JP2000028441A - 透明材料の膜を測定する方法とこの方法を実施する装置 - Google Patents
透明材料の膜を測定する方法とこの方法を実施する装置Info
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Abstract
提供する。 【解決手段】 本発明装置は、透明材料40の一側に設
けられ単一色の光源と固定偏光子44と2つの基準周波
数f0 と2f0 を与える光弾性変調器46とを具備する
発光装置と、透明材料の他側に置かれた拡散ストリップ
60と、発した光ビーム62を拡散ストリップの全長に
わたって動かす手段と、透明材料に関し発光装置と同じ
側に位置しかつ検光子48と電子なだれフォトダイオー
ド50と変調器によって与えられた2つの周波数を基準
として有する2つの同期検知増幅器54,56と応力が
加えられない場合に対し応力が加えられた時フォトダイ
オードの出力部で収集された電気信号の相移動を決定す
る獲得ベンチ58とを具備する、拡散された光を受け取
る装置、とを具備している。
Description
の内部の膜を測定する方法と装置に関する。生産ライン
の終端を離れる浮遊ガラスのストリップには、特に応力
が発生する。膜に対する不完全な制御が浮遊ガラスの列
上のガラスが破損する主な原因である。これらの応力の
状態を測定することはこれらの応力をより良く制御し生
産性を向上させることを可能にする。
一定のプレストレス(予応力)を発生させ一般に割れや
すいこの部分の強度を増大させることも知られている。
シャープルズ装置と称されている。この装置は、回転偏
光子、窓、四分の一波長プレート、検光子、及びフォト
ダイオードを連続して通過する光ビームを発する光源を
具備している。
屈折率は非等方的に変わり、これが材料に局部的な複屈
折を生じる作用をする。この複屈折の効果は材料を通過
する光の種々の偏光要素を相−移動させることである。
られることが光弾性の理論により示すことができる。
る光の強さがゼロになるまで検光子を回転することによ
り測定される。この時、相移動が測定されている窓の場
所に黒色帯が観察される。
測定が使用者と他の人とで相違する人為的要素と所作と
を必要とするため信頼性のないものとなる。詳細には、
黒色の線を見るのは個々の人の視覚に依存する。したが
って、シャープルズ装置では5MPa のオーダーの応力値
にとって2MPa のオーダーとなる測定値の大きなばらつ
きがある。
3,337号はシャープルズ装置の欠点を一部は解消す
る応力測定のための他の装置を開示している。添付の図
1によって示されるこの装置は透明な材料、例えば生産
ラインの終端を離れるガラス14のストリップの上方と
下方にそれぞれ配設された発光装置10と受光装置12
とを具備している。ガラスのストリップは図の平面に直
角の方向に動いていると仮定される。発光装置は、光源
16、ビームをろ過し所定の波長λの単一色ビームを伝
達する干渉フィルター18、単一色ビームを平行にする
のに用いられる光学装置20、歯車26とガラスのスト
リップの長手方向軸線に45°で位置する四分の一波長
プレート28とを介してモーター24によって駆動され
る回転偏光子22を具備している。
方向軸線に45°で位置する検光子30と、フォトダイ
オード32と増幅器34とがその後に続く干渉フィルタ
ーとを具備している。
られガラスの横断方向の温度形態を測定する。フォトダ
イオードと高温計の出力部はマイクロプロセッサー38
に接続されている。
れマイクロプロセッサーに蓄積される。したがって、前
記の式(数3)を用いてガラスのストリップの任意の点
における応力σを計算することができる。
ストリップの上方と下方にそれぞれ位置する2つの支持
アームに取付けられ、ガラスのストリップの横断方向に
配置された案内レールに沿ってこれら支持アーム上を前
後の運動で移動する。この2つの装置の運動は同期しそ
れによりその光軸が常に相互に整列するようにしなけれ
ばならない。
とができるが、いくつかの欠点を有している。すなわ
ち、− この装置は同期して駆動される必要のある2つ
