FR3101921A1 - Pompe à vide sèche et procédé de fabrication - Google Patents

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Abstract

Une pompe à vide sèche comporte un stator (2) et deux rotors (5) reçus dans au moins une chambre de compression (3) du stator (2), les rotors (5) étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide. Les rotors (5) et la chambre de compression (3) du stator (2) sont revêtus d’un revêtement de nickel-phosphore (11) comprenant entre 9% et 14% de phosphore et présentant une épaisseur supérieure à 20μm, le revêtement de nickel-phosphore (11) ayant subi un traitement thermique de durcissement comprenant une étape de chauffage à une température de traitement supérieure à 250°C pendant une durée de traitement supérieure à une heure, pour présenter une dureté supérieure à 700HV. Figure d’abrégé : Figure 2

Description

Pompe à vide sèche et procédé de fabrication
L’invention concerne une pompe à vide sèche, telle qu’une pompe à vide de type « Roots » ou « Claw » ou encore de type à spirale ou à vis ou d’un autre principe similaire. L’invention concerne aussi un procédé de fabrication d’une telle pompe à vide.
Les pompes à vide sèches peuvent être utilisées pour évacuer des gaz corrosifs ou des particules particulièrement agressives, tels que des gaz de type halogéné ou des particules abrasives, provenant notamment de sous-produits de réactions de certains procédés de fabrication. Des couches de corrosion peuvent se former à la surface des pièces des pompes à vide, ce qui peut réduire les jeux de fonctionnement entre les rotors et le stator et modifier les performances des pompes à vide.
On utilise généralement des revêtements de Nickel ou des revêtements polymères de type téflon pour protéger la fonte des attaques corrosives.
Ces solutions ne sont toutefois pas réellement satisfaisantes. En effet, la ductilité intrinsèque de ces revêtements fait que, au moindre petit choc ou touche, le revêtement subit une déformation plastique générant un amas de matière de type bourrelet entre les pièces, pouvant risquer d’entrainer le grippage de la pompe.
Un autre inconvénient de ce type de revêtement est que, s’il améliore la tenue de la fonte vis-à-vis des gaz corrosifs, il ne protège pas forcément la pompe à vide contre l’abrasion.
Une autre solution consiste à abaisser la température de la pompe à vide afin d’abaisser la température des gaz pompés et ainsi réduire l’activation thermique de la cinétique de corrosion. Cependant, l’abaissement de la température des gaz favorise leur condensation ou solidification, notamment des précurseurs, gaz vecteurs, ou autre sous-produits de réaction. La formation de dépôts peut alors augmenter, notamment la formation de dépôts de type polymères, métaux ou oxydes, ce qui peut également risquer d’engendrer un grippage de la pompe à vide.
Il est aussi connu d’utiliser des fontes enrichies en Nickel, de type Ni-resist. Ces fontes présentent l’avantage d’être beaucoup plus résistantes à la corrosion et à l’oxydation que les fontes traditionnelles. Ce matériau ne peut toutefois pas se substituer aisément à la fonte classique pour réaliser les pièces de la pompe à vide, car il est difficile à usiner et il présente un cout très élevé.
Un but de la présente invention est de remédier au moins partiellement aux inconvénients précités, notamment en proposant une pompe à vide résistante face aux gaz corrosifs et aux poudres abrasives et qui ne soit pas trop couteuse.
A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide sèche comportant un stator et deux rotors reçus dans au moins une chambre de compression du stator, les rotors étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide, caractérisée en ce que les rotors et la chambre de compression du stator sont revêtus d’un revêtement de nickel-phosphore comprenant entre 9% et 14% de phosphore et présentant une épaisseur supérieure à 20μm, le revêtement de nickel-phosphore ayant subi un traitement thermique de durcissement comprenant une étape de chauffage à une température de traitement supérieure à 250°C pendant une durée de traitement supérieure à une heure, pour présenter une dureté supérieure à 700HV.
