JP2000025240A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気配線基板としてのフレキシブル基板を予
め曲げ成形した後に記録ヘッドに組み込むことにより、
記録ヘッドの位置精度を向上させかつ小型高密度化を可
能とする液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 配線基板としてのフレキシブル基板（Ｔ
ＡＢフィルム）１にベアチップＩＣであるヒータボード
２をＴＡＢ実装した後に、フレキシブル基板１を天板３
０の形状に合わせて少なくとも１か所の所定位置を所定
角度で曲げ成形加工し、その後に、ヒータボード付きフ
レキシブル基板１を天板に組み込み、天板３０のノズル
孔３０ａ列方向とヒータボード２のヒータ２ａ列方向の
位置合わせを行ない、そして両者を固定しかつ封止材の
塗布を行なう。これにより、高精度の位置合わせを可能
とし、液体噴射記録ヘッドの小型高密度化が可能とな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細な吐出孔から
記録液を液滴として吐出させて記録を行なう液体噴射記
録ヘッドの製造方法、特に、予め曲げ成形したフレキシ
ブル基板を組み込む液体噴射記録ヘッドの製造方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、バブルジェットプリンタやインク
ジェットプリンタ等の液体噴射記録ヘッドにおいては、
特開平５−１３８８８７号公報に記載されているよう
に、インクの吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー
発生素子としての複数の電気熱変換素子（ヒータ）およ
びこれらの電気熱変換素子を駆動する駆動回路を形成し
たベアチップＩＣであるヒータボード（素子基板）と、
複数の吐出孔やインク流路を備えた溝付き天板とを接合
して構成され、外部から入力される画像信号に対応した
信号を電気熱変換素子（ヒータ）に印加するための電気
配線基板がベアチップＩＣであるヒータボードに接続さ
れており、この電気配線基板としては、ガラスエポキシ
の電気配線ＰＣＢ基板を用いている。そして、液体噴射
記録ヘッドの製造方法は、アルミ板上にガラスエポキシ
の電気配線ＰＣＢ基板を貼り合わせ、次工程でアルミ板
の同一面にベアチップＩＣであるヒータボードをダイボ
ンディングし、さらに、ＰＣＢ基板とヒータボードの電
気端子間をワイヤボンディングで接続配線し、その後、
天板の吐出孔をヒータボードの電気熱変換素子（ヒー
タ）の位置に高精度で位置合わせしたうえで該天板を固
定していた。すなわち、アルミ板を基準として液体噴射
記録ヘッドを組み上げる方法で製造していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような従来技術では、次のような問題点があった。

【０００４】(1) 記録ヘッドの組立て基準をすべてアル
ミ板を基準としているために、天板とヒータボードの位
置合わせ工程までの位置合わせ誤差が積み上げられ、そ
のため、それ以前の工程にも高精度な位置合わせが必要
となり、製造装置が高価になる。

【０００５】(2) 製造工程の中でワイヤボンディングの
工数（時間割合）が高く、多数台のワイヤボンディング
装置が必要となり、設備投資費用が多額になり、しかも
広い生産スペースも必要となっている。

【０００６】(3) 電気配線基板としてＰＣＢ基板を用い
ているので、外部との電気接続方向や組み込み形態が固
定されてしまい、小型高密度化ができない。

【０００７】そこで、本発明は、上記の従来技術の有す
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、電気配
線基板にフレキシブル基板を用い、該フレキシブル基板
を予め曲げ成形した後に記録ヘッドに組み込むことによ
り、記録ヘッドの位置精度を向上させかつ小型高密度化
を可能とする液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、少なく
とも１列の吐出孔および液流路を形成する天板と、前記
吐出孔から記録液を吐出させるための吐出エネルギー発
生素子列を有する素子基板と、前記吐出エネルギー発生
素子に外部から通電させて吐出エネルギーを発生させる
ための配線基板と、これらを結合させる結合部材と、前
記天板と前記素子基板の接合部等から記録液の漏洩を防
止するための封止材とからなる液体噴射記録ヘッドの製
造方法において、前記配線基板としてフレキシブル基板
を用い、前記天板の吐出孔列方向と前記素子基板の吐出
エネルギー発生素子列方向の位置合わせおよび固定を行
なうプロセス以前に、前記フレキシブル配線基板単体に
ついて前記天板の形状に合わせて少なくとも１か所の所
定位置を所定角度で曲げ成形加工するプロセスを設ける
ことを特徴とする。

