FR2973263A1

FR2973263A1 - Elaboration d'electrodes transparentes en nanotubes de carbone metallises

Info

Publication number: FR2973263A1
Application number: FR1100907A
Authority: FR
Inventors: Aubin Karell Saint; Caroline Celle; Jean Pierre Simonato
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA; Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 2011-03-28
Filing date: 2011-03-28
Publication date: 2012-10-05
Anticipated expiration: 2031-03-28
Also published as: FR2973263B1; WO2012131578A1; EP2691960A1

Abstract

L'invention se rapporte à un procédé de formation d'une couche électriquement conductrice et transparente dans le domaine des longueurs d'onde du visible sur la surface d'un substrat. Le substrat est en un matériau non conducteur électriquement, et comprend les étapes suivantes : a) dépôt, sur la surface, de nanotubes de carbone, de préférence monoparoi et de type métallique, à une densité comprise entre 0,1, inclus, et 40, inclus, nanotubes de carbone par µm de surface, de préférence comprise entre 1, inclus, et 10, inclus, nanotubes de carbone par µm surface, et b) formation, par galvanoplastie, sur la surface externe des nanotubes de carbone déposés à l'étape a) d'une couche de métal ayant une épaisseur comprise entre 0,1, inclus, et 10, inclus nm. L'invention trouve application dans le domaine de la fabrication d'électrodes, en particulier.

Description

L'invention se rapporte à un procédé de formation d'une couche électriquement conductrice et transparente dans le domaine des longueurs d'onde du visible sur la surface d'un substrat. Elle se rapporte également au dispositif obtenu par ce procédé, en particulier une électrode. Les couches minces ou films conducteurs et transparents sont utilisés dans de nombreux domaines tels que le domaine du photovoltaïque, des écrans tactiles, en particulier à cristaux liquides (LCD), ou des diodes organiques émettrices de lumière (OLED).

A l'heure actuelle, ces couches ou films sont le plus souvent en oxyde d'indium/oxyde d'étain (ITO) car ce dernier a une faible résistance électrique associée à une transmittance élevée dans le domaine des longueurs d'onde du visible. Cependant, les films ou couches minces constitués de ce type d'oxyde sont plutôt fragiles et ont un problème d'apparition de fissures, ce qui restreint leur utilisation dans des applications où les substrats, sur lesquels ils sont déposés, sont non flexibles. De plus, l'ITO est un matériau de plus en plus rare et de plus en plus cher. Ainsi, il a été proposé d'utiliser des nanotubes de carbone (CNTS).

Les nanotubes de carbone ont d'excellentes propriétés mécaniques, électroniques et thermiques. Ils peuvent, en théorie, permettre d'obtenir une densité de courant de 4.109 A/cm2, ce qui est 1000 fois plus important que la conductivité du cuivre. L'utilisation des nanotubes de carbone sous forme de films minces (réseau 2D) permet d'obtenir une conduction uniforme sur tout le réseau des nanotubes et les procédés de fabrication utilisés à l'heure actuelle permettent d'envisager de réaliser des dépôts de nanotubes de carbone sur de grandes surfaces. Les nanotubes de carbone sous forme de réseau 2D sont donc très utilisés sous forme de film transparent conducteur.

Néanmoins, bien que les performances électriques des nanotubes de carbone soient supérieures aux performances intrinsèques du matériau lui-même (carbone), les réseaux de nanotubes présentent au final des performances plus faibles car les contacts, entre les CNTs, induisent des résistances électriques significatives. Le contrôle de leur densité surfacique permet de maîtriser la transparence du réséau ainsi déposé, mais au détriment de leur conductivité électrique.

A contrario, lorsque l'on augmente la densité en nanotubes du réseau de nanotubes de carbone, la conductivité électrique est augmentée, mais la transmittance dans le visible du film formé diminue. Pour résoudre ce problème, différentes solutions ont été proposées. Une première solution a été proposée dans la demande de brevet US 2010/0038251 Al, qui consiste à créer un réseau bidimensionnel de nanotubes de carbone dont seules les jonctions entre les nanotubes de carbone sont recouvertes d'un métal. Dans ce document, la densité de nanotubes de carbone dans le réseau est très élevée, ce qui résulte en une transmittance faible des longueurs d'onde du visible. En effet, la transmittance atteinte avec ce réseau de nanotubes de carbone est de 85%. Une deuxième solution a été proposée dans la demande de brevet US 2010/0266838 Al.

