FR3070220A1 - Cointegration de transistors sur substrat massif, et sur semiconducteur sur isolant - Google Patents
Cointegration de transistors sur substrat massif, et sur semiconducteur sur isolant Download PDFInfo
- Publication number
- FR3070220A1 FR3070220A1 FR1757702A FR1757702A FR3070220A1 FR 3070220 A1 FR3070220 A1 FR 3070220A1 FR 1757702 A FR1757702 A FR 1757702A FR 1757702 A FR1757702 A FR 1757702A FR 3070220 A1 FR3070220 A1 FR 3070220A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- region
- thickness
- layer
- semiconductor material
- transistors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000009413 insulation Methods 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 18
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 61
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1203—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body the substrate comprising an insulating body on a semiconductor body, e.g. SOI
- H01L27/1207—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body the substrate comprising an insulating body on a semiconductor body, e.g. SOI combined with devices in contact with the semiconductor body, i.e. bulk/SOI hybrid circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/84—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being other than a semiconductor body, e.g. being an insulating body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1203—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body the substrate comprising an insulating body on a semiconductor body, e.g. SOI
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
- H01L27/1262—Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or coating of the substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0657—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78603—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film characterised by the insulating substrate or support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/0605—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits made of compound material, e.g. AIIIBV
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/0688—Integrated circuits having a three-dimensional layout
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/80—Field effect transistors with field effect produced by a PN or other rectifying junction gate, i.e. potential-jump barrier
- H01L29/808—Field effect transistors with field effect produced by a PN or other rectifying junction gate, i.e. potential-jump barrier with a PN junction gate, e.g. PN homojunction gate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
L'invention concerne une puce électronique comprenant un premier transistor (BULK) disposé dans et sur un substrat (8) massif, un deuxième transistor (FDSOI) disposé dans et sur une couche de matériau semiconducteur (12) sur isolant (10) d'une première épaisseur et un troisième transistor (PDSOI) disposé dans et sur une couche de matériau semiconducteur (12, 22) sur isolant (10) d'une seconde épaisseur, la seconde épaisseur étant supérieure à la première.
Description
COINTEGRATION DE TRANSISTORS SUR SUBSTRAT MASSIF, ET SUR SEMICONDUCTEUR SUR ISOLANT
Domaine
La présente demande concerne des puces électroniques comprenant des transistors formés dans un substrat massif, et des transistors de type semiconducteur sur isolant (SOI ou Semiconductor On Isolator) .
Exposé de l'art antérieur
Il existe différents types de structures sur lesquelles peuvent être formés des transistors, par exemple des substrats massifs ou des structures SOI. Parmi les transistors formés dans et sur les structures SOI, on distingue deux types de transistors ayant des épaisseurs de couche de silicium différentes.
Des transistors PDSOI (de l'anglais Partially Depleted SOI) sont caractérisés par une couche de silicium dont l'épaisseur est suffisamment grande, par exemple supérieure à 30 nm, pour que, en fonctionnement, la couche de silicium ne soit jamais entièrement déplétée.
Les transistors PDSOI comprennent un canal dopé et une couche d'isolant (BOX) d'épaisseur généralement comprise entre 100 et 200 nm. Les transistors PDSOI sont généralement utilisés en tant que transistors de puissance pour des circuits analogiques.
B16134 - 17-RO-0166
La formation de transistors PDSOI a l'avantage d'être connue et maîtrisée dans l'industrie électronique. Cependant, la réduction des dimensions de tels composants, autres que l'épaisseur de la couche de silicium, en gardant des performances élevées est problématique.
Des transistors FDSOI (de l'anglais Fully Depleted SOI) sont caractérisés par une couche de silicium dont l'épaisseur est suffisamment petite, par exemple inférieure à 20 nm, pour que, dans certains modes de fonctionnement, la couche de silicium soit entièrement déplétée.
