JP2000018212A - 流体圧装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ピストンがシリンダ内で良好に回動する流体
圧装置を提供する。 【解決手段】 流体圧装置１０は、シリンダ１２と、シ
リンダ内で昇降動自在かつ全方位に回動自在であるピス
トン１４とを備えている。ピストン１４は、シリンダ１
２の径より径の小さい球体の少なくとも一部であって最
大円周を含む球面を有する球体部１６を備えている。ま
た、流体圧装置１０は、シリンダ内面に沿って摺動する
円筒側面を外側に、球体部１６の球面に対応する凹状面
を内側にそれぞれ有するシール体２０と、シール体２０
の下側、球体部１６の球面、及び、シリンダ内面にそれ
ぞれ面接触するシールリング２２と、シールリング２２
及びシールリング上のシール体２０を上方に付勢する付
勢体２６とを備えている。これにより、回動部材を有す
る従来の台座を使用しなくてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧装置に関
し、更に詳しくは、ピストンがシリンダ内で良好に回動
する流体圧装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】シリンダ内に収容された油等の作動流体
の圧力を調整するシリンダ装置や支持装置（以下、本明
細書では、これらを総称して流体圧装置と言う）が多用
されている。シリンダ装置は、例えばジャッキ、裏込や
アクチュエータである。従来の流体圧装置では、ピスト
ンの往復動方向に交差する方向の負荷がピストンに加え
られると、ピストンが傾斜してシリンダ内面とピストン
との間に作用する抵抗が大きくなる。このため、ロッド
の一端にユニバーサルジョイントを取り付けたり、ロッ
ドの一端に角度自在に回動する部材を設けるなどの対策
を施し、上記の抵抗を低減している。以下、図面を参照
し、例を挙げて従来の流体圧装置を説明する。

【０００３】図１７は、従来の流体圧装置の構成を示す
側面断面図である。従来の流体圧装置６０は、円筒状の
内壁面を有するシリンダ６２と、シリンダ６２の内面に
沿って摺動するピストン６４と、ピストン上のピストン
ロッド６６と、ピストンロッド上の台座６８とを備えて
いる。台座６８は回動部材を備えている。回動部材は、
凹状球面を上側に有する台座基台７０と、凹状球面に摺
動自在に嵌合する球体部７２とを有する。ピストン６４
は、シリンダ６２の中の流体が外部に漏出することを防
止するシール部材、例えばＯリング７４を備えている。
尚、台座６８に代えて、ユニーバーサルジョイントを有
する台座が備えられている例もある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の流体
圧装置では、以下の問題が生じていた。流体圧装置は、
幅の狭いゾーンに適用することを考慮すると、ピストン
の往復動方向の寸法が小さいほど好ましいが、従来の流
体圧装置では、台座のピストン往復動方向の寸法ｈ（図
１７参照）が大きい。また、ユニバーサルジョイントや
回動部材の摺動性よりも耐荷重性を優先させて構成して
いるため、回動時に滑らかな摺動性が得られない。しか
も、支持装置として使用している際に偏荷重が加わる
と、回動部材や被支持体が破損するおそれがある。更
に、回動部材の凹状球面に潤滑剤を塗布する必要がある
ため、操作者への潤滑剤の付着を防止するカバー等を設
ける必要があり、装置の小型化が妨げられている。ま
た、流体圧装置の使用頻度が高いと、潤滑剤を供給する
頻度が増え、作業効率が良くない。以上のような事情に
照らして、本発明の目的は、ピストンがシリンダ内で良
好に回動する流体圧装置を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る第１発明の流体圧装置は、シリンダ
と、シリンダの径より径の小さい球体の少なくとも一部
であって、最大円周を含む球面を有する球体部を備え
て、シリンダ内で往復動自在かつ全方位に回動自在であ
るピストンと、シリンダの一方の端部（以下、シリンダ
一方端と言う）とピストンとの間に導入出される作動流
体と、シリンダとピストンとの間で周方向に介在し、ピ
ストンと一体で往復動する短円筒状の部材であって、シ
リンダ内面に沿って摺動する円筒側面を外側に、球体部
の球面に摺動自在に嵌合する凹状球面を内側にそれぞれ
有するシール体とを備えていることを特徴としている。

