隔とその間隔の変
動から対象の縞パターンのパターン周期を演算する工程
とを有するものであり、縞パターンの未知のパターン周
期をＣＣＤカメラの画素サイズ以下の精度で測定するこ
とができる。
定方法は、一定のパターン周期を持った縞パターンを有
する被測定物のパターン周期測定方法であって、対象の
縞パターンの画像をＣＣＤカメラで取り込む工程と、画
素のサイズと画像上の縞パターンの間隔とその間隔の変
動から対象の縞パターンのパターン周期を演算する工程
とを有するものであり、縞パターンの未知のパターン周
期をＣＣＤカメラの画素サイズ以下の精度で測定するこ
とができる。
【０００７】上記縞パターンのパターン周期は未知であ
ることが好適である。
ることが好適である。
【０００８】上記パターン周期の演算工程では、画素の
サイズをｓ、画像上の縞パターンの間隔をＰ、Ｐ’（Ｐ
＞Ｐ’）、変動周期をＴ、未知の対象の縞パターンの周
期をｔとして、Ｐ’ｓ＜ｔ＜Ｐｓで、かつＴｔ／ｓが整
数になるｔを求める方法が好適である。
サイズをｓ、画像上の縞パターンの間隔をＰ、Ｐ’（Ｐ
＞Ｐ’）、変動周期をＴ、未知の対象の縞パターンの周
期をｔとして、Ｐ’ｓ＜ｔ＜Ｐｓで、かつＴｔ／ｓが整
数になるｔを求める方法が好適である。
【０００９】また、本発明のパターン検査方法は、一定
のパターン周期の縞パターンを有する被検査物のパター
ン検査方法であって、対象の縞パターンの画像をＣＣＤ
カメラで取り込む工程と、既知の縞パターンの周期と画
素のサイズから画像上の縞パターンの縞間隔の変動を演
算により求める工程と、演算で求めた縞間隔の変動に応
じてずれ量を変化させて画像上の縞パターンを周期分ず
らせ、パターンをキャンセルして欠陥のみを検出する工
程とを有するものであり、画像上の縞間隔の変動を欠陥
として誤検出することなく、欠陥のみを検出することが
できる。
のパターン周期の縞パターンを有する被検査物のパター
ン検査方法であって、対象の縞パターンの画像をＣＣＤ
カメラで取り込む工程と、既知の縞パターンの周期と画
素のサイズから画像上の縞パターンの縞間隔の変動を演
算により求める工程と、演算で求めた縞間隔の変動に応
じてずれ量を変化させて画像上の縞パターンを周期分ず
らせ、パターンをキャンセルして欠陥のみを検出する工
程とを有するものであり、画像上の縞間隔の変動を欠陥
として誤検出することなく、欠陥のみを検出することが
できる。
【００１０】上記縞パターンのパターン周期は既知であ
ることが好適である。
ることが好適である。
【００１１】また、本発明のパターン周期測定装置は、
対象の縞パターンの画像を取り込むＣＣＤカメラと、取
り込んだ画像データを処理してパターン周期を演算する
画像処理装置から成り、画像処理装置は、画像データを
格納する画像メモリと、画像上の縞パターンの間隔とそ
の間隔の変動から、対象の縞パターンの未知のパターン
周期を演算する演算手段とを備えたものであり、上記測
定方法を実施してその効果を奏することができる。
対象の縞パターンの画像を取り込むＣＣＤカメラと、取
り込んだ画像データを処理してパターン周期を演算する
画像処理装置から成り、画像処理装置は、画像データを
格納する画像メモリと、画像上の縞パターンの間隔とそ
の間隔の変動から、対象の縞パターンの未知のパターン
周期を演算する演算手段とを備えたものであり、上記測
定方法を実施してその効果を奏することができる。
【００１２】また、本発明のパターン検査装置は、対象
の縞パターンの画像を取り込むＣＣＤカメラと、取り込
んだ画像データを処理してパターン欠陥を検出する画像
処理装置から成り、画像処理装置は、画像データを格納
する画像メモリと、既知のパターン周期から画像上の縞
パターンの変動を演算し、演算で求めた縞間隔の変動に
応じてずれ量を変化させて画像上の縞パターンを周期分
ずらせ、パターンをキャンセルして欠陥のみを検出する
演算手段とを備えたものであり、上記検査方法を実施し
てその効果を奏することができる。
の縞パターンの画像を取り込むＣＣＤカメラと、取り込
んだ画像データを処理してパターン欠陥を検出する画像
処理装置から成り、画像処理装置は、画像データを格納
する画像メモリと、既知のパターン周期から画像上の縞
パターンの変動を演算し、演算で求めた縞間隔の変動に
