JP2000029069A

JP2000029069A - 液晶表示装置およびその製造方法

Info

Publication number: JP2000029069A
Application number: JP10196406A
Authority: JP
Inventors: Koji Inoue; 浩治井上
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1998-07-13
Filing date: 1998-07-13
Publication date: 2000-01-28

Abstract

(57)【要約】【課題】液晶表示装置において、カラーフィルタ製造
方法をカラーフィルタオンアレイに応用するには、ＲＧ
Ｂ樹脂膜にコンタクトホールを形成し、画素電極とこれ
を駆動させるスイッチング能動素子とに導電処理を施し
て、両者を導通させる必要がある。したがって、カラー
フィルタ製造方法をカラーフィルタオンアレイに展開す
る場合は、このコンタクトホールの形成が重要な課題と
なる。【解決手段】基板３上に遮光膜５を形成したうえで、
ＲＧＢ材料として着色されたネガ型感光性樹脂膜６Ａを
形成する。そして、このネガ型感光性樹脂膜６Ａを、遮
光膜５をマスクとして、背面露光、現像によりパタニン
グする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置およ
びその製造方法に関し、特に、液晶表示装置のカラー化
を目的として、画素電極を駆動するためのスイッチング
素子が形成されたアレイ基板の表面にカラーフィルタを
設けたカラーフィルタオンアレイ型の液晶表示装置、カ
ラーフィルタを用いた液晶表示装置、およびそれらの製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の薄膜トランジスタ（ＴｈｉｎＦ
ｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ、以下「ＴＦＴ」と称す
る）型の液晶表示装置（以下「液晶パネル」と称する）
の断面構成を、図１３に示す。このＴＦＴ型液晶パネル
４５は、アレイ基板３１と、カラーフィルタ基板３２と
を有する。このうちアレイ基板３１は、ガラス基板３３
上に、信号線および走査線が共に形成される能動素子３
４と、平坦化膜３８と、透明電極３９とが形成されてい
る。カラーフィルタ基板３２は、ガラス基板３３Ａ上
に、遮光膜３５と、カラーフィルタ３６と、透明電極３
９Ａとが形成されている。これらアレイ基板３１とカラ
ーフィルタ基板３２との相対向する面には、配向膜４
０、４０Ａが形成されている。そして、ガラス基板３
３、３３Ａの周辺部がシール材４１で固着され、球状の
スペーサ４２を介して液晶４３が充填されることで、液
晶パネル４５が形成されている。なお、液晶パネル４５
の用途に応じて、パネル表裏面に偏光板４４、４４Ａが
貼り付けられるこのような従来のＴＦＴ液晶パネル４５
においては、アレイ基板３１とカラーフィルタ基板３２
とを組み合わせる工程において、位置合わせ精度の問題
が生じる。このため、パタン設計の段階において、この
位置合わせ誤差を見込み、カラーフィルタ３６上に形成
されている遮光膜３５のパタン幅を広くし、位置ズレ不
良が発生しにくいようにしている。なお、遮光膜３５の
パタン幅を広くすることにより、画素開口率が小さくな
り、液晶パネルの表示品位として暗いものとなる。

【０００３】ところで、近年、液晶パネルの高輝度化の
実現のため、画素の高開口化が求められている。そし
て、画素の高開口化に伴って、製造設備における更なる
高精度アライメント技術の開発が行われている。しか
し、工法上、これ以上の高開口化は困難な状況になって
いる。

【０００４】そこで、近年、図１４に示すようにアレイ
基板上３１にカラーフィルタ３６を形成して組立時にア
ライメントを不要としたカラーフィルタオンアレイ構造
の開発が行われている。このカラーフィルタオンアレイ
構造により、カラーフィルタ３６が形成されたアレイ基
板３１と全面に電極が形成された対向基板とのアライメ
ントが不要となり、基板を組み立てる際の位置ズレ不良
が無くなると共に、アレイメント作業が不要になって、
工程を簡略化できる。また、両基板を組み合わせる際の
位置合わせ精度の問題が生じないため、この位置合わせ
誤差を見込まなくてもよいパタン設計ができ、遮光膜の
パタン幅を更に狭くした究極の超高開口化が実現でき
る。

