IT8319487A1

IT8319487A1 - Pompa turbomolecolare sopportata magneticamente

Info

Publication number: IT8319487A1
Application number: IT1983A19487A
Authority: IT
Original assignee: Arteur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh
Priority date: 1982-02-11
Filing date: 1983-02-09
Publication date: 1984-08-09
Also published as: US4502832A; IT1161570B; NL8300105A; FR2521230B1; JPH0436278B2; JPS58148296A; GB2114663A; DE3204750C2; IT8319487A0; FR2521230A1; BE895866A; DE3204750A1; GB2114663B

Description

DOCUMENTAZIONE

RILEGATA

POMPA TURBOMOLECOLARE SOPPORTATA MAGNETICAMENTE"

RIASSUNTO

Viene descritta una pompa turbomolecolare sopportata magneticamente, nella quale 1 quattro gradi di libert? radiali del rotore vengono stabilizzati con dei supporti magnetici passivi, mentre il grado di libert? assiale viene contrastato con dei supporti meccanici assiali, funzionanti a secco. Con l'aiuto di un dispositivo di regolazione il rotore viene mantenuto vicino alla posizione d'equilibrio assiale instabile.

TESTO DELLA DESCRIZI?NE

L?invenzione riguarda una disposizione di sopporto magnetica per i rotori di pompa a vuoto turbomolecolari, nella quale i quattro gradi di libert? radiali di un rotore vengono stabiliz zati con del supporti radiali magnetici passivi,mentre il grado di libert? assiale viene contrastato con del supporti meccanici assiali funzionanti a secco. Questa disposizione di sopporto assiale si realizza in modo che la posizione assiale del rotore venga mantenuta in una posizione tale in cui la forza d'appoggio del rotore resta sempre inferiore ad un valore prefissato.

Una tale disposizione di sopporto viene descritta nella domanda pubblicata tedesca N? 2825 551? In questo caso 1 gradi di libert? radiali vengono mantenuti con dei supporti radiali magnetici non regolati. Questi supporti radiali sono formati da gruppi costruttivi magnetici in modo permanente, applicati , alle parti rotanti e non rotanti magnetizzate radialmente in senso contrarlo. Questo genere di disposizione di sopporto pr? voca per? una posizione d'equilibrio instabile in direzione assiale. Se quindi il rotore di muove di poco fuori dalla posizio ne d'equilibrio assiale instabile, intervengono delle forze, che lo allontanano ulteriormente dalla posizione d'equilibrio. Queste forze crescono con la distanza dalla posizione d'equilibrio, cosicch? il rotore va a premere sulla disposizione di sopporto assiale con una forza pari ad un multiplo del suo peso. Nella domanda pubblicata tedesca N* 2825 551 viene descritto come queste forze vengono mantenute inferiori ad un valore pre fissato.

Con dei dispositivi dinamometrici viene registrata la loro grandezza? Se esse superano un determinato valore, viene messo in attivit? un meccanismo di regolazione, che tiene il rotore vicino alla posizione d'equilibrio instabile, cosicch? le forze d'appoggio assiali non superano un valore prefissato. Questo genere di disposizione di sopporto viene descritto nel-1'accennata domanda in tre diverse forme d'esecuzione, che per? presentano nel caso pratico d'applicazione notevoli inconvenienti, che sono indicati qui di segu $ito.

a) La posizione assiale del rotore viene registrata con una misura di passaggio elettrica. 1 contatti sono chiusi,' quando il rotore si trova nella posizione d'equilibrio instabile entro i limiti prefissati, ed essi vengono volta per vol-* ta aperti non appena il rotore si muove da questa posizione aa . siale prefissata verso l'uno o l'altro lato. Questa dlsposizio ne ha l'inconveniente che con le solite altissime velocit? di rotazione per le pompe turbomolecolari, la trasmissione del contatto ? molto insicura e perci? non s'ottengono dei perfetti segnali regolanti. Inoltre il meccanismo di spostamento necessario disturba molto sul lato dell'alto vuoto, perch? esso occupa molto posto e cosi riduce tra l'altro sensibilmente la conduttanza d'entrata della pompa?