応じてずれ量を変化させて画像上の縞パターンを周期分
ずらせ、パターンをキャンセルして欠陥のみを検出する
演算手段とを備えたものであり、上記検査方法を実施し
てその効果を奏することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態のパタ
ーン周期測定方法について図１〜図４を参照して説明す
る。
ーン周期測定方法について図１〜図４を参照して説明す
る。
【００１４】図１において、１は未知の一定のパターン
周期の縞パターン１ａをもった被測定物、２は被測定物
１を照明する照明装置、３は被測定物１の縞パターン１
ａで反射された光を取り込むＣＣＤカメラである。被測
定物１とＣＣＤカメラ３とは、被測定物１の縞パターン
１ａのパターン方向がＣＣＤカメラ３の画素の配列方向
と平行になるように設置されている。４はＣＣＤカメラ
３から入力された画像を演算処理する画像処理装置であ
る。
周期の縞パターン１ａをもった被測定物、２は被測定物
１を照明する照明装置、３は被測定物１の縞パターン１
ａで反射された光を取り込むＣＣＤカメラである。被測
定物１とＣＣＤカメラ３とは、被測定物１の縞パターン
１ａのパターン方向がＣＣＤカメラ３の画素の配列方向
と平行になるように設置されている。４はＣＣＤカメラ
３から入力された画像を演算処理する画像処理装置であ
る。
【００１５】画像処理装置４は、ＣＣＤカメラ３で取り
入れた画像データを格納する画像メモリ５と、画像デー
タから被測定物１の縞パターン１ａのパターン周期を演
算する演算手段６と、測定動作や演算処理等を制御する
制御部７にて構成されている。
入れた画像データを格納する画像メモリ５と、画像デー
タから被測定物１の縞パターン１ａのパターン周期を演
算する演算手段６と、測定動作や演算処理等を制御する
制御部７にて構成されている。
【００１６】以下、演算手段６にて画像上の画素のサイ
ズと画像上の縞パターンの間隔とその間隔の変動から被
測定物１の縞パターン１ａのパターン周期を演算するア
ルゴリズムについて説明する。
ズと画像上の縞パターンの間隔とその間隔の変動から被
測定物１の縞パターン１ａのパターン周期を演算するア
ルゴリズムについて説明する。
【００１７】図２は、被測定物１の縞パターン１ａを撮
像した画像１１上での縞パターン１１ａを模式的に示し
たものである。実空間上の縞パターン１ａは一定の周期
を持っているにも関わらず、画像１１上の縞パターン１
１ａでは縞間隔Ｐ、Ｐ’と異なっている。この原因を図
３を参照して説明する。説明を簡単にするため、１次元
空間で説明する。実際の縞パターン１ａをＸＲ上に表
し、ＣＣＤカメラ３による画像の画素３ａ配列上での縞
パターン１１ａ（斜線で表示）をＸＩ上に表している。
ＸＲ上の縞パターン１ａをＸＩ軸に投影したものが画像
上の縞パターン１１ａとなるが、ＣＣＤカメラ３の画素
３ａのサイズは有限であるため縞間隔Ｐ、Ｐ’は量子化
された値となる。縞パターン１ａの縞間隔ｔに対して画
素サイズｓが公約数でないと、縞パターン１ａが一定で
あっても画像上の縞パターン１１ａでは縞間隔Ｐ、Ｐ’
は一定とならない。
像した画像１１上での縞パターン１１ａを模式的に示し
たものである。実空間上の縞パターン１ａは一定の周期
を持っているにも関わらず、画像１１上の縞パターン１
１ａでは縞間隔Ｐ、Ｐ’と異なっている。この原因を図
３を参照して説明する。説明を簡単にするため、１次元
空間で説明する。実際の縞パターン１ａをＸＲ上に表
し、ＣＣＤカメラ３による画像の画素３ａ配列上での縞
パターン１１ａ（斜線で表示）をＸＩ上に表している。
ＸＲ上の縞パターン１ａをＸＩ軸に投影したものが画像
上の縞パターン１１ａとなるが、ＣＣＤカメラ３の画素
３ａのサイズは有限であるため縞間隔Ｐ、Ｐ’は量子化
された値となる。縞パターン１ａの縞間隔ｔに対して画
素サイズｓが公約数でないと、縞パターン１ａが一定で
あっても画像上の縞パターン１１ａでは縞間隔Ｐ、Ｐ’
は一定とならない。
【００１８】今、１番目の縞はＣＣＤ画素上では、Ｎ
（ｔ／ｓ）＋１番目の画素にある。ここでＮ（ｘ）は数
ｘの整数部分のみを返す関数である。同様にしてｎ番目
の縞はＮ（ｎｔ／ｓ）＋１番目の画素にあることから、