Cette solution consiste à créer un réseau bidimensionnel d'un mélange de nanotubes de carbone et de nanofils métalliques, en particulier de nanofils d'or. Cependant, cette solution présente l'inconvénient de nécessiter la synthèse de nanofils d'or, ce qui implique l'utilisation d'une grande quantité de métal et est coûteux. Une troisième solution a été proposée par Feng et al., Appl. Phys. Lett., 97, 083101 (2010). Cette solution consiste à fonctionnaliser la surface des nanotubes de carbone avec du palladium par un procédé de dépôt sans courant ("electroless plating").

Cette méthode consiste à mettre en présence les nanotubes de carbone purifiés et un sel de palladium afin de réduire les cations de palladium à la surface des nanotubes de carbone. Mais, ici les nanotubes de carbone sont recouverts de manière non- continue avec un métal, dans le cas présent, du palladium. De plus, il faut au préalable créer à la surface des nanotubes de carbone des groupements chimiques pouvant réagir avec les cations du palladium. De plus, Feng et al. observent que l'ajout de palladium, à partir de certaines quantités, n'améliore pas la conductivité des nanotubes de carbone recouverts de Pd. Il semblerait que cela provienne du fait qu'à partir d'un certain point un équilibre s'établit entre la solution contenant les cations de palladium, ce qui fait que le dépôt de palladium sur la surface des nanotubes s'arrête. L'invention vise à pallier les inconvénients de l'art antérieur en proposant un procédé de formation d'une couche mince ayant une transmittance très élevée dans le domaine des longueurs d'onde du visible, qui est simple à mettre en oeuvre, et qui ne nécessite pas la création de nanofils métalliques. A cet effet, l'invention propose un procédé de formation d'une couche électriquement conductrice et transparente dans le domaine des longueurs d'onde du visible, c'est-à-dire ayant une transmittance supérieure ou égale à 85 % de ces ondes, sur au moins une surface d'un substrat, caractérisé en ce que : le substrat est en un matériau non conducteur électriquement, et en ce qu'il comprend les étapes suivantes : a) dépôt, sur au moins une surface du substrat, de nanotubes de carbone à une densité comprise entre 0,1, inclus, et 40, inclus, nanotubes de carbone par µm2 de surface, de préférence comprise entre 1, inclus, et 10, inclus, nanotubes de carbone par µm2 surface, et b) formation, par galvanoplastie, sur la surface externe des nanotubes de carbone déposés à l'étape a), d'une couche de métal ayant une épaisseur comprise entre 0,1, inclus, et 10 inclus nm.

De préférence, le substrat est en un matériau choisi parmi le verre, le silicium, le quartz, les polymères transparents. Les polymères transparents utilisables sont le polyéthylène théréphtalate (PET), le polynaphtalate d'éthylène (PEN), le polycarbonate (PC), et le polymethacrylate de méthyle (PMMA). Dans un premier mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention, l'étape a) comprend les étapes suivantes : al) préparation d'une suspension de nanotubes de carbone dans un solvant, a2) dépôt à la tournette, par tirage, par filtration, par trempage, ou par nébulisation, de préférence par nébulisation, de ladite dispersion sur la surface du substrat, et a3) élimination du solvant. Lorsque l'étape a2) est une étape de dépôt par filtration, la dispersion est filtrée à travers une membrane sur laquelle les nanotubes sont retenus. Ces nanotubes sont alors déposés sur la surface du substrat par transfert. La dispersion de nanotubes de carbone peut, de plus, comprendre un agent filmogène et/ou un agent tensio actif. Dans un second mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention, l'étape de dépôt a) est une étape de synthèse des nanotubes de carbone directement sur la surface du substrat. Dans tous les cas, de préférence, l'étape b) est une étape de formation d'une couche en un métal choisi parmi l'aluminium (Al), le chrome (Cr), le cobalt (Co), le nickel (Ni), le cuivre (Cu), le zinc (Zn), le palladium (Pd), le rhodium (Rh), le platine (Pt), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le tungstène (W), l'or (Au), le titane (Ti), le manganèse (Mn), le cadmium (Cd), le ruthénium (Ru), l'iridium (Ir), le praséodyme (Pr), et les mélanges de deux au moins de ceux-ci, de préférence choisi parmi l'argent ou l'or. Egalement dans tous les cas, le procédé de l'invention peut, de plus, comprendre une étape de dopage des nanotubes de carbone par trempage du substrat obtenu à l'étape a) dans une solution contenant le dopant ou un précurseur du dopant, de préférence un précurseur du dopant, de préférence SOC12 ou HNO3.

