IT981333B - Procedimento per formare strati di materiale semiconduttore su un substrato - Google Patents
Procedimento per formare strati di materiale semiconduttore su un substratoInfo
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- H10P14/3411—
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- H10P14/2921—
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- H10P14/3211—
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| DE2212295A DE2212295C3 (de) | 1972-03-14 | 1972-03-14 | Verfahren zur Herstellung von Silicium- oder Germanium-Epitaxialschichten |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=5838865
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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