【０００９】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいては、吐出エネルギー発生素子列を有する素子基板
はベアチップＩＣであり、フレキシブル配線基板は前記
ベアチップＩＣを実装したＴＡＢフィルムであることが
好ましい。

【００１０】

【作用】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法によれ
ば、ベアチップＩＣであるヒータボード（素子基板）を
ＴＡＢ実装することにより、ヒータボードと配線基板の
接続工程であるワイヤボンディング工程とベアチップＩ
Ｃのアルミ板へのダイボンディング作業が一体となり、
工程が簡素化され、次工程の天板の吐出孔列方向とヒー
タボードの素子列方向の精密位置合わせを直接行なうこ
とができるようになる。

【００１１】さらに、ＴＡＢフィルム（フレキシブル基
板）を、天板に組み込む（ヒータボードとの精密位置合
わせ）前に所定位置で所定角度に曲げ成形して形状を維
持させておくことにより、天板の組み込み時の角度が大
きくても、天板とヒータボードにかかるＴＡＢフィルム
の曲げ反力を最小限に押さえることができる。

【００１２】さらに、ＴＡＢフィルムの外部との接点を
設けた端部位置や曲げ位置を正確に再現することが可能
となる。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１４】本発明における液体噴射記録ヘッドに組み
込むフレキシブル基板（ＴＡＢフィルム）の構成につい
て、先ず図３を参照して説明する。

【００１５】図３の（ａ）はベアチップＩＣであるヒー
タボードを実装したフレキシブル基板の構成の模式的な
断面図であり、（ｂ）はヒータボードを実装したフレキ
シブル基板を示す斜視図であり、（ｃ）はヒータボード
をＴＡＢテープに実装する態様を説明する説明図であ
る。

【００１６】液体噴射記録ヘッドに組み込まれるフレキ
シブル基板（以下、単にフレキ基板ともいう。）１を構
成するＴＡＢフィルムは、図３の（ａ）および（ｂ）に
図示するように、基材としてのベースフィルム１１と導
体パターンとしての銅箔１２とカバーコート材１３およ
びこれらを接合する接着剤で形成され、ベースフィルム
１１の素材としては一般的にポリイミド樹脂のシートが
用いられ、カバーコート材１３としては一般的にポリイ
ミド樹脂またはソルダレジスト等の薄膜レジスト材が用
いられている。このようにＴＡＢフィルムは、非常に薄
く、電気配線基板として非常に柔軟でかつ可撓性が高い
フレキシブルな基板となっている。そして、ＴＡＢフィ
ルムにＴＡＢ実装されるベアチップＩＣであるヒータボ
ード２には、インクに吐出エネルギーを付与する吐出エ
ネルギー発生素子としての電気熱変換素子（ヒータ）２
ａが溝付き天板の液流路列に対応した間隔で複数個形成
されている。ベアチップＩＣ（ヒータボード）２とフレ
キ基板１の接続は、ＩＣに構成されたヒータパターン面
２ｂのボンディング部２ｃと金メッキされた銅箔１４で
結合され、フレキ基板１のベースフィルム１１側には、
外部の電気機器接点と電気接続するための複数のコンタ
クトパッド（接点）１５が所定のパターン形状で形成さ
れ、スルーホール１６を介して銅箔１２と導通されてい
る。

【００１７】また、ベアチップＩＣ（ヒータボード）２
をＴＡＢフィルムに実装する際の態様を図３の（ｃ）に
示す。テープ両側縁に沿って送り穴１８が穿設されたＴ
ＡＢテープ１７に複数の電気配線基板１が設けられ、こ
れらの電気配線基板１に対してベアチップＩＣ（ヒータ
ボード）２を順次連続的に高速でかつ高精度にボンディ
ングし、ＴＡＢ実装することができる。

【００１８】このようにベアチップＩＣ（ヒータボー
ド）２が実装されたフレキ基板１は、本例における液体
噴射記録ヘッドに組み込む際には、約１１０°の角度で
大きく曲げて組み込むことが好ましい。これは、図４に
図示するような液体噴射記録ヘッドにおいて、フレキ基
板に実装されているヒータボードの位置およびフレキ基
板の他端部の外部との接触位置が、記録ヘッドの天板の
形状により定まっており、また、中間部の湾曲部と天板
の隙間もフレキ基板組み込み後の工程である封止材塗布
の作業スペース（封止材塗布機のノズルスペース）が必
要であるからである。そして、フレキ基板の曲げ成形に
おいても形状精度が要求されることになる。

