JP2000000446A - 純水比抵抗調整装置及びウエハ洗浄装置 - Google Patents
純水比抵抗調整装置及びウエハ洗浄装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＣＯ2 濃度ムラの発生及び気泡の蓄積を防止
した純水比抵抗調整装置、並びにそのような純水比抵抗
調整装置を備えたウエハ洗浄装置を提供する。 【解決手段】 本純水比抵抗調整装置１０は、ガス透過
膜からなる多数本の中空糸膜の束を有し、ＣＯ2 ガスを
中空糸膜の内側から外側に透過させるＣＯ2 ガス給気モ
ジュール１４を内蔵する密閉容器１２を備え、純水を一
時的に容器内に滞留させ、モジュールから容器内の純水
にＣＯ2 を溶解させて、純水の比抵抗を調整する。容器
は、開閉弁付きガス抜き管４６を最高部に有し、水平面
に対して傾斜した上蓋板１６を備えた縦型容器である。
純水の入口は、上蓋板を貫通し、下端にノズル口を有す
る純水入口ノズル１８と、Ｕ字状に懸架された多数本の
中空糸膜の束のＵ字中央を通ってＵ字底部まで上蓋板か
ら下方に垂下し、純水入口ノズルの下部を内側に収容す
る有底上部開口の筒体２８とを備えている。
した純水比抵抗調整装置、並びにそのような純水比抵抗
調整装置を備えたウエハ洗浄装置を提供する。 【解決手段】 本純水比抵抗調整装置１０は、ガス透過
膜からなる多数本の中空糸膜の束を有し、ＣＯ2 ガスを
中空糸膜の内側から外側に透過させるＣＯ2 ガス給気モ
ジュール１４を内蔵する密閉容器１２を備え、純水を一
時的に容器内に滞留させ、モジュールから容器内の純水
にＣＯ2 を溶解させて、純水の比抵抗を調整する。容器
は、開閉弁付きガス抜き管４６を最高部に有し、水平面
に対して傾斜した上蓋板１６を備えた縦型容器である。
純水の入口は、上蓋板を貫通し、下端にノズル口を有す
る純水入口ノズル１８と、Ｕ字状に懸架された多数本の
中空糸膜の束のＵ字中央を通ってＵ字底部まで上蓋板か
ら下方に垂下し、純水入口ノズルの下部を内側に収容す
る有底上部開口の筒体２８とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、純水比抵抗調整装
置に関し、更に詳細には、ＣＯ2 濃度ムラの発生及び気
泡の蓄積を防止した純水比抵抗調整装置、並びにそのよ
うな純水比抵抗調整装置を備えたウエハ洗浄装置に関す
るものである。
置に関し、更に詳細には、ＣＯ2 濃度ムラの発生及び気
泡の蓄積を防止した純水比抵抗調整装置、並びにそのよ
うな純水比抵抗調整装置を備えたウエハ洗浄装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造過程では、多くのプロ
セス工程の前後で、ウエハを純水で洗浄してウエハ上の
薬剤、パーティクル或いは汚染物を除去している。純水
比抵抗調整装置とは、純水に炭酸ガスを溶解させて純水
の比抵抗値を調整する装置であって、例えば、ウエハを
純水で洗浄する際、静電気の発生によりウエハ洗浄の効
率が低下したり、ウエハに対する放電破壊現象が生じた
りするのを防止するために、半導体装置を製造する工場
に供給する純水の比抵抗を調整するために使用されてい
る。
セス工程の前後で、ウエハを純水で洗浄してウエハ上の
薬剤、パーティクル或いは汚染物を除去している。純水
比抵抗調整装置とは、純水に炭酸ガスを溶解させて純水
の比抵抗値を調整する装置であって、例えば、ウエハを
純水で洗浄する際、静電気の発生によりウエハ洗浄の効
率が低下したり、ウエハに対する放電破壊現象が生じた
りするのを防止するために、半導体装置を製造する工場
に供給する純水の比抵抗を調整するために使用されてい
る。
【０００３】ここで、図５を参照して、純水比抵抗調整
装置が組み込まれた、ウエハの純水洗浄装置の構成を説
明する。図５はウエハの純水洗浄装置の構成を示す模式
図である。ウエハの純水洗浄装置９０は、ウエハを洗浄
する純水にＣＯ2 ガスを溶解して純水の比抵抗を調整す
る純水比抵抗調整装置９２と、比抵抗が調整された純水
を高圧に昇圧する高圧純水ポンプ９４と、高圧純水ポン
プ９４によって高圧に昇圧された純水をノズルからウエ
ハに噴出してウエハを洗浄する純水洗浄装置本体９６と
を備えている。純水は、純水供給システム（図示せず）
から純水供給管９８を介して純水比抵抗調整装置９２に
送入され、そこでＣＯ2 ガスを溶解して比抵抗が調整さ
れ、次いで高圧純水ポンプ９４の吸い込み側に入る。次
いで、純水は、高圧純水ポンプ９４により高圧に昇圧さ
れた後、吐出側から吐出され、高圧純水管１００を介し
て純水洗浄装置本体９６に送られる。
装置が組み込まれた、ウエハの純水洗浄装置の構成を説
明する。図５はウエハの純水洗浄装置の構成を示す模式
図である。ウエハの純水洗浄装置９０は、ウエハを洗浄
する純水にＣＯ2 ガスを溶解して純水の比抵抗を調整す
る純水比抵抗調整装置９２と、比抵抗が調整された純水
を高圧に昇圧する高圧純水ポンプ９４と、高圧純水ポン
プ９４によって高圧に昇圧された純水をノズルからウエ
ハに噴出してウエハを洗浄する純水洗浄装置本体９６と
を備えている。純水は、純水供給システム（図示せず）
から純水供給管９８を介して純水比抵抗調整装置９２に
送入され、そこでＣＯ2 ガスを溶解して比抵抗が調整さ
れ、次いで高圧純水ポンプ９４の吸い込み側に入る。次
いで、純水は、高圧純水ポンプ９４により高圧に昇圧さ
れた後、吐出側から吐出され、高圧純水管１００を介し
て純水洗浄装置本体９６に送られる。
【０００４】純水洗浄装置９６は、真空吸着方式、また
は外径チャック方式によってウエハを保持しつつ回転軸
１０２の周りに回転するウエハステージ１０４と、高圧
純水（ジェット水）を噴出するノズル１０６と、ノズル
１０６のスキャン機構１０８とを備えている。ウエハを
洗浄する際には、ウエハを吸着したウエハステージ１０
４を回転させ、ノズル１０６からジェット水を噴出させ
つつスキャン機構１０８によりノズル１０６でウエハ全
面をスキャンし、ウエハ上のパーティクル、汚染物を除
去し、洗浄する。
は外径チャック方式によってウエハを保持しつつ回転軸
１０２の周りに回転するウエハステージ１０４と、高圧
純水（ジェット水）を噴出するノズル１０６と、ノズル
１０６のスキャン機構１０８とを備えている。ウエハを
洗浄する際には、ウエハを吸着したウエハステージ１０
４を回転させ、ノズル１０６からジェット水を噴出させ
つつスキャン機構１０８によりノズル１０６でウエハ全
面をスキャンし、ウエハ上のパーティクル、汚染物を除
去し、洗浄する。
【０００５】高速回転しているウエハ上にノズル１０６
から噴出したジェット水が衝突した際に、静電気がウエ
ハ上に発生し、ウエハ上のパーティクルを静電吸着し、
除去し難くする。更には、静電気の発生により、ウエハ
が静電破壊されることもある。そこで、この静電気の発
生の抑制するために、純水比抵抗調整装置９２を使っ
て、ＣＯ2 ガスを純水に溶解し、静電気が発生し難いよ
うに、純水の比抵抗を調整する。
から噴出したジェット水が衝突した際に、静電気がウエ
ハ上に発生し、ウエハ上のパーティクルを静電吸着し、
除去し難くする。更には、静電気の発生により、ウエハ
が静電破壊されることもある。そこで、この静電気の発
生の抑制するために、純水比抵抗調整装置９２を使っ
て、ＣＯ2 ガスを純水に溶解し、静電気が発生し難いよ
うに、純水の比抵抗を調整する。
【０００６】ここで、図６を参照して、従来の純水比抵
抗調整装置９２の構成を説明する。図６は従来の純水比
抵抗調整装置９２の横断面図である。従来の純水比抵抗
調整装置９２は、図６に示すように、一枚のガス透過平
膜１１０によりガス室１１２と純水室１１４とに長手方
向に区画された横型容器１１６を備えている。純水は純
水入口１１８から入り純水室１１４を流れ純水出口１２
０から流出する。ＣＯ2 ガスがＣＯ2 ガス入口１２２か