【０００６】作動流体は、例えば作動油、水などの液体
や空気などの気体である。シール体の材質は、シリコン
樹脂、エラストマー樹脂、ポリウレタン樹脂等である。
流体圧装置は、例えば、ピストンが往復動するアクチュ
エータや、ピストンの往復動を停止して被支持体を支持
する支持装置である。ピストンの往復動方向は、特に上
下方向に限定されず、例えば水平方向であってもよい。
尚、流体圧装置が支持装置である場合、通常、端部に支
持面を有するピストン又はピストンロッドを備えてい
る。本発明に係る流体圧装置は、好適には、シール体の
シリンダ一方端側、シリンダ内面、及び、球体部の球面
にそれぞれ面接触する、シール体より軟質のシールリン
グを備えている。更に好適には、シールリングをシール
体の往復動方向両側に備えている。シール体を硬質材で
形成し、シールリングを軟質材で形成することにより、
シリンダ内の圧力が低圧時から高圧時まで対応すること
が可能になる。シールリングは、例えばシリコンゴム等
のゴムからなる。シール体は、例えば、ポリアセター
ル、ナイロン、フッ素、ポリブチレンテレフタレート、
シリコン等の摺動性良好な樹脂、又は、銅系の金属から
なる。

【０００７】本発明に係る第２発明の流体圧装置は、シ
リンダと、シリンダの径と同じ径、又はシリンダの径よ
り僅かに小さい径を有する球体の少なくとも一部であっ
て、最大円周を含む球面を有する球体部を備えて、シリ
ンダ内で往復動自在かつ全方位に回動自在であるピスト
ンと、シリンダ一方端とピストンとの間に導入出される
作動流体と、シリンダとピストンとの間で周方向に介在
し、球体部の球面のうちシリンダ一方端側に接触してピ
ストンと一体で往復動するリング状のシール体であっ
て、シリンダ内面に沿って摺動する円筒側面を外側に、
球体部の球面に対応する凹状面を内側にそれぞれ有する
シール体と、シール体のシリンダ一方端側に当接してシ
ール体をシリンダの他方の端部（以下、シリンダ他方端
と言う）に向けて付勢する付勢体とを備えていることを
特徴としている。

【０００８】第２発明では、シール体の材質は、例えば
第１発明と同様である。第２発明の一例としては、シー
ル体と付勢体との間に介在し、シール体のシリンダ一方
端側、球体部の球面、及び、シリンダ内面にそれぞれ面
接触するシールリングを備え、付勢体は、シールリング
のシリンダ一方端側に当接してシールリング及びシール
体をシリンダ他方端に向けて付勢する。シールリングの
材質は、ＮＢＲ（アクリロニトリル−ブタジエンゴ
ム）、ＳＢＲ、ＣＲ、ＥＰＤＭ、シリコンゴム、ウレタ
ンゴム等である。この場合、好適には、シールリングと
付勢体との間に介在し、シールリングを付勢体から保護
する保護リングを備え、付勢体は、保護リングのシリン
ダ一方端側に当接して保護リングを介してシールリング
及びシール体をシリンダ他方端に向けて付勢する。保護
リングの材質は通常、、ポリアセタール、ナイロン、ポ
リエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレ
ート等の樹脂や、銅、ステンレス鋼等の金属である。こ
れにより、シールリングが損傷することが防止され、ま
た、径の細いシールリングを用いることができる。

【０００９】シリンダが有底のシリンダである場合、付
勢体は、例えば、シリンダ底に配置されたコイルバネ
や、シリンダ底に配置され、ピストンの往復動方向にジ
グザグ状に延びたバネ体である。ジグザグ状のバネ体
は、例えばピストン内面に沿って延びている。また、付
勢体の更に別の一例は、ピストンの底に取り付けられた
板状の部材と、板状の部材の周囲にシリンダ他方端向き
に形成された複数の凸部とから構成される。凸部は、シ
ール体、シールリング、又は、保護リングに当接する。

【００１０】第１、第２発明では、シリンダ他方端とピ
ストンとの間に作動流体が導入出されてもよい。第１、
第２発明では、好適には、ピストンの回動可能な角度範
囲を限定する限定手段を備えている。シリンダが有底の
シリンダである場合、限定手段は、例えば、ピストンの
底中央に形成された円錐台状穴と、シリンダ底の中央
に、シリンダ一方端に向けて設けられ、円錐台状の穴に
挿入される円柱状突起又は円筒状突起とから構成され
る。