b) La posizione assiale del rotore viene registrata da un dispositiva dinamometrico al due lati del rotore e regolata riediante dei meccanismi di regolazione, pure al due lati del robore. Questa disposizione ha l'inconveniente seguente. Le pompe turbomolecolari, di regola, si riscaldano al raggiungimento dell'alto vuoto finale. A causa del riscaldamento il corpo si dilata. Dato che le parti non rotanti del supporto meccanico assiale sono collegate in modo fisso al corpo, aumenta cos? la distanza nel supporto assiale tra superficie d'appoggio e perno del rotore. Se il rotore aderisce alla superficie d'appoggio su periore del supporto meccanico assiale, la regolazione diventa efficace e la dilatazione viene regolata? Se il rotore invece aderlsce alla superficie d'appoggio inferiore del supporto me? canlco assiale, la superficie d'appoggio superiore si muove, a causa dell'allungamento, via dal rotore e la regolazione non pu? intervenire, perch? in questo caso non si supera la forza prefissata. Se ora, per esempio per un urto, il rotore salta sull'altro lato del supporto meccanico assiale, esso pu? trovar si a grande distanza dalla posizione d'equilibrio instabile e quindi molto fuori dal limiti prefissati, per cui si possono avere delle forze d'appoggio di grandezza inammissibile. Un altro inconveniente ? rappresentato come sotto a), dal grande ingombro del meccanismo di regolazione sul lato dell'alto vuoto.

c) Per evitare l'accennato inconveniente del meccanismo di regolazione sul lato dell'alto vuoto, nell'accennata domanda pubblicata viene proposta un'altra disposizione, nella quale sul lato dell'alto vuoto non si trova alcun meccanismo. In questo caso 11 perno del supporto meccanico assiale inferiore subisce un'usura completa, che pu^f?ssere dell'ordine di grandezza di alcuni millimetri. Ci? pu? venire accettato, se la disposizione ? dimensionata corrispondentemente. Sul supporto superiore un'usura significa per? una deviazione dalla posizione d'equilibrio instabile. Ci? ? molto critico, come lo dimostra l'esempio seguente. Con una rigidit? assiale labile di 300 N/mm ed una forza d'appoggio prefissata di 1 N, la deviazione del rotore dalla posizione d'equilibrio instabile non dev'essere maggiore di 1/300 mm. Ci? significa che nel caso di deviazione mag giore, la durata del perno di rotore ? molto limitata.

Lo scopo della presente invenzione ? di presentare una pompa turbomolecolare sopportata magneticamente, come quella descritta nel preambolo della prima rivendicazione, che non presenti per? gli inconvenienti descritti.

In particolare sul lato dell'alto vuoto non deve trovarsi alcun meccanismo. Occorre evitare un improvviso aumento lnammis sibile della forza d'appoggio assiale del rotore, provocato dal riscaldamento del corpo, e raggiungere una lunga durata dei pu? porti meccanici assiali, malgrado l'usura del perno di rotore.

La soluzione di questo problema consiste nel fatto che il sostegno di supporto magnetico superiore ed il sostegno di supporto magnetico inferiore con lo statore della pompa vengono raggruppati in un?unit? costruttiva, che viene montata spostabile assialmente nel corpo. La disposizione di sopporto magnetica inferiore ? collegata ad una piattaforma, che porta l'ingranaggio per la regolazione del supporto magnetico inferiore, per cui questo ? spostabile assialmente rispetto all'unit? costruttiva sopra accennata. Il supporto assiale superiore ? montato in modo fisso nel corpo superiore. Mediante un secondo ingranaggio di regolazione, l'unit? costruttiva, costituita dal sostegno di supporto magnetico superiore e dal sostegno di supporto magnetico inferiore, nonch? dallo statore della pompa, pu? venire spostata assialmente. Inoltre ? prevista una disposizione elettromagnetica, che esercita aul rotore dei brevi impulsi di forza assiali, per portarlo periodicamente alternativamente in contatto con le due superilei di scorrimento del suppor to meccanico assiale, per cui diventa possibile una continua registrazione e regolazione della posizione assiale del rotore stesso.

Qui di seguito l'invenzione viene descritta dettagliatamente con l'aiuto del disegno.