の支持アームを使用するためコストが高くなる。− 偏
光プリズムとエンコーダーとによって形成される光学装
置の回転駆動は頻繁な保守を必要とする比較的複雑な機
械的伝動装置によって得られる。− 2,3ヘルツのオ
ーダーである信号の周波数は、この周波数で光の強さが
ほこりやガラスに積層される層の含有物又は不ぞろいの
ようなほんの少しの動揺によって変動するため、相移動
ψの正確な測定を行うには小さすぎるという欠点を有し
ている。
測定が良好に行われユニットを並進させる機構を簡単に
し又はこの機構を完全になくしそれによりコストを減少
することのできる応力測定の方法と装置を提供すること
により、上記の欠点を解消することである。
ガラスに載置される層の不ぞろいに起因する光の強さの
変動に対して感度が低い応力測定の方法と装置に関す
る。
くても正しい測定を行うことができるようにする応力測
定方法と装置に関する。
本発明が基礎とする原理が最初に記載される。
かれる複屈折媒体が考えられる。これは相移動ψ0 を導
入し、また検光子の出力部で測った光の強さIが、偏光
子と検光子とが交差され複屈折媒体の特性軸に対して4
5°である場合に最大となることが知られている。この
強さは次の式で与えられる。
された幾つかの相移動の合計となる。これらの光学要素
の1つが、その特性軸がガラスのストリップの特性軸と
一致する例えば光弾性型の変調器である場合は、次の条
件が得られる。 ψ0 =ψ+ψm ここでψはガラスのストリップで測定される相移動であ
る。ψm は変調器によって導入された相移動である。
ると、これはψm =A0 cos(2πf0 t)を与え
る。測定された強さはしたがって
幅はそれぞれ
ル関数である。
件の点からコントラストCが100%より小さい未知の
値に等しいため、相移動ψを計算することを不可能にす
る。同様に、I0 は、ガラスによる吸収が一方の成分か
ら他方の成分に変わることとほこり、ガラスの中の含有
物及び表面の不ぞろいのためI0 に急速の変化が生じる
ことによって未知となる。
より解消される。
知ることは相移動ψとしたがって応力σとの値を導き出
すことができるようにする。この論法はもちろん、これ
が最後の式におけるベツセル係数の値を変えるだけであ
るため、任意の成分2n・f 0 と(2n+1)・f0 に
当てはまる。
折との両方に適用できる。
定の性能を向上させる目的でこの原理を用いる。
法に関する。本発明の方法はそれ自体がこれに与えられ
る運動を有する透明材料に適用することができる。これ
は例えばガラスの生産ラインを出て行く浮遊ガラスのス
トリップの場合である。この材料の全表面は、光ビーム
に、運動方向に直角の材料の寸法に少なくとも等しい振
幅の振動運動を与えることにより、走査することができ
る。
明材料を通過した光は発光装置に関して透明材料の他の
側に配置された拡散ストリップと反射ストリップの少な
くとも一方を用いて反射され、また受光装置は発光装置
と同じ側に置かれ前記反射された光を受け取るようにす
る。
体とすることができ、固定された個所に配設されこれに
与えられる振動運動を有している。この実施態様によ
り、測定装置は発光装置と受光装置を保持するための支
持アームを有していない。
メル層で被覆された自動車の窓の場合のように、一方の
表面が不透明層で被覆された透明材料に適用することが
できる。発光装置から出る光ビームは不透明層で被覆さ
れた面とは反対側の面を通って透明材料に入る。不透明
層に達すると、光は全ての方向に拡散され、拡散された
光の一部は不透明層を通過し、一部は反射される。受光
装置は不透明層と同じ側に配設されて透明材料を通って
伝達された拡散光を受取るようにするか、又は不透明層
とは反対側に配設されて不透明層により反射された光を
受取るようにする。
応力を測定する装置に関する。本発明の装置は従来技術
の装置の欠点を有していない。特に、本装置は支持アー
ムを含んでいないため非常に簡単な構造となっている。
さらにまた、光弾性変調器を用いることは偏光子を固定
したままとすることを可能にする。これは機械的装置を