L'invention propose également un substrat en un matériau non électriquement conducteur recouvert sur au moins une de ses surfaces d'une couche de nanotubes de carbone, à une densité de nanotubes de carbone comprise entre 0,1, inclus, et 40, inclus, nanotubes de carbone par µm2 de surface, de préférence comprise entre 0,1, inclus, et 10, inclus, nanotubes de carbone par µm2 de surface, lesdits nanotubes de carbone étant métallisés en surface avec une couche en un métal ayant une épaisseur comprise entre 0,1, inclus, et 10, inclus, nanomètres, et ladite couche en un métal étant en contact avec la surface. De préférence, dans le dispositif de l'invention, le substrat est en un matériau choisi parmi le verre, le silicium, le quartz et les polymères transparents. Quant au métal, il est de préférence choisi parmi l'aluminium (Al), le chrome (Cr), le cobalt (Co), le nickel (Ni), le cuivre (Cu), le zinc (Zn), le palladium (Pd), le rhodium (Rh), le platine (Pt), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le tungstène (W), l'or (Au), le titane (Ti), le manganèse (Mn), le cadmium (Cd), le ruthénium (Ru), l'iridium (Ir), le praséodyme (Pr), et les mélanges et alliages de deux au moins de ceux-ci. De préférence, le métal est choisi parmi l'argent ou l'or. Dans le dispositif de l'invention la couche formée sur le substrat 15 comprend avantageusement des nanotubes de carbone dopés. L'invention propose encore une électrode caractérisée en ce qu'elle comprend un dispositif selon l'invention. Enfin, l'invention propose un procédé de fabrication d'une électrode caractérisé en ce qu'il comprend une étape de formation d'une couche électriquement 20 conductrice et transparente dans le domaine des longueurs d'onde du visible, sur au moins une surface d'un substrat, par le procédé selon l'invention. Dans tous les modes de mise en oeuvre et de réalisation de l'invention, de préférence, les nanotubes de carbone sont des nanotubes de carbone monoparoi et de type métallique. 25 L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages et caractéristiques de celle-ci apparaîtront plus clairement à la lecture de la description explicative qui suit qui est faite aux figures annexées dans lesquelles : - la figure 1 représente schématiquement une vue en perspective d'un substrat revêtu d'une couche, selon l'invention, transparente dans le domaine des 30 longueurs d'onde du visible et du proche infrarouge et électriquement conductrice, constituée de nanotubes de carbone recouverts sélectivement d'une couche de métal, et obtenue par le procédé selon l'invention, et - la figure 2 représente schématiquement une vue en coupe d'un nanotube de carbone revêtu d'un métal et constituant la couche transparente dans le domaine des longueurs d'onde du visible et du proche infrarouge et électriquement conductrice après traitement par le procédé selon l'invention.

Dans l'invention, les nanotubes de carbone peuvent être des nanotubes de carbone monoparoi (SWCNT) ou multi-parois (MWCNT), et en particulier double-parois (DWCNT). De façon connue, selon le procédé de synthèse, les nanotubes de carbone monoparoi sont dits soit métalliques, soit semi-conducteurs et les nanotubes de carbone multi-parois sont dits métalliques. De préférence, on utilise des nanotubes de carbone monoparoi. Ces nanotubes de carbone sont produits, de manière connue en soi, par arc électrique (`arc discharge'), dépôt chimique en phase vapeur ('chemical vapour deposition' CVD) ou ablation laser (`laser ablation').

