JPH095608A - Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ - Google Patents
Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイInfo
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- JPH095608A JPH095608A JP8116132A JP11613296A JPH095608A JP H095608 A JPH095608 A JP H095608A JP 8116132 A JP8116132 A JP 8116132A JP 11613296 A JP11613296 A JP 11613296A JP H095608 A JPH095608 A JP H095608A
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
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- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 光投射システムに用いられ、各薄膜アクチュ
エーテッドミラーにバイアス信号が個別的に印加するた
めのＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイを
提供する。 【解決手段】 Ｍ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラ
ーアレイはＭ×Ｎ個の接続端子のアレイ及びＭ×Ｎ個の
トランジスタのアレイを有する基板を含む能動マトリッ
クス及び各駆動構造が駆動部分及び光反射部分を有する
Ｍ×Ｎ個の駆動構造のアレイを含み、この駆動部分は第
１薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜部、第２薄膜電
極、弾性部と第１及び第２コンジットを有し、各駆動構
造は第１パートでの第１薄膜電極は個別的にバイアスソ
ースで電気的に接続されて、各駆動構造はアレイで同じ
列に位置する他の駆動構造と電気的に分離されて各薄膜
アクチュエーテッドミラーに個別にバイアス信号及び電
気信号が印加されるようにする。
エーテッドミラーにバイアス信号が個別的に印加するた
めのＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイを
提供する。 【解決手段】 Ｍ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラ
ーアレイはＭ×Ｎ個の接続端子のアレイ及びＭ×Ｎ個の
トランジスタのアレイを有する基板を含む能動マトリッ
クス及び各駆動構造が駆動部分及び光反射部分を有する
Ｍ×Ｎ個の駆動構造のアレイを含み、この駆動部分は第
１薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜部、第２薄膜電
極、弾性部と第１及び第２コンジットを有し、各駆動構
造は第１パートでの第１薄膜電極は個別的にバイアスソ
ースで電気的に接続されて、各駆動構造はアレイで同じ
列に位置する他の駆動構造と電気的に分離されて各薄膜
アクチュエーテッドミラーに個別にバイアス信号及び電
気信号が印加されるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光投射システムに関
し、特に、光投射システム用Ｍ×Ｎ個の薄膜アクチュエ
ーテッドミラーアレイに関する。
し、特に、光投射システム用Ｍ×Ｎ個の薄膜アクチュエ
ーテッドミラーアレイに関する。
【０００２】
【従来の技術】映像表示システムは表示法によって光直
視システムと光投射システムに区別される。光投射シス
テムは大スクリーンでも高精細度を表す特徴を有する。
このような光投射システムにおいて光源からの光束が一
律的にＭ×Ｎ個の光路調節装置に照らされる。ここで、
この光路調節装置では各ミラーが各々のアクチュエータ
に結合されており、アクチュエータは印加される電界に
よって変形を起こす電歪または圧電物質からなる。
視システムと光投射システムに区別される。光投射シス
テムは大スクリーンでも高精細度を表す特徴を有する。