【００１１】本発明により、ピストンがシリンダ内で良
好に回動する流体圧装置が実現される。また、従来に比
べ、高荷重に耐えられる。また、ユニバーサルジョイン
トや回動部材を有しないので、発生する粉塵量が従来に
比べて著しく少なく、クリーンルーム内で使用可能であ
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、実施形態例を挙げ、添付
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつより
詳細に説明する。 ［実施形態例１］本実施形態例は、第２発明の一実施形
態例であり、流体圧装置として支持装置を例に挙げて説
明する。図１は、本実施形態例の流体圧装置の構成を示
す側面断面図である。本実施形態例の流体圧装置１０
は、有底のシリンダ１２と、シリンダ内で昇降動自在か
つ全方位に回動自在であるピストン１４とを備えてい
る。ピストン１４は、シリンダ１２の径より径の小さい
球体の少なくとも一部であって最大円周を含む球面を有
する球体部１６を備えている。また、流体圧装置１０
は、シリンダ１２の一方の端部とピストン１４との間に
導入出される作動流体（図示せず）を備えている。作動
流体は、例えば作動油、水などの液体や空気などの気体
である。気体である場合、ショックアブゾーバとして用
いることができる。

【００１３】流体圧装置１０は、ピストン１４とともに
作動流体をシールするシール体を備えている。図２は、
シール体の側面部分断面図であり、右半が断面図であ
る。シール体２０は、シリンダ内面１２Ａに沿って摺動
する円筒側面２０Ａを外側に、球体部１６の球面に対応
する凹状面２０Ｂを内側にそれぞれ有する。図３は、流
体圧装置１０のシール体近傍の部分断面拡大側面図であ
る。流体圧装置１０は、シール体２０の下側、球体部１
６の球面１６Ａ、及び、シリンダ内面１２Ａにそれぞれ
面接触するシールリング２２と、シールリング２２を後
述の付勢体から保護する保護リング２４と、保護リング
２４の下側に当接して保護リング２４を介して、シール
リング２２及びシールリング上のシール体２０を上方に
付勢する付勢体２６とを備えている。シール体２０は、
球体部下部の球面に下側から接触してシリンダ１２とピ
ストン１４との間で周方向に介在し、ピストン１４と一
体で昇降動するリング状のものである。シールリング２
２は、例えばＯリングである。付勢体２６は、本実施形
態例では、シリンダ底に配置されたコイルバネ２６であ
る。また、流体圧装置１０は、上側に支持面を有する、
比較的短いピストンロッド２８をピストン上に備えてい
る。

【００１４】以下、流体圧装置１０の動作を説明する。
図４はピストン１４が上昇して水平になった状態、図５
はピストン１４が上昇して傾斜した状態をそれぞれ示す
側面断面図である。シール体２０、シールリング２２、
及び、保護リング２４は、ピストン１４の昇降時にピス
トン１４とともに昇降動し、ピストン１４の回動時には
停止している。従って、作動流体がシール体２０から上
方に漏出することは防止される。

【００１５】本実施形態例では、ピストン往復動方向の
寸法が従来に比べて小さい。従って、従来、流体圧装置
を挿入することができなかった幅の狭いゾーンであって
も、本発明に係る流体圧装置を挿入することができる。
また、ピストンがシリンダ内で全方位に回動自在である
ため、ピストンロッド２８の支持面に加えられる荷重の
大きさや向きが変動しても、流体圧装置（支持装置）が
破損し難い。更に、作動流体の圧力や導入される量を制
御することにより、支持面の高さを容易に調整できる。
従って、量産性の点で優れた流体圧装置が実現される。
尚、シール体、シールリング及び保護リングは、図６や
図７（図７では、シールリング及び保護リングを図示せ
ず）に示すような形状であっても同様の効果を奏するこ
とができる。

【００１６】［実施形態例１の改変例１］図８は、本改
変例の流体圧装置の構成を示す側面断面図である。本改
変例の流体圧装置は、実施形態例１の流体圧装置に比
べ、付勢体の構成が異なる。本改変例では、付勢体は、
保護リング２４の下側に当接する当接体３０と、シリン
ダ底に配置され、当接体３０を下方から上方に付勢する
コイルバネ３２とから構成される。当接体３０は、コイ
ルバネ３２に付勢されるドーナツ円盤部３０Ａと、ドー
ナツ円盤部３０Ａの周囲に上向きに形成された短円筒部
３０Ｂとからなる。