Les transistors FDSOI comprennent généralement un canal non dopé ou peu dopé et une couche d'isolant (BOX) d'épaisseur généralement comprise entre 5 et 50 nm. La résistance source/drain de tels transistors est plus élevée que celle des transistors PDSOI.
Les transistors FDSOI sont préférés pour des circuits logiques, pour leur rapidité.
Un avantage des transistors FDSOI est qu'ils ont des courants de fuite et une consommation plus faible que les transistors PDSOI. De plus, il est plus facile d'y contrôler les effets de canal court. Cependant, les faibles dimensions peuvent rendre la fabrication difficile. De plus, la faible épaisseur de
silicium limite les courants électriques. | on trouve | des | ||
Dans | les | circuits intégrés communs, | ||
cointégrations | de | transistors sur substrat | massif et | de |
transistors SOI | d'un | type donné. | ||
Résumé | ||||
On prévoit | ici des puces comprenant des | transistors | sur |
substrat massif, des transistors FDSOI et des transistors PDSOI et on prévoit aussi un procédé pour la réalisation simple de telles puces.
Ainsi, un mode de réalisation prévoit une puce électronique comprenant un premier transistor disposé dans et sur un substrat massif, un deuxième transistor disposé dans et sur une couche de matériau semiconducteur sur isolant d'une première
B16134 - 17-RO-0166 épaisseur et un troisième transistor disposé dans et sur une couche de matériau semiconducteur sur isolant d'une seconde
épaisseur | , la seconde épaisseur étant supérieure à | la première. épaisseur est | ||||||
Selon un mode de | réalisation, | la | première | |||||
inférieure à 20 | nm. | |||||||
Selon | un mode | de | réalisation, | la | première | épaisseur | est | |
comprise | entre | 5 et 20 : | nm. | |||||
Selon | un mode | de | réalisation, | la | première | épaisseur | est | |
égale à 7 | nm à | 10 % près. | ||||||
Selon | un mode | de | réalisation, | la | seconde | épaisseur | est | |
supérieure à 30 | nm. | |||||||
Selon | un mode | de | réalisation, | la | seconde | épaisseur | est | |
comprise | entre | 30 et 50 | nm | • | ||||
Selon | un mode | de | réalisation, | la | seconde | épaisseur | est |
égale à 35 nm à 10 % près.
Un mode de réalisation prévoit un procédé de fabrication sur une même puce, dans une première région d'un premier transistor formé dans un substrat massif, dans une deuxième région d'un deuxième transistor formé dans une couche de matériau semiconducteur sur isolant d'une première épaisseur et dans une troisième région d'un troisième transistor formé dans une couche de matériau semiconducteur sur isolant d'une seconde épaisseur supérieure à la première comprenant : prévoir une structure semiconducteur sur isolant dont la couche de matériau semiconducteur a la première épaisseur ; former des première et seconde couches isolantes sur la structure ; retirer les première et seconde couches isolantes de la première région ; oxyder la couche de matériau semiconducteur de la structure semiconducteur sur isolant dans la première région ; retirer la seconde couche isolante de la troisième région ; retirer au moins partiellement l'oxyde de la première région et la première couche isolante sur la troisième région ; faire croître du silicium sur le substrat de la première région et sur la couche de matériau semiconducteur de la troisième région jusqu'à ce que la couche de matériau semiconducteur de la troisième région atteigne la seconde
B16134 - 17-RO-0166 épaisseur ; et retirer les première et seconde couches isolantes de la deuxième région.
Selon un mode de réalisation, l'oxyde de la première région est entièrement retiré.
Selon un mode de réalisation, une portion de l'oxyde de la première région est conservée.
Selon un mode de réalisation, la première couche isolante est en oxyde de silicium.
Selon un mode de réalisation, la seconde couche isolante est en nitrure de silicium.
Selon un mode de réalisation, la première épaisseur est inférieure à 20 nm.
Selon un mode de réalisation, la seconde épaisseur est supérieure à 30 nm.