このような光投射システムにおいて光源からの光束が一
律的にＭ×Ｎ個の光路調節装置に照らされる。ここで、
この光路調節装置では各ミラーが各々のアクチュエータ
に結合されており、アクチュエータは印加される電界に
よって変形を起こす電歪または圧電物質からなる。
【０００３】各ミラーから反射された光束は光学バッフ
ルの孔に入射されて、各アクチュエータに電気信号が印
加されると、各ミラーの全般的な位置が変わり、各ミラ
ーから反射される光束の光路が変わるようになる。各反
射される光束の光路が変わることによって光学装置の孔
を通過する光束の量が変わり、光の強さを調節する。孔
を通過する光束は投射レンズのような適当な光学装置を
通じて投射面に投射されてその上に象を表す。
ルの孔に入射されて、各アクチュエータに電気信号が印
加されると、各ミラーの全般的な位置が変わり、各ミラ
ーから反射される光束の光路が変わるようになる。各反
射される光束の光路が変わることによって光学装置の孔
を通過する光束の量が変わり、光の強さを調節する。孔
を通過する光束は投射レンズのような適当な光学装置を
通じて投射面に投射されてその上に象を表す。
【０００４】図１は、光投射システム用Ｍ×Ｎ個の薄膜
アクチュエーテッドミラー１０１のアレイ１００の断面
図を示すものであり、能動マトリックス１０、Ｍ×Ｎ個
の薄膜駆動構造９５のアレイ９０、Ｍ×Ｎ個の支持部２
２のアレイ２０及びＭ×Ｎ個のミラー７５のアレイ７０
を含み、「THIN FILM ACTUATED MIRROR ARRY AND METHO
D FOR THE MANUFACTURE THEREOF 」と言う名称で出願中
の米国特許出願第０８／３３１，３９９号に記載されて
いる。
アクチュエーテッドミラー１０１のアレイ１００の断面
図を示すものであり、能動マトリックス１０、Ｍ×Ｎ個
の薄膜駆動構造９５のアレイ９０、Ｍ×Ｎ個の支持部２
２のアレイ２０及びＭ×Ｎ個のミラー７５のアレイ７０
を含み、「THIN FILM ACTUATED MIRROR ARRY AND METHO
D FOR THE MANUFACTURE THEREOF 」と言う名称で出願中
の米国特許出願第０８／３３１，３９９号に記載されて
いる。
【０００５】前記能動マトリックス１０は基板１２、Ｍ
×Ｎ個のトランジスタのアレイ（図示せず）及びＭ×Ｎ
個の接続端子１４のアレイ１３を含む。前記アレイ１０
０の各駆動構造９５は少なくともＰＺＴなどの圧電物質
またはＰＭＮなどの電歪物質からなる薄膜層５５、第１
薄膜電極６５、第２薄膜電極４５及びセラミックからな
る弾性部３５を含む。ここで、前記第１薄膜電極６５及
び第２薄膜電極４５は各々電気的に変形可能な薄膜部５
５の上部及び下部に位置し、前記弾性部３５は第２薄膜
電極４５の下部に位置する。前記第１薄膜電極６５は薄
膜アクチュエーテッドミラー１０１で共通バイアス電極
の機能をして、第２薄膜電極４５は各薄膜アクチュエー
テッドミラー１０１で信号伝達機能をする。各支持部２
２は各駆動構造９５を支持することによって各区づ構造
９５を正位置に固定し、タングステン（Ｗ）などの金属
からなるコンジット２４を含んで各駆動構造９５の第２
薄膜電極４５及び能動マトリックス１０の各接続端子１
４を電気的に接続される。更に、アルミニウム（Ａｌ）
などの光反射物質からなる各ミラー７５は各駆動構造９
５の上部に位置する。
×Ｎ個のトランジスタのアレイ（図示せず）及びＭ×Ｎ
個の接続端子１４のアレイ１３を含む。前記アレイ１０
０の各駆動構造９５は少なくともＰＺＴなどの圧電物質
またはＰＭＮなどの電歪物質からなる薄膜層５５、第１
薄膜電極６５、第２薄膜電極４５及びセラミックからな
る弾性部３５を含む。ここで、前記第１薄膜電極６５及
び第２薄膜電極４５は各々電気的に変形可能な薄膜部５
５の上部及び下部に位置し、前記弾性部３５は第２薄膜
電極４５の下部に位置する。前記第１薄膜電極６５は薄
膜アクチュエーテッドミラー１０１で共通バイアス電極
の機能をして、第２薄膜電極４５は各薄膜アクチュエー
テッドミラー１０１で信号伝達機能をする。各支持部２
２は各駆動構造９５を支持することによって各区づ構造
９５を正位置に固定し、タングステン（Ｗ）などの金属
からなるコンジット２４を含んで各駆動構造９５の第２
薄膜電極４５及び能動マトリックス１０の各接続端子１
４を電気的に接続される。更に、アルミニウム（Ａｌ）
