FR2919108A1

FR2919108A1 - Inductance comprenant des boucles sur plusieurs niveaux de metallisation

Info

Publication number: FR2919108A1
Application number: FR0756572A
Authority: FR
Inventors: Frederic Gianesello
Original assignee: STMicroelectronics SA
Current assignee: STMicroelectronics SA
Priority date: 2007-07-18
Filing date: 2007-07-18
Publication date: 2009-01-23
Anticipated expiration: 2027-07-18
Also published as: FR2919108B1; US20090027152A1; US7768372B2

Abstract

L'invention concerne une inductance (200) formée dans un empilement de couches isolantes, l'inductance comprenant des premières et secondes demi-boucles, chaque première demi-boucle étant au moins en partie la symétrique de l'une des secondes demi-boucles, les premières demi-boucles étant réparties en premiers groupes de premières demi-boucles au moins en partie alignées selon la direction d'empilement et les secondes demi-boucles étant réparties en seconds groupes de secondes demi-boucles au moins en partie alignées selon la direction d'empilement. Pour toute paire de premières demi-boucles adjacentes d'un même groupe, l'une des premières demi-boucles de la paire est électriquement connectée en série à l'autre des premières demi-boucles de la paire par une seule seconde demi-boucle et en ce que pour toute paire de secondes demi-boucles adjacentes d'un même groupe, l'une des secondes demi-boucles de la paire est électriquement connectée en série à l'autre des secondes demi-boucles de la paire par une seule première demi-boucle.

Description

B8144 - 06-GR1-502 1 INDUCTANCE COMPRENANT DES BOUCLES SUR PLUSIEURS

NIVEAUX DE MÉTALLISATION

Domaine de l'invention La présente invention concerne les inductances réalisées de façon monolithique et comprenant des boucles réalisées par des pistes métalliques de plusieurs niveaux de métallisation.

Exposé de l'art antérieur Pour obtenir un composant inductif dont l'inductance est la plus élevée possible tout en présentant un encombrement réduit, une possibilité consiste à empiler les boucles de l'inductance qui comprennent alors des pistes métalliques de niveaux de métallisation différents. Toutefois, par rapport à une inductance dont les boucles sont réalisées par une ou plusieurs pistes métalliques d'un seul niveau de métallisation, on observe, pour une inductance dont les boucles sont formées par des pistes métalliques de plusieurs niveaux de métallisation différents, des couplages capacitifs parasites importants entre des pistes métalliques adjacentes de niveaux de métallisation différents. En effet, pour réduire au maximum l'encombrement de l'inductance, il peut ne pas être possible d'éviter que deux boucles formées par des pistes de niveaux de métallisation successifs, ou éventuellement séparés par un niveau de métallisation intermédiaire, se trouvent sensiblement alignées les B8144 - 06-GR1-502

2 unes par rapport. Pour des filières CMOS classiques de fabrication de circuits intégrés, les pistes métalliques ont généralement des épaisseurs de l'ordre de quelques dixièmes de micromètres à un micromètre pour une largeur de quelques micromètres. Par rapport à des pistes métalliques adjacentes d'un même niveau de métallisation, les surfaces en regard de pistes métalliques alignées de niveaux de métallisation différents sont plus importantes. En outre, l'épaisseur de matériau isolant séparant deux pistes métalliques alignées de niveaux de métal- lisation successifs est de l'ordre de quelques dixièmes de micromètres. Pour deux pistes métalliques alignées de deux niveaux de métallisation distincts séparés par un seul niveau de métallisation intermédiaire, l'épaisseur de matériau isolant séparant les deux pistes peut atteindre 1 ou 2 micromètres. Les couplages capacitifs parasites entre des pistes alignées de niveaux de métallisation différents peuvent donc être plus importants que les couplages capacitifs parasites entre des pistes adjacentes d'un même niveau de métallisation et entraîner une forte dégradation des performances de l'inductance.

Résumé de l'invention La présente invention vise à obtenir une inductance comportant des boucles formées par des pistes métalliques de différents niveaux de métallisation et qui sont alignées, au moins partiellement, les unes par rapport aux autres, l'induc- tance présentant des couplages capacitifs parasites réduits entre des boucles alignées de niveaux de métallisation différents. Ainsi, un mode de réalisation de la présente invention prévoit une inductance formée dans un empilement de couches isolantes, l'inductance comprenant des premières et secondes demi-boucles, chaque première demi-boucle étant au moins en partie la symétrique de l'une des secondes demi-boucles, les premières demi-boucles étant réparties en premiers groupes de premières demi-boucles au moins en partie alignées selon la direction d'empilement des couches isolantes et les secondes demi-boucles étant réparties en seconds groupes de secondes B8144 - 06-GR1-502