Il disegno mostra una pompa turbomolecolare sopportata magneticamente secondo il preambolo della prima rivendicazione. Nel corpo 1 di una pompa turbomolecolare si trova il rotore 2 da sopportare. Nel sostegno di sopporto magnetico superiore 15 ? fissata la parte non rotante 3 del supporto radiale permanentemente magnetico superiore. Di fronte a questo si trova la par te rotante 4 del supporto magnetico. Corrispondentemente con 21 sono designati il sostegno di supporto magnetico inferiore, con 5 la parte non rotante e con 6 la parte rotante del supporto radiale permanentemente magnetico inferiore. I supporti meccanici assiali sono costituiti dai perni rotanti 7 e 9 e dalle superfici d'appoggio 8 e 10. L'azionamento ha luogo mediante un motore elettrico avente il rotore 11 e lo statore 12. Lo statore 12 del motore ? fissato nella disposizione di sopporto 19? Le forze d'appoggio del rotore sulle parti non rotanti 8 e 10 del supporto meccanico assiale vengono registrate dai dispositivi dinamometrici 13 e 14. Con 16 e 17 sono designati degli anelli, che scavalcano i dischi di statore rispettivamente li racchiu dono. Il sostegno superiore 15, lo statore di pompa,che viene formato sulla periferia esterna dagli anelli 16 e 17, l'anello 18, la disposizione di sopporto 19 per lo statore del motore, l?anello 20 ed il sostegno inferiore 21 formano un'unit? costrut - tlva spostabile nel corpo 1. Quest'unit? costruttiva viene tenu-_ ta assieme dalle molle 25. La precompressione di queste molle ? un multiplo della forza massima possibile, che viene prodotta dalla labilit? assiale dei supporti magnetici, perch? altrimenti l'unit? costruttiva viene spinta alla separazione dalla pres sione delle forze magnetiche. Lo spostamento dell'unit? costruttiva avviene mediante gli ingranaggi 23 attraverso degli alberelli filettati 28, il fondo 29 servendo da appoggio.

Sugli alberelli 28, tra gli ingranaggi 23 ed il sostegno di sopporto magnetico inferiore 21, ? fissata una piattaforma 22. Questa porta l'ingranaggio 24, che pu? spostare il dispositivo dinamometrico 14 con la superficie d'appoggio 10 del supporto meccanico assiale inferiore rispetto all'unit? costruttiva. Per impedire che vapori d'olio pervengano dalle camere degli ingranaggi nella camera del vuoto, queste sono separate dal la restante camera del vuoto da membrane a soffietto 26 e 27.

Una disposizione, costituita dalla bobina mobile 30 e da un magnete permanente 31 con campo magnetico radial?, esercita sul rotore a distanze prefissate di tempo del brevi impulsi di forza assiali. Questi ultimi possono venire prodotti per? anche da elettromagneti, che vengono inseriti alternativamente per breve tempo.

Con 11 dispositivo dinamometrico 13 vengono comandati gli ingranaggi 23 e con il dispositivo dinamometrico 14 l'ingranaggio 24. Se, per esempio, la forza sul dispositivodinamometrico 13 ? troppo grande, l'ingranaggio 23 sposta l'unit? costruttiva e le parti collegate alla piattaforma inferiore, sul supporto superiore. Questo spostamento corrisponde ad un movimento relativo del rotore rispetto alle/partl della costruzione verso il basso, ci? che porta ad una riduzione della forza assiale. Queste fase dura finch? si scende sotto la forza prefissata.

Se la forza sul trasmettitore inferiore 14 ? troppo alta, la superficie d'appoggio 10 viene mossa dall'ingranaggio 24 in avanti, cosicch? il rotore si sposta verso l'alto e viene cos? ridotta la forza. Se 1 due dispositivi dinamometrici indicano una forza troppo alta, 1 due ingranaggi si muovono in senso Inverso, per cui le superilei d'appoggio dei supporti meccanici assiali si spostano l'una via dall'altra e vengono cos? scaricate.