などの光反射物質からなる各ミラー７５は各駆動構造９
５の上部に位置する。
【０００６】前記薄膜アクチュエーテッドミラー１０１
のアレイ１００において、電気信号が各駆動構造９５の
第１薄膜電極６５及び第２薄膜電極の間に位置する電気
的に変形可能な薄膜部５５に印加されて、電気的に変形
可能な薄膜部５５の変形を起こして、駆動構造９５の上
部に位置するミラー７５も変形されて入射する光束の光
路を変える。
のアレイ１００において、電気信号が各駆動構造９５の
第１薄膜電極６５及び第２薄膜電極の間に位置する電気
的に変形可能な薄膜部５５に印加されて、電気的に変形
可能な薄膜部５５の変形を起こして、駆動構造９５の上
部に位置するミラー７５も変形されて入射する光束の光
路を変える。
【０００７】前記薄膜アクチュエーテッドミラー１０１
のアレイ１００には多くの問題がある。各駆動構造９５
の第１薄膜電極６５がアレイ１００で同じ列（ｒｏｗま
たはｃｏｌｕｍｎ）に位置する他の第１薄膜電極（図示
せず）と接続されているために、もし、駆動構造９５中
の一つが短絡（ショート）などの理由によって駆動でき
ない場合、アレイ１００で同じ列に位置する他の全ての
駆動構造９５も駆動できなくなる。
のアレイ１００には多くの問題がある。各駆動構造９５
の第１薄膜電極６５がアレイ１００で同じ列（ｒｏｗま
たはｃｏｌｕｍｎ）に位置する他の第１薄膜電極（図示
せず）と接続されているために、もし、駆動構造９５中
の一つが短絡（ショート）などの理由によって駆動でき
ない場合、アレイ１００で同じ列に位置する他の全ての
駆動構造９５も駆動できなくなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の主な
目的は、各薄膜アクチュエーテッドミラーの第１薄膜電
極がアレイで同じ列（ｒｏｗまたはｃｏｌｕｍｎ）に位
置する他の薄膜アクチュエータと分離されて各薄膜アク
チュエータにバイアス信号が個別に印加されるようにす
る光投射システム用Ｍ×Ｎ個の薄膜アクチュエータミラ
ーのアレイを提供することである。
目的は、各薄膜アクチュエーテッドミラーの第１薄膜電
極がアレイで同じ列（ｒｏｗまたはｃｏｌｕｍｎ）に位
置する他の薄膜アクチュエータと分離されて各薄膜アク
チュエータにバイアス信号が個別に印加されるようにす
る光投射システム用Ｍ×Ｎ個の薄膜アクチュエータミラ
ーのアレイを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明によれば、光投射システムに用いられ、入
射する光ビームの光路を偏向させ得るＭ×Ｎ個の薄膜ア
クチュエーテッドミラーアレイであって、Ｍ×Ｎ個の接
続端子のアレイ及びＭ×Ｎ個のトランジスタのアレイを
有する基板を含む能動マトリックスであって、前記接続
端子の中のいずれか一つがバイアスソースに独立的に接
続されており、その他の接続端子の中のいずれか一つが
各薄膜アクチュエーテッドミラーに電気信号を供給する
ためのトランジスタのアレイの中の一つに電気的に接続
される、前記能動マトリックスと、各駆動構造が第１薄
膜電極、電気的に変形可能な薄膜部、第２薄膜電極、弾
性部と、第１及び第２コンジットを含み、前記第１薄膜
電極が電気的に変形可能な薄膜部の上部に位置して、前
記電気的に変形可能な薄膜部が第２薄膜電極の上部に位
置して、前記第２薄膜電極が弾性部の上部に位置し、前
記各駆動構造が駆動部分及び光反射部分からなり、前記
駆動部分はバイアス信号及び電気信号を各々受けるため
の第１及び第２パートを含むＭ×Ｎ個の駆動構造のアレ
イであって、前記第２薄膜電極は駆動部分の第１パート
の第２薄膜電極の一部分を第２薄膜電極の残り部分から
電気的に孤立させるストライプを有し、駆動部分の第１
パートは第１パートの第２薄膜電極の電気的に孤立され
た部分が第１薄膜電極と電気的に接触されるのみなら
ず、第１コンジットを通じてバイアスソースに電気的に
接続されるように形成されて第１薄膜電極がミラー及び
バイアス電極の機能をするようにして、前記第２パート
の第２薄膜電極は第２コンジットを通じてトランジスタ
に電気的に接続されて信号電極の機能をするようにする
前記駆動構造のアレイとを含むことを特徴とする。
めに、本発明によれば、光投射システムに用いられ、入
射する光ビームの光路を偏向させ得るＭ×Ｎ個の薄膜ア
クチュエーテッドミラーアレイであって、Ｍ×Ｎ個の接