【０００５】また、これらカラーフィルタオンアレイに
おけるカラーフィルタ形成方法として、染色法、顔料分
散法、電着法、フィルム転写法等の各種の工法が開発さ
れている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなカ
ラーフィルタ製造方法をカラーフィルタオンアレイに応
用するには、図１４にその断面構成を示すように、ＲＧ
Ｂ樹脂膜３６にコンタクトホール３７を形成し、画素電
極３９とこれを駆動させるスイッチング能動素子３４と
に導電処理を施して、両者を導通させる必要がある。し
たがって、カラーフィルタ製造方法をカラーフィルタオ
ンアレイに展開する場合は、このコンタクトホールの形
成が重要な課題となってくる。

【０００７】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、本発明は、ＲＧＢ材料として着色されたネガ型
感光性樹脂膜をアレイ基板上に形成した後、アレイ配線
をマスクとして背面露光することによりこの感光性樹脂
をパタニングするものである。

【０００８】すなわち、コンタクトホールはアレイ配線
上に形成されるが、背面露光および現像によってこの部
分の着色感光性樹脂膜が除去されるため、画素電極とこ
れを駆動するスイッチング能動素子とを導通させること
が可能となる。また、背面露光により、ＲＧＢの着色層
形成を位置ズレなしに行えるため、パタン精度の要求さ
れるカラーフィルタオンアレイには有効な方式である。

【０００９】

【発明の実施の形態】請求項１記載の本発明は、画素電
極および前記画素電極を駆動するスイッチング能動素子
を備えたアレイ基板と、前記画素電極の対向電極を備え
た対向基板とを有し、これらアレイ基板と対向基板との
間隙に液晶を封入した液晶表示装置において、前記画素
電極とスイッチング能動素子との間にネガ型感光性樹脂
膜を形成し、このネガ型感光性樹脂膜が、前記アレイ基
板のアレイ配線をマスクとして背面露光、現像によりパ
タニングされているとともに、このパタニングによって
前記ネガ型感光性樹脂膜が除去された部分に、画素電極
とスイッチング能動素子とを導通するための電気的導通
手段が形成されているようにしたものである。

【００１０】これにより、着色層のパタニングと、コン
タクトホールの形成とが、容易にかつ確実に行われる。

【００１１】請求項２記載の本発明は、カラーフィルタ
基板と対向基板との間隙に液晶を封入した液晶表示装置
において、カラーフィルタ基板上に遮光膜とネガ型感光
性樹脂膜とが形成され、このネガ型感光性樹脂膜が、前
記遮光膜をマスクとして背面露光、現像によりパタニン
グされているようにしたものである。

【００１２】これにより、遮光膜上には着色樹脂膜が形
成されないので、アライメント精度や平坦性に優れたカ
ラーフィルタを提供できる。

【００１３】請求項３記載の本発明は、ネガ型感光性樹
脂膜が着色ネガ型感光性樹脂膜であり、この着色ネガ型
感光性樹脂膜が単色毎に形成されているようにしたもの
である。一般的には着色材として顔料が用いられる。