ら入りＣＯ2 ガス室１１２を流れつつ一部がガス透過平
膜１１０を透過して純水室１１４を流れる純水に溶解
し、残りはＣＯ2 ガス出口１２４から流出する。また、
ＣＯ2 ガス入口１２２に接続されたＣＯ2 ガス管１２６
には開閉弁１２８が設けてある。
抗調整装置９２の構成を説明する。図６は従来の純水比
抵抗調整装置９２の横断面図である。従来の純水比抵抗
調整装置９２は、図６に示すように、一枚のガス透過平
膜１１０によりガス室１１２と純水室１１４とに長手方
向に区画された横型容器１１６を備えている。純水は純
水入口１１８から入り純水室１１４を流れ純水出口１２
０から流出する。ＣＯ2 ガスがＣＯ2 ガス入口１２２か
ら入りＣＯ2 ガス室１１２を流れつつ一部がガス透過平
膜１１０を透過して純水室１１４を流れる純水に溶解
し、残りはＣＯ2 ガス出口１２４から流出する。また、
ＣＯ2 ガス入口１２２に接続されたＣＯ2 ガス管１２６
には開閉弁１２８が設けてある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した純水
比抵抗調整装置には、以下のような問題があった。第１
の問題は、純水室１１４を流れる純水中にはＣＯ2 濃度
ムラが発生していることである。即ち、ガス透過平膜１
１０に沿って純水室１１４の上部を流れる純水のＣＯ2
濃度は比較的に高く、ガス透過平膜１１０から離れた純
水室１１４の下部を流れる純水のＣＯ2 濃度は比較的に
低いというＣＯ2 濃度ムラが発生し、そのために、純水
の比抵抗を所望の値に安定して制御することが難しいと
いうことである。例えば、純水比抵抗調整装置の直後の
純水と、ウエハ洗浄を行う直前のＣＯ2濃度を示す純水
比抵抗値が異なり、静電気の抑制をもたらす比抵抗値に
設定するのが困難であった。第２の問題は、純水室１１
４に気泡が発生した際に、放出する手段がないために気
泡が純水に同伴されて流出することである。気泡を同伴
した純水が、高圧純水ポンプに入ると、高圧純水ポンプ
の昇圧機能の障害になり、キャビテーション等のポンプ
トラブルを発生させる原因となっていた。第３の問題
は、ＣＯ2 ガスの消費量が理論必要量に比べて著しく多
いという問題で、コスト高になった。
比抵抗調整装置には、以下のような問題があった。第１
の問題は、純水室１１４を流れる純水中にはＣＯ2 濃度
ムラが発生していることである。即ち、ガス透過平膜１
１０に沿って純水室１１４の上部を流れる純水のＣＯ2
濃度は比較的に高く、ガス透過平膜１１０から離れた純
水室１１４の下部を流れる純水のＣＯ2 濃度は比較的に
低いというＣＯ2 濃度ムラが発生し、そのために、純水
の比抵抗を所望の値に安定して制御することが難しいと
いうことである。例えば、純水比抵抗調整装置の直後の
純水と、ウエハ洗浄を行う直前のＣＯ2濃度を示す純水
比抵抗値が異なり、静電気の抑制をもたらす比抵抗値に
設定するのが困難であった。第２の問題は、純水室１１
４に気泡が発生した際に、放出する手段がないために気
泡が純水に同伴されて流出することである。気泡を同伴
した純水が、高圧純水ポンプに入ると、高圧純水ポンプ
の昇圧機能の障害になり、キャビテーション等のポンプ
トラブルを発生させる原因となっていた。第３の問題
は、ＣＯ2 ガスの消費量が理論必要量に比べて著しく多
いという問題で、コスト高になった。
【０００８】本発明の目的は、ＣＯ2 濃度ムラの発生及
び気泡の蓄積を防止した純水比抵抗調整装置、並びにそ
のような純水比抵抗調整装置を備えたウエハ洗浄装置を
提供することである。
び気泡の蓄積を防止した純水比抵抗調整装置、並びにそ
のような純水比抵抗調整装置を備えたウエハ洗浄装置を
提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者は、ＣＯ2 濃度
ムラの発生原因は、ガス透過平膜に沿って流れる純水の
流れと、ガス透過平膜から離れたところを流れる純水の
流れとが存在することにあると考え、一枚のガス透過平
膜に代えて、ガス透過膜の中空糸膜の多数本を束にした
ガス給気モジュールを使用し、純水が各中空糸膜に沿っ
て流れるようにすることにした。また、気泡が純水に同
伴して流出しないように、縦型容器を使用し、容器天井
の最高部にガス抜き管を設けることを考えた。更には、
ＣＯ2 ガス出口側にＣＯ2 ガス流量絞り弁を設けること
を考えた。そして、本発明者は、以上の着想を基にして
実験を行い、本発明を完成するに到った。
ムラの発生原因は、ガス透過平膜に沿って流れる純水の
流れと、ガス透過平膜から離れたところを流れる純水の
流れとが存在することにあると考え、一枚のガス透過平
膜に代えて、ガス透過膜の中空糸膜の多数本を束にした
ガス給気モジュールを使用し、純水が各中空糸膜に沿っ
て流れるようにすることにした。また、気泡が純水に同
伴して流出しないように、縦型容器を使用し、容器天井
の最高部にガス抜き管を設けることを考えた。更には、
ＣＯ2 ガス出口側にＣＯ2 ガス流量絞り弁を設けること
を考えた。そして、本発明者は、以上の着想を基にして
実験を行い、本発明を完成するに到った。
【００１０】上記目的を達成するために、上述の知見に
基づいて、本発明に係る純水比抵抗調整装置（以下、第
１の発明と言う）は、ガス透過膜からなる多数本の中空
糸膜の束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過するＣＯ
2 ガスを中空糸膜の外側に透過させるガス給気モジュー
ルと、ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水がガス給
気モジュールの外側を流れる密閉容器とを備え、ガス給
気モジュールにＣＯ2ガスを導入して、容器内を流れる
純水にＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調整する
装置であって、容器は、開閉弁付きガス抜き管を最高部
に有し、水平面に対して傾斜した上蓋板を容器上部に備
えた縦型容器として構成され、ＣＯ2 ガスを導入するＣ
Ｏ2 ガス入口及び余剰のＣＯ2 ガスを排出するＣＯ2ガ
ス出口は、それぞれ、上蓋板に離隔して設けられ、ガス
給気モジュールの中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入口
に、他端がＣＯ2 ガス出口に連結されて容器内にＵ字状
に懸架され、純水の入口は上蓋板に、純水の出口は容器
の底部にそれぞれ設けられていることを特徴としてい
る。
基づいて、本発明に係る純水比抵抗調整装置（以下、第
１の発明と言う）は、ガス透過膜からなる多数本の中空
糸膜の束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過するＣＯ
2 ガスを中空糸膜の外側に透過させるガス給気モジュー
ルと、ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水がガス給
気モジュールの外側を流れる密閉容器とを備え、ガス給
気モジュールにＣＯ2ガスを導入して、容器内を流れる
純水にＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調整する
装置であって、容器は、開閉弁付きガス抜き管を最高部
に有し、水平面に対して傾斜した上蓋板を容器上部に備
えた縦型容器として構成され、ＣＯ2 ガスを導入するＣ
Ｏ2 ガス入口及び余剰のＣＯ2 ガスを排出するＣＯ2ガ
ス出口は、それぞれ、上蓋板に離隔して設けられ、ガス
給気モジュールの中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入口
に、他端がＣＯ2 ガス出口に連結されて容器内にＵ字状
に懸架され、純水の入口は上蓋板に、純水の出口は容器