3 demi-boucles au moins en partie alignées selon la direction d'empilement des couches isolantes. Pour toute paire de premières demi-boucles adjacentes d'un même groupe, l'une des premières demi- boucles de la paire est électriquement connectée en série à l'autre des premières demi-boucles de la paire par une seule seconde demi-boucle et en ce que pour toute paire de secondes demi-boucles adjacentes d'un même groupe, l'une des secondes demi-boucles de la paire est électriquement connectée en série à l'autre des secondes demi-boucles de la paire par une seule première demi-boucle. Selon un mode de réalisation, à chaque couche isolante est associé un niveau de métallisation parmi plusieurs niveaux de métallisation, au moins l'une des premières ou secondes demi-boucles comprenant au moins deux pistes de niveaux de métal- lisation différents alignées selon la direction d'empilement des couches isolantes et connectées l'une à l'autre sur toute leur longueur. Selon un mode de réalisation, les premières et secondes demi-boucles comprennent des pistes métalliques d'au moins deux niveaux de métallisation, l'inductance comprenant, pour chacun des deux niveaux de métallisation, au moins deux premières demi-boucles et au moins deux secondes demi-boucles. Selon un mode de réalisation, les premières et secondes demi-boucles comprennent des pistes métalliques d'au moins quatre niveaux de métallisation, l'inductance comprenant, pour chacun des quatre niveaux de métallisation, au moins deux premières demi-boucles et au moins deux secondes demi-boucles. Brève description des dessins Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres seront exposés en détail dans la description suivante d'exemples de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 est une vue schématique en perspective des pistes métalliques d'un exemple de réalisation d'une inductance à deux boucles formées sur deux niveaux de boucle ; B8144 - 06-GR1-502

4 la figure 2 est une section schématique de l'inductance de la figure 1 illustrant un exemple d'ordre de passage du courant dans les boucles de l'inductance ; la figure 3 est une section analogue à la figure 2 5 pour un autre exemple d'ordre de passage du courant dans les boucles de l'inductance ; les figures 4, 6, 8 et 10 sont des figures analogues à la figure 1 et les figures 5, 7, 9 et 11 sont des figures analogues à la figure 2 pour d'autres exemples de réalisation 10 d'inductances. Description détaillée Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, comme cela est habituel dans la représentation des circuits 15 intégrés, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Dans la suite de la description, on considère des inductances formées dans un circuit comprenant un empilement de couches isolantes recouvrant un substrat. A chaque couche isolante sont associées des pistes métalliques d'un niveau de 20 métallisation donné. On appelle premier niveau de métallisation, le niveau de métallisation utilisé pour la réalisation de l'inductance pour lequel les pistes sont les plus proches du substrat et dernier niveau de métallisation, le niveau de métallisation utilisé pour la réalisation de l'inductance pour lequel 25 les pistes sont les plus éloignées du substrat. Une boucle d'une inductance correspond à une ou plusieurs pistes métalliques, éventuellement de niveaux de métallisation différents, connectées les unes aux autres de façon à être électriquement équivalentes à une seule piste ayant la forme d'une boucle. Une demi-boucle 30 correspond à une ou plusieurs pistes métalliques, éventuellement de niveaux de métallisation différents, connectées les unes aux autres de façon à être électriquement équivalentes à une seule piste ayant la forme d'une moitié de boucle. En outre, dans la suite de la description, une piste 35 d'un niveau de métallisation donné est dite alignée avec une B8144 - 06-GR1-502

piste d'un autre niveau de métallisation, si, vues selon la direction d'empilement des couches isolantes, les pistes se recouvrent sensiblement de façon complète. Une piste d'un niveau de métallisation donné est dite partiellement alignée avec une 5 piste d'un autre niveau de métallisation, si, vues selon la direction d'empilement des couches isolantes, les pistes se recouvrent sensiblement de façon complète seulement sur une partie de leur longueur. Dans la suite de la description, une demi-boucle d'une inductance peut comprendre une piste métallique d'un seul niveau de métallisation ou plusieurs pistes métalliques de niveaux de métallisation successifs qui sont alignées et connectées les unes aux autres sur toute leur longueur par des vias conducteurs. Dans ces deux cas, on considère que la demi-boucle appartient à un seul niveau de boucle. Dans la suite de la description, on appelle premier niveau de boucle, le niveau de boucle pour lequel une demi-boucle comprend seulement une piste du premier niveau de métallisation ou comprend des pistes des premiers niveaux de métallisation qui sont alignées et connectées les unes aux autres sur toute leur longueur par des vias conducteurs. On appelle dernier niveau de boucle, le niveau de boucle pour lequel une demi-boucle comprend seulement une piste du dernier niveau de métallisation ou comprend des pistes des derniers niveaux de métallisation qui sont alignées et connectées les unes aux autres sur toute leur longueur par des vias conducteurs. Dans la suite de la description, deux demi-boucles sont dites alignées lorsque toutes les pistes métalliques qui les constituent sont alignées. En outre, des première et deuxième demi-boucles alignées sont dites adjacentes s'il n'y a pas une troisième demi-boucle alignée avec les première et deuxième demi-boucles qui est interposée entre les première et deuxième demi-boucles. La présente invention consiste à réaliser une induc- tance dont les demi-boucles sont reliées les unes aux autres de façon que, pour chaque paire de première et seconde demi-boucles B8144 - 06-GR1-502

6 alignées de deux niveaux de boucle successifs ou éventuellement séparés par un niveau de boucle intermédiaire, le nombre de demi-boucles parcourues par le courant entre la première demi-boucle et la seconde demi-boucle est le plus faible possible, de préférence inférieur ou égal à 2 et avantageusement égal à l'unité. Ceci permet de réduire la chute de potentiel entre les première et seconde demi-boucles et donc de réduire les cou-plages capacitifs parasites entre les première et seconde demi-boucles.