【００１９】これらを満足させる方法として、フレキ基
板（ＴＡＢフィルム）の所定の位置２か所を順次曲げる
方法で上記の要求を満足する曲げ形状を実現することが
できる。図２の（ｆ）において、Ｌ１とＬ２の２か所が
曲げ成形位置であり、後述する曲げ成形装置により、ベ
アチップＩＣ側に遠い方から曲げ成形加工を行なうよう
にしている。

【００２０】次に、フレキ基板を曲げ成形するための曲
げ成形装置の構成について図１を参照して説明する。

【００２１】図１において、フレキ基板の曲げ成形装置
１００は、概略的に、フレキ基板１を位置決めし固定す
る固定手段１１０と、フレキ基板１の基材１１側の曲げ
位置に配置される基準径を有するロット棒（基準棒）１
０２と、フレキ基板１をロット棒１０２に密着巻きさせ
る回転曲げ手段１２０と、これらの各手段の作動を制御
する制御手段（不図示）とを備えている。

【００２２】ロット棒１０２は、基台１０５上に立設さ
れた一対の支柱（不図示）に固定され、フレキ基板１の
曲げ成形における曲率の基準となるものであり、本例に
おいては、直径２ｍｍの断面円形状とした。なお、フレ
キ基板１に当接しない部分は切除しておくこともでき
る。

【００２３】フレキ基板１を位置決めし固定する固定手
段１１０において、フレキ基板１を載せる載置台１１１
には、フレキ基板１を真空吸着して仮固定するための複
数の吸引孔１１２、およびフレキ基板１の端部を突き当
ててそのフレキ基板１の位置決めをする一対の位置決め
基準部材１１５が設けられ、さらに、フレキ基板１の両
側縁を押圧して固定する一対の固定部材１１６が設けら
れている。そして、この載置台１１１は、ロット棒１０
２に対して水平方向に接離可能に移動するガイド付きエ
アスライドテーブル１１４に支持されており、エアスラ
イドテーブル１１４はエアシリンダ等により駆動され
る。固定部材１１６は、載置台１１１上に配設された上
下方向に昇降するエアシリンダ等の駆動部材（不図示）
により、載置台１１１上に載置されるフレキ基板１の両
側縁の部位を直接押圧して、フレキ基板１を載置台１１
１上に固定するように構成されている。

【００２４】以上のように構成された固定手段１１０に
おいて、フレキ基板１は、載置台１１１上に載置されて
吸引孔１１２を介して真空吸着され仮固定された後に、
位置決め基準部材１１５に突き当てられて位置決めさ
れ、その後に図示しない駆動部材の作動による固定部材
１１６の下降により載置台１１１に固定される。そし
て、エアスライドテーブル１１４をエアシリンダにより
駆動させて載置台１１１を移動させることによって、載
置台１１１に固定されたフレキ基板１をロット棒１０２
に対して相対的に移動させることができる。

【００２５】回転曲げ手段１２０は、基台１０５に立設
された一対の支柱（不図示）に回転可能に軸支された回
転枠体１２１と、この回転枠体１２内に配設されたエア
シリンダにより駆動されるガイド付きエアスライドテー
ブル１２３と、このエアスライドテーブル１２３に支持
された押圧ローラ１２２とからなり、押圧ローラ１２２
は、エアスライドテーブル１２３の移動によってロット
棒１０２の半径方向に移動し、ロット棒１０２に対して
線接触状に押し付けられるように構成されており、ロッ
ト棒１０２に対する押し付け荷重は、エアシリンダの駆
動によりエアスライドテーブル１２３を移動させること
によって調整され、本例では約１ｋｇｆの荷重で押し付
けるように構成した。そして、回転枠体１２１は、図示
しないロータリシリンダにより回転駆動され、その回転
中心はロット棒１０２の軸芯Ｏと同一線上に配置されて
いる。