Les nanotubes de carbone utilisés dans l'invention ont des diamètres compris entre 1 et 200 nm et des longueurs comprises entre 1 et 3000 µm, bornes incluses. Les métaux utilisés dans l'invention, sont tous les matériaux conducteurs pouvant, en particulier constituer une électrode, en particulier une anode.

Ces matériaux sont de façon préférentielle des matériaux comprenant au moins 90% de métal au sens chimique. Ainsi, le terme "métal" dans l'invention désigne un matériau comprenant au moins 90% de tous les métaux et leurs alliages, en particulier l'aluminium (Al), le chrome (Cr), le cobalt (Co), le nickel (Ni), le cuivre (Cu), le zinc (Zn), le palladium (Pd), le rhodium (Rh), le platine (Pt), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le tungstène (W), l'or (Au), le titane (Ti), le manganèse (Mn), le cadmium (Cd), le ruthénium (Ru), l'iridium (Ir), et le plomb (Pb) et tous les mélanges d'un ou plusieurs de ces métaux, éventuellement dopés. Afin de recouvrir sélectivement de métal les nanotubes de carbone, le substrat doit être en un matériau non conducteur électriquement afin de localiser le dépôt de métal sur les chemins conducteurs en nanotubes de carbone.

Ainsi, le substrat pourra être en verre, en silicium, en quartz et en polymère transparent. L'invention va être décrite en référence aux figures 1 et 2. Pour obtenir un substrat, recouvert d'un réseau de nanotubes de carbone, eux-mêmes sélectivement recouverts d'une couche de métal, pour améliorer la conductivité du réseau de nanotubes formés, sans que cela soit au détriment de la transmittance du réseau de nanotubes de carbone, l'invention propose un procédé qui comprend une étape a) de dépôt, sur la surface, notée 5 en figure 1, d'un substrat, noté 1 en figure 1, en un matériau non conducteur électriquement, tel que défini ci-dessus, de nanotubes de carbone, notés 4 en figure 2, à une densité qui est comprise entre 0,1, inclus, et 40, inclus, nanotubes de carbone par 1,tm2 de surface 5. De préférence, la densité des nanotubes (4) est comprise entre 1, inclus, et 10, inclus, nanotubes de carbone 4 par µm2 de surface 5. Les nanotubes de carbone 4 peuvent être soit directement synthétisés sur la surface 5, soit déposés, à partir d'une suspension de nanotubes de carbone 4 dans un solvant sur la surface 5 par un procédé à la tournette (`spin coating'), tirage (dip-coating), trempage, filtration ou nébulisation. Le solvant peut être tout solvant n'interférant ou ne détériorant ni les nanotubes de carbone ni leurs propriétés physiques et chimiques ni le substrat.

La technique de dépôt des nanotubes de carbone sur la surface 5 est de préférence, dans l'invention, la technique de la nébulisation. Après le dépôt, les nanotubes de carbone 4 déposés sur la surface 5 forment un réseau. La seconde étape du procédé de l'invention est alors de déposer 25 sélectivement une couche de métal notée 6 en figure 2 sur le réseau de nanotubes de carbone formant la couche notée 2 en figure 1. Dans l'invention, le dépôt de la couche de métal se fait par galvanoplastie (`electro-plating'). Bien que le métal déposé sur les nanotubes de carbone 4 dépende de 30 l'application finale, dans l'invention, on utilisera préférentiellement l'argent ou l'or. L'appareil de dépôt par galvanoplastie contient une source de tension reliée à une anode et au réseau de nanotubes de carbone déposés sur le substrat, et éventuellement à une électrode de référence, et un bac servant à contenir la solution de galvanoplastie et un interrupteur. Lorsque le métal choisi est l'argent, le bain de galvanoplastie utilisé contiendra de préférence l g/L de cyanure d'argent, 45 g/L de cyanure de potassium, 30 g/L de carbonate de potassium et 10% en masse d'acide hypochlorique par rapport à la masse totale du bain. Lorsque le métal choisi est l'or, le bain de galvanoplastie comprendra de préférence 4 g/L de cyanure d'or, 40 g/L d'acide citrique et de 40 g/L de citrate de potassium.

