JP2000028920A - 結像光学系 - Google Patents
結像光学系Info
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- JP2000028920A JP2000028920A JP10195255A JP19525598A JP2000028920A JP 2000028920 A JP2000028920 A JP 2000028920A JP 10195255 A JP10195255 A JP 10195255A JP 19525598 A JP19525598 A JP 19525598A JP 2000028920 A JP2000028920 A JP 2000028920A
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 結像光学系の紫外線領域における色収差を高
度に補正することにより、比較的広い波長域を持つ光源
の使用を可能とし、加工のスループットを向上させうる
結像光学系を提供する。 【解決手段】 物体側から正負正正正のレンズ群(G1〜G
5)から成り、第１レンズ群(G1)が石英正レンズと蛍石負
レンズから成る組(a1)を含み、第４レンズ群(G4)が蛍石
正レンズと石英負レンズから成る組(b1〜b8)を含む。組
(a1)を構成する石英正レンズと蛍石負レンズとの互いに
隣り合った面の合成屈折力と、組(b1〜b8)を構成する蛍
石正レンズと石英負レンズとの互いに隣り合った面の合
成屈折力を適正に規定した。
度に補正することにより、比較的広い波長域を持つ光源
の使用を可能とし、加工のスループットを向上させうる
結像光学系を提供する。 【解決手段】 物体側から正負正正正のレンズ群(G1〜G
5)から成り、第１レンズ群(G1)が石英正レンズと蛍石負
レンズから成る組(a1)を含み、第４レンズ群(G4)が蛍石
正レンズと石英負レンズから成る組(b1〜b8)を含む。組
(a1)を構成する石英正レンズと蛍石負レンズとの互いに
隣り合った面の合成屈折力と、組(b1〜b8)を構成する蛍
石正レンズと石英負レンズとの互いに隣り合った面の合
成屈折力を適正に規定した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、結像光学系に関す
るものであり、更に詳しくは、紫外線領域の光を用い
て、像面位置に配置された加工対象物上にパターンを結
像投影し、加工対象物表面の特性を変化させる等の作用
を与えて加工を行うための結像光学系に関するものであ
る。
るものであり、更に詳しくは、紫外線領域の光を用い
て、像面位置に配置された加工対象物上にパターンを結
像投影し、加工対象物表面の特性を変化させる等の作用
を与えて加工を行うための結像光学系に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】300nmないしはそれより短波長の紫外線
を用いる場合、使用できる硝材が限られてくるため、広
い波長領域で色収差を補正するのが難しくなる。そのた
め、この領域の紫外線を用いて加工を行う場合には、光
源の波長域を極力狭帯域化し、光学系の色収差負担を軽
減するのが一般的である。また、反射面では原理的に色
収差が発生しないので、光学系の持つ正屈折力のうちの
相当部分を反射面で構成することにより、色収差を良好
に補正するという方法も知られている。
を用いる場合、使用できる硝材が限られてくるため、広
い波長領域で色収差を補正するのが難しくなる。そのた
め、この領域の紫外線を用いて加工を行う場合には、光
源の波長域を極力狭帯域化し、光学系の色収差負担を軽
減するのが一般的である。また、反射面では原理的に色
収差が発生しないので、光学系の持つ正屈折力のうちの
相当部分を反射面で構成することにより、色収差を良好
に補正するという方法も知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記い
ずれの方法にも問題がある。光源の波長域を狭帯域化す
ると、結像に関与する光のエネルギーが減少し、加工の
スループットが低くなる。反射面の製造に対しては屈折
面の４倍程度厳しい精度が要求されるため、反射面を用
いると光学系全体の収差性能を確保することが難しくな
る。また反射面を用いる場合には、光路中に光路分割部
材を配置するのが一般的であるため、エネルギーをロス
することにもなる。
ずれの方法にも問題がある。光源の波長域を狭帯域化す