Se, per esempio, a causa della dilatazione termica del corpo si forma un traferro in un supporto meccanico assiale tra perno del rotore e superficie d'appoggio, questa condizione non viene in un primo tempo rilevate dalla regolazione. Un generatore d'impulsi trasmette a distanze di tempo prefissate degli impulsi di corrente alternativamente positivi e negativi alla bobina mobile 30. Questi vengono trasformati dal dispositivo elettromagnet ico in impulsi di forza sul rotore in direzione as

Claims

RIVENDICAZIONI

1. Pompa turbomolecolare sopportata magneticamente, nella quale la sopportazione viene formata da una disposizione di so? porto magnetica radiale, stabile in direzione radiale e labile in direzione assiale e contenente degli elementi di sopporto magnetici in modo permanente sulle parti rotanti e non rotanti, e da una disposizione di sopporto meccanica assiale, che ? costituita da superfici di scorrimento rotanti del rotore e da superfici di sostegno non rotanti con dispositivi dinamometrici ed ingranaggi di regolazione, in caso di superamento di una for za d'appoggio prefissata del rotore su un supporto meccanico ea siale, la quale condizione interviene a cause della posizione d'equilibrio assiale instabile del rotore, il rotore venendo tenuto vicino alla posizione d'equilibrio assiale instabile, in una posizione tale in cui la forza d'app?ggio del rotore sulla superficie di sostegno resta sempre inferiore ad una forza d'appoggio prefissata, caratterizzata dal fatto che il sostegno di supporto magnetico superiore (15), lo statore della pompa ed il sostegno di supporto magnetico inferiore (21) sono raggruppati in un'unit? costruttiva, che ? spostabile assialmente nel corpo della pompa(1), che al sostegno di supporto magnetico inferiore (21) ? collegata una piattaforma (22), la quale porta l'ihgranaggio (24) per la regolazione del supporto assiale Inferiore (9,10) ril supporto assiale superiore (7,8) essendo montato in modo fisso nel corpo (1), che l'unit? costruttiva pu?Venire spostata dagli ingranaggi di regolazione (23) e che ? prevista una disposizione elettromagnetica (30,31), che esercita sul ro tore (2) dei brevi impulsi di forza assiali.

2. Pompa turbomolecolare sopportata magneticamente secondo la riv. 1, caratterizzata dal fatto che gli ingranaggi di regolazione (23,24) sono montati nel vuoto preparatorio della pompa turbomolecolare.

3. Pompa turbomolecolare sopportata magneticamente secondo la riv. 1, caratterizzata dal fatto che gli ingranaggi di regolazione (23,24) sono montati fuori dal vuoto.

4. Pompa turbomolecolare sopportata magneticamente secondo le riv. da 1 a 3, caratterizzata dal fatto che grazie ad una disposizione elettromagnetica (30,31) vengono esercitati sul rotore (2), in direzione assiale alternativamente, degli impulsi di forza positivi e negativi a distanze di tempo prefissate.

3. Pompa turbomolecolare sopportata magneticamente secondo le riv. da 1 a 4, caratterizzata dal fatto che la disposizione elet tromagnetica ? costituita da una bobina mobile (30) e da un siste ma di magneti permanenti (31) con campo magnetico radiale,

RIVENDICAZIONI

1. Pompe turbomolecolare sopportata magneticamente, nella quble la sopportazione viene formata da una disposizione di so? porto magnetica radiale, stabile in direzione radiale e labile in direzione assiale e contenente degli elementi di sopporto magnetici In modo permanente sulle parti rotanti e non rotanti, e da una disposizione di sopporto meccanica assiale, che ? costituita da superfici di scorrimento rotanti del rotore e da superfici di sostegno non rotanti con dispositivi dinamometrici ed ingranaggi di regolazione, in caso di superamento di une for za d'appoggio prefissata del rotore su un supporto meccanico as siale, la quale condizione interviene a causa della posizione d'aquilibrio assiale instabile del rotore, il rotore venendo tenuto vicino alla posizione d'equilibrio assiale instabile, in una posizione tale in cui la forza d'app?ggio del rotore sulla superficie di sostegno resta sempre inferiore ad una forza d'appoggio pilifissata, caratterizzata dal fatto che il sostegno di supporto magnetico superiore (15), lo statore della pompa ed il sostegno di supporto magnetico inferiore (21) sono raggruppati in un'unit? costruttiva, che ? spostabile assialmente nel corpo della pompai1), che al sostegno di supporto magnetico inferiox'e (21) l collegata una piattaforma (22), la quale porta l'ingranaggio (24) per la regolazione del supporto assiale inferiore (9,?0)ril supporto assiale superiore (T,8) essendo montato in modo fisso nel corpo (1), che l'unit? costruttiva pu?Venire spostata dagli ingranaggi di regolazione (23) e che ? prevista una disposizione elettromagnetica (30,31), che esercita sul ro tore (2) dei brevi impulsi di forza assiali.