簡単化するものとなる。
る。最大の光の強さは偏光子と検光子とを交差させるこ
とと偏光子と検光子を透明材料の特性軸に対して45°
で配置することによってのみ得られるが、この条件は本
発明の場合は絶対的に必要なものではない。換言すれ
ば、コントラストCは必ずしも100%に等しくする必
要はなく、その理由は上記したように、比B(f0 )/
B(2f0 )がコントラストに依存しないからである。
層の不ぞろいによって生じる光の強さI0 の変動の問題
に対して敏感でない。さらに、50KHz である比較的高
い変調周波数により、測定速度が速くなり測定の間光の
強さI0 の変動が無視できるようになる。
トラストを予測できないように弱くするが、測定は依然
として上記したのと同じ理由で信頼できるものとなる。
の光の強さの振幅を測定することにより装置がノイズの
点で非常に頑強となる。信号がノイズに対して弱くても
正しい測定を行うことができる。
全幅にわたって応力線図を作図することができるように
する。
られる以下の記載を読むことによりさらに明瞭に理解さ
れるであろう。
ラスのストリップの特定の場合を参照してなされるが、
この記載は透明材料のどのような種類にも等しく当ては
まるものである。
ため、この記載は直接図2についてなされ、同図は伝導
によって応力を測定する装置を示し、この装置は光弾性
変調器と同期−検知装置とを組込み、本発明の拡散によ
る応力測定方法を実証するのに用いられるものである。
ち、ガラスのストリップに代えて、その応力線図が十分
に知られているプレストレス(予め応力がかけられた)
ガラスの対比試験片40が用いられる。これらの対比試
験片は、焼なましされ生産ラインの終端を離れるガラス
のストリップの応力線図と同様な応力線図を得るように
したガラスのかたまりによって得られる。
定装置の中に置かれる。この装置は対比試験片の各々の
応力線図を実験に基づいて決定することができるように
する。測定によって見出された線図が対比試験片の既知
の線図と同じであったならば、本発明の方法が実証され
たと結論することができる。
ぞれ縦方向と横方向とに平行で対比試験片40の平面に
直角である座標系OXYZ を示す。
8nm)ヘリウム−ネオンレーザーの単一色光源42を具
備している。光は、OY 軸に対して45°で配置された
偏光子44と、その軸がOX 軸とOY 軸とに一致するよ
うに配置された光弾性変調器46と、既知の応力線図を
有し応力の方向がOY 軸と平行のガラス対比試験片40
と、OY 軸に対し−45°で配置された検光子48と、
光を電気信号に変換させる光ダイオード50とを、連続
して通過する。
と4を参照して要約される。
例えばシリカで作られその一端が圧電結晶72に接着剤
で結合され他端が機械的ストッパ63に当接する、透明
材料の棒からなっている。
せる共振装置である。本発明の場合、周波数は50KHz
である。
され振動の振幅を制御する電子回路により駆動される。
これが変調器から出てくる光の偏光の状態の変調サイク
ルを決定する振動の振幅である。作動振幅A0 =πが以
下に用いられる。
時間に対する振動の振幅の変化を示す。
その基準が光弾性変調器46によって与えられる2つの
同期−検知増幅器54,56を具備する同期−検知装置
52に送られる。これらの基準はf0 と2f0 に等しい
ように、例えば50KHz と100KHz に選択される。フ
ォトダイオードによって測定された信号のf0 (50KH
z)と2f0 (100KHz)における分光成分に対応する2
つのアナログ信号B(W0 )とB(2W0 )が増幅器5
4と56の出力部で再生される。
(2)を用いることによりまたその結果応力を用いるこ
とにより相移動ψの値を決定する獲得ベンチ58によ
り、デジタル形式に変換される。ガラス対比試験片の応
力線図の座標への作図はこうして直接得られる。
対比試験片が用いられ、その一方は3.25MPa の中心
の応力を有し、他方は3.9MPa の中心の応力を有し、
そして実質的に放物線の線図を有している。それはA0
=π,J1 (A0 )=0.2846及びJ2 (A0 )=