の底部にそれぞれ設けられていることを特徴としてい
る。
【００１１】第１の発明では、容器が縦型容器であるか
ら、純水中のガス、気泡は、上昇して、容器内で上蓋板
の最高部の直ぐ下に蓄積するので、上蓋板の最高部に設
けられたガス抜き管を介してガス、気泡を外部に放出す
ることができる。また、純水はガス給気モジュールの束
状の中空糸膜に沿って中空糸膜に接触しつつ上部から下
部に流れるので、ＣＯ2 濃度ムラが生じない。ガス給気
モジュールは、市販のものを使用できる。
ら、純水中のガス、気泡は、上昇して、容器内で上蓋板
の最高部の直ぐ下に蓄積するので、上蓋板の最高部に設
けられたガス抜き管を介してガス、気泡を外部に放出す
ることができる。また、純水はガス給気モジュールの束
状の中空糸膜に沿って中空糸膜に接触しつつ上部から下
部に流れるので、ＣＯ2 濃度ムラが生じない。ガス給気
モジュールは、市販のものを使用できる。
【００１２】第１の発明の好適な実施態様では、純水の
入口は、上蓋板を貫通し、下端にノズル口を有する純水
入口ノズルと、Ｕ字状に懸架された多数本の中空糸膜の
束のＵ字中央を通ってＵ字底部まで上蓋板から下方に垂
下し、純水入口ノズルの下部を内側に収容する有底上部
開口の筒体とを備え、純水は純水入口ノズルの下端開口
から流出し、筒体と純水入口ノズルとの間の環状の流路
を取って筒体の上部開口から溢流する。以上の構成によ
り、純水は、筒体の上部開口から溢流し、容器内に一様
に分散し、ガス給気モジュールの束状の中空糸膜に沿っ
て中空糸膜に接触しつつ上部から下部に流れるので、更
に一層、ＣＯ2 濃度ムラの発生が防止される。
入口は、上蓋板を貫通し、下端にノズル口を有する純水
入口ノズルと、Ｕ字状に懸架された多数本の中空糸膜の
束のＵ字中央を通ってＵ字底部まで上蓋板から下方に垂
下し、純水入口ノズルの下部を内側に収容する有底上部
開口の筒体とを備え、純水は純水入口ノズルの下端開口
から流出し、筒体と純水入口ノズルとの間の環状の流路
を取って筒体の上部開口から溢流する。以上の構成によ
り、純水は、筒体の上部開口から溢流し、容器内に一様
に分散し、ガス給気モジュールの束状の中空糸膜に沿っ
て中空糸膜に接触しつつ上部から下部に流れるので、更
に一層、ＣＯ2 濃度ムラの発生が防止される。
【００１３】本発明に係る別の純水比抵抗調整装置（以
下、第２の発明と言う）は、ガス透過膜からなる多数本
の中空糸膜の束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過す
るＣＯ2 ガスを中空糸膜の外側に透過させるガス給気モ
ジュールと、ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水が
ガス給気モジュールの外側を流れる密閉容器とを備え、
ガス給気モジュールにＣＯ2 ガスを導入して、容器内を
流れる純水にＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調
整する装置であって、容器は、閉止された両端部を上部
に有し、下方にＵ字状に懸架されたパイプ状に形成さ
れ、ＣＯ2 ガスを導入するＣＯ2 ガス入口及び余剰のＣ
Ｏ2 ガスを排出するＣＯ2ガス出口は、それぞれ、容器
の一方及び他方の端部に設けられ、ガス給気モジュール
の中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入口に、他端がＣＯ2
ガス出口に連結されて容器に沿ってＵ字状に懸架され、
純水の入口はＣＯ2 ガス出口と同じ端部に、純水の出口
はＣＯ2 ガス入口と同じ端部に、それぞれ、設けられ、
開閉弁付きガス抜き管が、Ｕ字形パイプ状容器の上部両
端部に設けられていることを特徴としている。
下、第２の発明と言う）は、ガス透過膜からなる多数本
の中空糸膜の束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過す
るＣＯ2 ガスを中空糸膜の外側に透過させるガス給気モ
ジュールと、ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水が
ガス給気モジュールの外側を流れる密閉容器とを備え、
ガス給気モジュールにＣＯ2 ガスを導入して、容器内を
流れる純水にＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調
整する装置であって、容器は、閉止された両端部を上部
に有し、下方にＵ字状に懸架されたパイプ状に形成さ
れ、ＣＯ2 ガスを導入するＣＯ2 ガス入口及び余剰のＣ
Ｏ2 ガスを排出するＣＯ2ガス出口は、それぞれ、容器
の一方及び他方の端部に設けられ、ガス給気モジュール
の中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入口に、他端がＣＯ2
ガス出口に連結されて容器に沿ってＵ字状に懸架され、
純水の入口はＣＯ2 ガス出口と同じ端部に、純水の出口
はＣＯ2 ガス入口と同じ端部に、それぞれ、設けられ、
開閉弁付きガス抜き管が、Ｕ字形パイプ状容器の上部両
端部に設けられていることを特徴としている。
【００１４】第２の発明では、容器がＵ字形パイプ状容
器であるから、純水中のガス、気泡は、上昇して、容器
内で両端部の直ぐ下に蓄積するので、端部に設けられた
ガス抜き管を介してガス、気泡を外部に放出することが
できる。また、純水は、ガス給気モジュールの束状の中
空糸膜に沿って確実にかつ一様に中空糸膜に接触しつつ
Ｕ字形パイプ状容器の一端から他端に流れるので、ＣＯ
2 濃度ムラが生じない。更に、第２の発明では、ガス給
気モジュールと接触してＣＯ2 濃度が高くなった純水
が、導入された直後のＣＯ2 ガスと接触するので、一層
ＣＯ2 濃度調整が容易である。
器であるから、純水中のガス、気泡は、上昇して、容器
内で両端部の直ぐ下に蓄積するので、端部に設けられた
ガス抜き管を介してガス、気泡を外部に放出することが
できる。また、純水は、ガス給気モジュールの束状の中
空糸膜に沿って確実にかつ一様に中空糸膜に接触しつつ
Ｕ字形パイプ状容器の一端から他端に流れるので、ＣＯ
2 濃度ムラが生じない。更に、第２の発明では、ガス給
気モジュールと接触してＣＯ2 濃度が高くなった純水
が、導入された直後のＣＯ2 ガスと接触するので、一層
ＣＯ2 濃度調整が容易である。
【００１５】本発明に係る純水比抵抗調整装置（以下、
第３の発明と言う）は、ガス透過膜からなる多数本の中
空糸膜の束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過するＣ
Ｏ2ガスを中空糸膜の外側に透過させるガス給気モジュ
ールと、ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水がガス
給気モジュールの外側を流れる密閉容器とを備え、ガス
給気モジュールにＣＯ2 ガスを導入して、容器内を流れ
る純水にＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調整す
る装置であって、容器は、開閉弁付きガス抜き管を最高
部に有し、水平面に対して傾斜した上蓋板を容器上部に
備えた縦型容器として構成され、ＣＯ2 ガスを導入する
ＣＯ2 ガス入口及び余剰のＣＯ2 ガスを排出するＣＯ2
ガス出口は、それぞれ、上蓋板に離隔して設けられ、ガ
ス給気モジュールの中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入口
に、他端がＣＯ2 ガス出口に連結されて容器内にＵ字状
に懸架され、純水の入口は及び純水の出口は、それぞ
れ、上蓋板に設けられ、かつ純水の出口は、上蓋板から
容器の底板近傍に下降し、下端に開口を備える内管を有
し、純水が容器の底部から内管を通って純水の出口から
流出することを特徴としている。