ｎ＋１番目の縞とｎ番目の縞との間隔は、Ｎ（（ｎ＋
１）ｔ／ｓ）−Ｎ（ｎｔ／ｓ）で表される。よって、ｎ
が順に増えていき、ｎｔ／ｓの整数部分が変化するとき
に縞の間隔が変動することが分かる。変動の周期は、ｘ
ｔ／ｓが整数となる最小のｘである。この原理を利用し
てパターン周期を測定することができる。
（ｔ／ｓ）＋１番目の画素にある。ここでＮ（ｘ）は数
ｘの整数部分のみを返す関数である。同様にしてｎ番目
の縞はＮ（ｎｔ／ｓ）＋１番目の画素にあることから、
ｎ＋１番目の縞とｎ番目の縞との間隔は、Ｎ（（ｎ＋
１）ｔ／ｓ）−Ｎ（ｎｔ／ｓ）で表される。よって、ｎ
が順に増えていき、ｎｔ／ｓの整数部分が変化するとき
に縞の間隔が変動することが分かる。変動の周期は、ｘ
ｔ／ｓが整数となる最小のｘである。この原理を利用し
てパターン周期を測定することができる。
【００１９】図４において、縞の間隔が画像上でＰ、
Ｐ’（ここでＰ＞Ｐ’）であるとし、Ｐ、Ｐ’の配列が
周期Ｔを持っているとすると、未知の縞間隔（パターン
周期）ｔは、Ｐ’ｓ＜ｔ＜Ｐｓの範囲に存在する。ま
た、変動の周期がＴであるので、Ｔｔ／ｓは整数Ｕとな
る。よって、これらを満たすようなｔ、Ｕを算出すれば
よい。
Ｐ’（ここでＰ＞Ｐ’）であるとし、Ｐ、Ｐ’の配列が
周期Ｔを持っているとすると、未知の縞間隔（パターン
周期）ｔは、Ｐ’ｓ＜ｔ＜Ｐｓの範囲に存在する。ま
た、変動の周期がＴであるので、Ｔｔ／ｓは整数Ｕとな
る。よって、これらを満たすようなｔ、Ｕを算出すれば
よい。
【００２０】例えば、ｓ＝６で、縞の間隔が３、２、
３、２、３、２・・・と得られたとする。この場合、縞
間隔の変動周期は最大６まであり得るので、それまでで
縞間隔の繰り返しに周期変動がないか調べる。この場合
はＴ＝２である。画像上で得られた縞間隔は２又は３で
あるので、実際のパターン周期ｔは、２×６＜ｔ＜３×
６の範囲にある。また、Ｔｔ／ｓは＝２ｔ／６＝ｔ／３
である。従って、１２＜ｔ＜１８の範囲にあり、かつｔ
／３が整数になるｔは、１５と算出される。かくして、
ＣＣＤカメラ３の画素サイズ６の定数倍６、１２、１８
よりも精度の高い値１５が得られる。複数のｔが得られ
る場合には、そのｔを用いて画像上で得られるパターン
間隔を仮想的に算出し、それが画像上の周期変動と一致
しているかを確かめることにより、正しいｔを得ること
ができる。
３、２、３、２・・・と得られたとする。この場合、縞
間隔の変動周期は最大６まであり得るので、それまでで
縞間隔の繰り返しに周期変動がないか調べる。この場合
はＴ＝２である。画像上で得られた縞間隔は２又は３で
あるので、実際のパターン周期ｔは、２×６＜ｔ＜３×
６の範囲にある。また、Ｔｔ／ｓは＝２ｔ／６＝ｔ／３
である。従って、１２＜ｔ＜１８の範囲にあり、かつｔ
／３が整数になるｔは、１５と算出される。かくして、
ＣＣＤカメラ３の画素サイズ６の定数倍６、１２、１８
よりも精度の高い値１５が得られる。複数のｔが得られ
る場合には、そのｔを用いて画像上で得られるパターン
間隔を仮想的に算出し、それが画像上の周期変動と一致
しているかを確かめることにより、正しいｔを得ること
ができる。
【００２１】次に、本発明を、パターン周期が既知であ
る被測定物１のパターン検査を行う場合に適用した他の
実施形態をついて説明する。
る被測定物１のパターン検査を行う場合に適用した他の
実施形態をついて説明する。
【００２２】なお、本実施形態における検査装置の基本
構成は、演算手段６が以下のアルゴリズムによってパタ
ーン欠陥を検出するように構成されている以外は、上記
第１の実施形態と同一である。
構成は、演算手段６が以下のアルゴリズムによってパタ
ーン欠陥を検出するように構成されている以外は、上記
第１の実施形態と同一である。
【００２３】従来、縞パターン上の欠陥を検出するパタ
ーン検査においては、隣合うパターン同士を比較、つま
りパターン周期分ずらせたものとの差分を取ることでパ
ターンをキャンセルし、欠陥のみを検出することが行わ
れているが、上記のように画像１１上で縞パターン１１
ａの周期が変動している場合は、一定の周期分ずらせた
パターン同士を比較してもパターンをキャンセルできな
い。
ーン検査においては、隣合うパターン同士を比較、つま
りパターン周期分ずらせたものとの差分を取ることでパ