2. Pompa turboraolecolare sopportata magneticamente secondo la riv. 1, caratterizzata dal fatto che gli ingranaggi di regolazione (23,24) sono montati nel vuoto preparatorio della pompa turbomolecolare.

4. Pompa turbomolecolare sopportata magneticamente secondo le riv. da 1 a 3, caratterizzata dal fatto che grazie ad una disposizione elettromagnetica (30,31) vengono esercitati sul rotore (2), in direzione assiale alternativamente, degli impulsi di forza positivi e negativi a distanze di tempo prefissate,

5. Pompa turbomolecolare sopportata magneticamente secondo le riv. da 1 a 4, caratterizzata dal fatto che la disposizione elet tromagnetlca ? costituita da una bobina mobile (30) e da un siste ma di magneti permanenti (31) con campo magnetico radiale.

POMPA TURBOMOLECOLARE SOPPORTATA MAGNETICAMENTE

L'invenzione riguarda una disposizione di sopporto magnetica per 1 rotori di pompa a vuoto turbomolecolari, nella quale i quattro gradi di libert? radiali di un rotore vengono stabiliz zati con dei supporti radiali magnetici passivi,mentre il grado di libert? assiale viene contrastato con dei supporti meccanici assiali funzionanti a secco. Questa disposizione di sopporto assiale si realizza in modo che la posizione assiale del rotore venga mantenuta in una posizione tale in cui la forza d'appoggio del rotore resta sempre inferiore ad un valore prefissato.

Una tale disposizione di sopporto viene descritta nella domenda pubblicata tedesca N* 2825 551? In questo caso 1 gradi di libert? radiali vengono mantenuti con dei supporti radiali magnetici non regolati. Questi supporti radiali sono formati da gruppi costruttivi magnetici in modo,permanente, applicati alle parti rotanti e non rotanti magnetizzate radialmente in senso contrarlo. Questo genere di disposizione di sopporto pr? voce per? una posizione d'equilibrio instabile in direzione assiale. Se quindi il rotore di muove di poco fuori dalla poslzlo ne d'equilibrio assiale instabile, intervengono delle forze, che lo allontanano ulteriormente dalla posizione d'equilibrio. Queste forze crescono con la distanza dalla posizione d'equilibrio, cosicch? il rotore va a premere sulla disposizione di sopporto assiale con una forza pari ad un multiplo del suo peso. Nella domanda pubblicata tedesca N* 26 25 551 viene descritto come queste forze vengono mantenute inferiori ad un valore pre fissato.

Con dei dispositivi dinamometrici viene registrata la loro grandezza. Se esse superano un determinato valore, viene messo in attivit? un meccanismo di regolazione, che tiene il rotore vicino alla posizione d'equilibrio instabile, cosicch? le forze d'appoggio assiali non superano un valore prefissato. Questo genere di disposizione di sopporto viene descritto nel-1*accennata domanda in tre diverse forme d'esecuzione, che per? presentano nel caso pratico d'applicazione notevoli inconvenienti, che sono indicati qui di seguito.

a) La posizione assiale del rotore viene registrata con una misura di passaggio elettrica? I contatti sono chiusi, quando il rotore si trova nella posizione d'equilibrio instabile entro i limiti prefissati, ed essi vengono volta per volte aperti non appena il rotore si muove da questa posizione a? siale prefissata verso l'uno o l'altro lato. Questa dlsposlzio ne ha l'inconveniente che con le solite altissime velocit? di rotazione per le pompe turbomolecolarl, la trasmissione del contatto ? molto insicura e perci? non s'ottengono dei perfetti segnali regolanti? Inoltre il meccanismo di spostamento necessario disturba molto sul lato dell'alto vuoto, perch? esso occupa molto posto e cos? riduce tra l'altro sensibilmente la conduttanza d'entrata della pompa?