0.4854であるからである。これらの値を式(2)
に置換えると、
この線図は、図5においては3.20MPa の最大値が求
められ一方上記のように手動で測定された値は3.25
MPaであるから、対比試験片について従来技術によって
測定された線図と完全に一致することがわかる。
対比試験片について繰返され、そして本発明の方法で得
られた値はどの場合も手動で測定した値と一致してい
た。
て実証される。
方法の適用が以下に記載される。
ている。同図において、図2と同様な各要素は同一符号
で示されている。図6の装置は図2の装置とは次の点
で、すなわち − 発光装置(レーザー42、偏光子44及び変調器4
6を具備する)と受光装置(検光子48と検知器50と
を具備する)が測定されるべきガラス40と同じ側に置
かれる。 − この装置はガラスのストリップの他方の側に配置さ
れ受けた入射ビーム62の少なくとも一部を拡散された
ビーム64の形式で受光装置に反射することのできる反
射又は拡散材料のバンド(帯域)60を具備している。 − フォトダイオードが電子なだれフォトダイオードに
置換えられ、この電子なだれフォトダイオードは拡散さ
れた光束64が伝達された光束62よりも弱いため感度
が高い。という点で異なっている。
検知される前に2回ガラスを通過することにある。発光
軸と受光軸との間の小さな角を選択することにより、応
力は2回測定され測定の感度を2倍にすることが認めら
れる。
ム(図示しない)上を摺動するよう取付けられた同じユ
ニット65に組合わされる。このレールはガラス40の
ストリップが動く方向に対して横断して配設され、それ
によりユニットの戻り行程の間発せられた光ビーム62
がガラスのストリップを通ってその全幅にわたって走行
するようになっている。
横断方向に、好ましくはレールを含みかつガラスのスト
リップに直角の垂直平面上に配設される。バンドは好ま
しくは反射信号を発する材料又は陽極処理された白色金
属で作られる。
ている。最大応力σM =7.80MPa がプレートの中心
で測定され、得られた値は測定された値のまさに半分の
3.9MPa である。
る。この不連続性は、測定の感度が2倍となるため、測
定された相移動が90°を超えることによるものであ
る。この結果は、応力を決定することができるようにす
る式(2)が逆タンジェントの180°の周期による偏
差を有する結果を与えることである。この不連続性はさ
らにまた数値的に補正するのを容易にする。
線図と完全に一致している。この拡散構造はしたがって
それ自体が実証される。この配置構造は単一の支持アー
ムを用いることを可能にするため有利である。
施態様を示す図8が参照される。
受光装置が点Oによって略示されるユニットに並んで取
付けられる。このユニットはガラス40のストリップの
上方の固定位置に取付けられる。
転しそれによりレーザービームがガラスのストリップの
全幅を角度をおいて走査するようにしている。走査角度
θ0は−45°と+45°の間で変化する。光はガラス
のストリップの下側に配置された横断支持体に固定され
た拡散材料60のバンドにより反射される。
装置はガラスのストリップに対し垂直には位置せず角度
α0 だけこの垂直方向に対し後方に角度をなして偏倚
し、それによりレーザービームがストリップに直角に
(θ0 =0)入射した時正反射がガラスにより反射され
たビームを反射するのを阻止するようにする。
度による走査の間、検知器は常時全く安定した光度を受
ける。しかし正反射により反射されたビームが捕えられ
た場合、光の強さに突然の増加が観察されこれが検知器
を飽和させる。さらに、正反射はそのためガラスのスト
リップの2つの面からの反射の間の干渉に関する情報を
包含し、これが上記の理論を意味のないものにする。実
際上は、α0 は小さな値の5°に設定される。
ないため図6の構造よりもさらに簡単でありまたさらに
経済的である。さらに、発光−受光装置がガラスのスト
リップの上方に離れて置かれるため冷却装置を取付ける
ことができる。これは熱い時に応力の測定を行うのがで
きるようにする。