ターンをキャンセルし、欠陥のみを検出することが行わ
れているが、上記のように画像１１上で縞パターン１１
ａの周期が変動している場合は、一定の周期分ずらせた
パターン同士を比較してもパターンをキャンセルできな
い。
【００２４】本実施形態においては、縞パターン１ａの
周期が既知であるので、上記実施形態と同様にして逆に
画像１１上でのパターン間隔の変動周期を予め計算する
ことができる。したがって、その変動量に応じて画像１
１上の縞パターン１１ａのずれ量を変化させることで、
パターンをキャンセルして欠陥のみを検出することがで
きる。かくして、画像１１上で縞パターン１１ａの周期
が変動するような場合でも精度よくパターン検査を行う
ことができる。
周期が既知であるので、上記実施形態と同様にして逆に
画像１１上でのパターン間隔の変動周期を予め計算する
ことができる。したがって、その変動量に応じて画像１
１上の縞パターン１１ａのずれ量を変化させることで、
パターンをキャンセルして欠陥のみを検出することがで
きる。かくして、画像１１上で縞パターン１１ａの周期
が変動するような場合でも精度よくパターン検査を行う
ことができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明のパターン周期測定方法及び装置
によれば、以上の説明から明らかなように、画素のサイ
ズと画像上の縞パターンの間隔とその間隔の変動から対
象の縞パターンのパターン周期を演算するようにしたの
で、縞パターンの未知のパターン周期をＣＣＤカメラの
画素サイズ以下の精度で測定することができる。
によれば、以上の説明から明らかなように、画素のサイ
ズと画像上の縞パターンの間隔とその間隔の変動から対
象の縞パターンのパターン周期を演算するようにしたの
で、縞パターンの未知のパターン周期をＣＣＤカメラの
画素サイズ以下の精度で測定することができる。
【００２６】また、本発明のパターン検査方法及び装置
によれば、既知の縞パターンの周期と画素のサイズから
画像上の縞パターンの縞間隔の変動を演算により求め、
演算で求めた縞間隔の変動に応じてずれ量を変化させて
画像上の縞パターンを周期分ずらせ、パターンをキャン
セルして欠陥のみを検出するようにしたので、画像上の
縞間隔の変動を欠陥として誤検出することなく、欠陥の
みを検出することができる。
によれば、既知の縞パターンの周期と画素のサイズから
画像上の縞パターンの縞間隔の変動を演算により求め、
演算で求めた縞間隔の変動に応じてずれ量を変化させて
画像上の縞パターンを周期分ずらせ、パターンをキャン
セルして欠陥のみを検出するようにしたので、画像上の
縞間隔の変動を欠陥として誤検出することなく、欠陥の
みを検出することができる。
【図１】本発明のパターン周期測定方法の一実施形態に
おける装置構成を示す斜視図である。
おける装置構成を示す斜視図である。
【図２】同実施形態におけるＣＣＤカメラから入力され
た画像の説明図である。
た画像の説明図である。
【図３】同実施形態における実空間上の縞パターンが画
素上に投影された状態の説明図である。
素上に投影された状態の説明図である。
【図４】同実施形態において、画像上の縞パターンの縞
間隔が周期的に変動する状態の説明図である。
間隔が周期的に変動する状態の説明図である。
１ 被測定物 １ａ 縞パターン ３ ＣＣＤカメラ ４ 画像処理装置 ５ 画像メモリ ６ 演算手段 １１ 画像 １１ａ 画像上の縞パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 湯川 典昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA07 AA14 AA22 AA56 BB02 BB18 CC25 DD03 FF01 FF04 FF61 HH02 HH12 JJ03 JJ26 QQ24 QQ25 RR07 RR08 UU05 2G051 AA73 AB07 CA03 CB01 EA11 EA12 EB05 5B057 AA01 BA02 CA12 CA16 DA03 DB02 DC03
Claims (7)
- 【請求項１】 一定のパターン周期を持った縞パターン