第３の発明と言う）は、ガス透過膜からなる多数本の中
空糸膜の束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過するＣ
Ｏ2ガスを中空糸膜の外側に透過させるガス給気モジュ
ールと、ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水がガス
給気モジュールの外側を流れる密閉容器とを備え、ガス
給気モジュールにＣＯ2 ガスを導入して、容器内を流れ
る純水にＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調整す
る装置であって、容器は、開閉弁付きガス抜き管を最高
部に有し、水平面に対して傾斜した上蓋板を容器上部に
備えた縦型容器として構成され、ＣＯ2 ガスを導入する
ＣＯ2 ガス入口及び余剰のＣＯ2 ガスを排出するＣＯ2
ガス出口は、それぞれ、上蓋板に離隔して設けられ、ガ
ス給気モジュールの中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入口
に、他端がＣＯ2 ガス出口に連結されて容器内にＵ字状
に懸架され、純水の入口は及び純水の出口は、それぞ
れ、上蓋板に設けられ、かつ純水の出口は、上蓋板から
容器の底板近傍に下降し、下端に開口を備える内管を有
し、純水が容器の底部から内管を通って純水の出口から
流出することを特徴としている。
【００１６】第３の発明では、容器が縦型容器であるか
ら、純水中のガス、気泡は、上昇して、容器内で上蓋板
の最高部の直ぐ下に蓄積するので、上蓋板の最高部に設
けられたガス抜き管を介してガス、気泡を外部に放出す
ることができる。また、比抵抗が調整された純水は、容
器の底部から内管を介して純水の出口から流出するの
で、仮にガスが最高部に滞留していても、純水に同伴し
て流出することがない。また、純水はガス給気モジュー
ルの束状の中空糸膜に沿って中空糸膜に接触しつつ上部
から下部に流れるので、ＣＯ2 濃度ムラが生じない。
ら、純水中のガス、気泡は、上昇して、容器内で上蓋板
の最高部の直ぐ下に蓄積するので、上蓋板の最高部に設
けられたガス抜き管を介してガス、気泡を外部に放出す
ることができる。また、比抵抗が調整された純水は、容
器の底部から内管を介して純水の出口から流出するの
で、仮にガスが最高部に滞留していても、純水に同伴し
て流出することがない。また、純水はガス給気モジュー
ルの束状の中空糸膜に沿って中空糸膜に接触しつつ上部
から下部に流れるので、ＣＯ2 濃度ムラが生じない。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に、実施形態例を挙げ、添付
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつ詳細
に説明する。実施形態例１ 本実施形態例は、第１の発明に係る純水比抵抗調整装置
の実施形態の一例であって、図１は本実施形態例の純水
比抵抗調整装置の構成を示す模式的断面図、図２は内筒
の側面図である。本実施形態例の純水比抵抗調整装置１
０は、縦型の密閉容器１２と、容器１２に内蔵されたＣ
Ｏ2 ガス給気モジュール１４とから構成されている。容
器１２の上部には、水平面に対して傾斜して設けられ、
容器１２を覆う上蓋板１６が設けてある。上蓋板１６に
は、上蓋板１６をほぼ垂直に貫通して内部に挿入された
純水入口ノズル１８と、ＣＯ2 ガス給気モジュール１４
のＣＯ2 ガス入口及び出口にそれぞれ接続されたＣＯ2
ガス入口ポート２０及びＣＯ2 ガス出口ポート２２とが
設けてある。
図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつ詳細
に説明する。実施形態例１ 本実施形態例は、第１の発明に係る純水比抵抗調整装置
の実施形態の一例であって、図１は本実施形態例の純水
比抵抗調整装置の構成を示す模式的断面図、図２は内筒
の側面図である。本実施形態例の純水比抵抗調整装置１
０は、縦型の密閉容器１２と、容器１２に内蔵されたＣ
Ｏ2 ガス給気モジュール１４とから構成されている。容
器１２の上部には、水平面に対して傾斜して設けられ、
容器１２を覆う上蓋板１６が設けてある。上蓋板１６に
は、上蓋板１６をほぼ垂直に貫通して内部に挿入された
純水入口ノズル１８と、ＣＯ2 ガス給気モジュール１４
のＣＯ2 ガス入口及び出口にそれぞれ接続されたＣＯ2
ガス入口ポート２０及びＣＯ2 ガス出口ポート２２とが
設けてある。
【００１８】純水入口ノズル１８は、純水供給源（図示
せず）から来た純水供給配管２４に接続され、下端に純
水出口開口２６を備えている。上部で開口した有底の円
筒状の内筒２８が、図２に示すように、支持部材３０に
支持されて上蓋板１６から下方に垂下し、純水入口ノズ
ル１８を筒内に収容して、純水入口ノズル１８と内筒２
８との間に環状の純水流路案内部３２を形成している。
以上の構成により、純水供給配管２４により供給された
純水は、純水入口ノズル１８の下端開口２６から流出
し、環状の純水流路案内部３２を経て、内筒２８の上部
開口から一様に分散して容器１２の内部に流れ込む。
せず）から来た純水供給配管２４に接続され、下端に純
水出口開口２６を備えている。上部で開口した有底の円
筒状の内筒２８が、図２に示すように、支持部材３０に
支持されて上蓋板１６から下方に垂下し、純水入口ノズ
ル１８を筒内に収容して、純水入口ノズル１８と内筒２
８との間に環状の純水流路案内部３２を形成している。
以上の構成により、純水供給配管２４により供給された
純水は、純水入口ノズル１８の下端開口２６から流出
し、環状の純水流路案内部３２を経て、内筒２８の上部
開口から一様に分散して容器１２の内部に流れ込む。
【００１９】ＣＯ2 ガス入口ポート２０は、ＣＯ2 ガス
の供給源（図示せず）にＣＯ2 ガス入口配管３４を介し
て接続され、出口ポート２２は、ＣＯ2 ガス流量絞り弁
３６を介してＣＯ2 ガス出口配管３８に接続されてい
る。ＣＯ2 ガス給気モジュール１４は、市販のガス給気
モジュールであって、多数本の中空糸膜で構成され、一
端がＣＯ2 ガス入口ポート２０に、他端がＣＯ2 ガス出
口ポート２２に連結されて容器１２内にＵ字状に懸架さ
れ、ＣＯ2 ガスは中空糸膜の内側中空部を流れつつ中空
糸膜を透過して中空糸膜外側の純水中に拡散して溶解す
る。
の供給源（図示せず）にＣＯ2 ガス入口配管３４を介し
て接続され、出口ポート２２は、ＣＯ2 ガス流量絞り弁
３６を介してＣＯ2 ガス出口配管３８に接続されてい
る。ＣＯ2 ガス給気モジュール１４は、市販のガス給気
モジュールであって、多数本の中空糸膜で構成され、一
端がＣＯ2 ガス入口ポート２０に、他端がＣＯ2 ガス出
口ポート２２に連結されて容器１２内にＵ字状に懸架さ
れ、ＣＯ2 ガスは中空糸膜の内側中空部を流れつつ中空
糸膜を透過して中空糸膜外側の純水中に拡散して溶解す
る。
【００２０】更に、容器１２の底部には、高圧純水ポン
プに接続した純水配管４０に接続された純水出口ポート
４２が設けられ、上蓋板１６の最高部には、開閉弁４４
を備えたガス抜き管４６が接続されている。
プに接続した純水配管４０に接続された純水出口ポート
４２が設けられ、上蓋板１６の最高部には、開閉弁４４
を備えたガス抜き管４６が接続されている。
【００２１】本実施形態例の純水比抵抗調整装置１０で
は、ＣＯ2 ガス給気モジュール１４から給気されたＣＯ
2 ガスが純水に溶解し、純水比抵抗値を任意の所定値に
下げるというものである。尚、純水比抵抗調整装置１０
では、ＣＯ2 ガスの圧力、流量を調節することにより、
純水の比抵抗値を調整することができる。以下に、純水
比抵抗調整装置１０の使用方法を説明する。 １）立ち上げ時（セッティング時） 純水が、純水入口ノズル１８及び内筒２８を経て、容器