Le traitement thermique de durcissement est réalisé pour précipiter et cristalliser des composés du revêtement de nickel-phosphore afin d’augmenter sa dureté. Le durcissement du revêtement par traitement thermique le rend plus cassant du fait de la création de microfissures dans la microstructure du revêtement. En cas de touches mécaniques entre les rotors et le stator ou entre les rotors, le revêtement s’écaille et se disperse sous forme de poussières. Il n’est pas déformé en bourrelets comme le revêtement de l’art antérieur mais s’écaille en fines particules. Ces particules peuvent être facilement évacuées au fur et à mesure par le pompage sans empêcher la pompe à vide de continuer à tourner. Les grippages peuvent ainsi être évités.
Par ailleurs, le revêtement de nickel-phosphore permet d’éviter la formation de couches de corrosion dans la pompe à vide. Le traitement thermique de durcissement du revêtement permet ainsi d’améliorer la tenue de la pompe à vide vis-à-vis des gaz corrosifs et contre l’abrasion.
Il permet également d’augmenter la température de régulation du corps du stator de la pompe à vide pour éviter la condensation-solidification des sous-produits de réaction et donc pour éviter la formation de dépôts d’espèces condensables susceptibles de gripper la pompe à vide.
La pompe à vide sèche peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison.
La durée de traitement est par exemple supérieure à 8 heures. Une durée de traitement supérieure à huit heures permet d’homogénéiser la microstructure du revêtement. Cette durée de traitement permet en outre de limiter les contraintes internes dans le revêtement et ainsi de le rendre plus tenace. De plus, la durée de traitement supérieure à huit heures permet de dégazer le gaz hydrogène piégé dans le revêtement durant la phase du dépôt du revêtement.
La durée de traitement est par exemple inférieure à 15 heures. Une durée de traitement supérieure à 15 heures risque de ne pas permettre d’obtenir les qualités de durcissement recherchées.
La dureté peut être comprise entre 800HVet 1000HV.
La température de traitement peut être inférieure à 350°C.
Le revêtement de nickel-phosphore peut comprendre entre 10% et 13% de phosphore.
Le revêtement de nickel-phosphore présente par exemple une épaisseur inférieure ou égale à 60μm, telle que 25μm +/-5μm.
La pompe à vide comporte par exemple au moins deux étages de pompage définissant chacun une chambre de compression, les chambres de compression des étages de pompage successifs étant raccordées en série par au moins un canal inter-étage ménagé dans le corps de stator également pourvu d’un revêtement de nickel-phosphore.
Plus précisément, le revêtement de nickel-phosphore recouvre par exemple toutes les parois de la pompe à vide susceptibles d’être en contact avec le gaz à pomper.
Le corps du stator et le corps des rotors sont par exemple en fonte ou en acier.
La pompe à vide peut être configurée pour tourner à plus de 40Hz.
L’invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d’une pompe à vide sèche, caractérisé en ce qu’il comporte les étapes suivantes :
- on dépose un revêtement de nickel-phosphore comprenant entre 9 et 14% de phosphore et présentant une épaisseur supérieure à 20μm sur une paroi interne du stator et sur les parois des rotors, et
- on traite thermiquement le revêtement de nickel-phosphore du stator et des rotors avec une étape de chauffage à une température de traitement supérieure à 250°C pendant une durée de traitement supérieure à une heure, pour présenter une dureté supérieure à 700HV, comme par exemple comprise entre 800HVet 1000HV.
Le procédé de fabrication peut comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prise seule ou en combinaison.
La durée de traitement est par exemple supérieure à 8 heures et/ou inférieure à 15 heures.
Le traitement thermique de durcissement peut comporter au moins une étape de montée en température au cours de laquelle la consigne de température est augmentée de la température ambiante à la température de traitement avec une vitesse de montée comprise entre 1°C/min et 3°C/min. Ces vitesses de montée en température permettent d’obtenir un compromis acceptable entre une durée de traitement assez courte pour un processus industriel et une vitesse suffisamment lente pour éviter la création d’efforts trop violents à l’interface située entre le revêtement de nickel-phosphore et la paroi du stator ou à l’interface située entre le revêtement de nickel-phosphore et les parois des rotors. En effet, les coefficients de dilatation thermique sont légèrement différents.