Le procédé de l'invention peut également comprendre une étape de synthèse des nanotubes de carbone 4. Il pourra également comprendre une étape de fabrication d'une dispersion de nanotubes de carbone 4. De plus, dans le procédé de l'invention, le réseau de nanotubes de carbone formé sur la surface 5, et avant métallisation peut être dopé pour améliorer le contact entre la couche de métal et les nanotubes avec un dopant ou un précurseur d'un dopant tel que SOC12 ou HNO3. Ces nanotubes dopés présentent en surface des atomes électroattracteurs (par exemple l'oxygène, le chlore) qui délocalisent les électrons du carbone.

L'invention propose également un dispositif qui comprend un substrat 1 revêtu sur au moins une de ses surfaces 5 d'une couche 2 transparente aux longueurs d'onde du visible et électriquement conductrice. Les longueurs d'onde du visible sont définies dans l'invention, comme des longueurs d'onde de 380 à 780 nm. Dans l'invention, électriquement conducteur correspond à une résistance par carré inférieure à 100 SZ~. Dans le dispositif de l'invention, la couche 2 est formée d'un réseau de nanotubes de carbone 7, les nanotubes de carbone 7 étant chacun constitués de nanotubes de carbone 4 recouverts d'une couche de métal 6. La densité de nanotubes de carbone 4 dans le réseau formé à la surface 5 est comprise entre 0,1, inclus, et 40, inclus, nanotubes de carbone par µm2 de surface 5. 30 En dessous de entre 0,1 nanotubes de carbone par µm2 de surface 5, les nanotubes risquent de ne pas se toucher entre eux et donc de ne pas former une couche conductrice. Au-delà de 40 nanotubes de carbone par µm2 de surface 5, la couche 5 formée perd en transmittance. De préférence, la densité de nanotubes de carbone 4 formant le réseau sur la surface 5 du substrat 1 est comprise entre 1, inclus, et 40, inclus, nanotubes de carbone. En effet, à une densité de 1 nanotube de carbone par 1_tm2 de surface 10 5, on obtient une résistance par carré inférieure à 20 520. Dans le dispositif de l'invention, les nanotubes de carbone 4 sont recouverts d'une couche 6 de métal. Le métal peut être tout métal qui apparaîtra à l'homme de l'art, tel que l'aluminium (Al), le chrome (Cr), le cobalt (Co), le nickel (Ni), le cuivre (Cu), le 15 zinc (Zn), le palladium (Pd), le rhodium (Rh), le platine (Pt), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le tungstène (W), l'or (Au), le titane (Ti), le manganèse (Mn), le cadmium (Cd), le ruthénium (Ru), l'iridium (Ir), le plomb (Pb), ou tout mélange d'un ou plus de ces métaux, éventuellement dopés ou contenant des impuretés. De préférence, le métal dont sont recouverts les nanotubes de 20 carbone 4 formant le réseau à la surface du substrat du dispositif de l'invention est l'argent ou l'or. Un dopant peut également être présent dans le réseau de nanotubes de carbone 4 déposés à la surface 5 du substrat 1. De préférence ce dopant est l'oxygène ou le chlore. Un dispositif particulièrement préféré selon l'invention est une électrode qui comprend le dispositif de l'invention. Afin de mieux faire comprendre l'invention, on va en décrire plusieurs exemples de mise en oeuvre, à titre purement illustratif et non limitatif. Exemple 1 : Dans cet exemple, le substrat est un substrat en verre sodocalcique. On procède à la fabrication de nanotubes de carbone monoparoi par la méthode par arc électrique. 25 30 On fabrique ensuite une dispersion de 0,05 g/L de nanotubes de carbone dans de la N-méthylpyrrolidone (NMP). La dispersion est passée aux ultra-sons pendant 90 min puis centrifugée 2 fois à 14 500 rpm.