ると、結像に関与する光のエネルギーが減少し、加工の
スループットが低くなる。反射面の製造に対しては屈折
面の４倍程度厳しい精度が要求されるため、反射面を用
いると光学系全体の収差性能を確保することが難しくな
る。また反射面を用いる場合には、光路中に光路分割部
材を配置するのが一般的であるため、エネルギーをロス
することにもなる。
【０００４】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであって、結像光学系の紫外線領域における色収
差を高度に補正することにより、比較的広い波長域を持
つ光源の使用を可能とし、加工のスループットを向上さ
せうる結像光学系を提供することを目的とする。特に、
比較的製造が容易な屈折系のみにて実現可能な結像光学
系を提供することを目的とする。また、こうした加工に
おいては、加工対象物が光学系とは隔離された真空中又
は雰囲気中に配置されることがあり、加工対象物と光学
系との間には遮蔽用の窓部材が配置されることが多い。
このために、この種の光学系には比較的大きな作動距離
を確保することが要求されるので、こうした要求を満た
すことも本発明の目的の１つである。
たものであって、結像光学系の紫外線領域における色収
差を高度に補正することにより、比較的広い波長域を持
つ光源の使用を可能とし、加工のスループットを向上さ
せうる結像光学系を提供することを目的とする。特に、
比較的製造が容易な屈折系のみにて実現可能な結像光学
系を提供することを目的とする。また、こうした加工に
おいては、加工対象物が光学系とは隔離された真空中又
は雰囲気中に配置されることがあり、加工対象物と光学
系との間には遮蔽用の窓部材が配置されることが多い。
このために、この種の光学系には比較的大きな作動距離
を確保することが要求されるので、こうした要求を満た
すことも本発明の目的の１つである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第１の発明の結像光学系は、物体側から順に、正の
第１レンズ群、負の第２レンズ群、正の第３レンズ群、
正の第４レンズ群及び正の第５レンズ群から成り、物体
面を像面に縮小結像させる結像光学系であって、前記第
２レンズ群が１枚以上の負メニスカスレンズと１枚以上
の両凹レンズとを含むとともに負レンズのみから構成さ
れ、前記第３レンズ群が２枚以上の正レンズのみから構
成され、前記第１レンズ群が第１の硝種(ただし、波長2
48nmの光に対する屈折率nが式:1.5075＜n＜1.5095を満
たす。)から成る正レンズと第２の硝種(ただし、波長24
8nmの光に対する屈折率nが式:1.4670＜n＜1.4690を満た
す。)から成る負レンズとを含むとともに以下の条件式
(1)を満足することを特徴とする。 0.01＜φa／φ1＜0.15 …(1) ただし、 φa：第１レンズ群中の第１の硝種から成る正レンズと
第２の硝種から成る負レンズとの互いに隣り合った面の
合成屈折力(φa＞0)、 φ1：第１レンズ群の屈折力、 である。
め、第１の発明の結像光学系は、物体側から順に、正の
第１レンズ群、負の第２レンズ群、正の第３レンズ群、
正の第４レンズ群及び正の第５レンズ群から成り、物体
面を像面に縮小結像させる結像光学系であって、前記第
２レンズ群が１枚以上の負メニスカスレンズと１枚以上
の両凹レンズとを含むとともに負レンズのみから構成さ
れ、前記第３レンズ群が２枚以上の正レンズのみから構
成され、前記第１レンズ群が第１の硝種(ただし、波長2
48nmの光に対する屈折率nが式:1.5075＜n＜1.5095を満
たす。)から成る正レンズと第２の硝種(ただし、波長24
8nmの光に対する屈折率nが式:1.4670＜n＜1.4690を満た
す。)から成る負レンズとを含むとともに以下の条件式
(1)を満足することを特徴とする。 0.01＜φa／φ1＜0.15 …(1) ただし、 φa：第１レンズ群中の第１の硝種から成る正レンズと
第２の硝種から成る負レンズとの互いに隣り合った面の
合成屈折力(φa＞0)、 φ1：第１レンズ群の屈折力、 である。
【０００６】第２の発明の結像光学系は、上記第１の発
明の構成において、前記第２の硝種から成る正レンズと
前記第１の硝種から成る負レンズとの互いに隣り合った
組み合わせを、前記第４レンズ群中に２組以上含み、そ
の全ての組が以下の条件式(2)を満足することを特徴と
する。 0.01＜｜φb／φ4｜＜0.12 …(2) ただし、φb：第４レンズ群中の各組において第２の硝