Brève description des dessins
Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles :
les figures IA à 1H sont des vues en coupe de trois régions d'une puce à différentes étapes d'un procédé de fabrication de trois types de transistors ; et les figures 2A et 2B illustrent des étapes d'une variante du procédé de fabrication décrit en relation avec les figures IA à 1H.
Description détaillée
De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Par souci de clarté, seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés. En particulier, la fabrication de la structure SOI initiale n'est pas détaillée.
Sauf précision contraire, l'expression approximativement signifie à 10 % près, de préférence à 5 % près.
B16134 - 17-RO-0166
Les figures IA à 1H sont des vues en coupe de trois régions d'une même puce à différentes étapes d'un procédé de fabrication de trois types de transistors. Un transistor sur substrat massif sera fabriqué dans et sur une région 2. Un transistor FDSOI sera fabriqué dans et sur une région 4. Un transistor PDSOI sera fabriqué dans et sur une région 6.
La figure IA illustre une étape initiale de fabrication. Les trois régions 2, 4 et 6 comprennent une structure SOI, c'està-dire un substrat semiconducteur 8 recouvert d'une couche isolante 10 et d'une couche de matériau semiconducteur 12. Le substrat 8 et la couche de matériau semiconducteur 12 sont par exemple en silicium, mais pourraient être en un autre matériau semiconducteur tel que le silicium germanium. La couche isolante 10 est par exemple en oxyde de silicium. L'épaisseur de la couche de matériau semiconducteur 12 est celle de la couche de matériau semiconducteur d'un transistor FDSOI c'est-à-dire inférieure à 20 nm. L'épaisseur de la couche 12 est par exemple comprise entre 5 et 12 nm, par exemple approximativement 7 nm.
Au cours de l'étape initiale de fabrication, la couche 12 des régions 2, 4 et 6 est recouverte d'une couche isolante 14, par exemple en oxyde de silicium. La couche isolante 14 est recouverte d'une couche isolante 16. La couche 16 est par exemple en nitrure de silicium. La couche 14 est une couche d'arrêt de gravure et la couche 16 est une couche de masquage.
Au cours de l'étape illustrée par la figure IB, un masque de résine, non représenté, est déposé sur les régions 2, 4 et 6. Une ouverture est formée dans ce masque au-dessus la région 2. La couche 16 et la couche 14 de la région 2 sont retirées à travers cette ouverture. Le masque de résine est retiré avant ou après l'élimination de la couche 14.
Au cours de l'étape illustrée par la figure IC, une oxydation est effectuée. La couche de matériau semiconducteur 12 est oxydée de telle manière que, dans la région 2, le substrat 8 soit recouvert d'une unique couche d'oxyde 18 comprenant la couche isolante 10. L'épaisseur de cette couche 18 est par exemple égale
B16134 - 17-RO-0166 à la différence d'épaisseur voulue entre la couche de matériau semiconducteur d'un transistor FDSOI et celle d'un transistor PDSOI. Les régions 4 et 6 sont protégées par la couche isolante de nitrure de silicium 16 et ne sont pas affectées par l'oxydation.
Au cours de l'étape illustrée par la figure 1D, un masque de résine est déposé sur les régions 2, 4 et 6. Une ouverture est formée dans le masque 20 au-dessus la région 6. La couche isolante 16 de la région 6 est ensuite gravée à travers cette ouverture.
Au cours de l'étape illustrée par la figure 1E, les restes du masque 20 sont retirés et un nouveau masque 21 de résine est déposé sur les régions 2, 4 et 6. Des ouvertures sont formées dans le masque 21 au-dessus les régions 2 et 6.
Les régions 2 et 6 sont gravées à travers les ouvertures de manière à retirer la couche d'oxyde de silicium 18 de la région 2 et la couche d'oxyde de silicium 14 de la région 6. Le substrat 8 de la région 2 et la couche de matériau semiconducteur 12 de la région 6 sont donc découverts.