【００１４】請求項４記載の本発明は、ネガ型感光性樹
脂膜が単色毎に染色により着色されているようにしたも
のである。一般的には着色材として染料が用いられる。

【００１５】請求項５記載の本発明は、着色ネガ型感光
性樹脂膜が印刷により形成されているようにしたもので
ある。

【００１６】請求項６記載の本発明は、滴状の出射によ
ってネガ型紫外線硬化膜が形成されているようにしたも
のである。

【００１７】請求項７記載の本発明は、画素電極および
前記画素電極を駆動するスイッチング能動素子を備えた
アレイ基板と、前記画素電極の対向電極を備えた対向基
板とを配置するとともに、これらアレイ基板と対向基板
との間隙に液晶を封入することで、液晶表示装置を製造
するに際し、前記画素電極とスイッチング能動素子との
間にネガ型感光性樹脂膜を形成し、前記アレイ基板のア
レイ配線をマスクとして背面露光、現像により前記ネガ
型感光性樹脂膜をパタニングし、このパタニングによっ
て前記ネガ型感光性樹脂膜が除去された部分を用いて、
前記画素電極とスイッチング能動素子とを導通させるも
のである。

【００１８】こうすると、着色層のパタニングと、コン
タクトホールの形成とが、容易にかつ確実に行われる。

【００１９】請求項８記載の本発明は、カラーフィルタ
ー基板と対向基板との間隙に液晶を封入することで、液
晶表示装置を製造するに際し、カラーフィルター基板上
に遮光膜を形成したうえでネガ型感光性樹脂膜を形成
し、このネガ型感光性樹脂膜を、前記遮光膜をマスクと
して背面露光、現像によりパタニングするものである。

【００２０】こうすると、遮光膜上には着色樹脂膜が形
成されないので、アライメント精度や平坦性に優れたカ
ラーフィルタを提供できる。

【００２１】請求項９記載の本発明は、ネガ型感光性樹
脂膜を着色ネガ型感光性樹脂膜により単色毎に形成する
ものである。

【００２２】請求項１０記載の本発明は、ネガ型感光性
樹脂膜を形成した後、このネガ型感光性樹脂膜を単色毎
に染色により着色するものである。

【００２３】請求項１１記載の本発明は、着色ネガ型感
光性樹脂膜を印刷法により形成するものである。

【００２４】請求項１２記載の本発明は、滴状の射出に
よってネガ型紫外線硬化膜を形成するものである。

【００２５】（実施の形態１）以下、本発明の実施の形
態１にもとづく液晶表示装置およびその製造方法につい
て、図１の液晶パネル断面図と、図２のカラーフィルタ
が形成されたアレイ基板の形成工程を示す基板断面図と
を用いて説明する。

【００２６】カラーフィルタが形成されたアレイ基板を
形成するに際しては、まず、図２（ａ）に示すように、
ガラス基板３上に、スイッチング能動素子４を、一般的
な半導体薄膜成膜と、絶縁膜成膜と、フォトリソ法によ
るエッチングとを繰り返すことにより形成する。さら
に、同図（ｂ）に示すように、能動素子４を形成したガ
ラス基板３上に有機顔料を分散したブラックレジストを
塗布し、フォトリソ法により遮光膜５を所要パターン形
状に形成する。このフォトリソに用いる露光機として
は、プロキシミティ露光装置が好適である。ただし、パ
タニング精度を向上させるためには、ミラープロジェク
ション露光装置を用いてもよい。また、上記のブラック
レジストは、その成膜後の材料特性として、電気抵抗率
が１０¹²Ω・ｃｍ以上、誘電率４以下、ＯＤ値２．５以
上のものが好適である。

【００２７】次に、同図（ｃ）に示すように、遮光膜５
が形成されたガラス基板３上に顔料分散の感光性樹脂６
Ａの層を形成し、ガラス基板３の背面から紫外線１３で
露光し、その後現像することにより、遮光性を示すアレ
イ配線４ａを遮光膜として、同図（ｄ）に示すように、
これら顔料分散の感光性樹脂６Ａの層を所要パタン形状
に形成する。すなわち、コンタクトホール形成部７は、
アレイ配線４ａ内に配置され、同形成部７の上面に形成
されている樹脂６Ａは露光されないため、現像によって
除去されるものである。