種から成る正レンズと第１の硝種から成る負レンズとの
互いに隣り合った面の合成屈折力(φb＜0)、 φ4：第４レンズ群の屈折力、 である。
明の構成において、前記第２の硝種から成る正レンズと
前記第１の硝種から成る負レンズとの互いに隣り合った
組み合わせを、前記第４レンズ群中に２組以上含み、そ
の全ての組が以下の条件式(2)を満足することを特徴と
する。 0.01＜｜φb／φ4｜＜0.12 …(2) ただし、φb：第４レンズ群中の各組において第２の硝
種から成る正レンズと第１の硝種から成る負レンズとの
互いに隣り合った面の合成屈折力(φb＜0)、 φ4：第４レンズ群の屈折力、 である。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施した結像光学
系を、図面を参照しつつ説明する。図１，図３，図５
は、第１〜第３の実施の形態の結像光学系断面をそれぞ
れ示すレンズ構成図である。第１〜第３の実施の形態
は、物体側から順に、正の第１レンズ群(G1)、負の第２
レンズ群(G2)、正の第３レンズ群(G3)、正の第４レンズ
群(G4)及び正の第５レンズ群(G5)から成り、物体面を像
面に縮小結像させる結像光学系である。
系を、図面を参照しつつ説明する。図１，図３，図５
は、第１〜第３の実施の形態の結像光学系断面をそれぞ
れ示すレンズ構成図である。第１〜第３の実施の形態
は、物体側から順に、正の第１レンズ群(G1)、負の第２
レンズ群(G2)、正の第３レンズ群(G3)、正の第４レンズ
群(G4)及び正の第５レンズ群(G5)から成り、物体面を像
面に縮小結像させる結像光学系である。
【０００８】第１レンズ群(G1)は、石英(SiO2)から成る
正レンズと蛍石(CaF2)から成る負レンズとが隣り合った
構成の組(a1)を、最も物体側に１組含んでいる。その組
(a1)を構成している正レンズと負レンズとは、第１，第
２の実施の形態では直接に接しているが、第３の実施の
形態では所定の空気間隔をあけて配置されている。いず
れの実施の形態においても、組(a1)を構成している正レ
ンズと負レンズとの互いに隣り合った面(第１，第２の
実施の形態では境界面、第３の実施の形態では空気間隔
をあけて対向する２面)の合成屈折力が、後述する倍率
色収差補正に有効に働くことになる。
正レンズと蛍石(CaF2)から成る負レンズとが隣り合った
構成の組(a1)を、最も物体側に１組含んでいる。その組
(a1)を構成している正レンズと負レンズとは、第１，第
２の実施の形態では直接に接しているが、第３の実施の
形態では所定の空気間隔をあけて配置されている。いず
れの実施の形態においても、組(a1)を構成している正レ
ンズと負レンズとの互いに隣り合った面(第１，第２の
実施の形態では境界面、第３の実施の形態では空気間隔
をあけて対向する２面)の合成屈折力が、後述する倍率
色収差補正に有効に働くことになる。
【０００９】第２レンズ群(G2)は、１枚以上の負メニス
カスレンズと１枚以上の両凹レンズとを含むとともに、
負レンズのみから構成されている。第３レンズ群(G3)
は、２枚以上の正レンズのみから構成されている。また
第４レンズ群(G4)は、蛍石(CaF2)から成る正レンズと石
英(SiO2)から成る負レンズとの互いに隣り合った組み合
わせを、２組(b1,b2,…)以上含む構成となっている。各
組(b1,b2,…)を構成している正レンズと負レンズとは、
第１，第２の実施の形態では直接に接しているが、第３
の実施の形態では所定の空気間隔をあけて配置されてい
る。いずれの実施の形態においても、組(b1,b2,…)を構
成している正レンズと負レンズとの互いに隣り合った面
(第１，第２の実施の形態では境界面、第３の実施の形
態では空気間隔をあけて対向する２面)の合成屈折力
が、後述する軸上色収差補正に有効に働くことになる。
カスレンズと１枚以上の両凹レンズとを含むとともに、
負レンズのみから構成されている。第３レンズ群(G3)
は、２枚以上の正レンズのみから構成されている。また
第４レンズ群(G4)は、蛍石(CaF2)から成る正レンズと石
英(SiO2)から成る負レンズとの互いに隣り合った組み合
わせを、２組(b1,b2,…)以上含む構成となっている。各
組(b1,b2,…)を構成している正レンズと負レンズとは、
第１，第２の実施の形態では直接に接しているが、第３
の実施の形態では所定の空気間隔をあけて配置されてい
る。いずれの実施の形態においても、組(b1,b2,…)を構
