HUP9801824A2 - Vékonyréteggel működtetett tükörelem elrendezés optikai vetítő rendszerhez és eljárás annak előállítására - Google Patents

Vékonyréteggel működtetett tükörelem elrendezés optikai vetítő rendszerhez és eljárás annak előállítására

Info

Publication number
HUP9801824A2
HUP9801824A2 HU9801824A HUP9801824A HUP9801824A2 HU P9801824 A2 HUP9801824 A2 HU P9801824A2 HU 9801824 A HU9801824 A HU 9801824A HU P9801824 A HUP9801824 A HU P9801824A HU P9801824 A2 HUP9801824 A2 HU P9801824A2
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
thin
electrode
layer
layered
electrically
Prior art date
Application number
HU9801824A
Other languages
English (en)
Inventor
Yong Ki Min
Original Assignee
Daewoo Electronics Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1019950009394A external-priority patent/KR0154923B1/ko
Priority claimed from KR1019950009398A external-priority patent/KR0177250B1/ko
Application filed by Daewoo Electronics Co., Ltd. filed Critical Daewoo Electronics Co., Ltd.
Publication of HUP9801824A2 publication Critical patent/HUP9801824A2/hu
Publication of HUP9801824A3 publication Critical patent/HUP9801824A3/hu

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S359/00—Optical: systems and elements
    • Y10S359/904—Micromirror

Abstract

Vékőnyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (300) őptikai vetítőrendszerhez M x N tükörelemmel (301), ahől M és N egész számők,amelynek alapréteget (212), M x N darab tranzisztőrból állóelrendezést és M x N darab csatlakőzókapőcsból (214) álló elrendezésttartalmazó aktív mátrixa (210) van, ahől a csatlakőzókapcsők (214)villamősan a tranzisztőrőkból álló elrendezésben lévő egy-egymegfelelő tranzisztőra vannak csatlakőztatva, és van tővábbá az aktívmárix (210) tetején elhelyezett passziváló rétege (220), a passziválóréteg (220) tetején elhelyezett, marató anyagőt megállító rétege(230), valamint M x N darab működtető szerkezetből (200) állóelrendezése, amely működtető szerkezeteknek (200) van külső vége ésbelső vége, a külső végen végződése és azőn átmenő maratási nyílása,és amely működtető szerkezetek (200) tartalmaznak első vékőnyrétegelektródát (285), elmőzdűlást létrehőzó vékőnyréteges tagőt (275),másődik vékőnyréteg elektródát (265), rűgalmas tagőt (255) ésvezetéket (295), ahől az első vékőnyréteg elektróda (285) azelmőzdűlást létrehőzó vékőnyréteges tag (275) tetején van elhelyezve,és működtető és fényviszaverő részekre (190, 195) van ősztvavízszintes sávval (287), amely a működtető és fényvisszaverő részeket(190, 195) egymástól villamősan szétválasztja, a működtető rész (190)villamősan a földre van csatlakőztatva, és ezáltal a működtető rész(190) előfeszítő elektródaként és tükörként, a fényvisszaverő rész(195) pedig tükörként fűnkciőnál, az elmőzdűlást létrehőzóvékőnyréteges tag (275) a másődik vékőnyréteg elektróda (265) tetejénvan elhelyezve, a másődik vékőnyréteg elektróda (265) a rűgalmas tag(255) tetején van elhelyezve, a vezetéken (295) és a csatlakőzókapcsőn(214) keresztül egy megfelelő tranzisztőrra van villamősancsatlakőztatva, és villamősan el van választva a többi vékőnyréteggelműködtett tükörelemben (301) lévő másődik vékőnyréteg elektródától(265), ami által a jelelektródaként fűnkciőnálhat, a rűgalmas tag(255) a másődik vékőnyréteg elektróda (265) alatt van elhelyezve, ésbelső végének egy alsó része az aktív mátrix (210) tetejére vancsatlakőztatva a marató anyagőt megállító réteg (230) és a passziválóréteg (220) részleges közrefőgásával, ami által a működtető szerkezet(200) kőnzőlősan kinyúlik, valamint a vezeték (295) az elmőzdűlástlétrehőzó vékőnyréteges tag (275) tetejétől egy megfelelőcsatlakőzókapőcs (214) tetejéig nyúlik, és a másődik vékőnyrétegelektródát (265) villamősan a csatlakőzókapőcsra (214) csatlakőztatja.A találmány tővábbá eljárás a fenti tükörelem-elrendezés (300)előállítására. ŕ
HU9801824A 1995-04-21 1996-03-07 Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system and procedure for manufacturing thereof HUP9801824A3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950009394A KR0154923B1 (ko) 1995-04-21 1995-04-21 광로 조절 장치의 제조방법
KR1019950009398A KR0177250B1 (ko) 1995-04-21 1995-04-21 광로 조절 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HUP9801824A2 true HUP9801824A2 (hu) 1998-11-30
HUP9801824A3 HUP9801824A3 (en) 2002-07-29