Le revêtement de nickel-phosphore est par exemple déposé sur les parois internes du stator et les parois des rotors par une technique d’immersion du corps de stator et des corps de rotors.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple, sans caractère limitatif, en regard des dessins annexés sur lesquels:
La figure 1 représente une vue très schématique d’éléments d’une pompe à vide sèche, dont seuls les trois quarts du stator du premier étage de pompage sont représentés.
La figure 2 montre une vue très schématique en coupe transversale d’un étage de pompage de la pompe à vide de la figure 1.
La figure 3 est un graphique montrant un exemple de profil de consigne de température d’un traitement thermique de durcissement avec la température (en °C) en ordonnée en fonction du temps (en heure) en abscisse.
La figure 4a montre une photographie microscopique à balayage d’un revêtement de nickel-phosphore ayant subi un traitement thermique de durcissement.
La figure 4b est une photographie agrandie d’un détail de la figure 4a.
La figure 5a montre un échantillon de revêtement de l’art antérieur dans lequel on a réalisé une rainure.
La figure 5b montre un échantillon de revêtement de nickel-phosphore ayant subi un traitement thermique de durcissement et dans lequel on a réalisé une rainure similaire à celle réalisée dans le revêtement de la figure 5a.
Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence.
Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations.
Pour faciliter la compréhension, seuls les éléments nécessaires au fonctionnement de la pompe ont été représentés.
L’invention s’applique à tout type de pompe à vide 1 sèche comportant un ou plusieurs étages, telle qu’une pompe à vide de type « Roots », une pompe à vide à double bec ou « Claw » ou de type à spirale ou à vis ou d’un autre principe similaire, notamment utilisées dans certains procédés de fabrication, comme la fabrication des circuits intégrés, les cellules solaires photovoltaïques, les écrans plats d’affichage (Flat Panel Display en Anglais), les diodes electro-luminescentes pour l’éclairage (Light Emitting Diode en Anglais), ces procédés comportant des étapes nécessitant d'évacuer des gaz réactifs corrosifs de chambres de procédé, l’entrée de la pompe à vide étant raccordée à la chambre de procédé et la sortie étant raccordée à des dispositifs de traitement de gaz, avant rejet des gaz traités dans l'atmosphère.
La Figure 1 représente un exemple de réalisation d’une pompe à vide 1 sèche, telle qu’une pompe à vide 1 primaire configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique.
La pompe à vide 1 comporte un stator 2 (ou corps de pompe) formant au moins un étage de pompage 1a-1e.
La pompe à vide 1 comporte par exemple au moins deux étages de pompage 1a-1e montés en série entre une aspiration 4 et un refoulement de la pompe à vide 1 et dans lesquels un gaz à pomper peut circuler (le sens de circulation des gaz pompés est illustré par les flèches G sur la Figure 1). L’étage de pompage 1a communiquant avec l’aspiration 4 de la pompe à vide 1 est l’étage de plus basse pression et l’étage de pompage 1e communiquant avec le refoulement est l’étage de plus haute pression.
Dans l’exemple illustratif, la pompe à vide 1 comporte cinq étages de pompage 1a-1e.
Chaque étage de pompage 1a-1e définit une chambre de compression 3 du stator 2 recevant deux rotors 5 de la pompe à vide 1, les chambres 3 comprenant une entrée 6 et une sortie 7 respectives (Figure 2). Les chambres de compression 3 des étages de pompage 1a-1e successifs sont raccordés en série les unes à la suite des autres par au moins un canal inter-étage 8 respectif raccordant la sortie 7 de l'étage de pompage qui précède à l'entrée 6 de l'étage qui suit. Les canaux inter-étages 8 sont par exemple ménagés dans le corps 9 du stator 2, par exemple à côté de la chambre de compression 3. Il y a par exemple deux canaux inter-étages 8 par étage de pompage, raccordés en parallèle entre la sortie 7 et l’entrée 6 et agencés de part et d’autre de la chambre de compression 3.