を必要とするが、その理由はガラスのストリップが角度
をおいて走査されることが、ガラスへのレーザービーム
の入射角度が変化しまたレーザービームが通過するガラ
スの厚さもまた変化することを意味するからである。厚
さEが一定となるようにする式(5)がそのため適用で
きない。
測定された実効応力σ1 1が次の式によって測定されるσ
1 と関係していることを示すことができる。
θ1 0=sinθ0 となるようにガラスに区画形成された
2つの角度であり、ここでnはガラスの屈折率である。
本発明の特定の場合は、σ1 =0でα1 0は非常に小さ
い。この結果σ1 2≒σ2 となる。実効厚さはしたがって
E0 =E/cosθ1 0となり、最後に相移動ψは次の式
で得られる。
ス生産ライン上の応力の変化曲線を示し、また図10は
単一支持アームを有する拡散による測定装置の場合の曲
線を示している。この2つの測定装置によって得られた
結果の間の非常に良好な一致が認められる。
による測定装置の場合の応力の変化曲線を示し、破線の
曲線は未加工の曲線で実線は入射角の変化を考慮するよ
う補正された曲線である。
学的変形を有する印刷ガラスや高い吸収性のガラスのよ
うな特殊ガラス上で測定を行うのに適用することができ
る。
置は印刷されたガラス上での測定を補正することができ
るが、それは測定時間がその全期間にわたって非常に短
くそのためガラスの変形が信号を大きく混乱させること
がないからである。
非常に頑強である。信号処理は信号対ノイズの比が小さ
い時でも測定を検知することができるようにする。本装
置はしたがって非常に高い吸収性のガラスに対する作動
を可能にする。
の材料の層で被覆された透明材料における応力の測定に
適用することができる。これは例えば、周縁が非常に暗
い色のエナメルの層で被覆され窓を紫外線の作用に抗し
て取付けるのに必要な接着を保護しまた接合部の欠陥を
隠すようにする網戸のような一定の自動車の窓の場合で
ある。
生させ一般に割れやすいこの周縁部分を増強させるよう
にすることが知られている。この結果は、この周縁部分
に圧縮応力を、またその補償として引張り応力を2,3
センチメートルの幅のこの周縁部分に対して内側の帯域
上に発生させることである。この現象は添付の図12に
よって示され、同図は応力の変化の曲線を周縁からの距
離の関数として表わしている。圧縮領域は幅lを有し引
張り領域は幅Lを有している。
わたって応力を測定するのに用いることができる。
し、不透明層41で被覆された窓の応力を測定するよう
になっている。図2の要素と同じのこの装置の要素は同
一の参照符号で示されている。この装置はこれ以上は記
載されず、発光装置が不透明層41で被覆された窓の面
とは反対側に配置されまた装置の感度を増大させるため
被覆レンズ51とフォトダイオードとして電子なだれフ
ォトダイオード50とが用いられていることを指摘する
にとどめる。
窓が4.8mmの厚さの積層された網戸であり、λ=67
5nmの波長を有する光で照射される特定例の実施態様に
おいては、図14に示される線図が得られる。この線図
は周縁から測定が行われる点までの距離の関数として相
移動ψを与え、任意の距離単位ψが上記の式(2)によ
って計算される。
的な線図と同じ形状を有していることが認められる。こ
の線図の起点に見られる相の不連続性は逆タンジェント
関数が−90°と+90°との間にある値を有している
ことによる。相偏差の値は90°より大きいため、結果
は逆タンジェントにおける180°の周期による偏差を
有している。
手順は次のとおりである。すなわち − 曲線の3つの部分AB,BC及びDEが削除され
る。 − 標本の縁の前方の空気中で得られたそのため関係の
ない測定値に対応する水平部分ABが除外される。 − 部分BCが振幅90°の垂直下方に向う並進運動を
受け点Cを点Dに一致させる。部分B′Dはこうして得
られる。 − このようにして得られた曲線B′DEは水平方向左
側へ並進され点B′を座標軸に持ってくる。図15の曲
線がこうして得られる。
れ、図16の曲線が得られる。
と16から読取られる。これらはそれぞれ34°と5.