【００２６】このように構成された回転曲げ手段１２０
において、回転枠体１２１は図示しないロータリシリン
ダの作動によって回転駆動され、図１に図示する初期位
置から反時計方向に回転しうるように調整されており、
本例においては約１８０°回転させている。この回転枠
体１２１の回転と同時に、押圧ローラ１２２およびエア
スライドテーブル１２３もロット棒１０２の軸芯Ｏを中
心にして回転する。特に、押圧ローラ１２２は、ロット
棒１０２の下にフレキ基板１が位置付けられたときに、
エアスライドテーブル１２３のエアシリンダによる駆動
によってフレキ基板１に圧接され、さらに、フレキ基板
１のカバーコート材１３の表面を押圧しながらロット棒
１０２の軸芯Ｏを中心にして回動し、フレキ基板１をロ
ット棒１０２に密着巻きさせる。

【００２７】また、図示しない制御手段は、曲げ成形動
作を制御するためのシーケンスに沿って各手段を制御す
る。

【００２８】次に、前述したフレキ基板の曲げ成形装置
１００によるフレキ基板の曲げ成形手順を図２の（ａ）
ないし（ｅ）に沿って説明する。なお、図２の（ｆ）に
は、フレキ基板１において、２か所の曲げ成形位置Ｌ１
およびＬ２と、曲げ成形位置Ｌ１における第１回の曲げ
成形加工後の形状を破線で図示し、曲げ成形位置Ｌ２に
おける第２回の曲げ加工後の形状を実線で示し、最終的
に約１１０°曲げ成形された形状を示す。

【００２９】ステップ１（図２の（ａ））：フレキ基板
１を、そのカバーコート材１３を下にして、固定手段１
１０の載置台１１１に載せ、吸引孔１１２を介して真空
吸着して仮固定し、その状態でフレキ基板１をやや移動
させて位置決め基準部材１１５に突き当てて位置決め
し、その後、固定部材１１６を作動させてフレキ基板１
を載置台１１１に固定する。

【００３０】ステップ２（図２の（ｂ））：エアシリン
ダの駆動によりエアスライドテーブル１１４および載置
台１１１を移動させて、フレキ基板１の初期の曲げ成形
位置Ｌ１をロット棒１０２の下に移動させるとともに、
回転曲げ手段１２０のエアシリンダの駆動によりエアス
ライドテーブル１２３を作動させて押圧ローラ１２２を
ロット棒１０２の下に位置するフレキ基板１に押し付
け、この状態で図示しないロータリシリンダを作動させ
て押圧ローラ１２２をロット棒１０２の軸芯Ｏを中心と
して図中反時計方向に回転移動させる。

【００３１】ステップ３（図２の（ｃ））：押圧ローラ
１２２の回転移動により、固定部材１１６により固定さ
れているフレキ基板１の端部と、押圧ローラ１２２とロ
ット棒１０２に挟持された部分の間のフレキ基板１に張
力を発生させながら、ロット棒１０２にフレキ基板１を
密着巻きさせる。このときのロータリシリンダ（および
回転枠体１２１）の回転角は、フレキ基板１の要求曲げ
角より大きく取る必要があり、本例では、フレキ基板１
の要求曲げ角を約４５°として、ロータリシリンダの回
転角を１８０°とした。

【００３２】ステップ４（図２の（ｄ））：次いで、ロ
ータリシリンダの逆方向に回転させて、押圧ローラ１２
２を初期位置に戻し、そしてエアシリンダの駆動により
エアスライドテーブル１２３を下降させ、押圧ローラ１
２２をフレキ基板１から離す。その後、フレキ基板１の
別の箇所の曲げ成形を行なうために、フレキ基板１の曲
げ成形位置Ｌ２をロット棒１０２の下面に位置させるよ
うに、エアシリンダを駆動してエアスライドテーブル１
１４を移動させ、載置台１１１とともにフレキ基板１を
移動させる。

【００３３】ステップ５（図２の（ｅ））：再度ステッ
プ２およびステップ３と同様の手順により、フレキ基板
１の曲げ成形位置Ｌ２の部分をロット棒１０２に密着巻
きして機械的に曲げる。そして、ロータリシリンダの逆
方向に回転させて、押圧ローラ１２２を初期位置に戻す
とともにエアスライドテーブル１２３をエアシリンダの
駆動により下降させ、押圧ローラ１２２をフレキ基板１
から離す。最後に、載置台１１１の固定部材１１６を解
除して、曲げ成形されたフレキ基板が完成する（図２の
（ｆ）参照）。