Les rotors 5 présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » ou de type « Claw » ou sont de type à vis ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique.
Les rotors 5 sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans les étages de pompage 1a-1e (Figure 2). Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée 6 est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 5 et la chambre de compression 3 du stator 2 de l’étage de pompage, puis est comprimé et entraîné par les rotors 5 vers l’étage suivant.
Les rotors 5 sont entraînés en rotation par un moteur de la pompe à vide 1 situé par exemple à une extrémité. La pompe à vide 1 est notamment configuré pour tourner à plus de 40Hz, tel qu’entre 50Hz et 150Hz.
La pompe à vide 1 est dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors 5 tournent à l’intérieur du stator 2 sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator 2, ce qui permet l’absence d’huile dans les chambres de compression 3.
Le corps 9 du stator 2 et les corps 10 des rotors 5 sont par exemple en fonte ou en acier. Ils sont par exemple en fonte à graphite sphéroïdale, telle qu’une fonte ferritique également appelée fonte FGS.
Au cours du procédé de fabrication d’une pompe à vide 1, on dépose un revêtement de nickel-phosphore 11 sur la paroi interne du corps 9 du stator 2 et sur les parois des corps 10 des rotors 5.
On dépose par exemple le revêtement de nickel-phosphore 11 sur toutes les parois de la pompe à vide 1 susceptibles d’être en contact avec le gaz à pomper, notamment sur les parois internes des chambres de compression 3 et sur les parois des canaux inter-étages 8 qui sont ménagés dans le corps 9 de stator 2.
Le revêtement de nickel-phosphore 11 est par exemple déposé par une technique d’immersion du corps 9 de stator 2 et des corps 10 de rotors 5.
Le revêtement de nickel-phosphore 11 comprend entre 9% et 14% de phosphore en masse, tel qu’entre 10% et 13% de phosphore. Il présente en outre une épaisseur e supérieure à 20μm.
Puis, on traite thermiquement le revêtement de nickel-phosphore 11 du stator 2 et des rotors 5 avec une étape de chauffage 102 à une température de traitement T supérieure à 250°C pendant une durée de traitement D supérieure à une heure pour présenter une dureté supérieure à 700HV(Dureté Vickers sous une charge de 0,1kgf), comme par exemple une dureté comprise entre 800HVet 1000HV.
Ce traitement thermique de durcissement est réalisé pour précipiter et cristalliser des composés du revêtement de nickel-phosphore 11 pour augmenter sa dureté. Le traitement thermique de durcissement doit être réalisé sur le revêtement de nickel-phosphore 11 du stator 2 et sur le revêtement de nickel-phosphore 11 des rotors 5 afin de bénéficier de l’amélioration du coefficient de frottement entre les deux.
L’épaisseur e est par exemple inférieure ou égale à 60μm, telle que 25μm +/-5μm (Figure 4a). Une épaisseur e supérieure augmente le cout et le temps de dépôt du revêtement de nickel-phosphore 11.
La température de traitement T de l’étape de chauffage 102 est par exemple inférieure à 350°C. Elle est par exemple de 300°C +/- 20°C.
La durée de traitement D de l’étape de chauffage 102 est par exemple supérieure à huit heures. Elle est par exemple inférieure à 15 heures.
Une durée de traitement D supérieure à huit heures permet d’homogénéiser la microstructure du revêtement 11. Cette durée de traitement D permet en outre de limiter les contraintes internes dans le revêtement 11 et ainsi de le rendre plus tenace. De plus, la durée de traitement D supérieure à huit heures permet de dégazer le gaz hydrogène piégé dans le revêtement 11 durant la phase du dépôt du revêtement 11.
En revanche, une durée de traitement D supérieure à 15 heures risque de ne pas permettre d’obtenir les qualités de durcissement recherchées.