成している正レンズと負レンズとの互いに隣り合った面
(第１，第２の実施の形態では境界面、第３の実施の形
態では空気間隔をあけて対向する２面)の合成屈折力
が、後述する軸上色収差補正に有効に働くことになる。
【００１０】ところで、作動距離を確保するためには、
光学系の比較的前方(物体側)に負の屈折力が集中してい
る部分を設けることが有利である。充分な作動距離を確
保しつつ、全体の収差状態を良好に保つためには、その
光学系を物体側から順に、正の第１レンズ群、１枚以上
の負メニスカスレンズと１枚以上の両凹レンズを含み負
レンズのみから構成される負の第２レンズ群、２枚以上
の正レンズのみから構成される正の第３レンズ群、正の
第４レンズ群、及び正の第５レンズ群から構成すること
が有利である。前述した各実施の形態は、この光学構成
をとっている。
光学系の比較的前方(物体側)に負の屈折力が集中してい
る部分を設けることが有利である。充分な作動距離を確
保しつつ、全体の収差状態を良好に保つためには、その
光学系を物体側から順に、正の第１レンズ群、１枚以上
の負メニスカスレンズと１枚以上の両凹レンズを含み負
レンズのみから構成される負の第２レンズ群、２枚以上
の正レンズのみから構成される正の第３レンズ群、正の
第４レンズ群、及び正の第５レンズ群から構成すること
が有利である。前述した各実施の形態は、この光学構成
をとっている。
【００１１】通常、この種の光学系は少なくとも像側に
テレセントリックな構成をとる。テレセントリックな光
学系の構成上、軸外光の主光線の通過高さは物体側で高
く、像側で低くなるため、光学系全体としては負の倍率
色収差(中心波長よりも短波長側の主光線が、中心波長
の主光線よりも低い位置に結像する状態)が発生しやす
くなる。そのため、倍率色収差を補正するためには、主
光線の通過高さが高い第１レンズ群中に、正の倍率色収
差を発生させる部分を設けることが効果的である。この
ため上記構成の光学系において、第１レンズ群中に石英
(SiO2)から成る正レンズと蛍石(CaF2)から成る負レンズ
を配置し、第１レンズ群が以下の条件式(1)を満足する
ように構成することが望ましい。 0.01＜φa／φ1＜0.15 …(1) ただし、 φa：第１レンズ群中の石英から成る正レンズと蛍石か
ら成る負レンズとの互いに隣り合った面の合成屈折力
(φa＞0)、 φ1：第１レンズ群の屈折力、 である。
テレセントリックな構成をとる。テレセントリックな光
学系の構成上、軸外光の主光線の通過高さは物体側で高
く、像側で低くなるため、光学系全体としては負の倍率
色収差(中心波長よりも短波長側の主光線が、中心波長
の主光線よりも低い位置に結像する状態)が発生しやす
くなる。そのため、倍率色収差を補正するためには、主
光線の通過高さが高い第１レンズ群中に、正の倍率色収
差を発生させる部分を設けることが効果的である。この
ため上記構成の光学系において、第１レンズ群中に石英
(SiO2)から成る正レンズと蛍石(CaF2)から成る負レンズ
を配置し、第１レンズ群が以下の条件式(1)を満足する
ように構成することが望ましい。 0.01＜φa／φ1＜0.15 …(1) ただし、 φa：第１レンズ群中の石英から成る正レンズと蛍石か
ら成る負レンズとの互いに隣り合った面の合成屈折力
(φa＞0)、 φ1：第１レンズ群の屈折力、 である。
【００１２】条件式(1)は、倍率色収差を良好に補正す
るための条件を規定している。条件式(1)の下限を超え
ると、倍率色収差の補正不足傾向が過大となり、条件式
(1)の上限を超えると、倍率色収差の補正過剰傾向が過
大となるとともに、高次収差の発生を引き起こし、それ
によって波長差によるコマ収差の差(いわゆる色のコマ
収差)が許容できなくなってくる。
るための条件を規定している。条件式(1)の下限を超え
ると、倍率色収差の補正不足傾向が過大となり、条件式
(1)の上限を超えると、倍率色収差の補正過剰傾向が過
大となるとともに、高次収差の発生を引き起こし、それ
によって波長差によるコマ収差の差(いわゆる色のコマ
収差)が許容できなくなってくる。
【００１３】さらに、軸上色収差を良好に補正するため
には、蛍石(CaF2)から成る正レンズと石英(SiO2)から成
る負レンズとの互いに隣り合った組み合わせを、第４レ
ンズ群中に２組以上含み、その全ての組が以下の条件式
(2)を満足することが望ましい。 0.01＜｜φb／φ4｜＜0.12 …(2) ただし、 φb：第４レンズ群中の各組において蛍石から成る正レ