【００１７】［実施形態例１の改変例２］図１０は、本
改変例の流体圧装置の構成を示す側面断面図である。本
改変例の流体圧装置は、従来の流体圧装置のピストンロ
ッド上に実施形態例１の流体圧装置１０が付けられてい
る。

【００１８】［実施形態例２］本実施形態例は、第１発
明の一実施形態例である。図１０は、本実施形態例の流
体圧装置の側面断面図である。本実施形態例の流体圧装
置３４は、実施形態例１と同じシリンダ１２及び作動流
体と、シリンダ内で昇降動自在かつ全方位に回動自在で
あるピストン３６とを備えている。ピストン３６は、シ
リンダ１２の径と同じ径、又はシリンダ１２の径より僅
かに小さい径を有する球体の少なくとも一部であって最
大円周を含む球面を有する球体部３８を備えている。最
大円周は、球体中心を通る一平面と球面との交線によて
形成される円周である。また、流体圧装置３４は、シリ
ンダ内面１２Ａに沿って摺動する円筒側面を外側に、球
体部３８の球面３８Ａに摺動自在に嵌合する凹状球面３
９を内側にそれぞれ有するシール体４０とを備えてい
る。図１１は、シール体４０の側面部分断面図であり、
右半が断面図である。シール体４０は、上部シール体４
０Ａと下部シール体４０Ｂとから構成され、シリンダ１
２とピストン３６との間で周方向に介在して、ピストン
３６と一体で昇降動する短円筒状の部材である。更に、
流体圧装置３４は、シール体４０の下側、球体部３８の
球面、及び、シリンダ内面にそれぞれ面接触する、シー
ル体４０より軟質の上部シールリング４２と、シール体
４０の上側、球体部３８の球面、及び、シリンダ内面に
それぞれ面接触する、シール体４０より軟質の下部シー
ルリング４４とを備えている。

【００１９】以下、流体圧装置３４の動作を説明する。
シール体４０、上部シールリング４２、及び、下部シー
ルリング４４は、ピストン３６の昇降時にピストン３６
とともに昇降動し、ピストン３６の回動時には停止して
いる。従って、作動流体がシール体４０から上方に漏出
することは防止される。本実施形態例により、実施形態
例１と同様の効果を奏することができる。

【００２０】［実施形態例３］本実施形態例は、第２発
明の一実施形態例である。図１２は、本実施形態例の流
体圧装置の構成を示す側面断面図である。本実施形態例
の流体圧装置５０は、実施形態例１の流体圧装置に比
べ、ピストンの回動可能な角度範囲を限定する限定手段
を備えている。限定手段は、ピストンの底中央から上方
に向けて形成された円錐台状穴５２と、シリンダ底の中
央に設けられ、円錐台状穴５２に挿入される円筒状突起
５４と、ピストンとシリンダ底とを連結するコイルバネ
５６とを備えている。尚、シリンダ１２は、作動流体の
逆止弁及び戻し弁としての両機能を有する弁５８を備え
ている。本実施形態例では、ピストンの円錐台状穴５２
とシリンダ底の円筒状突起５４との相互作用により、ピ
ストンの回動角度が限定される。回動角度は、例えば、
シリンダ１２の中心線に対して１０°以内になる。

【００２１】［実施形態例４］本実施形態例は、第２発
明の一実施形態例である。図１３は、本実施形態例の流
体圧装置の構成を示す側面断面図である。本実施形態例
の流体圧装置は、実施形態例３の流体圧装置に比べ、限
定手段の構成が異なり、また、作動流体が、シリンダ内
のピストン下側のゾーンだけでなく、ピストン上側のゾ
ーンにも導入出される構成を有する。本実施形態例で
は、シリンダの他方の端部８０に、ピストンロッド８２
の回転角度を規制する規制部８４を備えている。規制部
８４は、ピストンロッド８２が貫通する開口８６を中央
に有する。開口８６の径はピストンロッド８２の径に比
べてやや大きく、ピストンロッド８２は、開口８６の周
縁によって回動角度が限定される（図１４参照）。本実
施形態例により、実施形態例３と同様の効果を奏するこ
とができる。