【００３４】以上のようにフレキ基板を機械的に曲げる
ことにより、所定の基準径を有するロット棒で曲げ成形
部分でのクラックを最小限に押さえながらフレキ基板の
曲げ成形することができ、フレキ基板を所定位置で所定
角度に曲げてその形状を記憶させることができる。

【００３５】次に、以上のように曲げ成形されたベアチ
ップＩＣ（ヒータボード）付きフレキシブル基板１（Ｔ
ＡＢフィルム）を用いる液体噴射記録ヘッドの組み立て
方法について、図４を参照して説明する。

【００３６】なお、図４の（ａ）は、曲げ成形されたフ
レキ基板（ＴＡＢフィルム）を組み込む態様を示し、
（ｂ）は組み込まれたフレキ基板のヒータボードとノズ
ル列方向での天板の溝の位置調整状態を示し、（ｃ）は
その部分拡大図であり、（ｄ）は液体噴射記録ヘッドの
概略的な構成を図示する斜視図である。

【００３７】(1) ノズル孔列３０ａとこのノズル孔列３
０ａに対応する液流路列３０ｂが設けられている天板３
０を位置決め固定する。

【００３８】(2) 予め所定の角度（例えば、約１１０
°）に曲げ成形されているヒータボード付きフレキ基板
１を天板３０に組み込む。

【００３９】なお、フレキ基板１は、液体噴射記録ヘッ
ドに組み込む前に、ＴＡＢテープ上のコンタクトパッド
１５の裏側に天板接着用の接着剤としてホットメルトシ
ート３３を仮固定されており、そして、多数個のヒータ
ボードの実装されたテープ状の状態から一個づつ所定の
形状に切断して使用する。

【００４０】(3) ヒータボード２のヒータ２ａを形成し
たヒータ面２ｂと天板３０の液流路列３０ｂ面とを接し
た状態で、天板３０のノズル孔列面（オリフィス面）に
ヒータボード２を一定力で押し付ける。

【００４１】(4) ヒータボード２のヒータ面２ｂのヒー
タ列方向の各ヒータ２ａの中心と天板３０の液流路列方
向の各液流路３０ｂの中心が一致するように、ヒータボ
ード２を高精度に移動し、各中心を合わせる。

【００４２】(5) 天板３０とヒータボード２の相対的位
置をずらさないまま、板ばね３１をかけて、ヒータボー
ド２を天板３０に固定する。

【００４３】(6) ヒータボード２が実装されたフレキ基
板１の他端部側のコンタクトパッド１５を天板３０に対
して、それぞれに設けられている天板位置合わせ穴１ｃ
と位置決め穴３０ｃを介して位置決めし、予めコンタク
トパッド１５の裏面側に仮固定されているホットメルト
シート３３を加熱溶着させ、フレキ基板１のコンタクト
パッド１５を天板３０に固定する。

【００４４】(7) 天板３０とヒータボード２の隙間に封
止のための封止用樹脂を定量流し込み、天板３０とヒー
タボード２の間からのインクの漏れを無くする。さら
に、フレキ基板１のヒータボード２側にも封止用樹脂を
流し込み、フレキ基板１の天板３０への固定強度を増大
させる。

【００４５】以上の工程により天板３０の一方側に対す
るヒータボード付きフレキ基板１の組み込みが終了し、
天板３０の他方側に対しても同様の工程を行なうことに
より、天板３０の両側にそれぞれヒータボード２付きフ
レキ基板１を組み込むことができる。

【００４６】(8) 両側にそれぞれヒータボード付きフレ
キ基板１を組み込まれた天板３０をインクシール材３４
を介してインクタンク３２に接合させ、結合用ねじ等に
より組み上げる。

【００４７】このように最終的に組み上がった液体噴射
記録ヘッドにおいては、天板３０のノズル孔列３０ａお
よび液流路列３０ｂとヒータボード２のヒータ列２ａ
は、高精度に位置決めされており、また、フレキ基板１
の接点パターン（コンタクトパッド）１５も外部との接
点のために天板に対して精度良く位置決めされている。
そして、封止用樹脂はヒータボード２のまわりを密閉し
てインク吐出用のノズル孔以外からのインクの漏れを防
止する。