Au cours de l'étape illustrée par la figure 1F, le masque est retiré de la région 4. Une épitaxie est ensuite effectuée de manière à faire croître du silicium dans la région 2, sur le substrat 8 et dans la région 6, sur la couche de matériau semiconducteur 12. Des zones 22 de silicium sont formées par cette épitaxie et sont séparées, en figure 1F, du substrat 8 et de la couche 12 par des pointillés. Les zones 22 ont une même épaisseur qui correspond à la différence d'épaisseur entre la couche de matériau semiconducteur d'un transistor FDSOI et celle d'un transistor PDSOI. L'épaisseur des zones 22 est par exemple supérieure à 10 nm, par exemple 25 nm. Ainsi, en région 6, les couches 12 et 22 constituent une unique couche de matériau semiconducteur d'une épaisseur supérieure à 30 nm. L'épaisseur de cette unique couche est par exemple comprise entre 30 et 50 nm, par exemple approximativement égale à 35 nm.
La région 4 est protégée par la couche 16 et n'est pas affectée par 1'épitaxie.
B16134 - 17-RO-0166
Au cours de l'étape illustrée par la figure IG, une couche de protection 24, par exemple en oxyde de silicium, est formée sur les zones 22 par oxydation thermique.
Au cours de l'étape illustrée par la figure 1H, la couche isolante 16 est éliminée par gravure. Les régions 2 et 6 sont protégées par la couche de protection 24 et ne sont pas affectées par la gravure. Les couches de protection 24 des régions 2 et 6 et la couche isolante 14 sont ensuite retirées.
Des transistors, représentés dans les figures par leurs grilles 26, sont ensuite formés dans les régions 2, 4 et 6 par les procédés usuels de fabrication comprenant la formation d'un isolant de grille, d'un conducteur de grille, d'espaceurs et de zones de source et de drain.
Le transistor de la région 2 est sur un substrat massif (BULK), celui de la région 4 est un transistor FDSOI et celui de la région 6 est un transistor PDSOI.
Selon un autre mode de réalisation, il est possible d'ajuster le procédé de fabrication décrit en relation avec les figures IA à 1H pour former, en plus des régions 2, 4 et 6, des régions 28 comprenant une portion 30 de la couche d'oxyde 18 des figures IC et 1D. Les régions 28 sont par exemple situées entre deux régions 2, 4 ou 6, et les portions 30 servent par exemple à isoler les transistors de ces régions l'un de l'autre.
La figure 2A correspond à l'étape de la figure IG. Les régions 2, 4 et 6, à droite, sont celles décrites en relation avec la figure IG. La région 28, à gauche, est obtenue par les mêmes étapes que la région 2, à l'exception de l'étape de la figure 1E qui est modifiée. Plus précisément, au cours de l'étape de la figure 1E, une portion 30 de la couche 18 d'oxyde de la région 28 n'est pas retirée. Cette portion a par exemple la forme d'une ligne. L'épitaxie de l'étape de la figure 1F fait ensuite croître du silicium dans la région 28 autour de cette portion 30.
Les grilles de transistors étant toutes formées à un pas égal les unes des autres, la région 28 peut correspondre à une
B16134 - 17-RO-0166 région où sera formée une grille mais où l'on ne souhaite pas former de transistor.
Comme l'illustre la figure 2B, dont les régions de droite sont les régions 2, 4 et 6 illustrées en figure 1H, la 5 portion 30 de la région 28, à gauche, est alors située sous l'emplacement où sera formée une grille.
Claims (14)
- REVENDICATIONS1. Puce électronique comprenant un premier transistor (BULK) disposé dans et sur un substrat (8, 22) massif, un deuxième transistor (FDSOI) disposé dans et sur une couche de matériau semiconducteur (12) sur isolant (10) d'une première épaisseur et un troisième transistor (PDSOI) disposé dans et sur une couche de matériau semiconducteur (12, 22) sur isolant (10) d'une seconde épaisseur, la seconde épaisseur étant supérieure à la première.
- 2. Puce électronique selon la revendication 1, dans laquelle la première épaisseur est inférieure à 20 nm.