【００２８】この後、同図（ｅ）に示すように、このよ
うにして形成されたＲＧＢ着色層６上に、場合によって
は平坦化膜８を塗布する。この平坦化膜８としては、ア
クリル系の感光性タイプの樹脂が好適である。この場
合、上記のようにしてコンタクトホール形成部７上に塗
布された平坦化膜８に、フォトリソ法によりコンタクト
ホール７ａを形成する。最後に、同図（ｆ）に示すよう
にＩＴＯスパッタにより全面に透明電極を形成し、その
上でフォトリソ法によって画素電極９をパタニングする
ことにより、コンタクトホール７ａを介して能動素子４
と電気的に導通された画素電極９を形成することができ
る。これにより、カラーフィルタオンアレイ基板１が製
造される。

【００２９】図１は、上記のようにして製造されたカラ
ーフィルタオンアレイ基板１を用いたＴＦＴ型液晶パネ
ルの断面である。このＴＦＴ型液晶パネルを製造する際
には、まず、上記のカラーフィルタオンアレイ基板１
と、ガラス基板３Ａの上に透明電極９ａが形成された対
向基板２との相対向する面に配向膜１０、１０Ａをそれ
ぞれ形成する。次に、両ガラス基板３、３Ａの周辺部を
シール材２１で閉じ、球状のスペーサ２２を介してアレ
イ基板１と対向基板２とを固着し、その間隙に液晶２３
を充填する。

【００３０】（実施の形態２）以下、本発明の実施の形
態２にもとづく液晶表示装置およびその製造方法につい
て、図３の液晶パネル断面図と、図４のカラーフィルタ
の形成工程を示す基板断面図とを用いて説明する。

【００３１】カラーフィルタの形成に際しては、まず、
図４（ａ）に示すように、有機顔料を分散したブラック
レジストをガラス基板３上に塗布し、フォトリソ法によ
るパタニングにより遮光膜５を所要パターン形状に形成
する。次に、同図（ｂ）に示すように、遮光膜５が形成
されたガラス基板３上に顔料分散の感光性樹脂６Ａの層
を形成する。さらに、ガラス基板３の裏面からの紫外線
１３の背面露光および現像を行うことにより、同図
（ｃ）に示すように遮光膜５をマスクとした感光性樹脂
６Ａのパタン形成を行うことができる。最後に、同図
（ｄ）に示すようにＩＴＯスパッタにより全面に透明電
極９ａを形成し、対向電極とする。これにより、カラー
フィルタ基板１２が製造される。６は、これにより形成
されたＲＧＢ着色層を示す。

【００３２】アレイ基板１１の形成に際しては、まず、
図５（ａ）に示すように、ガラス基板３上に、スイッチ
ング能動素子４を、一般的な半導体薄膜成膜と、絶縁膜
成膜と、フォトリソ法によるエッチングとを繰り返すこ
とにより形成する。この状態のアレイ基板を１１ａと表
示する。次に、同図（ｂ）に示すように、場合によって
はこの上に平坦化膜８を塗布する。この平坦化膜８とし
ては、アクリル系の感光性タイプの樹脂が好適である。
そして、形成された平坦化膜８に、フォトリソ法により
コンタクトホール７ａを形成する。最後に、ＩＴＯスパ
ッタにより全面に透明電極を形成し、そのうえでフォト
リソ法により画素電極９をパタニングすることにより、
コンタクトホール７ａを介して能動素子４と電気的に導
通された画素電極９を形成する。これにより、アレイ基
板１１が製造される。

【００３３】図３は、上記のようにして製造されたアレ
イ基板１１とカラーフィルタ基板１２とを用いたＴＦＴ
型液晶パネルの断面図である。このＴＦＴ型液晶パネル
を製造する際には、まず、上記のアレイ基板１１とカラ
ーフィルタ基板１２の上に形成された画素電極９と透明
電極９ａとの上に配向膜１０、１０Ａをそれぞれ形成し
たうえで両者を相対向させる。次に、両基板１１、１２
の周辺部をシール材２１で閉じ、球状のスペーサ２２を
介してアレイ基板１１と対向基板１２とを固着し、その
間隙に液晶２３を充填する。最後に、アレイ基板１１と
カラーフィルタ基板１２の外側に偏光板２４、２４Ａを
貼付けて、液晶パネル２５を形成することができる。