を有する被測定物のパターン周期測定方法であって、対
象の縞パターンの画像をＣＣＤカメラで取り込む工程
と、画素のサイズと画像上の縞パターンの間隔とその間
隔の変動から対象の縞パターンのパターン周期を演算す
る工程とを有することを特徴とするパターン周期測定方
法。 - 【請求項２】 縞パターンのパターン周期は未知である
ことを特徴とする請求項１記載のパターン周期測定方
法。 - 【請求項３】 パターン周期の演算工程は、画素のサイ
ズをｓ、画像上の縞パターンの間隔をＰ、Ｐ’（Ｐ＞
Ｐ’）、変動周期をＴ、未知の対象の縞パターンの周期
をｔとして、Ｐ’ｓ＜ｔ＜Ｐｓで、かつＴｔ／ｓが整数
になるｔを求めるものであることを特徴とする請求項１
又は２記載のパターン周期測定方法。 - 【請求項４】 一定のパターン周期の縞パターンを有す
る被検査物のパターン検査方法であって、対象の縞パタ
ーンの画像をＣＣＤカメラで取り込む工程と、既知の縞
パターンの周期と画素のサイズから画像上の縞パターン
の縞間隔の変動を演算により求める工程と、演算で求め
た縞間隔の変動に応じてずれ量を変化させて画像上の縞
パターンを周期分ずらせ、パターンをキャンセルして欠
陥のみを検出する工程とを有することを特徴とするパタ
ーン検査方法。 - 【請求項５】 縞パターンのパターン周期は既知である
ことを特徴とする請求項４記載のパターン検査方法。 - 【請求項６】 対象の縞パターンの画像を取り込むＣＣ
Ｄカメラと、取り込んだ画像データを処理してパターン
周期を演算する画像処理装置から成り、画像処理装置
は、画像データを格納する画像メモリと、画像上の縞パ
ターンの間隔とその間隔の変動から、元の縞パターンの
未知のパターン周期を演算する演算手段とを備えたこと
を特徴とするパターン周期測定装置。 - 【請求項７】 対象の縞パターンの画像を取り込むＣＣ
Ｄカメラと、取り込んだ画像データを処理してパターン
欠陥を検出する画像処理装置から成り、画像処理装置
は、画像データを格納する画像メモリと、既知のパター
ン周期から画像上の縞パターンの変動を演算し、演算で
求めた縞間隔の変動に応じてずれ量を変化させて画像上
の縞パターンを周期分ずらせ、パターンをキャンセルし
て欠陥のみを検出する演算手段とを備えたことを特徴と
するパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000139453A JP2001319223A (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | パターン周期測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001319223A true JP2001319223A (ja) | 2001-11-16 |
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ID=18646892
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000139453A Pending JP2001319223A (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | パターン周期測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001319223A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1839306B (zh) * | 2003-03-17 | 2012-06-20 | 奥博泰克有限公司 | 使用微检查输入的宏缺陷检测 |
-
2000
- 2000-05-12 JP JP2000139453A patent/JP2001319223A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1839306B (zh) * | 2003-03-17 | 2012-06-20 | 奥博泰克有限公司 | 使用微检查输入的宏缺陷检测 |
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