Family

ID=36955856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU9801824A HUP9801824A3 (en) 1995-04-21 1996-03-07 Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system and procedure for manufacturing thereof

Country Status (16)

Country Link
US (1) US5757539A (hu)
EP (1) EP0741310B1 (hu)
JP (1) JP3734271B2 (hu)
CN (1) CN1082770C (hu)
AR (1) AR001107A1 (hu)
AU (1) AU698094B2 (hu)
BR (1) BR9608226A (hu)
CA (1) CA2218655A1 (hu)
CZ (1) CZ328097A3 (hu)
DE (1) DE69621516T2 (hu)
HU (1) HUP9801824A3 (hu)
PL (1) PL179925B1 (hu)
RU (1) RU2166784C2 (hu)
TW (1) TW305943B (hu)
UY (1) UY24183A1 (hu)
WO (1) WO1996033576A1 (hu)

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6849471B2 (en) * 2003-03-28 2005-02-01 Reflectivity, Inc. Barrier layers for microelectromechanical systems
US6969635B2 (en) * 2000-12-07 2005-11-29 Reflectivity, Inc. Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates
JPH1062614A (ja) * 1996-05-23 1998-03-06 Daewoo Electron Co Ltd Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイの製造方法
KR100212539B1 (ko) * 1996-06-29 1999-08-02 전주범 박막형 광로조절장치의 엑츄에이터 및 제조방법
US5991064A (en) * 1996-06-29 1999-11-23 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array and a method for the manufacture thereof
WO1998008127A1 (en) * 1996-08-21 1998-02-26 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system
US6136390A (en) * 1996-12-11 2000-10-24 Daewoo Electronics Co., Ltd. Method for manufacturing a thin film actuatable mirror array having an enhanced structural integrity
US5949568A (en) * 1996-12-30 1999-09-07 Daewoo Electronics Co., Ltd. Array of thin film actuated mirrors having a levelling member
WO1998038801A1 (en) * 1997-02-26 1998-09-03 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
AU722330B2 (en) * 1997-02-26 2000-07-27 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
DE69706071T2 (de) * 1997-03-05 2002-04-11 Daewoo Electronics Co Ltd Dünnfilm gesteuerte spiegelgruppe und deren herstellungsverfahren
US5815305A (en) * 1997-03-10 1998-09-29 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US5917645A (en) * 1997-03-28 1999-06-29 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US6104525A (en) * 1997-04-29 2000-08-15 Daewoo Electronics Co., Ltd. Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof
US5937271A (en) * 1997-05-23 1999-08-10 Daewoo Electronics Co., Inc. Method for manufacturing a thin film actuated mirror array
DE19782276T1 (de) * 1997-05-27 2000-05-25 Daewoo Electronics Co Ltd Verfahren für die Herstellung einer Dünnfilm-Stellspiegelanordnung
EP1033037B1 (en) * 1997-06-30 2006-12-13 Daewoo Electronics Corporation Thin film actuated mirror including a seeding member and an electrodisplacive member made of materials having the same crystal structure and growth direction
KR19990004774A (ko) * 1997-06-30 1999-01-25 배순훈 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법
KR19990004787A (ko) * 1997-06-30 1999-01-25 배순훈 박막형 광로 조절 장치
EP1025711A1 (en) 1997-10-31 2000-08-09 Daewoo Electronics Co., Ltd Method for manufacturing thin film actuated mirror array in an optical projection system
US5920421A (en) * 1997-12-10 1999-07-06 Daewoo Electronics Co., Ltd. Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
GB2332750B (en) * 1997-12-23 2000-02-23 Daewoo Electronics Co Ltd Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same
US6523961B2 (en) 2000-08-30 2003-02-25 Reflectivity, Inc. Projection system and mirror elements for improved contrast ratio in spatial light modulators
US7012731B2 (en) * 2000-08-30 2006-03-14 Reflectivity, Inc Packaged micromirror array for a projection display
US7027418B2 (en) 2001-01-25 2006-04-11 Bandspeed, Inc. Approach for selecting communications channels based on performance
US7023606B2 (en) * 2001-08-03 2006-04-04 Reflectivity, Inc Micromirror array for projection TV
KR100394020B1 (ko) * 2001-10-18 2003-08-09 엘지전자 주식회사 Ｄｍｄ 패널의 제조 방법