Plusieurs exemples de réalisation d'inductances comprenant des boucles formées dans plusieurs niveaux de boucle vont maintenant être décrits. Pour chacun de ces exemples de réalisation, les inductances sont définies de façon que, pour chaque paire de première et seconde demi-boucles alignées et adjacentes, le courant ayant traversé la première demi-boucle, traverse une seule demi-boucle intermédiaire avant de traverser la seconde demi-boucle. Les couplages capacitifs parasites entre la première et seconde demi-boucles qui dépendent de la différence de potentiel entre les première et seconde demi- boucles sont donc réduits. 1. Inductance formée sur deux niveaux de boucle comprenant deux boucles par niveau de boucle. La figure 1 est une vue en perspective schématique des pistes métalliques d'un exemple de réalisation d'une inductance 10 comprenant deux boucles par niveau de boucle sur deux niveaux de boucle N1 et N2. Dans le présent exemple, on considère un circuit comprenant au moins quatre niveaux de métallisation notés M1 à M4, M1 correspondant au premier niveau de métallisation. Le premier niveau de boucle N1 correspond à des pistes métalliques des premier et deuxième niveaux de métallisation M1 et M2 et le second niveau de boucle N2 correspond à des pistes métalliques des troisième et quatrième niveaux de métallisation M3 et M4. Sur les figures, les nias reliant des pistes métalliques de niveaux de métallisation successifs sont représentés par deux croix reliées par un trait en pointillés.

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7 Dans le niveau de métallisation M4, l'inductance 10 comprend une piste 12 comprenant une portion rectiligne 14 formant une première borne d'accès de l'inductance 10, la portion 14 se prolongeant par une portion 16 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une première demi-boucle. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 18 comprenant une portion rectiligne 20 formant une seconde borne d'accès de l'inductance 10, la portion 20 se prolongeant par une portion 22 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 22 se prolongeant, par l'intermédiaire d'un pont de connexion 24, par une portion 26 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 26 se prolongeant par une portion de connexion 28. Les portions 16 et 22 sont sensiblement symétriques par rapport un plan P représenté par des traits pointillés. La portion 26 longe sensiblement le bord interne de la portion 16. L'inductance 10 comprend une piste 30 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. La portion 26 et la piste 30 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. Dans le niveau de métallisation M3, l'inductance 10 comprend une piste 32 comprenant une portion rectiligne 34 se prolongeant par une portion 36 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 36 se prolongeant, par l'intermédiaire d'un pont de connexion 38, par une portion 40 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 40 se prolongeant par une portion de connexion 42. Les portions 34 et 36 sont sensiblement alignées avec les portions 14 et 16 et sont connectées à celles-ci par des vias conducteurs (non repré- sentés) sur toute leur longueur. De plus, la portion 40 est sensiblement alignée avec la piste 30 et est connectée à celle- ci par des vias conducteurs (non représentés) sur toute sa longueur. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 44 comprenant une portion rectiligne 46 se prolongeant par une B8144 06-GR1-502

8 portion 48 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. Les portions 46 et 48 sont sensiblement alignées avec les portions 20 et 22 et sont connectées à celles-ci sur toute leur longueur par des vias conducteurs (trois vias 50 étant représentés à titre d'exemple entre les portions 22 et 48). L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 52 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. La piste 52 est sensiblement alignée avec la portion 26 et est connectée à celle-ci par des vias sur toute sa longueur. L'inductance 10 comprend, en outre, un plot de connexion 54 sensiblement aligné avec l'extrémité libre de la portion de connexion 28 et connecté à celle-ci par un via 56. Il est à noter que le pont de connexion 24 n'est pas connecté par des vias au pont de connexion 38. Dans le niveau de métallisation M2, l'inductance 10 comprend une piste 58 ayant sensiblement la forme d'un demi- hexagone et correspondant à une demi-boucle. La piste 58 est sensiblement alignée avec la portion 36. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 60 comprenant une portion 62 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 62 se prolongeant, par l'intermédiaire d'un pont de connexion 64, par une portion 66 ayant sensiblement la forme d'un hexagone et correspondant à deux demi-boucles. La portion 62 est sensiblement alignée avec la portion 48 et les portions 40 et 52 sont sensiblement alignées avec la portion 66. Dans le niveau de métallisation M1, l'inductance 10 comprend une piste 68 ayant sensiblement la forme d'un demi- hexagone et correspondant à une demi-boucle. La piste 68 est sensiblement alignée avec la portion 62 et est connectée à celleci sur toute sa longueur par des vias (trois vias 69 étant représentés à titre d'exemple). L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 70 comprenant une portion 72 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 72 se prolongeant, par l'intermédiaire d'un pont de B8144 - 06-GR1-502

9 connexion 74, par une portion 76 ayant sensiblement la forme d'un hexagone et correspondant à deux demi-boucles. La portion 72 est sensiblement alignée avec la piste 58 à laquelle elle est connectée sur toute sa longueur par des vias (non représentés).