続端子のアレイ及びＭ×Ｎ個のトランジスタのアレイを
有する基板を含む能動マトリックスであって、前記接続
端子の中のいずれか一つがバイアスソースに独立的に接
続されており、その他の接続端子の中のいずれか一つが
各薄膜アクチュエーテッドミラーに電気信号を供給する
ためのトランジスタのアレイの中の一つに電気的に接続
される、前記能動マトリックスと、各駆動構造が第１薄
膜電極、電気的に変形可能な薄膜部、第２薄膜電極、弾
性部と、第１及び第２コンジットを含み、前記第１薄膜
電極が電気的に変形可能な薄膜部の上部に位置して、前
記電気的に変形可能な薄膜部が第２薄膜電極の上部に位
置して、前記第２薄膜電極が弾性部の上部に位置し、前
記各駆動構造が駆動部分及び光反射部分からなり、前記
駆動部分はバイアス信号及び電気信号を各々受けるため
の第１及び第２パートを含むＭ×Ｎ個の駆動構造のアレ
イであって、前記第２薄膜電極は駆動部分の第１パート
の第２薄膜電極の一部分を第２薄膜電極の残り部分から
電気的に孤立させるストライプを有し、駆動部分の第１
パートは第１パートの第２薄膜電極の電気的に孤立され
た部分が第１薄膜電極と電気的に接触されるのみなら
ず、第１コンジットを通じてバイアスソースに電気的に
接続されるように形成されて第１薄膜電極がミラー及び
バイアス電極の機能をするようにして、前記第２パート
の第２薄膜電極は第２コンジットを通じてトランジスタ
に電気的に接続されて信号電極の機能をするようにする
前記駆動構造のアレイとを含むことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適実施について
図面を参照しながらより詳しく説明する。図２、図３及
び図４は本発明による光投射システム用Ｍ×Ｎ個の薄膜
アクチュエーテッドミラー３０１のアレイ３００の平面
図及び一対の断面図を各々示す（ここで、ＭとＮは整
数）。図２、図３及び図４に示した同一の部分は同様の
参照番号によって示される。
図面を参照しながらより詳しく説明する。図２、図３及
び図４は本発明による光投射システム用Ｍ×Ｎ個の薄膜
アクチュエーテッドミラー３０１のアレイ３００の平面
図及び一対の断面図を各々示す（ここで、ＭとＮは整
数）。図２、図３及び図４に示した同一の部分は同様の
参照番号によって示される。
【００１１】図２には、本発明によるＭ×Ｎ個の薄膜ア
クチュエーテッドミラー３０１のアレイ３００の平面図
を示す。ここで、アレイ３００は能動マトリックス２１
０及びＭ×Ｎ個の駆動構造２００のアレイを含む。
クチュエーテッドミラー３０１のアレイ３００の平面図
を示す。ここで、アレイ３００は能動マトリックス２１
０及びＭ×Ｎ個の駆動構造２００のアレイを含む。
【００１２】能動マトリックス２１０は絶縁物質からな
る基板２１２を含み、Ｍ×Ｎ組の接続端子２１４、２１
５のアレイ及びＭ×Ｎ個のトランジスタ（図示せず）の
アレイを有する。ここで各組で接続端子２１４は個別的
にバイアスソース（図示せず）に電気的に接続されてお
り、各組で接続端子２１５は各駆動構造２００に電気信
号を供給するためのトランジスタの列のうち、一つに電
気的に接続されている。
る基板２１２を含み、Ｍ×Ｎ組の接続端子２１４、２１
５のアレイ及びＭ×Ｎ個のトランジスタ（図示せず）の
アレイを有する。ここで各組で接続端子２１４は個別的
にバイアスソース（図示せず）に電気的に接続されてお
り、各組で接続端子２１５は各駆動構造２００に電気信
号を供給するためのトランジスタの列のうち、一つに電
気的に接続されている。
【００１３】各駆動構造２００は駆動部分４００及び光
反射部分４０１を含む。ここで駆動部分４００はバイア
ス信号及び電気信号を受けた通路として各々利用される
第１パート２８０及び第２パート２８５を有する。
反射部分４０１を含む。ここで駆動部分４００はバイア
ス信号及び電気信号を受けた通路として各々利用される
第１パート２８０及び第２パート２８５を有する。
【００１４】図３及び図４は、各々図２に示された各薄
膜アクチュエーテッドミラー３０１の第１パート２８０
及び第２パート２８５を説明する断面図を示したもので
ある。
膜アクチュエーテッドミラー３０１の第１パート２８０
及び第２パート２８５を説明する断面図を示したもので
ある。
【００１５】各駆動構造２００は、導電性物質で光反射
をする物質からなる第１薄膜電極２６５、圧電または電
歪物質からなる電気的に変形可能な薄膜部２５５、導電