- 3. Puce électronique selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle la première épaisseur est comprise entre 5 et 20 nm.
- 4. Puce électronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle la première épaisseur est égale à 7 nm à 10 % près.
- 5. Puce électronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans laquelle la seconde épaisseur est supérieure à 30 nm.
- 6. Puce électronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans laquelle la seconde épaisseur est comprise entre 30 et 50 nm.
- 7. Puce électronique selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans laquelle la seconde épaisseur est égale à 35 nm à 10 % près.
- 8. Procédé de fabrication sur une même puce, dans une première région (2) d'un premier transistor formé dans un substrat (8) massif, dans une deuxième région (4) d'un deuxième transistor formé dans une couche de matériau semiconducteur (12) sur isolant (10) d'une première épaisseur et dans une troisième région (6) d'un troisième transistor formé dans une couche de matériau semiconducteur (12) sur isolant (10) d'une seconde épaisseur supérieure à la première, comprenant :B16134 - 17-RO-0166 prévoir une structure semiconducteur sur isolant (8, 10, 12) dont la couche de matériau semiconducteur (12) a la première épaisseur ;former des première (14) et seconde (16) couches isolantes sur la structure ;retirer les première (14) et seconde (16) couches isolantes de la première région (2) ;oxyder la couche de matériau semiconducteur (12) de la structure semiconducteur sur isolant (8, 10, 12) dans la première région (12) ;retirer la seconde couche (16) isolante de la troisième région (6) ;retirer au moins partiellement l'oxyde (18) de la première région (2) et la première couche isolante (14) sur la troisième région (6) ;faire croître du silicium sur le substrat (8) de la première région (2) et sur la couche de matériau semiconducteur (12) de la troisième région (6) jusqu'à ce que la couche de matériau semiconducteur (12) de la troisième région (6) atteigne la seconde épaisseur ; et retirer les première (14) et seconde (16) couches isolantes de la deuxième région (4).
- 9. Procédé selon la revendication 8, dans lequel l'oxyde (18) de la première région (2) est entièrement retiré.
- 10. Procédé selon la revendication 8, dans lequel une portion de l'oxyde (18) de la première région (2) est conservée.
- 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel la première couche isolante est en oxyde de silicium.
- 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 11, dans lequel la seconde couche isolante est en nitrure de silicium.
- 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 12, dans lequel la première épaisseur est inférieure à 20 nm.B16134 - 17-RO-0166
- 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 13, dans lequel la seconde épaisseur est supérieure à 30 nm.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1757702A FR3070220A1 (fr) | 2017-08-16 | 2017-08-16 | Cointegration de transistors sur substrat massif, et sur semiconducteur sur isolant |
US16/057,466 US10714501B2 (en) | 2017-08-16 | 2018-08-07 | Co-integration of bulk and SOI transistors |
CN201821280672.2U CN208722879U (zh) | 2017-08-16 | 2018-08-09 | 电子集成电路芯片 |
CN201810904155.6A CN109411483B (zh) | 2017-08-16 | 2018-08-09 | 体晶体管和soi晶体管的共同集成 |
US16/898,700 US11329067B2 (en) | 2017-08-16 | 2020-06-11 | Co-integration of bulk and SOI transistors |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1757702 | 2017-08-16 | ||
FR1757702A FR3070220A1 (fr) | 2017-08-16 | 2017-08-16 | Cointegration de transistors sur substrat massif, et sur semiconducteur sur isolant |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR3070220A1 true FR3070220A1 (fr) | 2019-02-22 |
Family
ID=60923582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR1757702A Withdrawn FR3070220A1 (fr) | 2017-08-16 | 2017-08-16 | Cointegration de transistors sur substrat massif, et sur semiconducteur sur isolant |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10714501B2 (fr) |