La proportion de phosphore comprise entre 9 et 14% de phosphore, est appelée « haut phosphore » par opposition aux proportions dites « bas phosphore » comportant entre 1 et 3% en masse de phosphore ou « moyen phosphore » comportant entre 6 et 8% de phosphore.
Cette proportion haute de phosphore permet d’obtenir le comportement de dureté souhaité avec ledit traitement de thermique de durcissement : la dureté du revêtement de nickel-phosphore 11 « haut phosphore » augmente et se stabilise sensiblement à un niveau haut tandis qu’il aurait tendance à augmenter plus vite en dureté mais à diminuer ensuite avec la durée de traitement pour un revêtement de type « bas phosphore ».
Le traitement thermique de durcissement est par exemple réalisé dans un four industriel.
Le traitement thermique de durcissement peut comporter par exemple au moins une étape de montée en température 101 au cours de laquelle la consigne de température est augmentée de la température ambiante à la température de traitement avec une vitesse de montée comprise entre 1°C/min et 3°C/min.
Ces vitesses de montée en température permettent d’obtenir un compromis acceptable entre une durée de traitement assez courte pour un processus industriel et une vitesse suffisamment lente pour éviter la création d’efforts trop violents à l’interface située entre le revêtement de nickel-phosphore 11 et la paroi interne du stator 2 ou à l’interface située entre le revêtement de nickel-phosphore 11 et les corps 10 des rotors 5. En effet, les coefficients de dilatation thermique sont légèrement différents.
La Figure 3 montre un exemple de profil de consignes de température au cours d’un traitement thermique de durcissement.
Si la température de traitement de l’étape de chauffage 102 effectivement obtenue dans un four industriel peut être relativement stable, la température peut être assez variable pendant les étapes de montée et de descente en température ainsi qu’au cours des phases transitoires, notamment lors des phases de stabilisation de paliers, en particulier du fait de l’inertie relativement importante des fours.
Le profil de consignes de température comporte une première étape de montée en température 101 de deux heures au cours de laquelle la consigne de température est augmentée depuis la température ambiante jusqu’à la température de traitement.
Puis, le traitement thermique de durcissement comprend l’étape de chauffage 102 proprement dite, au cours de laquelle la température de traitement est maintenue à plus de 250°C, ici à 300°C pendant plus d’une heure, comme par exemple pendant plus de 8 heures, ici pendant 12 heures.
Enfin le traitement thermique de durcissement comporte une étape de baisse de température 105 de deux heures au cours de laquelle la consigne de température est abaissée de 300°C à 200°C.
Puis le chauffage est arrêté afin de laisser le stator 2 et les rotors 5 se refroidir jusqu’à la température ambiante.
Le durcissement du revêtement 11 par traitement thermique le rend plus cassant du fait de la création de microfissures dans la microstructure du revêtement 11 (Figures 4a, 4b).
En cas de touches mécaniques entre les rotors 5 et le stator 2 ou entre les rotors 5, le revêtement 11 s’écaille et se disperse sous forme de poussières. Ceci est illustré sur la Figure 5b montrant un échantillon de revêtement de nickel-phosphore ayant subi un traitement thermique de durcissement et dans lequel on a réalisé une rainure. Les bords de la rainure se sont écaillés et dispersés. Le revêtement ne s’est pas déformé en bourrelets comme montré sur la Figure 5a d’un revêtement sans traitement thermique de durcissement.
Les particules susceptible d’être générées en cours d’utilisation du fait d’une touche entre les rotors 5 et le stator 2 ou entre les rotors 5 peuvent donc être facilement évacuées au fur et à mesure par le pompage sans empêcher la pompe à vide 1 de continuer à tourner. Les grippages peuvent ainsi être évités.
Par ailleurs, le revêtement de nickel-phosphore 11 permet d’éviter la formation de couches de corrosion dans la pompe à vide 1. Le traitement thermique de durcissement du revêtement 11 permet ainsi d’améliorer la tenue de la pompe à vide 1 vis-à-vis des gaz corrosifs et contre l’abrasion.