1MPa である。相移動と圧縮応力との最小値はそれぞれ
−160°と−24.0MPa である。
れた窓における応力の測定に適用された時の図6の反射
による測定装置を示す。発光装置と受光装置が共に窓の
同じ側にあり、すなわち不透明層によって被覆された面
とは反対側にある。
を測定するのに用いられ図18の曲線が得られた。この
曲線は、測定の感度がこの実施態様では2倍となるため
図14の場合よりも多数の相の不連続を有していること
がわかる。
され、そしてこれに基づき図20に示される応力線図が
得られる。
として70°が読取られ圧縮での最小の相移動として−
330°が読取られる。これらの値はそれぞれ引張りに
おける5.2MPa と圧縮における−24.8MPa とに対
応している。
よって見出された応力の値と実質的に等しいことが認め
られる。
見出された値と一致していることが認められる。詳細に
は、標本が523nmの波長で照射される実験の間、5.
1MPa が引張りとしてまた− 23.3MPa が圧縮とし
て見出された。
る方法で得られた測定のとの間の一致のため、図16の
曲線と図20の曲線が図21に示されるように重ね合わ
される。
わらず、伝達による配置槽がその感度が十分であるた
め、好ましい。反射による配置構造の2倍の感度は欠点
が多いが、その理由は線図の始点で生じる相の不連続性
が問題で役に立たず、またこの不連続性が数値的な処理
により取除かれなければならないからである。さらにま
た伝達による線図は反射による線図よりも滑らかである
ことがわかる。最後に、反射による結果の判定は困難で
あり、その理由は明るくまた汚れることの多い標本の前
面が、測定にとって有用な唯一の光である不透明層によ
って拡散された光に対し迷光である多量の拡散光を発生
するからである。
覆するが、本発明はまた不透明層41が窓の2つの隣接
層の間、例えばガラス板43とプラスチックで形成され
た接着中間層45との間に挟まれている図22の窓に適
用できることが推測された。
く応力測定装置の概略図で、透明材料が対比試験片から
なっている概略図である。
られた応力線図を示す図である。
施態様の拡散のために設計された応力測定装置の概略図
である。
られた応力線図である。
いていない応力測定装置の概略図である。
得られた応力曲線を示す図である。
図である。
図である。
が塗着された窓の周縁領域における応力変動の理論的曲
線を示す図である。
記周縁領域での応力を測定する装置を示す図である。
ての相移動の変動曲線を示し、この変動曲線が図13の
装置で得られる変動曲線の図である。
よう補正した図14と同様な図である。
縁領域で応力を測定する装置の他の実施態様を示す図で
ある。
移動の変化の曲線を示す図である。
移動の変化の曲線を示す図である。
である。
ある。
の実施態様であって、この窓が積層され2つの構成層の
間に不透明層が含まれている窓の他の実施態様を示す図
である。
Claims (17)
- 【請求項1】 ガラス窓のような透明な材料における膜
を測定する方法であって、 振動運動が与えられて透明材料を走査する発光装置によ
り、偏光された単一色の光ビームを発する段階と、 前記光ビームを変調器、特に2つの基準周波数、好まし
くはf0 と2f0 を有する光弾性変調器を通過させる段
階と、 変調器から出てくる変調された光ビームを透明材料を通
過させる段階と、 透明材料を通過した光を、透明材料が含有する応力を原
因とする透明材料の複屈折により導入された変調を決定
することのできる検光子を有する受光装置で、受取る段
階と、 受け取った光ビームを対応の電気信号に変換する段階
と、 変調器の前記基準周波数に対応する電気信号の周波数成
分B(f0 )とB(2f0 )を検出する段階と、 前記周波数成分に基づき、応力が透明材料に加えられて
いる時収集された電気信号の相移動ψを透明材料が応力
を受けていない場合に対して、 【数1】 ここでJ1 とJ2 は第1及び第2のオーダーのベツセル
関数、A0 は変調器の相−移動の変調振幅により計算す
る段階と、 応力σを 【数2】 ここでλは光の波長、Eは窓の厚さ、C0 は材料の光弾
性定数により計算する段階とからなることを特徴とする
透明材料における膜の測定方法。 - 【請求項2】 透明材料を通過した光が発光装置に関し
て透明材料の他方の側に配置された拡散ストリップと反
射ストリップの少なくとも一方を用いて反射され、受光
装置が発光装置と同じ側に置かれ前記反射された光を受
取るようにしていることを特徴とする請求項1に記載の
方法。 - 【請求項3】 透明材料を通過した光が発光装置に関し
透明材料の他の側に配置された拡散ストリップと反射ス
トリップの少なくとも一方を通過され、受光装置が拡散
ストリップと反射ストリップの少なくとも一方に関して
透明材料の他方の側に置かれ前記ストリップを通過した
光を受取るようにしていることを特徴とする請求項1に
記載の方法。 - 【請求項4】 透明材料が単一色の光ビームを透明材料
に対して前後に動かすことにより走査され、透明材料自
体が前記前後の運動に実質的に直角の方向の与えられた
相対運動を有していることを特徴とする請求項2又は3
に記載の方法。 - 【請求項5】 発光装置と受光装置が相互に一体に作ら
れていることを特徴とする請求項2から4のうちの1項
に記載の方法。 - 【請求項6】 走査が固定個所から行われ、発光装置と
受光装置が、与えられた前記固定個所の周りの振動運動