【００３４】なお、上記においてはＴＦＴ型のカラーフ
ィルタについて説明したが、ＳＴＮ型のカラーフィルタ
についても同様の方法で形成することができる。

【００３５】（実施の形態３）以下、本発明の実施の形
態３に基づき、所要パタン形状にカラーフィルタが形成
されたアレイ基板の形成工程を、基板平面図である図６
および図７を用いて説明する。

【００３６】まず、図６（ａ）に示すように、ガラス基
板３上にスイッチング能動素子４およびアレイ配線４ａ
を形成する。７はコンタクトホール形成部である。次
に、スイッチング能動素子４およびアレイ配線４ａ上
に、同図（ｂ）に示す遮光膜５を所要パターン形状に形
成する。この後、図７（ａ）のように、着色層として、
顔料分散のネガ型感光性樹脂６Ａ、６Ｂ、６Ｃの膜を単
色毎にそれぞれ形成する。最後に、基板３の背面より露
光、現像することにより、同図（ｂ）に示すように感光
性樹脂６Ａ、６Ｂ、６Ｃからなる着色層を所要パタン形
状に形成することができる。

【００３７】（実施の形態４）以下、本発明の実施の形
態４に基づき、所要パタン形状にカラーフィルタが形成
されたアレイ基板の形成工程を、基板平面図である図８
および図９を用いて説明する。

【００３８】まず、図８（ａ）に示すように、ガラス基
板３上にスイッチング能動素子４およびアレイ配線４ａ
を形成する。７はコンタクトホール形成部である。次
に、スイッチング能動素子４およびアレイ配線４ａ上
に、同図（ｂ）に示す遮光膜５を形成する。この後、図
９（ａ）に示すように基板３上に染色性感光性樹脂５５
を形成してから、着色層２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃを単色
毎に染色する。最後に、基板３の背面より露光、現像す
ることにより、同図（ｂ）に示したように、着色層２６
Ａ、２６Ｂ、２６Ｃを所要パタン形状に形成することが
できる。

【００３９】（実施の形態５）以下、本発明の実施の形
態５に基づきカラーフィルタを形成するための凹版オフ
セット印刷法を、図１０を用いて説明する。

【００４０】まず、図１０に示すように、所要パタン形
状にセル１４（凹部）が形成された凹版１５上に、感光
性を付与した顔料分散型インク１６をディスペンサ１７
により滴下する。そして、スキージ１８によってスキー
ジングすることにより、凹版１５のセル１４内にインク
１６を充填する。次に、シリコン厚膜が表面に形成され
たブランケットロール１９をインク１６が充填された凹
版１５上を転がすことにより、ブランケットロール１９
上にインク１６を受理する。さらに、同ロール１９を、
図５（ａ）に示されるようにアレイ配線が形成されたア
レイ基板１１ａ上に転がすことにより、同基板１１ａに
インク１６を転写する。これを３回繰り返すことによ
り、図７（ａ）に示したものと同様に、アレイ基板１１
ａ上にネガ型感光性樹脂６Ａ、６Ｂ、６Ｃからなる着色
層をそれぞれ形成する。この後、基板１１ａの背面より
露光、現像することにより、図７（ｂ）に示したものと
同様に、感光性樹脂６Ａ、６Ｂ、６Ｃからなる着色層を
所要パタン形状に形成することができる。

【００４１】（実施の形態６）以下、本発明の実施の形
態６に基づきカラーフィルタを形成するための、ネガ型
感光性樹脂膜を形成した後に染色材を滴状に出射するこ
とにより着色する方法を、図１１を用いて説明する。