b) La posizione assiale del rotore viene registrata da un disp?sitiw dinamometrico ?i due lati del rotore e regolata mediante del meccanismi di regolazione, pure ai due lati del rotore? Questa disposizione ha l'inconveniente seguente. Le pompe turbomolecolari, di regola, si riscaldano al raggiungimento dell'alto vuoto finale. A causa del riscaldamento il corpo si dilata. Dato che le parti non rotanti del supporto meccanico assiale sono collegate in modo fisso al corpo, aumenta cos? la distanza nel supporto assiale tra superficie d'appoggio e perno del rotore. Se il rotore aderisce alla superficie d'appoggio su periore del supporto meccanico assiale, la regolazione diventa efficace e la dilatazione viene regolata. Se il rotore invece aderisce alla superficie d'eppoggio inferiore del supporto me? canico assiale, la superficie d'appoggio superiore si muove, a causa dell'allungamento, via dal rotore e la regolazione non pu? intervenire, perch? in questo caso non si supera la forza prefissata? Se ora, per esempio per un urto, il rotore salta sull'altro lato del supporto meccanico assiale, esso pu? trovar si a grande distanza dalla posizione d'equilibrio instabile e quindi molto fuori dal limiti prefissati, per cui si possono avere delle forze d'appoggio di grandezza inammissibile. Un altro inconveniente ? rappresentato come sotto a), dal grande ingombro del meccanismo di reg?lazlone sul lato dell'alto vuoto.

c) Per evitare l'accennato inconveniente del meccanismo di regolazione sul lato dell'alto vuoto, nell*accennata domande pubblicata viene proposte un'altra disposizione, nella quale sul lato dell'alto vuoto non si trova alcun meccanismo. In questo caso 11 perno del supporto meccanico assiale Inferiore subisce un'usura completa, che pu?ifessere dell'ordine di grandezza d? alcuni millimetri. Ci? pu? venire accettato, se la disposizione ? dimensionata corrispondentemente. Sul supporto superiore un'usura significa per? una deviazione dalla posizione d'equilibrio instabile. Ci? ? molto critico, come lo dimostra l'esempio seguente. Con una rigidit? assiale labile d? 300 N/mm ed una forza d'appoggio prefissata di 1 N, la deviazione del rotore dalla posizione d'equilibrio instabile non dev'essere maggiore di 1/300 mm. Ci? significa che nel caso di deviazione mag giore, la durata del perno di rotore ? molto limitata.

In particolare sul lato dell'alto vuoto non deve trovarsi alcun meccanismo. Occorre evitare un improvviso aumento inammis sibile della forza d'appoggio assiale del rotore, provocato dal riscaldamento del corpo, e raggiungere una lunga durata del pu? porti meccanici assiali, malgrado l'usura del perno di rotore.

La soluzione di questo problema consiste nel fatto che il sostegno di supporto magnetico superiore ed il sostegno di supporto magnetico inferiore con lo statore della pompa vengono raggruppati in un'unit? costruttiva, che viene montata spostabile assialmente nel corpo. La disposizione di sopporto magnetica inferiore ? collegata ad una piattaforme, che porta l'ingranagglo per la regolazione del supporto magnetico inferiore, per cui questo ? spostabile assialmente rispetto all'unit? costruttiva sopra accennata. Il supporto assiale superiore ? montato in modo fisso nel corpo superiore. Mediante un secondo ingranaggio di regolazione, l'unit? costruttiva, costituita dal sostegno di supporto magnetico superiore e dal sostegno di supporto magnetico inferiore, nonch? dallo statore della pompa, pu? venire spostata assialmente. Inoltre ? prevista una disposizione elettromagnetica, che esercita sul rotore dei brevi lmpulsi di forza assiali, per portarlo periodicamente alternativamente in contatto con le due superfici di scorrimento del suppor to meccanico assiale, per cui diventa possibile una continua registrazione e regolazione della posizione assiale del rotore stesso.