１２内に入る。容器１２内に入った純水は、ＣＯ2 ガス
給気モジュール１４の上部から下部に回りこむようにし
て純水出口ポート４２から純水配管４０を経て高圧純水
ポンプに入る。この間に、ＣＯ2 ガス給気モジュール１
４から給気されたＣＯ2 ガスが、純水に溶解し、所定の
比抵抗値に調整する。一方、ＣＯ2 ガスは、ＣＯ2 ガス
入口ポート２０からＣＯ2 ガス給気モジュール１４に入
り、一部純水に溶解しつつ、ＣＯ2 ガス出口ポート２２
から流出する。純水比抵抗調整装置１０の立ち上がり
時、ＣＯ2給気モジュール１４が純水に馴染んでいない
ために、ＣＯ2 ガスが、ＣＯ2 ガス給気モジュール１４
から円滑に純水に給気できないこともある。そこで、Ｃ
Ｏ2 ガス出口ポート２２に設けたＣＯ2 ガス流量絞り弁
３６は、開放のままにしておく。
は、ＣＯ2 ガス給気モジュール１４から給気されたＣＯ
2 ガスが純水に溶解し、純水比抵抗値を任意の所定値に
下げるというものである。尚、純水比抵抗調整装置１０
では、ＣＯ2 ガスの圧力、流量を調節することにより、
純水の比抵抗値を調整することができる。以下に、純水
比抵抗調整装置１０の使用方法を説明する。 １）立ち上げ時（セッティング時） 純水が、純水入口ノズル１８及び内筒２８を経て、容器
１２内に入る。容器１２内に入った純水は、ＣＯ2 ガス
給気モジュール１４の上部から下部に回りこむようにし
て純水出口ポート４２から純水配管４０を経て高圧純水
ポンプに入る。この間に、ＣＯ2 ガス給気モジュール１
４から給気されたＣＯ2 ガスが、純水に溶解し、所定の
比抵抗値に調整する。一方、ＣＯ2 ガスは、ＣＯ2 ガス
入口ポート２０からＣＯ2 ガス給気モジュール１４に入
り、一部純水に溶解しつつ、ＣＯ2 ガス出口ポート２２
から流出する。純水比抵抗調整装置１０の立ち上がり
時、ＣＯ2給気モジュール１４が純水に馴染んでいない
ために、ＣＯ2 ガスが、ＣＯ2 ガス給気モジュール１４
から円滑に純水に給気できないこともある。そこで、Ｃ
Ｏ2 ガス出口ポート２２に設けたＣＯ2 ガス流量絞り弁
３６は、開放のままにしておく。
【００２２】２）気泡発生時 純水比抵抗調整装置１０の立ち上げ時には、ＣＯ2 ガス
以外のガスが、容器１２内に入り込み易く、気泡が発生
し、容器１２の上部に蓄積する。本実施形態例では、上
蓋板１６が傾斜しているので、上蓋板１６の最高部のガ
ス抜き管４６の取り付け部分に蓄積する。そこで、本純
水比抵抗調整装置１０では、立ち上げ時に、時々、開閉
弁４４を開放して、ガス抜き管４６から容器１２内の水
圧により純水と共にガス気泡を放出する。気泡がなくな
ったら、開閉弁４４を閉止する。
以外のガスが、容器１２内に入り込み易く、気泡が発生
し、容器１２の上部に蓄積する。本実施形態例では、上
蓋板１６が傾斜しているので、上蓋板１６の最高部のガ
ス抜き管４６の取り付け部分に蓄積する。そこで、本純
水比抵抗調整装置１０では、立ち上げ時に、時々、開閉
弁４４を開放して、ガス抜き管４６から容器１２内の水
圧により純水と共にガス気泡を放出する。気泡がなくな
ったら、開閉弁４４を閉止する。
【００２３】３）純水の比抵抗調整時 ＣＯ2 ガス給気モジュール１４が純水に馴染んだ段階
で、ＣＯ2 ガス給気モジュール１４からＣＯ2 ガスを純
水に給気させながら、この状態で１日程度放置し、その
後、ＣＯ2 ガス流量絞り弁３６を閉にする。この段階
で、ＣＯ2 ガス入口ポート２０でのＣＯ2 ガスの圧力、
流量及び純水の流量を調節することにより、純水の比抵
抗を調整することができる。本純水比抵抗調整装置１０
では、純水が内筒２８の上部開口から溢流するようにし
て容器１２内に流れ込み、次いでＣＯ2 ガス給気モジュ
ール１４に沿って下向き流で下方に流れるので、ＣＯ2
ガス濃度ムラが生じない。
で、ＣＯ2 ガス給気モジュール１４からＣＯ2 ガスを純
水に給気させながら、この状態で１日程度放置し、その
後、ＣＯ2 ガス流量絞り弁３６を閉にする。この段階
で、ＣＯ2 ガス入口ポート２０でのＣＯ2 ガスの圧力、
流量及び純水の流量を調節することにより、純水の比抵
抗を調整することができる。本純水比抵抗調整装置１０
では、純水が内筒２８の上部開口から溢流するようにし
て容器１２内に流れ込み、次いでＣＯ2 ガス給気モジュ
ール１４に沿って下向き流で下方に流れるので、ＣＯ2
ガス濃度ムラが生じない。
【００２４】改変例 実施形態例１の純水比抵抗調整装置１０は、基本的に
は、縦置きであるが、天井等の関係から純水比抵抗調整
装置１０の高さに制限がある場合には、斜め置きするこ
ともできる。但し、気泡が容器１２内に滞留しないよう
に、ガス抜き管４６が最上部に位置するように容器１２
を斜め置きする。
は、縦置きであるが、天井等の関係から純水比抵抗調整
装置１０の高さに制限がある場合には、斜め置きするこ
ともできる。但し、気泡が容器１２内に滞留しないよう
に、ガス抜き管４６が最上部に位置するように容器１２
を斜め置きする。
【００２５】実施形態例２ 本実施形態例は、第１の発明に係る純水比抵抗調整装置
の実施形態の別の例であって、図３は本実施形態例の純
水比抵抗調整装置の構成を示す模式的断面図である。本
実施形態例の純水比抵抗調整装置５０は、図３に示すよ
うに、内筒２８を備えていないこと及び純水入口ノズル
１８が容器１２内に挿入されていないことを除いて、実
施形態例１の純水比抵抗調整装置１０の構成と同じ構成
を備えている。本実施形態例では、純水は、純水入口ノ
ズル１８から直接に容器１２内に入り、ＣＯ2 ガス給気
モジュール１４の中空糸膜に沿って下向き流で下方に流
れるので、実施形態例１と同様に、又は実施形態例１よ
り多少劣ることはあっても、ＣＯ2 ガス濃度ムラが生じ
ない。また、ガス気泡を抜く機能は実施形態例１と同様
に備えている。また、実施形態例１と同様に斜め置きも
できる。
の実施形態の別の例であって、図３は本実施形態例の純
水比抵抗調整装置の構成を示す模式的断面図である。本
実施形態例の純水比抵抗調整装置５０は、図３に示すよ
うに、内筒２８を備えていないこと及び純水入口ノズル
１８が容器１２内に挿入されていないことを除いて、実
施形態例１の純水比抵抗調整装置１０の構成と同じ構成
を備えている。本実施形態例では、純水は、純水入口ノ
ズル１８から直接に容器１２内に入り、ＣＯ2 ガス給気
モジュール１４の中空糸膜に沿って下向き流で下方に流
れるので、実施形態例１と同様に、又は実施形態例１よ
り多少劣ることはあっても、ＣＯ2 ガス濃度ムラが生じ
ない。また、ガス気泡を抜く機能は実施形態例１と同様
に備えている。また、実施形態例１と同様に斜め置きも
できる。
【００２６】実施形態例３ 本実施形態例は、第３の発明に係る純水比抵抗調整装置
の実施形態の一例であって、図４は本実施形態例の純水
比抵抗調整装置の構成を示す模式的断面図である。本実
施形態例の純水比抵抗調整装置６０は、図４に示すよう
に、Ｕ字状の密閉容器６２と、Ｕ字状の容器６２の形状
に合わせるように内蔵されたＣＯ2 ガス給気モジュール
６４とから構成されている。容器６２の一方の頭部６６
には、純水入口ポート６８と、ＣＯ2 ガス給気モジュー
ル６４のＣＯ2 ガス出口に接続されたＣＯ2 ガス出口ポ
ート７０とが設けられ、容器６２の他方の頭部７２に
は、純水出口ポート７４と、ＣＯ2 ガス給気モジュール
６４のＣＯ2 ガス入口に接続されたＣＯ2 ガス入口ポー
ト７６とが設けられている。また、容器６２の双方の頭
部６６、７２には、それぞれ、開閉弁７８を有するガス
抜き管８０、及び開閉弁８２を有するガス抜き管８４が
設けてある。
の実施形態の一例であって、図４は本実施形態例の純水
比抵抗調整装置の構成を示す模式的断面図である。本実
施形態例の純水比抵抗調整装置６０は、図４に示すよう
に、Ｕ字状の密閉容器６２と、Ｕ字状の容器６２の形状
に合わせるように内蔵されたＣＯ2 ガス給気モジュール