【００４２】この方法を用いる場合は、まず、図７
（ａ）に示したものと同様に、アレイ基板１１ａ上に染
色性感光性樹脂５５を塗布する。その後、ノズル２９か
ら滴状にＲ、Ｇ、Ｂのそれぞれの染料３０Ａ、３０Ｂ、
３０Ｃを染色性樹脂５５に所要パタン形状に出射し、図
９（ａ）に示したものと同様に、ＲＧＢ染色膜２６Ａ、
２６Ｂ、２６Ｃを形成する。この後、基板１１ａの背面
より露光することにより、図９（ｂ）に示したものと同
様に、染色された感光性樹脂５５を所要パタン形状に形
成することができる。なお、この染色性樹脂５５として
は、アクリル系の紫外線硬化型の樹脂が好適である。

【００４３】（実施の形態７）以下、本発明の実施の形
態７に基づきカラーフィルタを形成するための、着色ネ
ガ型感光性樹脂層を滴状に射出する方法を、図１２を用
いて説明する。

【００４４】この方法を用いる場合は、まず、図７
（ａ）に示したものと同様に、アレイ基板１１ａ上にノ
ズル２９からネガ型感光性樹脂６Ａ、６Ｂ、６Ｃを滴状
に出射することにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの着色層を形成す
る。この後、基板１１ａの背面から露光し、現像するこ
とにより、図７（ｂ）に示したものと同様の感光性樹脂
６Ａ、６Ｂ、６Ｃからなる着色層を所要パタン形状に形
成することができる。

【００４５】

【発明の効果】以上のように本発明によると、感光性を
付与した着色層を遮光膜が形成されている基板上に形成
し、この後、基板背面から露光し現像することにより着
色層の非形成部分を形成することで、この着色層の非形
成部分にコンタクトホールを形成でき、この部分に画素
電極とこれを駆動するスイッチング能動素子とを導通す
る処理を施すことが可能となり、したがってコンタクト
ホールを備えたカラーフィルタオンアレイを容易に提供
でき、液晶表示装置の超高開口率化と製造工程の合理化
が実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタオンアレイ基板を用いた本発明
の実施の形態の液晶表示装置の断面図である。

