ITTO990226U1 - Dispositivo porta-campioni accessorio, per analisi stereoscopiche al microscopio elettronico a scansione. - Google Patents

Description

DESCRIZIONE

Il presente trovato riguarda un dispositivo accessorio accoppiabile ad un tavolino portacampioni di tipo non eucentrico per l'acquisizione, a mezzo di un microscopio elettronico a scansione, di immagini riprese in modo angolarmente sfalsato per l esame stereoscopico di un campione.

Più specificamente il trovato ha per oggetto un dispositivo accessorio per un tavolino portacampioni del tipo definito nella parte introduttiva dell'annessa rivendicazione 1.

L'analisi stereoscopica al microscopio elettronico a scansione consente di effettuazione misurazioni in tre dimensioni e di rilevare ad esempio i parametri di rugosità di superfici irregolari.

con altissimo ingrandimento.

L'analisi stereoscopica permette l'osservazione di un campione in vista prospettica, ed in anaglifo (con visione tridimensionale mediante l'impiego di appositi occhiali). Quest'ultima possibilità consente un'immediata "lettura" della morfologia superficiale di un campione, permettendo di superare le difficoltà che spesso insorgono nella distinzione di valli e rilievi della superficie del campione in analisi.

In generale, come è noto, il procedimento di analisi stereoscopica prevede l'acquisizione di due immagini del campione, ottenute inclinando il campione intorno ad un asse orizzontale essenzialmente ortogonale alla linea interoculare dell'osservatore. Tali immagini vengono poi sovrapposte. A mezzo di un elaboratore per il trattamento e la presentazione di immagini, provvisto di un apposito software, l'anaglifo viene presentato su un visualizzatore. L'elaboratore consente inoltre un calcolo dei parametri di microrugosità.

Per l'analisi stereoscopica al microscopio elettronico a scansione è talvolta utilizzato un tavolino porta-campioni di tipo eucentrico, che consente sei gradi di libertà di movimento e che è realizzato in modo tale da mantenere essenzialmente inalterata la posizione del punto di impatto tra il fascio elettronico ed il campione, anche al variare delle coordinate spaziali di quest'ultimo. Questa proprietà, e la possibilità di inclinazione del campione, per rotazione intorno all'asse Y, l'analisi tridimensionale in stereoscopia risulta particolarmente agevole e rapida, in quanto le due immagini rilevate con differente angolo di incidenza del fascio elettronico, non richiedono per la loro sovrapposizione l'effettuazione di alcuna movimentazione lungo gli assi X, Y e Z.

I tavolini porta-campioni di tipo eucentrico sono tuttavia estremamente costosi. Per tale motivo, molto spesso i microscopi elettronici a scansione sono normalmente dotati di un tavolino non eucentrico, che è assai più economico.

I tavoli porta-campioni di tipo non eucentrico non consentono di inclinare il campione per rotazione attorno all'asse Y, operazione che è necessaria per la ripresa di immagini stereoscopiche. Non è inoltre possibile mantenere inalterata la posizione del punto di incidenza del fascio elettronico sul campione al variare delle coordinate spaziali di quest'ultimo.

In vista di quanto sopra, l'analisi stereoscopica con un tavolino porta-campioni di tipo non eucentrico risulta estremamente laboriosa. Essa richiede un'operazione di rotazione elettronica dell'immagine di 90°, che consente poi di ruotare in modo virtuale il campione intorno all'asse Y, agendo sul comando di rotazione intorno all'asse X. Lo scambio dei movimenti secondo gli assi X ed Y rende tale manovra innaturale, e dunque difficoltosa, in particolare quando si opera ad ingrandimenti elevati .

Lo scopo del presente trovato è di realizzare un dispositivo che consenta la ripresa di immagini stereoscopiche in modo agevole, con l'impiego di un tavolino porta-campioni di tipo non eucentrico.

Tale scopo viene realizzato secondo il trovato con un dispositivo accessorio le cui caratteristiche salienti sono definite nell'annessa rivendicazione 1.