を有していることを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 【請求項7】 ガラスのストリップ、特に生産ライン上
の浮遊ガラスのストリップにおける応力の測定に適用さ
れることを特徴とする請求項1から6のうちの1項に記
載の方法。 - 【請求項8】 一方の面が実質的に不透明の層、特に自
動車の窓の周縁を被覆するような非常に暗い色のエナメ
ルからなる層で被覆された透明物質の応力を測定するの
に適用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 【請求項9】 発光装置から出るビームが不透明層で被
覆された面の反対側の面を通って透明材料に入り、前記
ビームが前記不透明層とは反対側に位置する受光装置に
よって受取られる不透明層自体によって拡散された光で
あることを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 【請求項10】 発光装置から出るビームが不透明層で
被覆された面の反対側の面を通って透明材料に入り、前
記ビームが前記不透明層と同じ側に位置する受光装置に
よって受取られる不透明層自体によって拡散された光で
あることを特徴とする請求項9に記載の方法。 - 【請求項11】 凸面の窓に適用され、応力σを相移動
ψの関数として与える式が入射角と厚さの関数として補
正されることを特徴とする請求項8から10のうちの1
項に記載の方法。 - 【請求項12】 請求項1に記載の方法を実施する装置
であって、 単一色の光ビームを発する光源(42)と、偏光子(4
4)と、2つの基準周波数、好ましくはf0 及び2f0
を与える光弾性変調器(46)とを含む発光装置と、 透明材料(40)に対して光ビーム(62)を相対運動
させる手段と、 検光子(48)と、フォトダイオード(50)と、基準
として変調器により与えられた2つの周波数を有する2
つの同期−検知増幅器(54,56)とを具備し、光を
透明材料を通過した後に受取る装置と、 相移動ψと応力σとを計算する獲得ベンチ(58)、と
を有していることを特徴とする装置。 - 【請求項13】 透明材料(40)の発光装置とは反対
側に位置する拡散ストリップと反射ストリップの少なく
とも一方を有し、発光装置が受光装置と一体になってい
ることを特徴とする請求項12に記載の装置。 - 【請求項14】 発光装置と受光装置が振動運動で動か
されることを特徴とする請求項13に記載の装置。 - 【請求項15】 発光装置と受光装置が透明材料(4
0)のいずれかの側に位置し、透明材料が受光装置と同
じ側に位置する実質的に不透明の層(41)で被覆され
ていることを特徴とする請求項12に記載の装置。 - 【請求項16】 収れん光学レンズ(51)が設けら
れ、検光子(48)によるビーム出力をフォトダイオー
ド(50)に収れんするようにしていることを特徴とす
る請求項15に記載の装置。 - 【請求項17】 透明材料が積層された窓であり、不透
明層(41)が窓の2つの隣接層(43,45)の間に
挟まれていることを特徴とする請求項16に記載の装
置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009047685A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-03-05 | Keio Gijuku | 光弾性測定方法およびその装置 |
CN104568247A (zh) * | 2013-10-10 | 2015-04-29 | 上海和辉光电有限公司 | 一种薄膜应力量测方法及量测装置 |
JP2019521062A (ja) * | 2016-05-23 | 2019-07-25 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスシートの無重力形状を予測する方法、及び無重力形状に基づくガラスシートの品質を管理する方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5087753B2 (ja) * | 2006-12-08 | 2012-12-05 | 学校法人慶應義塾 | 光弾性測定方法およびその装置 |
BE1019378A3 (fr) * | 2010-06-17 | 2012-06-05 | Agc Glass Europe | Analyse des marques de trempe. |
TWI454674B (zh) * | 2011-01-12 | 2014-10-01 | Nat Univ Tsing Hua | 量化材料殘餘應力之裝置及其方法 |
TWI457550B (zh) * | 2012-03-16 | 2014-10-21 | Nat Univ Tsing Hua | 量化材料未知應力與殘餘應力之裝置及其方法 |
CN104089728A (zh) * | 2014-06-26 | 2014-10-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种透光结构的应力检测装置和检测方法 |
DE102014115318A1 (de) * | 2014-10-21 | 2016-04-21 | cibite AG | Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung des Transmissionsgrads eines Flachglas-Substrats |