【００４８】さらに、ヒータボード付きフレキ基板１
を、天板３０に組み込む前に、所定位置で所定角度に曲
げ成形しておくことにより、天板の組み込み時の角度が
大きくても、天板とヒータボードにかかるフレキ基板の
曲げ反力を最小限に押さえることができる。また、フレ
キ基板の外部との接点を設けた端部位置や曲げ位置を正
確に再現することが可能となる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の液体噴射
記録ヘッドの製造方法によれば、液体噴射記録ヘッドの
製造に際して、フレキ基板（ＴＡＢフィルム）を天板に
組み込む前に曲げ成形することで、ヒータボードと天板
間のフレキ基板の曲げ反力を著しく低下させることがで
きるために、(1) 強度のないＴＡＢ実装ＩＣの断線事故
を防ぐことができ、(2) 高精度な位置合わせを必要とす
る天板とヒータボードの位置合わせの際のフレキ基板の
曲げ反力により増大する摩擦力を低減でき、高精度の位
置合わせを可能とする。さらに、フレキ基板の曲げ形状
を一定にすることができるため、(3) フレキ基板を固定
した後の天板とヒータボード間の封止工程も安定して行
なうことができる。

【００５０】以上のように、本発明によれば、ＴＡＢ実
装を生かした小型の液体噴射記録ヘッドを提供すること
ができ、また、製造装置コストダウンを図ることがで
き、さらに、製造工数も削減できることからより安価な
液体噴射記録ヘッドを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】液体噴射記録ヘッドに組み込むフレキシブル基
板を曲げ成形するためのフレキシブル基板の曲げ成形装
置の構成を部分的に破断して示す模式的な側面図であ
る。

【図２】液体噴射記録ヘッドに組み込むフレキシブル基
板の曲げ成形工程を示す工程図である。

【図３】液体噴射記録ヘッドに組み込むフレキシブル基
板（ＴＡＢフィルム）の構成を示す図であり、（ａ）は
ベアチップＩＣであるヒータボードを実装したフレキシ
ブル基板の構成の模式的な断面図であり、（ｂ）はベア
チップＩＣであるヒータボードを実装したフレキシブル
基板の模式的な斜視図であり、（ｃ）はベアチップＩＣ
であるヒータボードをＴＡＢテープに実装する態様を説
明する説明図である。

【図４】本発明に基づく液体噴射記録ヘッドの組み立て
方法を説明する概略図である。

【符号の説明】

１ フレキシブル基板（ＴＡＢフィルム） ２ ヒータボード（ベアチップＩＣ） ２ａ ヒータ（列） ２ｃ ボンディング部 １１ ベースフィルム（基材） １２ 銅箔 １３ カバーコート材（レジスト材） １５ コンタクトパッド １７ ＴＡＢテープ ３０ 天板 ３０ａ ノズル孔（列） ３０ｂ 液流路（列） ３１ 板ばね ３２ インクタンク ３３ ホットメルトシート １００ 曲げ成形装置 １０２ ロット棒（基準棒） １１０ 固定手段 １１１ 載置台 １１２ 吸引孔 １１４ エアスライドテーブル １１５ 位置決め基準部材 １１６ 固定部材 １２０ 回転曲げ手段 １２１ 回転枠体 １２２ 押圧ローラ １２３ エアスライドテーブル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１列の吐出孔および液流路を
   形成する天板と、前記吐出孔から記録液を吐出させるた
   めの吐出エネルギー発生素子列を有する素子基板と、前
   記吐出エネルギー発生素子に外部から通電させて吐出エ
   ネルギーを発生させるための配線基板と、これらを結合
   させる結合部材と、前記天板と前記素子基板の接合部等
   から記録液の漏洩を防止するための封止材とからなる液
   体噴射記録ヘッドの製造方法において、 前記配線基板としてフレキシブル基板を用い、前記天板
   の吐出孔列方向と前記素子基板の吐出エネルギー発生素
   子列方向の位置合わせおよび固定を行なうプロセス以前
   に、前記フレキシブル配線基板単体について前記天板の
   形状に合わせて少なくとも１か所の所定位置を所定角度
   で曲げ成形加工するプロセスを設けることを特徴とする
   液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 吐出エネルギー発生素子列を有する素子
   基板はベアチップＩＣであり、フレキシブル配線基板は
   前記ベアチップＩＣを実装したＴＡＢフィルムであるこ
   とを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製
   造方法。