Ulteriori caratteristiche e vantaggi del trovato appariranno dalla descrizione dettagliata che segue, effettuata a puro titolo di esempio non limitativo con riferimento ai disegni allegati, nei quali :

la figura 1 è una rappresentazione estremamente schematica, in vista prospettiva, di un tavolino porta-campioni di tipo non eucentrico;

le figure 2 e 3 sono viste prospettiche di un dispositivo accessorio secondo il trovato, e

la figura 4 è una vista prospettica che mostra un dispositivo secondo il trovato accoppiato all'organo mobile di un tavolino porta-campioni non eucentrico, nella condizione di utilizzo per la ripresa di immagini stereoscopiche.

Nella figura 1 con 10 è complessivamente indicato un tavolino porta-campioni di tipo non eucentrico. In modo per sé noto, il tavolino 10 comprende una struttura di supporto stazionaria 12 ed un organo di supporto 14 mobile rispetto ad essa. Nella realizzazione esemplificativamente illustrata l'organo di supporto 14 presenta una sede cilindrica 16 in cui è impegnabile e fissabile un codolo cilindrico 18 di un disco 20 che da parte opposta presenta un blocchetto cilindrico 22 destinato a sorreggere un campione.

In modo per sé noto, mediante dispositivi attuatori non illustrati, l'organo di supporto 14 è traslabile lungo tre assi coordinati, mutuamente ortogonali, indicati con X, Y e Z. Tale organo è inoltre ruotabile intorno al proprio asse, che, nella giacitura di riposo illustrata nella figura 1, coincide con l'asse Z.

L'organo di supporto 14 è inoltre ruotatile intorno all'asse orizzontale X, che è convenzionalmente parallelo alla linea interoculare dell'osservatore.

Con 1 nelle figure da 2 a 4 è complessivamente indicato un dispositivo accessorio secondo il trovato. Tale dispositivo nella realizzazione esemplificativa illustrata comprende una piastrina metallica 2, essenzialmente rettangolare, da una cui faccia principale si estende un codolo cilindrico 3 atto ad essere introdotto e fissato nell'incavo 16 dell'organo mobile di supporto 14 del tavolino porta-campioni. Il dispositivo accessorio 1 comprende inoltre una mensola di sostegno 4, sostanzialmente a forma di L, avente un'ala 4a fissata alla piastrina 2 in posizione registrabile. A tale scopo, la piastrina 2 è provvista di una fessura o asola 5, lungo la quale la mensola 4 è fissabile in posizione regolabile, a mezzo di un organo a vite 6 e di un associato dado di serraggio 7.

La mensola 4 presenta una seconda ala 4b, che si estende ortogonalmente alla prima ala 4a, e dunque alla piastrina 2. Nell'ala 4b della mensola è realizzato un foro 8, in cui è impegnatile un codo-10 filettato 9 che.si estende dalla base inferiore di un blocchetto 11, di preferenza cilindrico, destinato ad essere utilizzato per l'appoggio di un campione nell'effettuazione di analisi stereoscopiche.

Il dispositivo accessorio 1 può essere eventualmente corredato da una pluralità di blocchetti portacampioni 11 aventi altezze differenti e fra loro intercambiabili come i due blocchetti mostrati nella figura 2.

Un dado 13, avvitato sulla porzione dello stelo filettato 9 del blocchetto 11 protrudente al di sotto dell'ala 4b della mensola 4, consente di fissare stabilmente il blocchetto 11 utilizzato alla mensola 4, stabilendo inoltre la continuità elettrica del blocchetto 11 con l'intero dispositivo accessorio 11, cosi come è necessario per l'analisi al microscopio elettronico a scansione.

Per l'acquisizione di immagini riprese in modo angolarmente sfalsato per l'analisi stereoscopica di un campione, l'organo mobile di supporto 14 del tavolino porta-campioni 10 viene preliminarmente assoggettato .ad una rotazione di 90° intorno all'asse X, in modo tale da disporlo così come appare nella figura 4. A tale organo è quindi accoppiato il dispositivo accessorio secondo il trovato, sopra descritto, in modo tale che il blocchetto 11 di tale dispositivo accessorio abbia la base o faccia superiore giacente in un piano parallelo al piano X, Y. Il posizionamento della mensola 4 e la scelta del blocco porta-campioni 11 utilizzato devono essere effettuati in modo tale che la superficie del campione da esaminare, disposto sul blocchetto 11, sia essenzialmente complanare con il piano X, Y.