La portion 76 est sensiblement alignée avec la portion 66 à laquelle elle est connectée sur toute sa longueur par des vias (non représentés). Il est à noter que le pont de connexion 64 n'est pas connecté par des vias au pont de connexion 74. Le plot 54 est connecté à l'extrémité libre de la portion 62 par un via 78. La portion de connexion 42 est connectée à une extrémité de la piste 58 par un via 80. Pour certaines applications, en plus des bornes d'accès principales, il est souhaitable de disposer d'une borne d'accès supplémentaire au niveau d'un point particulier de l'inductance pour lequel la tension entre la borne d'accès supplémentaire et l'une des bornes d'accès principales est opposée à la tension entre la borne d'accès supplémentaire et l'autre borne d'accès principale. Un tel point est appelé point milieu de l'inductance et la borne d'accès supplémentaire est appelée borne d'accès différentiel. Le point milieu correspond en fait au point de l'inductance pour lequel les composantes inductive et résistive de l'inductance entre l'une des bornes d'accès principales et le point milieu sont identiques respectivement aux composantes inductive et résistive de l'inductance entre le point milieu et l'autre borne d'accès principale. L'inductance 10 présente un point milieu MI au niveau de l'intersection des portions 66 et 76 et du plan P. La figure 2 illustre un exemple d'ordre de passage du courant dans les demi-boucles de l'inductance 10 de la figure 1.

La figure 2 représente des cases symbolisant les demi-boucles de l'inductance 10 vues en coupe selon un plan perpendiculaire au plan P. Chaque case est désignée par les références des pistes ou portions métalliques auxquelles elle correspond. Dans chaque case est inscrit un nombre indiquant l'ordre de passage du courant dans la demi-boucle correspondante.

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10 En considérant que le courant débute sa progression par les portions rectilignes 14 et 34, le courant parcourt alors les portions 16 et 36 (case N 1) puis continue par les portions 30 et 40 (case N 2) par l'intermédiaire du pont de connexion 38. Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 42 et du via 80, le courant parcourt la piste 58 et la portion 72 (case N 3). Puis, par l'intermédiaire du pont de connexion 74, le courant parcourt les portions 76 et 66 (cases N 4 et N 5). Puis, par l'intermédiaire du pont de connexion 64, le courant parcourt la portion 62 et la piste 68 (case N 6). Puis, par l'intermédiaire du via 78, du plot de connexion 54, du via 56 et de la portion de connexion 28, le courant parcourt alors les portions 26 et 52 (case N 7). Puis, par l'intermédiaire du pont de connexion 24, le courant parcourt les portions 22 et 48 (case N 8) pour atteindre les portions rectilignes 20 et 46. La figure 3 représente un exemple d'ordre de passage du courant dans une inductance 10' correspondant à une variante de l'inductance 10 dans laquelle les portions 62 et la piste 58 (et la piste 68 et la portion 72) sont jointes pour former une boucle continue, dans laquelle les portions 66 et 76 sont divisées en première et seconde demi-boucles au niveau de l'intersection avec le plan P et dans laquelle la portion 26 est connectée à la première demi-boucle et la portion 30 est connectée à la seconde demi-boucle. Par rapport à l'inductance 10, l'inductance 10' comprend avantageusement un point milieu à la jonction entre la piste 58 et la portion 60 (et entre la piste 68 et la portion 72) qui est facilement accessible. Toute-fois, en moyenne, pour chaque paire de première et seconde demi-boucles adjacentes et alignées, le courant ayant traversé la première demi-boucle, traverse quatre demi-boucles intermédiaires avant de traverser la seconde demi-boucle. Les couplages capacitifs parasites pour l'inductance 10' sont donc plus élevés que pour l'inductance 10. La demanderesse a mis en évidence que la fréquence de coupure de l'inductance 10 est augmentée d'un facteur d'environ 2 par rapport à l'inductance 10' alors que les B8144 - 06-GR1-502