ンズと石英から成る負レンズとの互いに隣り合った面の
合成屈折力(φb＜0)、 φ4：第４レンズ群の屈折力、 である。
には、蛍石(CaF2)から成る正レンズと石英(SiO2)から成
る負レンズとの互いに隣り合った組み合わせを、第４レ
ンズ群中に２組以上含み、その全ての組が以下の条件式
(2)を満足することが望ましい。 0.01＜｜φb／φ4｜＜0.12 …(2) ただし、 φb：第４レンズ群中の各組において蛍石から成る正レ
ンズと石英から成る負レンズとの互いに隣り合った面の
合成屈折力(φb＜0)、 φ4：第４レンズ群の屈折力、 である。
【００１４】条件式(2)は、軸上色収差を良好に補正す
るための条件を規定している。条件式(2)の下限を超え
ると、軸上色収差の補正不足傾向が過大となる。これを
補正しようとすると、蛍石から成る正レンズと石英から
成る負レンズとで構成する組の数を多くしなければなら
なくなり、レンズ系の大型化を招くことになる。一方、
条件式(2)の上限を超えると、軸上色収差の補正過剰傾
向が過大となり、加えて高次収差の発生を招き、波長に
よる球面収差の差(いわゆる色のフレア)が悪化すること
になる。なお、レンズ系の大型化を招かないようにする
ためには、上記した蛍石から成る正レンズと石英から成
る負レンズとで構成される組を、１０組以下にとどめる
ことが望ましい。
るための条件を規定している。条件式(2)の下限を超え
ると、軸上色収差の補正不足傾向が過大となる。これを
補正しようとすると、蛍石から成る正レンズと石英から
成る負レンズとで構成する組の数を多くしなければなら
なくなり、レンズ系の大型化を招くことになる。一方、
条件式(2)の上限を超えると、軸上色収差の補正過剰傾
向が過大となり、加えて高次収差の発生を招き、波長に
よる球面収差の差(いわゆる色のフレア)が悪化すること
になる。なお、レンズ系の大型化を招かないようにする
ためには、上記した蛍石から成る正レンズと石英から成
る負レンズとで構成される組を、１０組以下にとどめる
ことが望ましい。
【００１５】第１，第４レンズ群内の石英レンズと蛍石
レンズとの互いに隣り合った面において、効果的に色収
差を補正しつつ高次収差の発生を抑えるためには、互い
の曲率半径の差を１０％以内に抑えることが望ましい。
また、以上に述べた構成によって倍率色収差と軸上色収
差を良好に補正することができるが、更に高度に色収差
を補正するためには、第５レンズ群中の正レンズを蛍石
(CaF2)で構成し、負レンズを石英(SiO2)で構成すること
が望ましい。
レンズとの互いに隣り合った面において、効果的に色収
差を補正しつつ高次収差の発生を抑えるためには、互い
の曲率半径の差を１０％以内に抑えることが望ましい。
また、以上に述べた構成によって倍率色収差と軸上色収
差を良好に補正することができるが、更に高度に色収差
を補正するためには、第５レンズ群中の正レンズを蛍石
(CaF2)で構成し、負レンズを石英(SiO2)で構成すること
が望ましい。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を実施した結像光学系の構成
を、コンストラクションデータ，収差図等を挙げて、更
に具体的に説明する。なお、以下に挙げる実施例１〜３
は、前述した第１〜第３の実施の形態にそれぞれ対応し
ており、第１〜第３の実施の形態を表すレンズ構成図
(図１，図３，図５)は、対応する実施例１〜３のレンズ
構成をそれぞれ示している。
を、コンストラクションデータ，収差図等を挙げて、更
に具体的に説明する。なお、以下に挙げる実施例１〜３
は、前述した第１〜第３の実施の形態にそれぞれ対応し
ており、第１〜第３の実施の形態を表すレンズ構成図
(図１，図３，図５)は、対応する実施例１〜３のレンズ
構成をそれぞれ示している。
【００１７】各実施例のコンストラクションデータにお
いて、ri(i=1,2,3,...)は物体側から数えてi番目の面の
曲率半径、di(i=1,2,3,...)は物体側から数えてi番目の
軸上面間隔を示しており、βは横倍率、NAは開口数であ
る。各実施例に用いられている硝材は石英(SiO2)と蛍石
(CaF2)であり、それぞれのｄ線に対する屈折率(Ｎd)，
アッベ数(νd)；使用波長領域の光線(波長:248.5nm，24
8.0nm)に対する屈折率を表１に示す。また、各実施例に
おける条件式対応値を表２に示す。
いて、ri(i=1,2,3,...)は物体側から数えてi番目の面の
曲率半径、di(i=1,2,3,...)は物体側から数えてi番目の