【００２２】［実施形態例４の改変例］図１５は、本改
変例の流体圧装置の構成を示す側面断面図である。本改
変例の流体圧装置は、実施形態例４の流体圧装置に比
べ、作動流体がピストンとシリンダ一方端との間に導入
出され、ピストンとシリンダ他方端との間には導入出さ
れない。また、ピストンロッドが、図１６に示すよう
に、径が開口に向けて徐々に小さくてもよい。この場
合、ピストンロッド径と開口径とを調整して流体圧装置
を製作することにより、ピストンの往復動時での回動角
度を一定範囲に限定することが可能になる。

【００２３】

【発明の効果】第１発明によれば、シリンダ内で昇降動
自在かつ全方位に回動自在であるピストンと、ピストン
と一体で昇降動する短円筒状の部材であって、シリンダ
内面に沿って摺動する円筒側面を外側に、球体部の球面
に摺動自在に嵌合する凹状球面を内側にそれぞれ有する
シール体とを備えている。第１発明により、ピストンが
シリンダ内で良好に回動する流体圧装置が実現される。
また、従来に比べ、高荷重に耐えられる。また、第２発
明によれば、シリンダ内で昇降動自在かつ全方位に回動
自在であるピストンと、ピストンと一体で昇降動するリ
ング状のシール体であって、シリンダ内面に沿って摺動
する円筒側面を外側に、球体部の球面に対応する凹状面
を内側にそれぞれ有するシール体と、シール体の下側に
当接してシール体を上方に付勢する付勢体とを備えてい
る。第２発明により、第１発明と同様の効果を奏するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態例１の流体圧装置の構成を示す側面断
面図である。

【図２】実施形態例１の流体圧装置のシール体の側面部
分断面図であり、右半が断面図である。

【図３】実施形態例１の流体圧装置の部分断面拡大側面
図である。

【図４】実施形態例１で、ピストンが上昇して水平にな
った状態を示す側面断面図である。

【図５】実施形態例１で、ピストンが上昇して傾斜した
状態を示す側面断面図である。

【図６】実施形態例１で、シール体、シールリング及び
保護リングの別の形態を示す部分拡大側面断面図であ
る。

【図７】実施形態例１で、シール体の別の形態を示す部
分拡大側面断面図である。

【図８】実施形態例１の改変例１の流体圧装置の構成を
示す側面断面図である。

【図９】実施形態例１の改変例２の流体圧装置の構成を
示す側面断面図である。

【図１０】実施形態例２の流体圧装置の側面断面図であ
る。

【図１１】実施形態例２の流体圧装置のシール体の側面
部分断面図であり、右半が断面図である。

【図１２】実施形態例３の流体圧装置の構成を示す側面
断面図である。

【図１３】実施形態例４の流体圧装置の構成を示す側面
断面図である。

【図１４】実施形態例４で、流体圧装置の回動角度が限
定されることを示す側面断面図である。

【図１５】実施形態例４の改変例の流体圧装置の構成を
示す側面断面図である。

【図１６】実施形態例４の改変例の流体圧装置の構成を
示す側面断面図である。

【図１７】従来の流体圧装置の構成を示す側面断面図で
ある。

【符号の説明】

１０ 流体圧装置 １２ シリンダ １２Ａ シリンダ内面 １４ ピストン １６ 球体部 １６Ａ 球面 ２０ シール体 ２０Ａ 円筒側面 ２０Ｂ 凹状面 ２２ シールリング ２４ 保護リング ２６ 付勢体 ２８ ピストンロッド ３０ 当接体 ３２ コイルバネ ３０Ａ ドーナツ円盤部 ３０Ｂ 短円筒部 ３４ 流体圧装置 ３６ ピストン ３８ 球体部 ４０ シール体 ４０Ａ 上部シール体 ４０Ｂ 下部シール体 ４２ 上部シールリング ４４ 下部シールリング ５０ 流体圧装置 ５２ 円錐台状穴 ５４ 円筒状突起 ５６ コイルバネ ５８ 弁 ６０ 流体圧装置 ６２ シリンダ ６４ ピストン ６６ ピストンロッド ６８ 台座 ７０ 台座基台 ７２ 球体部 ７４ Ｏリング ８０ シリンダの他方の端部（シリンダ他方端） ８２ ピストンロッド ８４ 規制部 ８６ 開口