11 valeurs d'inductance sont sensiblement identiques. En outre, le facteur de qualité de l'inductance 10 est amélioré aux fréquences élevées. 2. Inductance formée sur quatre niveaux de boucle et 5 comprenant une boucle par niveau. La figure 4 est une vue en perspective schématique des pistes métalliques d'un exemple de réalisation d'une inductance 100 comprenant une boucle par niveau de boucle sur quatre niveaux de boucle N1 à N4. A titre d'exemple, dans le présent 10 exemple de réalisation et dans les autres exemples de réalisation qui sont décrits pas la suite, les demi-boucles du niveau de boucle N1 comprennent des paires de pistes métalliques de deux niveaux de métallisation M2 et M3 qui sont alignées et connectées entre elles sur toute leur longueur. De même, les 15 demi-boucles du niveau de boucle N2 comprennent des paires de pistes métalliques de deux niveaux de métallisation M4 et M5 qui sont alignées et connectées entre elles sur toute leur longueur. Les demi-boucles du niveau de boucle N3 comprennent des pistes métalliques d'un seul niveau de métallisation M6 et les demi- 20 boucles du niveau de boucle N4 comprennent des pistes métalliques du dernier niveau de métallisation. Pour les niveaux de boucle N1 et N2, une piste ou une portion correspond donc à des pistes métalliques empilées de deux niveaux de métallisation. 25 Dans le niveau de boucle N4, l'inductance 100 comprend une piste 102 comprenant une portion rectiligne 104 formant une première borne d'accès, la portion 104 se prolongeant par une portion 106 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 106 se prolongeant 30 par une portion de connexion 108. L'inductance 100 comprend, en outre, une piste 110 comprenant une portion rectiligne 112 formant une seconde borne d'accès, la portion 112 se prolongeant par une portion 114 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. Les portions 106 et 35 114 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P.

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12 Dans le niveau de boucle N3, l'inductance 100 comprend une piste 116 comprenant une portion 118 en forme de U et correspondant à une demi-boucle, la portion 118 se prolongeant par une portion de connexion 120. L'inductance 100 comprend, en outre, une piste 122 comprenant une portion 124 en forme de U et correspondant à une demi-boucle, la portion 124 se prolongeant par une portion de connexion 125. L'inductance 100 comprend, en outre, deux plots de connexion 126, 127. Les portions 118, 124 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P.

Dans le niveau de boucle N2, l'inductance 100 comprend une piste 128 comprenant une portion 130 ayant sensiblement la forme d'un hexagone et correspondant à deux demi-boucles, la portion 130 se prolongeant par une portion de connexion 132. De plus, l'inductance 100 comprend des plots de connexion 134, 136, 138, 140. Les portions 106 et 114 sont sensiblement alignées avec la portion 130. La portion de connexion 132 est sensiblement alignée avec la portion de connexion 108. Les plots 138, 140 sont respectivement alignés avec les plots 126 et 127. Dans le niveau de boucle N1, l'inductance 100 comprend une piste 142 comprenant une portion 144 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 144 se prolongeant par une portion de connexion 146. L'inductance 100 comprend, en outre, une piste 148 comprenant une portion 150 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 150 se prolongeant par une portion de connexion 152. La portion 124 est partiellement alignée avec la portion 144 et la portion 118 est partiellement alignée avec la portion 150. Les connexions entre les différents niveaux de boucle sont les suivantes. L'extrémité libre de la portion 114 est connectée au plot 127 par un via 154. La portion de connexion 108 est connectée au plot 126 par un via 156. La portion de connexion 125 est connectée au plot 134 par un via 158. L'extrémité libre de la portion 118 est connectée au plot 136 par un via 160. L'extrémité libre de la portion 124 est B8144 - 06-GR1-502

13 connectée à la portion de connexion 132 par un via 162. Le plot 126 est connecté au plot 138 par un via 164. La portion de connexion 120 est connectée à l'extrémité libre de la portion 130 par un via 166. Le plot 127 est connecté au plot 140 par un via 168. Le plot 134 est connecté à l'extrémité libre de la portion 150 par un via 170. Le plot 136 est connecté à la portion de connexion 146 par un via 172. Le plot 138 est connecté à l'extrémité libre de la portion 144 par un via 174. Le plot 140 est connecté à la portion de connexion 152 par un via 176.

La figure 5 est une vue analogue à la figure 2 et illustre un exemple d'ordre de passage du courant dans les demi-boucles de l'inductance 100 de la figure 4. En considérant que le courant débute son parcours par la portion 112, il poursuit sa progression par la piste 114 (case N 1). Puis, par l'intermédiaire du via 154, du plot 127, du via 168, du plot 140 du via 176 et de la portion de connexion 152, le courant parcourt la portion 150 (case N 2). Puis, par l'intermédiaire du via 170, du plot 134, du via 158 et de la portion de connexion 125, le courant parcourt la portion 124 (case N 3). Puis, par l'intermédiaire du via 162 et de la portion de connexion 132, le courant parcourt la portion 130 (cases N 4 et 5). Puis, par l'intermédiaire du via 166 et de la portion de connexion 120, le courant parcourt la portion 118 (case N 6). Puis, par l'intermédiaire du via 160, du plot 136, du via 172 et de la portion de connexion 146, le courant parcourt la portion 144 (case N 7). Enfin, par l'intermédiaire du via 174, du plot 138, du via 164, du plot 126, du via 156 et de la portion de connexion 108, le courant parcourt la portion 106 (case N 8) et s'échappe par la portion 104.

L'inductance 100 comprend un point milieu MI, facilement accessible, à l'intersection entre la portion 130 et le plan P.