軸上面間隔を示しており、βは横倍率、NAは開口数であ
る。各実施例に用いられている硝材は石英(SiO2)と蛍石
(CaF2)であり、それぞれのｄ線に対する屈折率(Ｎd)，
アッベ数(νd)；使用波長領域の光線(波長:248.5nm，24
8.0nm)に対する屈折率を表１に示す。また、各実施例に
おける条件式対応値を表２に示す。
【００１８】
【００１９】
【００２０】
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】図２，図４，図６は、実施例１〜実施例３
にそれぞれ対応する収差図(H:入射高，Y':像高)であ
る。図２(ａ)，図４(ａ)，図６(ａ)は、波長:248.5nm,2
48.0nmの光線に対する球面収差と正弦条件(SC)を示して
いる。図２(ｂ)，図４(ｂ)，図６(ｂ)は、サジタル面(D
S)とタンジェンシャル面(DT)での波長:248.5nm,248.0nm
の光線に対する非点収差をそれぞれ示している。また、
図２(ｃ)，図４(ｃ)，図６(ｃ)は歪曲収差(％)を示して
おり、図２(ｄ)，図４(ｄ)，図６(ｄ)は波長:248.0nm
(中心波長:248.5nm)の光線に対する倍率色収差を示して
いる。
にそれぞれ対応する収差図(H:入射高，Y':像高)であ
る。図２(ａ)，図４(ａ)，図６(ａ)は、波長:248.5nm,2
48.0nmの光線に対する球面収差と正弦条件(SC)を示して
いる。図２(ｂ)，図４(ｂ)，図６(ｂ)は、サジタル面(D
S)とタンジェンシャル面(DT)での波長:248.5nm,248.0nm
の光線に対する非点収差をそれぞれ示している。また、
図２(ｃ)，図４(ｃ)，図６(ｃ)は歪曲収差(％)を示して
おり、図２(ｄ)，図４(ｄ)，図６(ｄ)は波長:248.0nm
(中心波長:248.5nm)の光線に対する倍率色収差を示して
いる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、前
述した条件式(1)や(2)を満たすことにより紫外線領域に
おける色収差を高度に補正することができるため、比較
的広い波長域を持つ光源の使用が可能となる。したがっ
て、加工のスループットを向上させることができる。し
かも本発明に係る結像光学系は比較的製造が容易な屈折
系のみにて実現可能であり、また各レンズ群の特徴的な
構成により、比較的大きな作動距離の確保が可能であ
る。
述した条件式(1)や(2)を満たすことにより紫外線領域に
おける色収差を高度に補正することができるため、比較
的広い波長域を持つ光源の使用が可能となる。したがっ
て、加工のスループットを向上させることができる。し
かも本発明に係る結像光学系は比較的製造が容易な屈折
系のみにて実現可能であり、また各レンズ群の特徴的な
構成により、比較的大きな作動距離の確保が可能であ
る。
【図１】第１の実施の形態(実施例１)のレンズ構成図。
【図２】実施例１の収差図。
【図３】第２の実施の形態(実施例２)のレンズ構成図。
【図４】実施例２の収差図。
【図５】第３の実施の形態(実施例３)のレンズ構成図。
【図６】実施例３の収差図。
G1 …第１レンズ群 G2 …第２レンズ群 G3 …第３レンズ群 G4 …第４レンズ群 G5 …第５レンズ群
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H087 KA21 LA01 NA02 NA04 PA15 PA16 PB20 QA02 QA06 QA07 QA17 QA21 QA25 QA32 QA34 QA42 QA45 QA46 RA42 UA03 UA04 5F046 BA04 CB12 CB25
Claims (2)
- 【請求項１】 物体側から順に、正の第１レンズ群、負
の第２レンズ群、正の第３レンズ群、正の第４レンズ群
及び正の第５レンズ群から成り、物体面を像面に縮小結
像させる結像光学系であって、 前記第２レンズ群が１枚以上の負メニスカスレンズと１
枚以上の両凹レンズとを含むとともに負レンズのみから
構成され、前記第３レンズ群が２枚以上の正レンズのみ
から構成され、前記第１レンズ群が第１の硝種(ただ
し、波長248nmの光に対する屈折率nが式:1.5075＜n＜1.
5095を満たす。)から成る正レンズと第２の硝種(ただ
し、波長248nmの光に対する屈折率nが式:1.4670＜n＜1.
4690を満たす。)から成る負レンズとを含むとともに以
下の条件式(1)を満足することを特徴とする結像光学
