KR960043851A - 광로 조절 장치 - Google Patents

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민용기
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Abstract

본 발명은 광로 조절 장치에 관한 것으로서, 구동기판의 동일한 트랜지스터에 전기적으로 연결된 패드와 플러그를 통해제1 및 제2하부전극에 동일한 화상신호가 인가되고, 제1상부전극은 접촉된 제1하부전극에 의해 화상신호를 인가받는다.그러므로, 제1 및 제2하부전극과 제1 및 제2상부전극 사이에 개재되어 있는 제1 및 제2변형부에 전계가 발생되어, 제1 및제2변형부가 전계와 수직방향으로 수축하게 되어 액츄에이터가 휘어져 경사진다. 따라서, 본 발명은 레그의 일측에 형성된 변형부를 제거하고 상부전극을 하부전극과 접촉하므로 1라인의 상부전극중 한개 또는 일부가 손상되어도 손상된 상부전극만 구동하지 않고 손상되지 않은 상부전극은 구동된다.

Description

광로 조절 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 광로 조절 장치의 평면도.

Claims (1)

  1. 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 패드(53)를 갖는구동기판(51)과, 상기 패드(53)가 형성된 상기 구동기판(51)의 상부에 일측이 접촉되고 에어갭(67)에 의해 이격되어 형성된 멤브레인(55)과, 상기 멤브레인(55)의 표면에 형성되어 소정 부분이 제거된 제1하부전극(59)과, 상기 멤브레인(55)의표면에 형성된 제2하부전극(69)과, 상기 패드(53)와 제1 및 제2하부전극(59)(69)을 전기적으로 연결하도록 상기 멤브레인(55)을 관통하여 형성된 플러그(57)와, 상기 제1하부전극(59)의 상부에 형성되어 소정부분이 제1하부전극(59)을 노출되도록 형성된 제1변형부(61)와, 상기 제2하부전극(69)의 상부에 형성된 제2변형부(71)와, 상기 제1 및 제2변형부(61)(71)와개구(65) 상부에 형성되며 반사막으로도 사용되는 제1 및 제2상부전극(63)(73)으로 이루어진 액츄에이터(80)를 포함하는광로 조절 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950013359A 1995-05-26 1995-05-26 광로 조절 장치 KR0159416B1 (ko)

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