性物質からなる第２薄膜電極２４５、絶縁物質からなる
弾性部２３５及び金属からなる第１電極及び第２電極
（コンジット２２６，２２７）を含む。各駆動構造２０
０で、第１薄膜電極２６５は電気的に変形可能な薄膜部
２５５の上部に形成されており、第２薄膜電極２４５は
弾性部２３５の上部に形成されている。ストライプ２４
７は駆動部分４００の第１パート２８０の第２薄膜電極
２４５の部分を第２薄膜電極の残り部分から電気的に孤
立するように第２薄膜電極２４５に形成されている。更
に、各駆動構造２００は第１パート２８０の第１薄膜電
極２６５がバイアスソースに接続された接続端子２１４
及び第１コンジット２２６を通じてバイアスソースに電
気的に接続される部分４００の第１パート２８０の第２
薄膜電極２４５の電気的に孤立された部分と電気的に接
触されるように形成されて、第１薄膜電極２６５がミラ
ー及びバイアス電極の機能をするようにする。第２薄膜
電極２４５の残り部分はトランジスタに電気的に接続さ
れた接続端子２１５に第２コンジット２２７を通じて電
気的に接続されて、信号電極の機能をするようにする。
をする物質からなる第１薄膜電極２６５、圧電または電
歪物質からなる電気的に変形可能な薄膜部２５５、導電
性物質からなる第２薄膜電極２４５、絶縁物質からなる
弾性部２３５及び金属からなる第１電極及び第２電極
（コンジット２２６，２２７）を含む。各駆動構造２０
０で、第１薄膜電極２６５は電気的に変形可能な薄膜部
２５５の上部に形成されており、第２薄膜電極２４５は
弾性部２３５の上部に形成されている。ストライプ２４
７は駆動部分４００の第１パート２８０の第２薄膜電極
２４５の部分を第２薄膜電極の残り部分から電気的に孤
立するように第２薄膜電極２４５に形成されている。更
に、各駆動構造２００は第１パート２８０の第１薄膜電
極２６５がバイアスソースに接続された接続端子２１４
及び第１コンジット２２６を通じてバイアスソースに電
気的に接続される部分４００の第１パート２８０の第２
薄膜電極２４５の電気的に孤立された部分と電気的に接
触されるように形成されて、第１薄膜電極２６５がミラ
ー及びバイアス電極の機能をするようにする。第２薄膜
電極２４５の残り部分はトランジスタに電気的に接続さ
れた接続端子２１５に第２コンジット２２７を通じて電
気的に接続されて、信号電極の機能をするようにする。
【００１６】本発明によるＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエー
テッドミラー３０１のアレイ３００で、第１薄膜電極２
６５が個別的に接続端子２１４、第１コンジット２２６
及び駆動部分４００の第１パート２８０の第２薄膜電極
２４５の電気的に孤立された部分を通じてバイアスソー
スに電気的に接続されており、第２薄膜電極２４５は駆
動部分４００の第２パート２８５の第２コンジット２２
７及び接続端子２１５を通じて個別的にトランジスタの
うち、一つに電気的に接続されているため、各駆動構造
２００はアレイ３００の同じ列（ｒｏｗまたはｃｏｌｕ
ｍｎ）に位置する他の駆動構造２００と電気的に切り離
されるようにする。従って、本発明によるアレイ３００
は駆動構造２００と電気的に分離されて各薄膜アクチュ
エーテッドミラー３０１にバイアス信号及び電気信号を
各々個別的に印加される。従って、本発明によるアレイ
３００は駆動構造２００のうちの一つがショートによっ
て駆動できなくなってもアレイ３００で同じ列に位置す
る他の全ての駆動構造２００はそれによって影響は受け
ない。上記において、本発明の特定の実施例について説
明したが、本明細書に記載した特許請求の範囲を逸脱す
ることなく、当業者は種々の変更を加え得ることは勿論
である。
テッドミラー３０１のアレイ３００で、第１薄膜電極２
６５が個別的に接続端子２１４、第１コンジット２２６
及び駆動部分４００の第１パート２８０の第２薄膜電極
２４５の電気的に孤立された部分を通じてバイアスソー
スに電気的に接続されており、第２薄膜電極２４５は駆
動部分４００の第２パート２８５の第２コンジット２２
７及び接続端子２１５を通じて個別的にトランジスタの
うち、一つに電気的に接続されているため、各駆動構造
２００はアレイ３００の同じ列（ｒｏｗまたはｃｏｌｕ
ｍｎ）に位置する他の駆動構造２００と電気的に切り離
されるようにする。従って、本発明によるアレイ３００