Il disegno mostra una pompa turbomolecolare sopportata magneticamente secondo il preambolo della prima rivendicazione. Nel corpo 1 di una pompa turbomolecolare si trova il rotore 2 da sopportare. Nel sostegno di sopporto magnetico superiore 15 ? fissata la parte non rotante 3 del supporto radiale permanentemente magnetico superiore. Di fronte a questo si trova la par te rotante 4 del supporto magnetico. Corrispondentemente con 21 sono designati il sostegno di supporto magnetico inferiore, con 5 le parte non rotante e con 6 la parte rotante del supporto radiale permanentemente magnetico inferiore. I supporti meccanici assiali sono costituiti dai perni rotanti 7 e 9 e dalle superfici d'appoggio 8 e 10. L'azionamento ha luogo mediante un motore elettrico avente il rotore 11 e lo statore 12. Lo statore 12 del motore ? fissato nella disposizione di sopporto 19. Le forze d'appoggio del rotore sulle parti non rotanti 8 e 10 del supporto meccanico assiale vengono registrate dai dispositivi dinamometrici 13 e 14. Con 16 e 17 sono designati degli anelli, che scavalcano i dischi di statore rispettivamente li racchiu dono. Il sostegno superiore 13? lo statore di pompa,che viene formato sulla periferia esterna dagli anelli 16 e 17? l'anello 18, la disposizione di sopporto 19 per lo statore del motore, l?anello 20 ed il sostegno inferiore 21 formano un?unit? costrut tiva spostabile nel corpo 1. Quest'unit? costruttiva viene tenuta assieme dalle molle 25. La precompressione di queste molle ? un multiplo della forza massima possibile, che viene prodotta dalla labilit? assiale dei supporti magnetici, perch? altrimenti l'unit? costruttiva viene spinta alla separazione dalla pres sione delle forze magnetiche. Lo spostamento dell'unit? costruttiva avviene mediante gli ingranaggi 23 attraverso degli alberelli filettati 28, il fondo 29 servendo da appoggio.

Una disposizione, costituita dalla bobina mobile 30 e da un magnete permanente 31 con campo magnetico radiale, esercita sul rotore a distanze prefissate di tempo dei brevi impulsi di forza assiali. Questi ultimi possono venire prodotti per? anche da elettromagneti, che vengono inseriti alternativamente per breve tempo.

Con 11 dispositivo dinamometrico 13 vengono comandati gli ingranaggi 23 e con 11 dispositivo dinamometrico 14 l'ingranaggio 24. Se, per esempio, la forza sul dispositivodinamometrico 13 ? troppo grande, l'ingranaggio 23 sposta l'unit? costruttiva e le parti collegate alla piattaforma inferiore, sul supporto superiore. Questo spostamento corrisponde ad un movimento relativo del rotore rispetto alle/parti della costruzione verso il basso, ci? che porta ad una riduzione della forza assiale. Queste fase dura finch? si scende sotto la forza prefissata.

Se la forza sul trasmettitore inferiore 14 ? troppo alta, la superficie d'appoggio 10 viene mossa dall'ingranaggio 24 in avanti, cosicch? il rotore si sposta verso l'alto e viene cos? ridotta la forza. Se i due dispositivi dinamometrici indicano una forza troppo alta, i due ingranaggi si muovono in senso inverso, per cui le superfici d'appoggio del supporti meccanici assiali si spostano l'una via dall'altra e vengono cos? scaricate.

Se, per esempio, a causa della dilatazione termica del corpo si forma un traferro in un supporto meccanico assiale tra perno del rotore e superficie d'appoggio, questa condizione non viene in un primo tempo rilevata dalla regolazione* Un generatore d'impulsi trasmette a distanze di tempo prefissate degli impulsi di corrente alternativamente positivi e negativi alla bobina mobile 30. Questi vengono trasformati dal dispositivo elettromagnetlco in impulsi di forza sul rotore in direzione assiale. Se il rotore non ha alcun contatto con una delle superfici d?appoggio, esso salta allora a causa del corrispondente impulso sul suo lato, e la regolazione eventualmente interviene. SEGUE UNA TAVOLA DA DISEGNO CON UNA FIGURA

RIASSUNTO

Viene descritta una pompa turbomolecolare sopportata magneticamente, nella quale i quattro gradi di libert? radiali del rotore vengono stabilizzati con dei supporti magnetici passivi, mentre il grado di libert? assiale viene contrastato con dei supporti meccanici assiali, funzionanti a secco. Con l'aiuto di un dispositivo di regolazione il rotore viene mantenuto vicino alla posizione d'equilibrio assiale instabile,