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14 3. Inductance formée sur quatre niveaux de boucle et comprenant deux boucles par niveau de boucle. La figure 6 est une vue en perspective schématique des pistes métalliques d'un exemple de réalisation d'une inductance 200 comprenant deux boucles par niveau de boucle sur quatre niveaux de boucle N1 à N4. Dans le niveau de boucle N4, l'inductance 200 comprend une piste 202 comprenant une portion rectiligne 204, formant une borne d'accès, se prolongeant par une portion 206 ayant sensi- blement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 200 comprend, en outre, une piste 208 comprenant une portion rectiligne 210, formant une borne d'accès, se prolongeant par une portion 212 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 212 se prolongeant par une portion 214 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 214 se prolongeant par une portion de connexion 216. L'inductance 200 comprend, en outre, une piste 218 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. De plus, l'inductance 200 comprend deux pistes 222 et 224 formant des portions de connexion. Les portions 206 et 212 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. En outre, la portion 214 et la piste 218 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La portion 214 est réalisée à l'intérieur de la portion 206 et la piste 218 est réalisée à l'intérieur de la portion 212. Dans le niveau de boucle N3, l'inductance 200 comprend une piste 226 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagoneet correspondant à une demi-boucle. La piste 226 est située, en vue de dessus, sensiblement entre la portion 212 et la piste 218. L'inductance 200 comprend, en outre, une piste 228 comprenant une portion de connexion 230 se prolongeant par une portion 232 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 232 se prolongeant par une portion 234 ayant sensiblement la forme d'un hexagone et correspondant à B8144 - 06-GR1-502

15 deux demi-boucles. La portion 234 est située, en vue de dessus, sensiblement à l'intérieur de la piste 218 et de la portion 214. Les portions 226 et 232 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P et le plan P correspond sensiblement à un plan de symétrie de la portion 234. L'inductance 200 comprend deux pistes 236 et 238 formant des ponts de connexion. De plus, l'inductance 200 comprend deux plots de connexion 240, 242. Dans le niveau de boucle N2, l'inductance 200 comprend une piste 244 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 200 comprend, en outre, une piste 246 comprenant une portion 248 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 248 se prolongeant par une portion 250 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 200 comprend, en outre, une piste 252 comprenant une portion 254 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 254 se prolongeant par une portion de connexion 256. L'inductance 200 comprend, en outre, une piste 258 formant un pont de connexion et comprend des plots de connexion 260, 262. La portion 244 est sensiblement alignée avec la portion 206. La portion 248 est sensiblement alignée avec la portion 212 et la portion 250 est sensiblement alignée avec la portion 214. Le pont de connexion 258 est sensiblement aligné avec le pont de connexion 222. Le plot 260 est aligné avec le plot 242. Dans le niveau de boucle N1, l'inductance 200 comprend une piste 263 comprenant une portion 264 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 264 se prolongeant par une portion de connexion 265.

L'inductance 200 comprend, en outre, une piste 266 qui comprend une portion 268 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 268 se prolongeant par une portion 270 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 200 comprend, en outre, une piste 272 ayant sensiblement la forme B8144 - 06-GR1-502

16 d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 200 comprend, en outre, un pont de connexion 274. La portion 268 est alignée avec la portion 232. Les portions 270 et 272 sont partiellement alignées avec la portion 234. La portion 264 est alignée avec la piste 226. Le pont de connexion 274 est aligné avec le pont de connexion 236. Les connexions entre les niveaux de boucle N4 et N3 sont les suivantes. Le pont de connexion 236 relie l'extrémité libre de la portion 206 à une première extrémité de la piste 218 par des vias 276 et 278. Le pont de connexion 222 relie l'extrémité libre de la portion 234 à une première extrémité de la piste 226 par des vias 280 et 282. La seconde extrémité de la piste 218 est reliée au pont de connexion 238 par un via 284. Le pont de connexion 224 relie la seconde extrémité de la piste 226 au plot 242 par des vias 286, 288. La portion de connexion 216 est reliée au plot 240 par un via 290. Les connexions entre les niveaux de boucle N3 et N2 sont les suivantes. Le pont de connexion 238 est relié à une première extrémité de la piste 244 par un via 292. Le plot 240 est relié à l'extrémité libre de la portion 248 par un via 294. Le plot 242 est relié au plot 260 par un via 296 et la portion de connexion 230 est reliée au plot 262 par un via 298. Les connexions entre les niveaux N2 et N1 sont les suivantes. Le pont de connexion 274 relie la seconde extrémité de la piste 244 à l'extrémité libre de la portion 254 par des vias 300 et 302. Le pont de connexion 258 relie une première extrémité de la piste 272 à l'extrémité libre de la portion 264 par des vias 304, 306. La portion de connexion 256 est reliée à l'extrémité libre de la portion 268 par un via 308. L'extrémité libre de la portion 250 est reliée à la portion de connexion 265 par un via 310. Le plot 260 est relié à la seconde extrémité de la piste 272 par un via 312 et le plot 262 est relié à l'extrémité libre de la portion 270 par un via 314. La figure 7 est une vue analogue à la figure 2 et 35 illustre un exemple d'ordre de passage du courant dans les demi- B8144 - 06-GR1-502