Les nanotubes de carbone sont ensuite déposés sur la surface d'un substrat par nébulisation pendant 5 secondes de ladite dispersion. Ce temps, selon la densité de nanotubes de carbone peut être compris entre 5 et 300 secondes. A cet exemple, on obtient une densité de nanotubes de carbone de 5 nanotubes de carbone /µm2. A cette étape, la résistance par carré initiale du substrat revêtu sur une de ses surfaces du réseau de nanotubes de carbone à une densité de 5 NTC/µm2 est de 1,0.1 o' ohms.carré et une transmittance de 97% mesurée par spectrophotométrie UV-visible.

Le substrat sur lequel sont déposés les nanotubes de carbone est ensuite introduit dans un bain de galvanoplastie contenant 1 g/L de cyanure d'argent, 45 g/L de cyanure de potassium, 30 g/L de carbonate de potassium et 10% en masse d'acide hypochlorique par rapport à la masse totale du bain. Le réseau de nanotubes de carbone est connecté à l'alimentation de l'appareil de dépôt par galvanoplastie pour servir de cathode. L'anode de l'appareil de galvanoplastie est en argent et l'électrode de référence est en Ag/AgCl. Une densité de courant de 10 mAlcm2 est utilisée. L'épaisseur de la couche d'argent déposée dans les nanotubes est de 3 nm. Le dispositif obtenu a alors une résistance carrée de 25 Qo et une transmittance de 95%. Exemple 2 : Un réseau de nanotubes de carbone monoparoi métallique est déposé 30 par nébulisation sur la surface d'un substrat en PET par nébulisation d'une dispersion des nanotubes monoparoi, comme à l'exemple 1.

La densité de nanotubes de carbone déposés est de 5 nanotubes de carbone /µm2. Le substrat obtenu est traité pendant 24 heures à l'acide nitrique pour oxyder les nanotubes de carbone et modifier la résistance de contact du réseau formé par ces nanotubes. Après ce traitement, la résistance carrée initiale du substrat obtenu est de 3,0.102 û0 et la transmittance de ce substrat est de 97%. On procède ensuite, comme à l'exemple 1 ou dépôt sur les nanotubes de carbone d'une couche d'argent.

L'épaisseur de la couche d'argent déposée à la surface des nanotubes de carbone est de 3 nm. Le bain de galvanoplastie utilisé à cet exemple était le même que celui utilisé à l'exemple 1. Le dispositif obtenu à cet exemple a une résistance carrée de 20 12,, et une transmittance de 95%. Exemple 3 : On a utilisé une procédure équivalente aux exemples 1 et 2 pour former un réseau de nanotubes de carbone double parois sur un substrat en verre sodocalcique.

La densité de nanotubes de carbone à la surface du substrat était de 10 nanotubes de carbone par 1,im2. La résistance par carré initiale du substrat obtenu à cette étape était de 200 û,, et sa transmittance était de 92%. Le substrat obtenu a été alors introduit dans un bain de 25 galvanoplastie et connecté à l'alimentation de l'appareil de galvanoplastie pour servir de cathode. L'anode de l'appareil était en or et le bain de galvanoplastie contenait 4 g/L de cyanure d'or, 40 g/L d'acide citrique et 40 g/L de citrate de potassium. 30 Une densité de courant de 5 mA/cm2 est appliquée. L'épaisseur de la couche d'or déposée sur les nanotubes de carbone était de 1 nm.

Le dispositif obtenu a une résistance carrée de 150 52D et une transmittance de 92%. Les dispositifs obtenus aux exemples 1 à 3 peuvent être utilisés en tant qu'électrodes, et plus particulièrement en tant qu'anodes.