６４とから構成されている。容器６２の一方の頭部６６
には、純水入口ポート６８と、ＣＯ2 ガス給気モジュー
ル６４のＣＯ2 ガス出口に接続されたＣＯ2 ガス出口ポ
ート７０とが設けられ、容器６２の他方の頭部７２に
は、純水出口ポート７４と、ＣＯ2 ガス給気モジュール
６４のＣＯ2 ガス入口に接続されたＣＯ2 ガス入口ポー
ト７６とが設けられている。また、容器６２の双方の頭
部６６、７２には、それぞれ、開閉弁７８を有するガス
抜き管８０、及び開閉弁８２を有するガス抜き管８４が
設けてある。
【００２７】純水入口ポート６８は、純水供給源（図示
せず）から来た純水供給配管８６に接続され、純水出口
ポート７４は、高圧純水ポンプ（図示せず）に接続した
純水配管８８に接続されている。ＣＯ2 ガス入口ポート
７６は、ＣＯ2 ガスの供給源（図示せず）にＣＯ2 ガス
入口配管７７を介して接続され、ＣＯ2 ガス出口ポート
７０は、ＣＯ2 ガス流量絞り弁７５を介してＣＯ2 ガス
出口配管７９に接続されている。ＣＯ2 ガス給気モジュ
ール６４は、Ｕ字形パイプ状容器６２に沿って装着され
た多数本の中空糸膜で構成され、ＣＯ2 ガスは中空糸膜
の内側を流れつつ中空糸膜を透過して中空糸膜外側の純
水中に拡散して溶解する。
せず）から来た純水供給配管８６に接続され、純水出口
ポート７４は、高圧純水ポンプ（図示せず）に接続した
純水配管８８に接続されている。ＣＯ2 ガス入口ポート
７６は、ＣＯ2 ガスの供給源（図示せず）にＣＯ2 ガス
入口配管７７を介して接続され、ＣＯ2 ガス出口ポート
７０は、ＣＯ2 ガス流量絞り弁７５を介してＣＯ2 ガス
出口配管７９に接続されている。ＣＯ2 ガス給気モジュ
ール６４は、Ｕ字形パイプ状容器６２に沿って装着され
た多数本の中空糸膜で構成され、ＣＯ2 ガスは中空糸膜
の内側を流れつつ中空糸膜を透過して中空糸膜外側の純
水中に拡散して溶解する。
【００２８】実施形態例３の純水比抵抗調整装置６０
は、ガス、気泡を２本のガス抜き管８０、８４で抜くこ
とを除いて、実施形態例１の純水比抵抗調整装置１０と
同様にして操作する。実施形態例３では、純水は、ＣＯ
2 ガス給気モジュール６４の束状の中空糸膜に沿って確
実にかつ一様に中空糸膜に接触しつつＵ字形パイプ状容
器６２の一端から他端に流れるので、実施形態例１及び
２に比べて更に一層ＣＯ2 濃度ムラが生じない。
は、ガス、気泡を２本のガス抜き管８０、８４で抜くこ
とを除いて、実施形態例１の純水比抵抗調整装置１０と
同様にして操作する。実施形態例３では、純水は、ＣＯ
2 ガス給気モジュール６４の束状の中空糸膜に沿って確
実にかつ一様に中空糸膜に接触しつつＵ字形パイプ状容
器６２の一端から他端に流れるので、実施形態例１及び
２に比べて更に一層ＣＯ2 濃度ムラが生じない。
【００２９】従来の純水比抵抗調整装置９２に代えて、
前述したウエハの純水洗浄装置９０に、実施形態例１か
ら３のいずれかの純水比抵抗調整装置を組み込むことに
より、一層効率良くウエハを洗浄することができる。
前述したウエハの純水洗浄装置９０に、実施形態例１か
ら３のいずれかの純水比抵抗調整装置を組み込むことに
より、一層効率良くウエハを洗浄することができる。
【００３０】実施形態例４ 本実施形態例は、第３の発明に係る純水比抵抗調整装置
の実施形態の一例であって、図７（ａ）は本実施形態例
の純水比抵抗調整装置の構成を示す模式的断面図、図７
（ｂ）は本実施形態例の純水比抵抗調整装置の上面図で
ある。本実施形態例の純水比抵抗調整装置１３０は、図
７に示すように、縦型の密閉容器１３２と、容器１３２
に内蔵されたＣＯ2 ガス給気モジュール１３４とから構
成されている。容器１３２の上部には、容器１３２を覆
う上蓋板１３６が、ボルト１３３によりＯリング１３５
を介して連結されている。上蓋板１３６の下面１３７
は、中央が最高部で中央から周辺に向かって水平面に対
して下向きに傾斜している。
の実施形態の一例であって、図７（ａ）は本実施形態例
の純水比抵抗調整装置の構成を示す模式的断面図、図７
（ｂ）は本実施形態例の純水比抵抗調整装置の上面図で
ある。本実施形態例の純水比抵抗調整装置１３０は、図
７に示すように、縦型の密閉容器１３２と、容器１３２
に内蔵されたＣＯ2 ガス給気モジュール１３４とから構
成されている。容器１３２の上部には、容器１３２を覆
う上蓋板１３６が、ボルト１３３によりＯリング１３５
を介して連結されている。上蓋板１３６の下面１３７
は、中央が最高部で中央から周辺に向かって水平面に対
して下向きに傾斜している。
【００３１】上蓋板１３６には、上蓋板１６をそれぞれ
貫通した純水入口ポート１３８と、純水出口ポート１３
９と、ＣＯ2 ガス給気モジュール１３４のＣＯ2 ガス入
口及び出口にそれぞれ接続されたＣＯ2 ガス入口ポート
１４０及びＣＯ2 ガス出口ポート１４２とが設けてあ
る。純水出口ポート１３９は、更に上蓋板１３６の下面
１３７から容器１３２の底板近傍に下降し、下端に開口
を備える内管１４４を有する。比抵抗が調整された純水
は、容器１３２の底部から内管１４４を通って純水出口
ポート１３９から流出する。ＣＯ2 ガス入口ポート１４
０は、ＣＯ2 ガスの供給源（図示せず）にＣＯ2 ガス入
口配管（図示せず）を介して接続され、ＣＯ2 ガス出口
ポート１４２は、ＣＯ2 ガス流量絞り弁（図示せず）を
介してＣＯ2 ガス出口配管（図示せず）に接続されてい
る。ＣＯ2 ガス給気モジュール１３４は、市販のガス給
気モジュールであって、多数本の中空糸膜で構成され、
一端がＣＯ2 ガス入口ポート１４０に、他端がＣＯ2 ガ
ス出口ポート１４２に連結されて容器１３２内にＵ字状
に懸架され、ＣＯ2ガスは中空糸膜の内側中空部を流れ
つつ中空糸膜を透過して中空糸膜外側の純水中に拡散し
て溶解する。更に、上蓋板１３６の中央部には、開閉弁
（図示せず）を備えたガス抜き管（図示せず）が接続さ
れているガス抜きポート１４６が設けられている。
貫通した純水入口ポート１３８と、純水出口ポート１３
９と、ＣＯ2 ガス給気モジュール１３４のＣＯ2 ガス入
口及び出口にそれぞれ接続されたＣＯ2 ガス入口ポート
１４０及びＣＯ2 ガス出口ポート１４２とが設けてあ
る。純水出口ポート１３９は、更に上蓋板１３６の下面
１３７から容器１３２の底板近傍に下降し、下端に開口
を備える内管１４４を有する。比抵抗が調整された純水
は、容器１３２の底部から内管１４４を通って純水出口
ポート１３９から流出する。ＣＯ2 ガス入口ポート１４
０は、ＣＯ2 ガスの供給源（図示せず）にＣＯ2 ガス入
口配管（図示せず）を介して接続され、ＣＯ2 ガス出口
ポート１４２は、ＣＯ2 ガス流量絞り弁（図示せず）を
介してＣＯ2 ガス出口配管（図示せず）に接続されてい
る。ＣＯ2 ガス給気モジュール１３４は、市販のガス給
気モジュールであって、多数本の中空糸膜で構成され、
一端がＣＯ2 ガス入口ポート１４０に、他端がＣＯ2 ガ
ス出口ポート１４２に連結されて容器１３２内にＵ字状
に懸架され、ＣＯ2ガスは中空糸膜の内側中空部を流れ
つつ中空糸膜を透過して中空糸膜外側の純水中に拡散し
て溶解する。更に、上蓋板１３６の中央部には、開閉弁
（図示せず）を備えたガス抜き管（図示せず）が接続さ
れているガス抜きポート１４６が設けられている。
【００３２】実施形態例４では、上蓋板１３６の中央部
にガスが集まるので、そこに設けられたガス抜き管を介
してガス、気泡を外部に放出することができる。また、
比抵抗が調整された純水は、容器１３２の底部から内管
１４４を介して純水出口ポート１３９から流出するの
で、仮にガスが中央部に滞留していても、純水に同伴し
て流出することがない。また、純水はガス給気モジュー
ルの束状の中空糸膜に沿って中空糸膜に接触しつつ上部
から下部に流れるので、ＣＯ2 濃度ムラが生じない。
にガスが集まるので、そこに設けられたガス抜き管を介