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シリンダと、 シリンダの径より径の小さい球体の少なくとも一部であ
   って、最大円周を含む球面を有する球体部を備えて、シ
   リンダ内で往復動自在かつ全方位に回動自在であるピス
   トンと、 シリンダの一方の端部（以下、シリンダ一方端と言う）
   とピストンとの間に導入出される作動流体と、 シリンダとピストンとの間で周方向に介在し、ピストン
   と一体で往復動する短円筒状の部材であって、シリンダ
   内面に沿って摺動する円筒側面を外側に、球体部の球面
   に摺動自在に嵌合する凹状球面を内側にそれぞれ有する
   シール体とを備えていることを特徴とする流体圧装置。
2. 【請求項２】 端部に支持面を有するピストンロッドを
   備えていることを特徴とする請求項１に記載の流体圧装
   置。
3. 【請求項３】 シール体のシリンダ一方端側、シリンダ
   内面、及び、球体部の球面にそれぞれ面接触する、シー
   ル体より軟質のシールリングを備えていることを特徴と
   する請求項１又は２に記載の流体圧装置。
4. 【請求項４】 シールリングをシール体の往復動方向両
   側に備えていることを特徴とする請求項３に記載の流体
   圧装置。
5. 【請求項５】 シリンダと、 シリンダの径と同じ径、又はシリンダの径より僅かに小
   さい径を有する球体の少なくとも一部であって、最大円
   周を含む球面を有する球体部を備えて、シリンダ内で往
   復動自在かつ全方位に回動自在であるピストンと、 シリンダ一方端とピストンとの間に導入出される作動流
   体と、 シリンダとピストンとの間で周方向に介在し、球体部の
   球面のうちシリンダ一方端側に接触してピストンと一体
   で往復動するリング状のシール体であって、シリンダ内
   面に沿って摺動する円筒側面を外側に、球体部の球面に
   対応する凹状面を内側にそれぞれ有するシール体と、 シール体のシリンダ一方端側に当接してシール体をシリ
   ンダの他方の端部（以下、シリンダ他方端と言う）に向
   けて付勢する付勢体とを備えていることを特徴とする流
   体圧装置。
6. 【請求項６】 シール体と付勢体との間に介在し、シー
   ル体のシリンダ一方端側、球体部の球面、及び、シリン
   ダ内面にそれぞれ面接触するシールリングを備え、 付勢体は、シールリングのシリンダ一方端側に当接して
   シールリング及びシール体をシリンダ他方端に向けて付
   勢することを特徴とする請求項５に記載の流体圧装置。
7. 【請求項７】 シールリングと付勢体との間に介在し、
   シールリングを付勢体から保護する保護リングを備え、 付勢体は、保護リングのシリンダ一方端側に当接して保
   護リングを介してシールリング及びシール体をシリンダ
   他方端に向けて付勢することを特徴とする請求項６に記
   載の流体圧装置。
8. 【請求項８】 シリンダが有底のシリンダであって、 付勢体は、シリンダ底に配置されたコイルバネであるこ
   とを特徴とする請求項５から７のうち何れか１項に記載
   の流体圧装置。
9. 【請求項９】 シリンダが有底のシリンダであって、 付勢体は、シリンダ底に配置され、ピストンの往復動方
   向にジグザグ状に延びたバネ体であることを特徴とする
   請求項５から７のうち何れか１項に記載の流体圧装置。
10. 【請求項１０】 シリンダ他方端とピストンとの間に作
    動流体が導入出されることを特徴とする請求項１から９
    のうち何れか１項に記載の流体圧装置。
11. 【請求項１１】 ピストンの回動可能な角度範囲を限定
    する限定手段を備えていることを特徴とする請求項１か
    ら１０のうち何れか１項に記載の流体圧装置。
12. 【請求項１２】 シリンダが有底のシリンダであって、
    限定手段は、 ピストンの底中央に形成された円錐台状穴と、 シリンダ底の中央に、シリンダ一方端に向けて設けら
    れ、円錐台状の穴に挿入される円柱状突起又は円筒状突
    起とから構成されることを特徴とする請求項１１に記載
    の流体圧装置。