【図２】本発明に基づく、背面露光法を用いたカラーフ
ィルタオンアレイ基板の製造時の工程毎の断面図であ
る。

【図３】カラーフィルタ基板を用いて背面露光法を適用
した本発明の実施の形態の液晶表示装置の断面図であ
る。

【図４】本発明に基づく、背面露光法を用いた、図３に
おけるカラーフィルタ基板の製造時の工程毎の断面図で
ある。

【図５】図３におけるアレイ基板の製造時の工程毎の断
面図である。

【図６】本発明の実施の形態の液晶表示装置の製造時の
工程毎の平面図である。

【図７】図６に続く工程毎の平面図である。

【図８】本発明の他の実施の形態の液晶表示装置の製造
時の工程毎の平面図である。

【図９】図８に続く工程毎の平面図である。

【図１０】本発明の実施の形態の凹版オフセット印刷法
を示す斜視図である。

【図１１】本発明の実施の形態の着色層を出射により形
成する方法の一例を示す斜視図である。

【図１２】本発明の実施の形態の着色層を出射により形
成する方法の他の例を示す斜視図である。

【図１３】従来の一般的な液晶表示装置の構成を示す断
面図である。

【図１４】従来の一般的なカラーフィルターオンアレイ
の構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１カラーフィルタオンアレイ基板３ガラス基板４スイッチング能動素子４ａアレイ配線５遮光膜６ＲＧＢ着色膜６Ａ感光性樹脂７ａコンタクトホール９画素電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2H091 FA03Y FA35Y FB04 FC01 FC10 FC13 FC26 FD04 FD14 FD24 GA03 GA11 GA13 HA07 LA12 LA15 LA17 2H092 JA26 JA29 JA38 JA42 JA46 JB13 JB23 JB32 JB54 KB26 NA07 NA24 NA25 NA27 NA29 PA06 PA08 PA09 QA07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】画素電極および前記画素電極を駆動する
スイッチング能動素子を備えたアレイ基板と、前記画素
電極の対向電極を備えた対向基板とを有し、これらアレ
イ基板と対向基板との間隙に液晶を封入した液晶表示装
置において、前記画素電極とスイッチング能動素子との
間にネガ型感光性樹脂膜を形成し、このネガ型感光性樹
脂膜が、前記アレイ基板のアレイ配線をマスクとして背
面露光、現像によりパタニングされているとともに、こ
のパタニングによって前記ネガ型感光性樹脂膜が除去さ
れた部分に、画素電極とスイッチング能動素子とを導通
するための電気的導通手段が形成されていることを特徴
とする液晶表示装置。
【請求項２】カラーフィルタ基板と対向基板との間隙
に液晶を封入した液晶表示装置において、カラーフィル
タ基板上に遮光膜とネガ型感光性樹脂膜とが形成され、
このネガ型感光性樹脂膜が、前記遮光膜をマスクとして
背面露光、現像によりパタニングされていることを特徴
とする液晶表示装置。
【請求項３】ネガ型感光性樹脂膜が着色ネガ型感光性
樹脂膜であり、この着色ネガ型感光性樹脂膜が単色毎に
形成されていることを特徴とする請求項１または２記載
の液晶表示装置。
【請求項４】ネガ型感光性樹脂膜が単色毎に染色によ
り着色されていることを特徴とする請求項１または２記
載の液晶表示装置。
【請求項５】着色ネガ型感光性樹脂膜が印刷により形
成されていることを特徴とする請求項３記載の液晶表示
装置。
【請求項６】滴状の出射によってネガ型紫外線硬化膜
が形成されていることを特徴とする請求項３または４記
載の液晶表示装置。
【請求項７】画素電極および前記画素電極を駆動する
スイッチング能動素子を備えたアレイ基板と、前記画素
電極の対向電極を備えた対向基板とを配置するととも
に、これらアレイ基板と対向基板との間隙に液晶を封入
することで、液晶表示装置を製造するに際し、前記画素
電極とスイッチング能動素子との間にネガ型感光性樹脂
膜を形成し、前記アレイ基板のアレイ配線をマスクとし
て背面露光、現像により前記ネガ型感光性樹脂膜をパタ
ニングし、このパタニングによって前記ネガ型感光性樹
脂膜が除去された部分を用いて、前記画素電極とスイッ
チング能動素子とを導通させることを特徴とする液晶表
示装置の製造方法。
【請求項８】カラーフィルター基板と対向基板との間
隙に液晶を封入することで、液晶表示装置を製造するに
際し、カラーフィルター基板上に遮光膜を形成したうえ
でネガ型感光性樹脂膜を形成し、このネガ型感光性樹脂
膜を、前記遮光膜をマスクとして背面露光、現像により
パタニングすることを特徴とする液晶表示装置の製造方
法。
【請求項９】ネガ型感光性樹脂膜を着色ネガ型感光性
樹脂膜により単色毎に形成することを特徴とする請求項
７または８記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】ネガ型感光性樹脂膜を形成した後、こ
のネガ型感光性樹脂膜を単色毎に染色により着色するこ
とを特徴とする請求項７または８記載の液晶表示装置の
製造方法。
【請求項１１】着色ネガ型感光性樹脂膜を印刷法によ
り形成することを特徴とする請求項９記載の液晶表示装
置の製造方法。
【請求項１２】滴状の射出によってネガ型紫外線硬化
膜を形成することを特徴とする請求項９または１０記載
の液晶表示装置の製造方法。