17 boucles de l'inductance 200 de la figure 6. En considérant que le courant débute son parcours par la borne d'accès 204, il parcourt la portion 206 (case N 1). Puis, par l'intermédiaire du via 276, du pont de connexion 236 et du via 278, le courant parcourt la piste 218 (case N 2). Puis, par l'intermédiaire du via 284, du pont de connexion 238 et du via 292, le courant parcourt la piste 244 (case N 3). Puis, par l'intermédiaire du via 300, du pont de connexion 274 et du via 302, le courant parcourt la portion 254 (case N 4). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 256 et du via 308, le courant parcourt la portion 268 (case N 5) et la portion 270 (case N 6). Puis, par l'intermédiaire du via 314, du plot 262, du via 298 et de la portion de connexion 230, le courant parcourt la portion 232 (case N 7) et la portion 234 (cases N 8 et 9).

Puis, par l'intermédiaire du via 280, du pont de connexion 222 et du via 282, le courant parcourt la piste 226 (case N 10). Puis, par l'intermédiaire du via 286, du pont de connexion 224, du via 288, du plot 242, du via 296, du plot 260 et du via 312, le courant parcourt la piste 272 (case N 11). Puis, par l'intermédiaire du via 304, du pont de connexion 258, du via 306, le courant parcourt la portion 264 (case N 12). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 265 et du via 310, le courant parcourt la portion 250 (case N 13) puis la portion 248 (case N 14). Puis, par l'intermédiaire du via 294, du plot 240, du via 290 et de la portion de connexion 216, le courant parcourt la portion 214 (case N 15) puis la portion 212 (case N 16) pour sortir par la borne d'accès 210. L'inductance 200 comprend un point milieu MI à l'intersection entre la portion 234 et le plan P. 4. Inductance formée sur quatre niveaux de boucle et comprenant deux boucles par niveau de boucle. La figure 8 est une vue de dessus schématique des niveaux de boucle, représentés les uns en dessous des autres, d'un autre exemple de réalisation d'une inductance 400 compre- B8144 - 06-GR1-502

18 nant deux boucles par niveau de boucle sur quatre niveaux de boucle N1 à N4. Dans le niveau de boucle N4, l'inductance 400 comprend une piste 402 comprenant une portion rectiligne 404 formant une borne d'accès qui se prolonge par une portion 406 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 406 se prolongeant par une portion 408 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 400 comprend, en outre, une piste 410 comprenant une portion rectiligne 412 formant une borne d'accès qui se prolonge par une portion 414 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 400 comprend, en outre, une piste 416 comprenant une portion 418 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 418 se prolongeant par une portion de connexion 420. L'inductance 400 comprend, en outre, des pistes 422 et 424 formant des ponts de connexion. Les portions 406 et 414 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. Les portions 408 et 418 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La portion 408 s'étend à l'intérieur de la portion 414 et la portion 418 s'étend à l'intérieur de la portion 406. Dans le niveau de boucle N3, l'inductance 400 comprend une piste 426 comprenant une portion 428 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 428 se prolongeant par une portion de connexion 430. L'inductance 400 comprend, en outre, une piste 432 comprenant une portion 434 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 434 se prolon- geant par une portion 436 ayant sensiblement la forme d'un demi- hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 400 comprend, en outre, une piste 438 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'induc- tance 400 comprend, en outre, deux pistes 440, 442 formant des ponts de connexion et des plots 444 et 446. Les portions 428 et B8144 - 06-GR1-502

19 434 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La portion 436 et la piste 438 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La portion 428 est située, en vue de dessus, sensiblement entre la portion 406 et la portion 418. La portion 434 est située, en vue de dessus, sensiblement entre la portion 414 et la portion 408. La portion 436 est située, en vue de dessus, sensiblement à l'intérieur de la portion 418 et la piste 438 est située, en vue de dessus, sensiblement à l'intérieur de la portion 408.

Dans le niveau de boucle N2, l'inductance 400 comprend une piste 448 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 400 comprend, en outre, une piste 450 comprenant une portion 452 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi- boucle, la portion 452 se prolongeant par une portion 454, ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 454 se prolongeant par une portion de connexion 456. L'inductance 400 comprend, en outre, une piste 458 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspon- dant à une demi-boucle. L'inductance 400 comprend, en outre, une piste 460 formant un pont de connexion et trois plots de connexion 462, 464 et 466. La portion 452 est sensiblement alignée avec la portion 406. Le pont de connexion 460 est sensiblement aligné avec le pont de connexion 424. La portion 454 est sensi- blement alignée avec la portion 408. La piste 448 est sensiblement alignée avec la portion 414. La piste 458 est sensiblement alignée avec la portion 418. Dans le niveau de boucle N1, l'inductance 400 comprend une piste 468 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 400 comprend, en outre, une piste 470 comprenant une portion 472 ayant sensi-blement la forme d'un hexagone et correspondant à deux demiboucles, la portion 472 se prolongeant par une portion 474 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance comprend, en outre, deux pistes 476 et B8144 06-GR1-502