Il permet également d’augmenter la température de régulation du corps 9 du stator 2 de la pompe à vide 1 pour éviter la condensation-solidification des sous-produits de réaction et donc pour éviter la formation de dépôts d’espèces condensables susceptibles de gripper la pompe à vide 1.
Le revêtement de nickel-phosphore 11 durci permet donc de réduire les risques de survenues de grippage de la pompe à vide 1.

Claims (15)

  1. Pompe à vide (1) sèche comportant un stator (2) et deux rotors (5) reçus dans au moins une chambre de compression (3) du stator (2), les rotors (5) étant configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper entre une aspiration (4) et un refoulement de la pompe à vide (1), caractérisée en ce que les rotors (5) et la chambre de compression (3) du stator (2) sont revêtus d’un revêtement de nickel-phosphore (11) comprenant entre 9% et 14% de phosphore et présentant une épaisseur (e) supérieure à 20μm, le revêtement de nickel-phosphore (11) ayant subi un traitement thermique de durcissement comprenant une étape de chauffage (102) à une température de traitement (T) supérieure à 250°C pendant une durée de traitement (D) supérieure à une heure, pour présenter une dureté supérieure à 700HV.
  2. Pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisée en ce que la durée de traitement (D) est supérieure à 8 heures.
  3. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la durée de traitement (D) est inférieure à 15 heures.
  4. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la dureté est comprise entre 800HVet 1000HV.
  5. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la température de traitement (T) est inférieure à 350°C.
  6. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le revêtement de nickel-phosphore (11) comprend entre 10% et 13% de phosphore.
  7. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le revêtement de nickel-phosphore (11) présente une épaisseur (e) inférieure ou égale à 60μm, telle que 25μm +/-5μm.
  8. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte au moins deux étages de pompage (1a-1e) définissant chacun une chambre de compression (3), les chambres de compression (3) des étages de pompage (1a-1e) successifs étant raccordées en série par au moins un canal inter-étage (8) ménagé dans le corps (9) de stator (2) également pourvu d’un revêtement de nickel-phosphore (11).
  9. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le revêtement de nickel-phosphore (11) recouvre toutes les parois de la pompe à vide (1) susceptibles d’être en contact avec le gaz à pomper.
  10. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le corps (9) du stator (2) et le corps (10) des rotors (5) sont en fonte ou en acier.
  11. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle est configuré pour tourner à plus de 40Hz.
  12. Procédé de fabrication d’une pompe à vide (1) sèche, caractérisé en ce qu’il comporte les étapes suivantes :
    - on dépose un revêtement de nickel-phosphore (11) comprenant entre 9 et 14% de phosphore et présentant une épaisseur (e) supérieure à 20μm sur une paroi interne du stator (2) et sur les parois des rotors (5), et
    - on traite thermiquement le revêtement de nickel-phosphore (11) du stator (2) et des rotors (5) avec une étape de chauffage (102) à une température de traitement (T) supérieure à 250°C pendant une durée de traitement (D) supérieure à une heure, pour présenter une dureté supérieure à 700HV, comme par exemple comprise entre 800HVet 1000HV.
  13. Procédé de fabrication d’une pompe à vide (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la durée de traitement (D) est supérieure à 8 heures et/ou inférieure à 15 heures.
  14. Procédé de fabrication d’une pompe à vide (1) selon l’une des revendications 12 ou 13, caractérisé en ce que le traitement thermique de durcissement comporte au moins une étape de montée en température (101) au cours de laquelle la consigne de température est augmentée de la température ambiante à la température de traitement (T) avec une vitesse de montée comprise entre 1°C/min et 3°C/min.
  15. Procédé de fabrication d’une pompe à vide (1) selon l’une des revendications 12 à 14, caractérisé en ce que le revêtement de nickel-phosphore (11) est déposé par une technique d’immersion du corps (9) de stator (2) et des corps (10) de rotors (5).
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