US6965468B2 (en) * 2003-07-03 2005-11-15 Reflectivity, Inc Micromirror array having reduced gap between adjacent micromirrors of the micromirror array
US20040006490A1 (en) * 2002-07-08 2004-01-08 Gingrich Mark A. Prescription data exchange system
US7042622B2 (en) * 2003-10-30 2006-05-09 Reflectivity, Inc Micromirror and post arrangements on substrates
US7281808B2 (en) * 2003-06-21 2007-10-16 Qortek, Inc. Thin, nearly wireless adaptive optical device
US20050070049A1 (en) * 2003-09-29 2005-03-31 Cheng S. J. Method for fabricating wafer-level chip scale packages
CN101038582B (zh) * 2007-04-02 2010-05-12 中国科学院光电技术研究所 用于自适应光学波前复原运算的脉动阵列处理方法及电路
US8447252B2 (en) * 2009-01-21 2013-05-21 Bandspeed, Inc. Adaptive channel scanning for detection and classification of RF signals
US8849213B2 (en) * 2009-01-21 2014-09-30 Bandspeed, Inc. Integrated circuit for signal analysis
KR101368608B1 (ko) * 2009-12-01 2014-02-27 샤프 가부시키가이샤 액티브 매트릭스 기판 및 표시 장치
JP6613593B2 (ja) 2015-04-01 2019-12-04 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、および電子機器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4441791A (en) * 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
US4662746A (en) * 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5172262A (en) * 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5099353A (en) * 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5247222A (en) * 1991-11-04 1993-09-21 Engle Craig D Constrained shear mode modulator
US5481396A (en) * 1994-02-23 1996-01-02 Aura Systems, Inc. Thin film actuated mirror array
CN1062664C (zh) * 1994-06-22 2001-02-28 大宇电子株式会社 改进的制造薄膜可致动反射镜阵列的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CZ328097A3 (cs) 1998-04-15
BR9608226A (pt) 1998-12-29
EP0741310B1 (en) 2002-06-05
JP3734271B2 (ja) 2006-01-11
AR001107A1 (es) 1997-09-24
CN1182519A (zh) 1998-05-20
EP0741310A1 (en) 1996-11-06
US5757539A (en) 1998-05-26
HUP9801824A3 (en) 2002-07-29
PL322906A1 (en) 1998-03-02
WO1996033576A1 (en) 1996-10-24
DE69621516D1 (de) 2002-07-11
AU698094B2 (en) 1998-10-22
JPH11503843A (ja) 1999-03-30
TW305943B (hu) 1997-05-21
PL179925B1 (pl) 2000-11-30
CN1082770C (zh) 2002-04-10
RU2166784C2 (ru) 2001-05-10
CA2218655A1 (en) 1996-10-24
UY24183A1 (es) 1996-06-21
AU4957096A (en) 1996-11-07
DE69621516T2 (de) 2003-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HUP9801824A2 (hu) Vékonyréteggel működtetett tükörelem elrendezés optikai vetítő rendszerhez és eljárás annak előállítására
US6806638B2 (en) Display of active matrix organic light emitting diode and fabricating method
HU221355B1 (en) Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system
EP0805501A4 (en) THERMOELECTRIC ARRANGEMENT AND THERMOELECTRIC COOLER / HEATER
US7601571B2 (en) Methods of manufacturing interferometric modulators with thin film transistors
JP2018174335A5 (hu)
CN107978623A (zh) 一种显示装置
AU2003209595A1 (en) Active matrix electroluminescent display devices, and their manufacture
WO1996021248A1 (en) Low power infrared scene projector array and method of manufacture
DE69404061D1 (de) Elektronenquelle und Bilderzeugungsvorrichtung
ATE181166T1 (de) Chipmodul
CZ118096A3 (en) Thin-layer control mirror system and process for producing thereof
ATE211300T1 (de) Temperaturwächter
WO1999022368A3 (en) Magnetic field sensor comprising a spin-tunnel junction
EP1079097A3 (en) Actuator housing
DE69424769T2 (de) Elektronenquelle und Bilderzeugungsgerät
US5550680A (en) Thin film actuated mirror array having an improved optical efficiency
JPS6016728A (ja) 無接点電気スイツチ
MY113094A (en) Low temperature formed thin film actuated mirrow array
KR960043851A (ko) 광로 조절 장치
JPH075501A (ja) アクチュエーチドミラーアレーおよびそれに用いられる能動マトリックス基板
KR960036629A (ko) 광로조절장치와 그 제조방법
EP0814357A3 (en) Thin film actuated mirror array and method for the manufacture thereof
KR950027438A (ko) 광로 조절장치
TW348324B (en) Thin film actuated mirror array having dielectric layers