Posizionato in tal modo il dispositivo accessorio 1, così come appare nella figura 4, con i dispositivi di comando usuali (non rappresentati) l'organo mobile di supporto 14 del tavolino portacampioni 10 viene fatto ruotare intorno al proprio asse, e la superficie del campione in esame oscilla intorno all'asse Y, senza allontanarsi da tale asse.

La ripresa di immagini in modo angolarmente sfalsato per la successiva analisi stereoscopica della superficie del campione è allora realizzabile in modo estremamente rapido ed agevole.

Il dispositivo accessorio secondo il trovato consente dunque di ovviare agli inconvenienti evidenziati nell'introduzione della presente descrizione .

Naturalmente, fermo restando il principio del trovato, le forme di attuazione ed i particolari di realizzazione potranno essere ampiamente variati rispetto a quanto è stato descritto ed illustrato a puro titolo di esempio non limitativo, il trovato estendendosi a tutte le realizzazioni che conseguono pari utilità grazie agli stessi concessi innovativi.

Claims (6)

1. RIVENDICAZIONI 1. Dispositivo porta-campioni accessorio (1), accoppiabile ad un tavolino porta-campioni (10) di tipo non eucentrico per l'acquisizione, a mezzo di un microscopio elettronico a scansione, di immagini riprese in modo angolarmente sfalsato, per l'esame stereoscopico di un campione; il tavolino porta-campioni (10) comprendendo un organo di supporto (14) che è traslabile lungo un primo asse (Z) verticale, nonché lungo un secondo (X) ed un terzo asse (Y) orizzontali,rdei quali l'uno (X) è parallelo e l'altro (Y) è ortogonale alla direzione interoculare dell'osservatore, ed è ruotabile intorno al proprio asse, nonché intorno a detto secondo asse (X); il dispositivo accessorio (1) essendo caratterizzato dal fatto che comprende una struttura di supporto (2, 4, il) di materiale metallico, presentante una porzione di collegamento (3) atta a consentirne il fissaggio all'organo mobile (14) di detto tavolino porta-campioni (10), nonché una porzione di sostegno (4, 11) avente una superficie d'appoggio che, quando detta struttura (2, 4, 11) è accoppiata all'organo mobile (14) del tavolino (10), si estende in un piano (X, Y) parallelo a detti assi di rotazione, in modo tale per cui, previa rotazione dell'organo mobile (14) del tavolino (10) di 90° intorno a detto secondo asse (X), una successiva rotazione di detto organo mobile (14) intorno al proprio asse è suscettibile di far oscillare detta superficie intorno al suddetto terzo asse (Y).
2. 2. Dispositivo accessorio secondo la rivendicazione l, caratterizzato dal fatto che detta struttura comprende una piastra (2) presentante un'appendice (3) fissabile in detto organo mobile di supporto (14) del tavolino porta-campioni (10), e una mensola di sostegno (4) sostanzialmente a forma di L, avente un'ala (4a) fissata a detta piastra (2), e l'altra ala (4b) che si estende ortogonalmente a detta prima ala (4a) e a detta piastra (2).
3. 3 . Dispositivo accessorio secondo la rivendicazione 2, in cui detta mensola (4) è fissabile alla piastra (2) in posizione registrabile.
4. 4. Dispositivo accessorio secondo la rivendicazione 2 o 3, in cui detta seconda ala (4b) della mensola di sostegno (4) è atta a ricevere un blocchetto (11), ad esempio di forma cilindrica, destinato a sorreggere un campione.
5. 5. Dispositivo accessorio secondo la rivendicazione 4, caratterizzato dal fatto che è corredato da una pluralità di blocchetti porta-campioni (11) intercambiabili aventi altezze differenti.
6. 6. Dispositivo porta-campioni accessorio, sostanzialmente secondo quanto descritto ed illustrato, e per gli scopi specificati.