Claims

REVENDICATIONS1. Procédé de formation d'une couche (2) électriquement conductrice et transparente dans le domaine des longueurs d'onde du visible, sur au moins une surface (5) d'un substrat (1), caractérisé en ce que : le substrat (1) est en un matériau non conducteur électriquement, et en ce qu'il comprend les étapes suivantes : a) dépôt, sur la surface (5), de nanotubes de carbone (4), de préférence monoparoi et de type métallique, à une densité comprise entre 0,1, inclus, et 40, inclus, nanotubes de carbone (4) par 1_tm2 de surface (5), de préférence comprise entre 1, inclus, et 10, inclus, nanotubes de carbone (4) par µm2 surface (5), et b) formation, par galvanoplastie, sur la surface externe des nanotubes de carbone (4) déposés à l'étape a) d'une couche (6) de métal ayant une épaisseur comprise entre 0,1, inclus, et 10, inclus nm.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat (1) est en un matériau choisi parmi le verre, le silicium, le quartz, les polymères transparents.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'étape a) comprend les étapes suivantes : al) préparation d'une suspension de nanotubes de carbone (4) dans un solvant, a2) dépôt à la tournette, par tirage, par filtration, par trempage, ou par nébulisation, de préférence par nébulisation, de ladite dispersion sur la surface (5) du substrat (1), et a3) élimination du solvant.
4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que la dispersion de nanotubes de carbone comprend de plus un agent filmogène et/ou un agent tensio actif.
5. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que 30 l'étape de dépôt a) est une étape de synthèse des nanotubes de carbone directement sur la surface (5).
6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'étape b) est une étape de formation d'une couche (6) en un métal choisi parmi l'aluminium (Al), le chrome (Cr), le cobalt (Co), le nickel (Ni), le cuivre (Cu), le zinc (Zn), le palladium (Pd), le rhodium (Rh), le platine (Pt), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le tungstène (W), l'or (Au), le titane (Ti), le manganèse (Mn), le cadmium (Cd), le ruthénium (Ru), l'iridium (Ir), le praséodyme (Pr), et les mélanges et alliages de deux au moins de ceux-ci, de préférence choisi parmi l'argent ou l'or.
7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend de plus une étape de dopage des nanotubes (4) de carbone par trempage du substrat obtenu à l'étape a) dans une solution contenant le dopant ou. un précurseur du dopant, de préférence un précurseur du dopant, de préférence SOC12 ou HNO3.
8. Dispositif caractérisé en ce qu'il comprend un substrat (1) en un matériau non électriquement conducteur recouvert sur au moins une de ses surfaces (5) de nanotubes de carbone (4), à une densité de nanotubes de carbone comprise entre 0,1, inclus, et 40, inclus, nanotubes de carbone par µm2 de surface (5), de préférence comprise entre 0,1, inclus, et 10, inclus, nanotubes de carbone (4), de préférence monoparoi et de type métallique, par 1.1m2 de surface (5), lesdits nanotubes de carbone étant métallisés en surface avec une couche (6) en métal et ayant une épaisseur comprise entre 0,1, inclus, et 10, inclus, nanomètres, et en ce que la couche (6) est en contact avec la surface (5) du substrat (1).
9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que le substrat (1) est en un matériau choisi parmi le verre, le silicium, le quartz, les polymères transparents.
10. Dispositif selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que le métal est choisi parmi l'aluminium (Al), le chrome (Cr), le cobalt (Co), le nickel (Ni), le cuivre (Cu), le zinc (Zn), le palladium (Pd), le rhodium (Rh), le platine (Pt), l'argent (Ag), l'étain (Sn), le tungstène (W), l'or (Au), le titane (Ti), le manganèse (Mn), le cadmium (Cd), le ruthénium (Ru), l'iridium (Ir), le praséodyme (Pr), et les mélanges de deux au moins de ceux-ci, de préférence choisi parmi l'argent ou l'or.
11. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, caractérisé en ce que les nanotubes sont dopés.
12. Electrode caractérisée en ce qu'elle comprend un dispositif selon l'une quelconque des revendications 8 à 11.
13. Procédé de fabrication d'une électrode caractérisé en ce qu'il comprend une étape de formation d'une couche (2) électriquement conductrice et transparente dans le domaine des longueurs d'onde du visible et du proche infrarouge, sur au moins une surface du substrat par le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7.