系； 0.01＜φa／φ1＜0.15 …(1) ただし、 φa：第１レンズ群中の第１の硝種から成る正レンズと
第２の硝種から成る負レンズとの互いに隣り合った面の
合成屈折力(φa＞0)、 φ1：第１レンズ群の屈折力、 である。 - 【請求項２】 前記第２の硝種から成る正レンズと前記
第１の硝種から成る負レンズとの互いに隣り合った組み
合わせを、前記第４レンズ群中に２組以上含み、その全
ての組が以下の条件式(2)を満足することを特徴とする
請求項１記載の結像光学系； 0.01＜｜φb／φ4｜＜0.12 …(2) ただし、 φb：第４レンズ群中の各組において第２の硝種から成
る正レンズと第１の硝種から成る負レンズとの互いに隣
り合った面の合成屈折力(φb＜0)、 φ4：第４レンズ群の屈折力、 である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10195255A JP2000028920A (ja) | 1998-07-10 | 1998-07-10 | 結像光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10195255A JP2000028920A (ja) | 1998-07-10 | 1998-07-10 | 結像光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000028920A true JP2000028920A (ja) | 2000-01-28 |
Family
ID=16338101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10195255A Pending JP2000028920A (ja) | 1998-07-10 | 1998-07-10 | 結像光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000028920A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002073670A1 (fr) * | 2001-03-13 | 2002-09-19 | Nikon Corporation | Procede et systeme d'exposition, et procede de production d'un dispositif |
| US7857433B2 (en) | 2006-02-02 | 2010-12-28 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inkjet printhead employing piezoelectric actuator and method of manufacturing the inkjet printhead |
-
1998
- 1998-07-10 JP JP10195255A patent/JP2000028920A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002073670A1 (fr) * | 2001-03-13 | 2002-09-19 | Nikon Corporation | Procede et systeme d'exposition, et procede de production d'un dispositif |
| US7857433B2 (en) | 2006-02-02 | 2010-12-28 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inkjet printhead employing piezoelectric actuator and method of manufacturing the inkjet printhead |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050329 |
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| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20050613 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051004 |