CN (2) | CN208722879U (fr) |
FR (1) | FR3070220A1 (fr) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3080486B1 (fr) * | 2018-04-24 | 2020-03-27 | X-Fab France | Procede de formation d'un dispositif microelectronique |
EP3840044A1 (fr) * | 2019-12-20 | 2021-06-23 | IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik | Substrat et procédé d'intégration monolithique de dispositifs électroniques et optoélectroniques |
US11348944B2 (en) * | 2020-04-17 | 2022-05-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Semiconductor wafer with devices having different top layer thicknesses |
US11398403B2 (en) * | 2020-05-28 | 2022-07-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Multiple thickness semiconductor-on-insulator field effect transistors and methods of forming the same |
DE102021212644A1 (de) * | 2020-11-12 | 2022-05-12 | Skyworks Solutions, Inc. | In ein front end integrierte schaltungen mit unterschiedlichen silizium-auf-isolator-technologien |
US20230018629A1 (en) * | 2021-07-15 | 2023-01-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor on insulator having a semiconductor layer with different thicknesses |
FR3137787A1 (fr) * | 2022-07-06 | 2024-01-12 | Stmicroelectronics (Crolles 2) Sas | Procédé de fabrication de transistors hautes-tension sur un substrat du type silicium sur isolant |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040079993A1 (en) * | 2002-10-25 | 2004-04-29 | International Business Machines Corporation | Silicon-on-insulator (SOI) integrated circuit (IC) chip with the silicon layers consisting of regions of different thickness |
US20040180478A1 (en) * | 2003-03-12 | 2004-09-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Silicon-on-insulator ulsi devices with multiple silicon film thicknesses |
WO2006038164A1 (fr) * | 2004-10-08 | 2006-04-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Dispositif a semi-conducteurs presentant un substrat comprenant une couche a epaisseurs differentes et procede de fabrication associe |
US20070235806A1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-11 | Joshi Rajiv V | Integrated circuit chip with fets having mixed body thicknesses and method of manufacture thereof |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6492209B1 (en) * | 2000-06-30 | 2002-12-10 | Advanced Micro Devices, Inc. | Selectively thin silicon film for creating fully and partially depleted SOI on same wafer |
US6855988B2 (en) * | 2002-07-08 | 2005-02-15 | Viciciv Technology | Semiconductor switching devices |
US6867433B2 (en) * | 2003-04-30 | 2005-03-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor-on-insulator chip incorporating strained-channel partially-depleted, fully-depleted, and multiple-gate transistors |
US7410840B2 (en) * | 2005-03-28 | 2008-08-12 | Texas Instruments Incorporated | Building fully-depleted and bulk transistors on same chip |
US7767539B2 (en) * | 2007-12-04 | 2010-08-03 | International Business Machines Corporation | Method of fabricating patterned SOI devices and the resulting device structures |
JP5288907B2 (ja) * | 2008-06-27 | 2013-09-11 | 株式会社東芝 | 半導体装置とその製造方法 |
US8492839B2 (en) * | 2010-08-24 | 2013-07-23 | International Business Machines Corporation | Same-chip multicharacteristic semiconductor structures |
FR3034254A1 (fr) * | 2015-03-27 | 2016-09-30 | St Microelectronics Sa | Procede de realisation d'un substrat de type soi, en particulier fdsoi, adapte a des transistors ayant des dielectriques de grilles d'epaisseurs differentes, substrat et circuit integre correspondants |
-
2017
- 2017-08-16 FR FR1757702A patent/FR3070220A1/fr not_active Withdrawn
-
2018
- 2018-08-07 US US16/057,466 patent/US10714501B2/en active Active
- 2018-08-09 CN CN201821280672.2U patent/CN208722879U/zh active Active
- 2018-08-09 CN CN201810904155.6A patent/CN109411483B/zh active Active
-
2020