CN104280171A (zh) * | 2014-11-03 | 2015-01-14 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 玻璃表面应力测量方法 |
CN105928640A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-09-07 | 中国矿业大学 | 一种基于单片机的矿用低功耗数字压力计 |
KR102526723B1 (ko) * | 2016-05-23 | 2023-04-27 | 코닝 인코포레이티드 | 유리 제조 방법 및 장치 |
KR102418325B1 (ko) * | 2020-09-29 | 2022-07-08 | (주)엘립소테크놀러지 | 블랭크 위상변위 마스크 시료의 위상변위 측정장치 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3715915A (en) * | 1971-04-28 | 1973-02-13 | Nasa | Light intensity strain analysis |
US3902805A (en) * | 1973-09-17 | 1975-09-02 | Vishay Intertechnology Inc | Automatic birefringence measuring apparatus |
US4320966A (en) * | 1979-05-16 | 1982-03-23 | Reytblatt Zinovy V | Fourier processor of photoelastic data and method of using same |
US4310242A (en) * | 1980-04-01 | 1982-01-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Field test unit for windscreen optical evaluation |
US4523847A (en) * | 1983-07-07 | 1985-06-18 | International Business Machines Corporation | Frequency modulation-polarization spectroscopy method and device for detecting spectral features |
FR2563337B1 (fr) * | 1984-04-19 | 1986-06-27 | Saint Gobain Rech | Mesure des contraintes dans le verre flotte |
-
1999
- 1999-06-17 PT PT99401493T patent/PT967469E/pt unknown
- 1999-06-17 DE DE69912525T patent/DE69912525T2/de not_active Expired - Lifetime
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- 1999-06-22 JP JP11175553A patent/JP2000028441A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009047685A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-03-05 | Keio Gijuku | 光弾性測定方法およびその装置 |
CN104568247A (zh) * | 2013-10-10 | 2015-04-29 | 上海和辉光电有限公司 | 一种薄膜应力量测方法及量测装置 |
JP2019521062A (ja) * | 2016-05-23 | 2019-07-25 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスシートの無重力形状を予測する方法、及び無重力形状に基づくガラスシートの品質を管理する方法 |
JP7101622B2 (ja) | 2016-05-23 | 2022-07-15 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスシートの無重力形状を予測する方法、及び無重力形状に基づくガラスシートの品質を管理する方法 |
US11614323B2 (en) | 2016-05-23 | 2023-03-28 | Corning Incorporated | Method of predicting gravity-free shape of glass sheet and method of managing quality of glass sheet based on gravity-free shape |
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Publication number | Publication date |
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EP0967469A1 (fr) | 1999-12-29 |
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