は駆動構造２００と電気的に分離されて各薄膜アクチュ
エーテッドミラー３０１にバイアス信号及び電気信号を
各々個別的に印加される。従って、本発明によるアレイ
３００は駆動構造２００のうちの一つがショートによっ
て駆動できなくなってもアレイ３００で同じ列に位置す
る他の全ての駆動構造２００はそれによって影響は受け
ない。上記において、本発明の特定の実施例について説
明したが、本明細書に記載した特許請求の範囲を逸脱す
ることなく、当業者は種々の変更を加え得ることは勿論
である。
【００１７】
【発明の効果】従って、本発明によれば、第１薄膜電極
が個別的に接続端子、第１コンジット及び駆動部分の第
１パートの第２薄膜電極の電気的に孤立された部分を通
じてバイアスソースに電気的に接続され、第２薄膜電極
は駆動部分の第２パートの第２コンジット及び接続端子
を通じて個別的にトランジスタのうちの一つに電気的に
接続されているため、各駆動構造はアレイで同じ列（ｒ
ｏｗまたはｃｏｌｕｍｎ）に位置する他の駆動構造と電
気的に分離されて各々薄膜アクチュエーテッドミラーに
バイアス信号及び電気信号を各々個別的に印加されて、
さらに、駆動構造の内の一つがショートによって駆動で
きなくなってもアレイで同じ列に位置する他の全ての駆
動構造はそれによって影響を受けなくなる。
が個別的に接続端子、第１コンジット及び駆動部分の第
１パートの第２薄膜電極の電気的に孤立された部分を通
じてバイアスソースに電気的に接続され、第２薄膜電極
は駆動部分の第２パートの第２コンジット及び接続端子
を通じて個別的にトランジスタのうちの一つに電気的に
接続されているため、各駆動構造はアレイで同じ列（ｒ
ｏｗまたはｃｏｌｕｍｎ）に位置する他の駆動構造と電
気的に分離されて各々薄膜アクチュエーテッドミラーに
バイアス信号及び電気信号を各々個別的に印加されて、
さらに、駆動構造の内の一つがショートによって駆動で
きなくなってもアレイで同じ列に位置する他の全ての駆
動構造はそれによって影響を受けなくなる。
【図１】従来のＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラ
ーアレイの断面図である。
ーアレイの断面図である。
【図２】本発明によるＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッ
ドミラーアレイの平面図である。
ドミラーアレイの平面図である。
【図３】図２で示したＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッ
ドミラーアレイを説明する断面図である。
ドミラーアレイを説明する断面図である。
【図４】同じく、図２で示したＭ×Ｎ個の薄膜アクチュ
エーテッドミラーアレイを説明する断面図である。
エーテッドミラーアレイを説明する断面図である。
２１０ 能動マトリックス ２１２ 基板 ２１４、２１５ 接続端子 ２２６、２２７ 第１及び第２コンジット ２３５ 弾性部 ２４５ 第２薄膜電極 ２４７ ストライプ ２５５ 電気的に変形可能な薄膜部 ２６５ 第１薄膜電極 ２８０ 第１パート ２８５ 第２パート ４００ 駆動部分 ４０１ 光反射部分 ２００ 駆動構造 ３０１ 薄膜アクチュエーテッドミラー
Claims (6)
- 【請求項１】 光投射システムに用いられ、入射する光
ビームの光路を偏向させ得るＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエ
ーテッドミラーアレイであって、 Ｍ×Ｎ個の接続端子のアレイ及びＭ×Ｎ個のトランジス
タのアレイを有する基板を含む能動マトリックスであっ
て、前記接続端子の中のいずれか一つがバイアスソース
に独立的に接続されており、その他の接続端子の中のい
ずれか一つが各薄膜アクチュエーテッドミラーに電気信
号を供給するためのトランジスタのアレイの中の一つに
電気的に接続される、前記能動マトリックスと、 各駆動構造が第１薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜
部、第２薄膜電極、弾性部、第１及び第２コンジットを
含み、前記第１薄膜電極が電気的に変形可能な薄膜部の
上部に位置して、前記電気的に変形可能な薄膜部が第２
薄膜電極の上部に位置して、前記第２薄膜電極が弾性部
の上部に位置し、前記各駆動構造が駆動部分及び光反射