- 2020-06-11 US US16/898,700 patent/US11329067B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040079993A1 (en) * | 2002-10-25 | 2004-04-29 | International Business Machines Corporation | Silicon-on-insulator (SOI) integrated circuit (IC) chip with the silicon layers consisting of regions of different thickness |
US20040180478A1 (en) * | 2003-03-12 | 2004-09-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Silicon-on-insulator ulsi devices with multiple silicon film thicknesses |
WO2006038164A1 (fr) * | 2004-10-08 | 2006-04-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Dispositif a semi-conducteurs presentant un substrat comprenant une couche a epaisseurs differentes et procede de fabrication associe |
US20070235806A1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-11 | Joshi Rajiv V | Integrated circuit chip with fets having mixed body thicknesses and method of manufacture thereof |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
WOLF S ED - STANLEY WOLF: "Chap. 11 Silicon-on-Insulator (SOI) Technology", SILICON PROCESSING FOR THE VLSI ERA - VOL. 4 DEEP-SUBMICRON PROCESS TECHNO, LATTICE PRESS, US, January 2002 (2002-01-01), pages 501 - 572, XP009112914, ISBN: 978-0-9616721-7-1 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190057981A1 (en) | 2019-02-21 |
US20200303423A1 (en) | 2020-09-24 |
CN109411483B (zh) | 2023-11-24 |
CN208722879U (zh) | 2019-04-09 |
US10714501B2 (en) | 2020-07-14 |
US11329067B2 (en) | 2022-05-10 |
CN109411483A (zh) | 2019-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR3070220A1 (fr) | Cointegration de transistors sur substrat massif, et sur semiconducteur sur isolant | |
EP1868233B1 (fr) | Procédé de réalisation de zones à base de Si1-yGey de différentes teneurs en Ge sur un même substrat par condensation de germanium | |
US7528056B2 (en) | Low-cost strained SOI substrate for high-performance CMOS technology | |
FR2795555A1 (fr) | Procede de fabrication d'un dispositif semi-conducteur comprenant un empilement forme alternativement de couches de silicium et de couches de materiau dielectrique | |
TWI433264B (zh) | 具有雙溝渠以最佳化應力效應之電晶體結構及其方法 | |
FR2838237A1 (fr) | Procede de fabrication d'un transistor a effet de champ a grille isolee a canal contraint et circuit integre comprenant un tel transistor | |
FR3042907A1 (fr) | Procede de fabrication d'un dispositif a transistors mos | |
JPH0637041A (ja) | 配線部材の形成方法 | |
EP1868232B1 (fr) | Procédé de réalisation de zones à base de Si1-yGey de différentes teneurs en Ge sur un même substrat par condensation de germanium | |
JPH04162528A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
FR3067516A1 (fr) | Realisation de regions semiconductrices dans une puce electronique | |
US8169032B2 (en) | Gate stacks and semiconductor constructions | |
FR2803095A1 (fr) | Dispositif a semiconducteurs avec une structure d'isolation et procede de fabrication | |
JP3676910B2 (ja) | 半導体装置及び半導体アイランドの形成方法 | |
US7504314B2 (en) | Method for fabricating oxygen-implanted silicon on insulation type semiconductor and semiconductor formed therefrom | |
US6635584B2 (en) | Versatile system for forming uniform wafer surfaces | |
FR3069702A1 (fr) | Procede de fabrication simultanee de transistors soi et de transistors sur substrat massif | |
EP3961720B1 (fr) | Enrichissement germanium autour du canal par blocs sureleves | |
JP2012080076A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
KR100321171B1 (ko) | 반도체소자의 트랜지스터 제조 방법 | |
EP0230824B1 (fr) | Procédé de fabrication d'un caisson et éventuellement de zones d'isolation électriques d'un circuit intégré, notamment de type MOS | |
FR3076394A1 (fr) | Espaceurs de transistors mos et leur procede de fabrication | |
JP2005216985A (ja) | 半導体装置 | |
FR3126541A1 (fr) | Procédé de fabrication d’une structure multicouche | |
JPS6115372A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PLSC | Publication of the preliminary search report |
Effective date: 20190222 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 3 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 4 |
|
ST | Notification of lapse |
Effective date: 20220405 |