してガス、気泡を外部に放出することができる。また、
比抵抗が調整された純水は、容器１３２の底部から内管
１４４を介して純水出口ポート１３９から流出するの
で、仮にガスが中央部に滞留していても、純水に同伴し
て流出することがない。また、純水はガス給気モジュー
ルの束状の中空糸膜に沿って中空糸膜に接触しつつ上部
から下部に流れるので、ＣＯ2 濃度ムラが生じない。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、純水がＣＯ2 ガス給気
モジュールの中空糸膜に沿って接触しつつ流れるので、
ＣＯ2の濃度ムラの発生を抑制することができる。よっ
て、所定の比抵抗を有する純水を安定して得ることがで
きる。また、容器内で気泡発生があっても、容器上部に
気泡を蓄積させ、そこに設けたガス抜き管を介して外部
に放出することができる。これにより、純水比抵抗調整
装置の後段に設けられた純水高圧ポンプに気泡が入り込
み、キャビテーション等のポンプトラブルの発生が防止
される。本発明によれば、立ち上げ後、ＣＯ2給気モジ
ュールが純水に馴染んだ段階で、ＣＯ2 ガス出口に設け
たＣＯ2 ガス流量絞り弁を閉止することにより、供給し
たＣＯ2 ガスを完全に水に溶解させることができるの
で、ＣＯ2 ガスの過剰消費を抑制し、また絞り弁を調整
することにより、必要最小流量のＣＯ2 ガスによって純
水の比抵抗を調整することができる。
モジュールの中空糸膜に沿って接触しつつ流れるので、
ＣＯ2の濃度ムラの発生を抑制することができる。よっ
て、所定の比抵抗を有する純水を安定して得ることがで
きる。また、容器内で気泡発生があっても、容器上部に
気泡を蓄積させ、そこに設けたガス抜き管を介して外部
に放出することができる。これにより、純水比抵抗調整
装置の後段に設けられた純水高圧ポンプに気泡が入り込
み、キャビテーション等のポンプトラブルの発生が防止
される。本発明によれば、立ち上げ後、ＣＯ2給気モジ
ュールが純水に馴染んだ段階で、ＣＯ2 ガス出口に設け
たＣＯ2 ガス流量絞り弁を閉止することにより、供給し
たＣＯ2 ガスを完全に水に溶解させることができるの
で、ＣＯ2 ガスの過剰消費を抑制し、また絞り弁を調整
することにより、必要最小流量のＣＯ2 ガスによって純
水の比抵抗を調整することができる。
【図１】実施形態例１の純水比抵抗調整装置の構成を示
す模式断面図である。
す模式断面図である。
【図２】実施形態例１の純水比抵抗調整装置の内筒を示
す側面図である。
す側面図である。
【図３】実施形態例２の純水比抵抗調整装置の構成を示
す模式断面図である。
す模式断面図である。
【図４】実施形態例３の純水比抵抗調整装置の構成を示
す模式断面図である。
す模式断面図である。
【図５】ウエハの純水洗浄装置の構成を示すフローシー
トである。
トである。
【図６】従来の純水比抵抗調整装置の構成を示す横断面
図である。
図である。
【図７】図７（ａ）は本実施形態例の純水比抵抗調整装
置の構成を示す模式的断面図、図７（ｂ）は本実施形態
例の純水比抵抗調整装置の上面図である。
置の構成を示す模式的断面図、図７（ｂ）は本実施形態
例の純水比抵抗調整装置の上面図である。
１０……実施形態例１の純水比抵抗調整装置、１２……
縦型の密閉容器、１４……ＣＯ2 ガス給気モジュール、
１６……上蓋板、１８……純水入口ノズル、２０……Ｃ
Ｏ2 ガス入口ポート、２２……ＣＯ2 ガス出口ポート、
２４……純水供給配管、２６……純水出口開口、２８…
…内筒、３０……支持部材、３２……純水流路案内部、
３４……ＣＯ2 ガス入口配管、３６……ＣＯ2 ガス流量
絞り弁、３８……ＣＯ2 ガス出口配管、４０……純水配
管、４２……純水出口ポート、４４……開閉弁、４６…
…ガス抜き管４６、５０……実施形態例２の純水比抵抗
調整装置、６０……実施形態例３の純水比抵抗調整装
置、６２……Ｕ字状の密閉容器、６４……ＣＯ2 ガス給
気モジュール、６６……容器の一方の頭部、６８……純
水入口ポート、７０……ＣＯ2 ガス出口ポート、７２…
…容器の他方の頭部、７４……純水出口ポート、７５…
…ＣＯ2 ガス流量絞り弁、７６……ＣＯ2 ガス入口ポー
ト、７７……ＣＯ2 ガス入口配管、７８……開閉弁、７
９……ＣＯ2 ガス出口配管、８０……ガス抜き管、８２
……開閉弁、８４……ガス抜き管、８６……純水供給配
管、８８……純水配管、９０……ウエハの純水洗浄装
置、９２……純水比抵抗調整装置、９４……高圧純水ポ
ンプ、９６……純水洗浄装置本体、９８……純水供給
管、１００……高圧純水管、１０２……回転軸、１０４
……ウエハステージ、１０６……ノズル、１０８……ス
キャン機構、１１０……ガス透過平膜、１１２……ガス
室、１１４……純水室、１１６……横型容器、１１８…
…純水入口、１２０……純水出口、１２２……ＣＯ2 ガ
ス入口、１２４……ＣＯ2 ガス出口、１２６……ＣＯ2
ガス管、１２８……開閉弁。１２０……実施形態例４の
純水比抵抗調整装置、１３２……容器、１３３……ボル
ト、１３４……ＣＯ2 ガス給気モジュール、１３５……
Ｏリング、１３６……上蓋板、１３７……下面、１３８
……純水入口ポート、１３９……純水出口ポート、１４
０……ＣＯ 2 ガス入口ポート、１４２……ＣＯ2 ガス出
口ポート、１４４……内管、１４６……ガス抜きポー
ト。
縦型の密閉容器、１４……ＣＯ2 ガス給気モジュール、
１６……上蓋板、１８……純水入口ノズル、２０……Ｃ
Ｏ2 ガス入口ポート、２２……ＣＯ2 ガス出口ポート、
２４……純水供給配管、２６……純水出口開口、２８…
…内筒、３０……支持部材、３２……純水流路案内部、
３４……ＣＯ2 ガス入口配管、３６……ＣＯ2 ガス流量
絞り弁、３８……ＣＯ2 ガス出口配管、４０……純水配
管、４２……純水出口ポート、４４……開閉弁、４６…
…ガス抜き管４６、５０……実施形態例２の純水比抵抗
調整装置、６０……実施形態例３の純水比抵抗調整装
置、６２……Ｕ字状の密閉容器、６４……ＣＯ2 ガス給
気モジュール、６６……容器の一方の頭部、６８……純
水入口ポート、７０……ＣＯ2 ガス出口ポート、７２…
…容器の他方の頭部、７４……純水出口ポート、７５…
…ＣＯ2 ガス流量絞り弁、７６……ＣＯ2 ガス入口ポー
ト、７７……ＣＯ2 ガス入口配管、７８……開閉弁、７
９……ＣＯ2 ガス出口配管、８０……ガス抜き管、８２
……開閉弁、８４……ガス抜き管、８６……純水供給配
管、８８……純水配管、９０……ウエハの純水洗浄装
置、９２……純水比抵抗調整装置、９４……高圧純水ポ
ンプ、９６……純水洗浄装置本体、９８……純水供給
管、１００……高圧純水管、１０２……回転軸、１０４
……ウエハステージ、１０６……ノズル、１０８……ス
キャン機構、１１０……ガス透過平膜、１１２……ガス
室、１１４……純水室、１１６……横型容器、１１８…
…純水入口、１２０……純水出口、１２２……ＣＯ2 ガ
ス入口、１２４……ＣＯ2 ガス出口、１２６……ＣＯ2
ガス管、１２８……開閉弁。１２０……実施形態例４の
純水比抵抗調整装置、１３２……容器、１３３……ボル
ト、１３４……ＣＯ2 ガス給気モジュール、１３５……
Ｏリング、１３６……上蓋板、１３７……下面、１３８
……純水入口ポート、１３９……純水出口ポート、１４
０……ＣＯ 2 ガス入口ポート、１４２……ＣＯ2 ガス出
口ポート、１４４……内管、１４６……ガス抜きポー
ト。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｃ１１Ｄ 17/08 Ｃ１１Ｄ 17/08
Claims (6)
- 【請求項１】 ガス透過膜からなる多数本の中空糸膜の
束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過するＣＯ2 ガス
を中空糸膜の外側に透過させるガス給気モジュールと、
ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水がガス給気モジ
ュールの外側を流れる密閉容器とを備え、ガス給気モジ
ュールにＣＯ2 ガスを導入して、容器内を流れる純水に
ＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調整する装置で
あって、 容器は、開閉弁付きガス抜き管を最高部に有し、水平面
に対して傾斜した上蓋板を容器上部に備えた縦型容器と
して構成され、 ＣＯ2 ガスを導入するＣＯ2 ガス入口及び余剰のＣＯ2
ガスを排出するＣＯ2ガス出口は、それぞれ、上蓋板に
離隔して設けられ、 ガス給気モジュールの中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入
口に、他端がＣＯ2 ガス出口に連結されて容器内にＵ字
状に懸架され、 純水の入口は上蓋板に、純水の出口は容器の底部にそれ
ぞれ設けられていることを特徴とする純水比抵抗調整装
置。 - 【請求項２】 純水の入口は、上蓋板を貫通し、下端に
ノズル口を有する純水入口ノズルと、Ｕ字状に懸架され
た多数本の中空糸膜の束のＵ字中央を通ってＵ字底部ま
で上蓋板から下方に垂下し、純水入口ノズルの下部を内
側に収容する上部開口有底の筒体とを備え、 純水は、純水入口ノズルの下端開口から流出し、筒体と
純水入口ノズルとの間の環状の流路を取って筒体の上部
開口から溢流するようにしたことを特徴とする請求項１
に記載の純水比抵抗調整装置。 - 【請求項３】 ガス透過膜からなる多数本の中空糸膜の
束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過するＣＯ2 ガス
を中空糸膜の外側に透過させるガス給気モジュールと、
ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水がガス給気モジ
ュールの外側を流れる密閉容器とを備え、ガス給気モジ
ュールにＣＯ2 ガスを導入して、容器内を流れる純水に
ＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調整する装置で
あって、 容器は、閉止された両端部を上部に有し、下方にＵ字状
に懸架されたパイプ状に形成され、 ＣＯ2 ガスを導入するＣＯ2 ガス入口及び余剰のＣＯ2
ガスを排出するＣＯ2ガス出口は、それぞれ、容器の一
方及び他方の端部に設けられ、 ガス給気モジュールの中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入
口に、他端がＣＯ2 ガス出口に連結されて容器に沿って
Ｕ字状に懸架され、 純水の入口はＣＯ2 ガス出口と同じ端部に、純水の出口
はＣＯ2 ガス入口と同じ端部に、それぞれ、設けられ、 開閉弁付きガス抜き管が、Ｕ字形パイプ状容器の上部両
端部に設けられていることを特徴とする純水比抵抗調整
装置。 - 【請求項４】 ガス透過膜からなる多数本の中空糸膜の
束を有し、中空糸膜の内側中空部を通過するＣＯ2 ガス
を中空糸膜の外側に透過させるガス給気モジュールと、
ガス給気モジュールを内蔵し、かつ純水がガス給気モジ
ュールの外側を流れる密閉容器とを備え、ガス給気モジ
ュールにＣＯ2 ガスを導入して、容器内を流れる純水に
ＣＯ2 ガスを溶解させ、純水の比抵抗を調整する装置で
あって、 容器は、開閉弁付きガス抜き管を最高部に有し、水平面
に対して傾斜した上蓋板を容器上部に備えた縦型容器と
して構成され、 ＣＯ2 ガスを導入するＣＯ2 ガス入口及び余剰のＣＯ2
ガスを排出するＣＯ2ガス出口は、それぞれ、上蓋板に
離隔して設けられ、 ガス給気モジュールの中空糸膜は、一端がＣＯ2 ガス入
口に、他端がＣＯ2 ガス出口に連結されて容器内にＵ字
状に懸架され、 純水の入口は及び純水の出口は、それぞれ、上蓋板に設
けられ、かつ純水の出口は、上蓋板から容器の底板近傍
に下降し、下端に開口を備える内管を有し、純水が容器
の底部から内管を通って純水の出口から流出することを
特徴とする純水比抵抗調整装置。 - 【請求項５】 ＣＯ2 ガス出口にＣＯ2 ガス流量絞り弁
を備えていることを特徴とする請求項３又は４に記載の
純水比抵抗調整装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の純水比抵抗調整装置を
備え、純水比抵抗調整装置で比抵抗が調整された純水で
ウエハを洗浄するようにしたことを特徴とするウエハ洗
浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16643498A JP2000000446A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 純水比抵抗調整装置及びウエハ洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16643498A JP2000000446A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 純水比抵抗調整装置及びウエハ洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000000446A true JP2000000446A (ja) | 2000-01-07 |
Family
ID=15831349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16643498A Pending JP2000000446A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 純水比抵抗調整装置及びウエハ洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000000446A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106941A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Tomey Corporation | ソフトコンタクトレンズの測定方法 |
| KR101129317B1 (ko) | 2011-05-24 | 2012-03-26 | 주식회사 하이필 | 산소수 발생기 |
| CN103357271A (zh) * | 2013-08-07 | 2013-10-23 | 清华大学 | 一种热侧加压的膜蒸馏方法和装置 |
| KR101342147B1 (ko) | 2012-09-06 | 2013-12-13 | 주식회사 디엠에스 | 세정액 공급장치 |
-
1998
- 1998-06-15 JP JP16643498A patent/JP2000000446A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106941A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Tomey Corporation | ソフトコンタクトレンズの測定方法 |
| KR101129317B1 (ko) | 2011-05-24 | 2012-03-26 | 주식회사 하이필 | 산소수 발생기 |
| KR101342147B1 (ko) | 2012-09-06 | 2013-12-13 | 주식회사 디엠에스 | 세정액 공급장치 |
| CN103357271A (zh) * | 2013-08-07 | 2013-10-23 | 清华大学 | 一种热侧加压的膜蒸馏方法和装置 |
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