部分からなり、前記駆動部分はバイアス信号及び電気信
号を各々受けるための第１及び第２パートを含むＭ×Ｎ
個の駆動構造のアレイであって、前記第２薄膜電極は駆
動部分の第１パートの第２薄膜電極の一部分を第２薄膜
電極の残り部分から電気的に孤立させるストライプを有
し、駆動部分の第１パートは第１パートの第２薄膜電極
の電気的に孤立された部分が第１薄膜電極と電気的に接
触されるのみならず、第１コンジットを通じてバイアス
ソースに電気的に接続されるように形成されて第１薄膜
電極がミラー及びバイアス電極の機能をするようにし
て、前記第２パートの第２薄膜電極は第２コンジットを
通じてトランジスタに電気的に接続されて信号電極の機
能をするようにする前記駆動構造のアレイとを含むこと
を特徴とするＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラー
アレイ。 - 【請求項２】 前記第１薄膜電極が導電性で、且つ光反
射性の物質からなることを特徴とする請求項１に記載の
Ｍ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。 - 【請求項３】 前記第２薄膜電極が、導電性の物質から
なることを特徴とする請求項１に記載のＭ×Ｎ個の薄膜
アクチュエーテッドミラーアレイ。 - 【請求項４】 前記電気的に変形可能な薄膜部が、圧電
性材料または電歪性物質からなることを特徴とする請求
項１に記載のＭ×Ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラー
アレイ。 - 【請求項５】 前記弾性部が、絶縁性物質からなること
を特徴とする請求項１に記載のＭ×Ｎ個の薄膜アクチュ
エーテッドミラーアレイ。 - 【請求項６】 前記第１及び第２コンジットが、金属か
らなることを特徴とする請求項１に記載のＭ×Ｎ個の薄
膜アクチュエーテッドミラーアレイ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950013359A KR0159416B1 (ko) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 광로 조절 장치 |
| KR95-13359 | 1995-05-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095608A true JPH095608A (ja) | 1997-01-10 |
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ID=19415494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8116132A Pending JPH095608A (ja) | 1995-05-26 | 1996-05-10 | Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ |
Country Status (5)
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| JP (1) | JPH095608A (ja) |
| KR (1) | KR0159416B1 (ja) |
| CN (1) | CN1160221A (ja) |
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Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (5)
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-
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- 1996-05-13 CN CN96105159A patent/CN1160221A/zh active Pending
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| US5708524A (en) | 1998-01-13 |
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