20 478 formant des ponts de connexion. Les portions 434 et 428 sont sensiblement alignées avec la portion 472. La portion 474 est partiellement alignée avec la portion 436 et la piste 468 est partiellement alignée avec la piste 438. Le pont de connexion 476 est sensiblement aligné avec le pont de connexion 440. Les connexions entre les niveaux de boucle N4 et N3 sont les suivantes. Le pont de connexion 422 relie l'extrémité libre de la portion 434 au plot 446 par des vias 480 et 482. Le pont de connexion 424 relie une première extrémité de la piste 438 à l'extrémité libre de la portion 428 par des vias 484 et 486. Le pont de connexion 440 relie l'extrémité libre de la portion 418 à l'extrémité libre de la portion 414 par des vias 488 et 490. L'extrémité libre de la portion 408 est reliée au pont de connexion 442 par un via 492. La portion de connexion 420 est reliée au plot 444 par un via 494. Les connexions entre les niveaux de boucle N3 et N2 sont les suivantes. Le plot 444 est relié à une première extrémité de la piste 448 par un via 496. Le pont de connexion 442 est relié à l'extrémité libre de la portion 452 par un via 498.

La seconde extrémité de la piste 438 est reliée au plot 464 par un via 500 et l'extrémité libre de la portion 436 est reliée à la portion de connexion 456 par un via 502. La portion de connexion 430 est reliée au plot 466 par un via 504 et le plot 446 est relié au plot 462 par un via 506.

Les connexions entre les niveaux de boucle N2 et N1 sont les suivantes. Le pont de connexion 460 relie une première extrémité de la piste 468 à l'extrémité libre de la portion 472 par des vias 508 et 510. Le pont de connexion 476 relie une première extrémité de la piste 458 à la seconde extrémité de la piste 448 par des vias 514 et 516. Le pont de connexion 478 relie la seconde extrémité de la piste 458 au plot 464 par des vias 518 et 520. L'extrémité libre de la portion 474 est reliée au plot 462 par un via 522 et la seconde extrémité de la piste 468 est reliée au plot 466 par un via 524.

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21 La figure 9 est une vue analogue à la figure 2 et illustre un exemple d'ordre de passage du courant dans les demi-boucles de l'inductance 400 de la figure 8. En considérant que le courant débute son parcours par la borne d'accès 404, le courant parcourt la portion 406 (case N 1) puis la portion 408 (case N 2). Puis, par l'intermédiaire du via 492, du pont de connexion 442 et du via 498, le courant parcourt la portion 452 (case N 3) puis la portion 454 (case N 4). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 456 et du via 502, le courant parcourt la portion 436 (case N 5) puis la portion 434 (case N 6). Puis, par l'intermédiaire du via 480, du pont de connexion 422, du via 482, du plot 446, du via 506, du plot 462 et du via 522, le courant parcourt la portion 474 (case N 7) puis la portion 472 (cases N 8 et 9). Puis, par l'intermédiaire du via 510, du pont de connexion 460 et du via 508, le courant parcourt la portion 468 (case N 10). Puis, par l'intermédiaire du via 524, du plot 466, du via 504 et de la portion de connexion 430, le courant parcourt la portion 428 (case N 11). Puis, par l'intermédiaire du via 486, du pont de connexion 424 et du via 484, le courant parcourt la piste 438 (case N 12). Puis, par l'intermédiaire du via 500, du plot 464, du via 520, du pont de connexion 478 et du via 518, le courant parcourt la piste 458 (case N 13). Puis, par l'intermédiaire du via 514, du pont de connexion 476 et du via 516, le courant parcourt la piste 448 (case N 14). Puis, par l'intermédiaire du via 496, du plot 444, du via 494 et de la portion de connexion 420, le courant parcourt la portion 418 (case N 15). Puis, par l'intermédiaire du via 488, du pont de connexion 440 et du via 490, le courant parcourt la portion 414 (case N 16) pour atteindre la borne d'accès 412. L'inductance 400 comporte un point milieu MI à l'intersection entre la portion 472 du niveau de boucle N1 et le plan P. Par rapport à l'inductance 200, un avantage de l'inductance 400 est que le point milieu MI associé est facilement accessible depuis l'extérieur de l'inductance 400.

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22 5. Inductance formée sur quatre niveaux de boucle et comprenant trois boucles par niveau de boucle. La figure 10 est une vue de dessus schématique des niveaux de boucle, représentés les uns au dessous des autres, d'un autre exemple de réalisation d'une inductance 600 comprenant trois boucles par niveau de boucle sur quatre niveaux de boucle N1 à N4. Dans le niveau de boucle N4, l'inductance 600 comprend une piste 602 comprenant une portion rectiligne 604 constituant une borne d'accès se prolongeant par une portion 606 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 608 comprenant une portion rectiligne 610 formant une borne d'accès se prolongeant par une portion 612 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 612 se prolongeant par une portion de connexion 614. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 614 comprenant une portion 616 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 616 se prolon- geant par une portion de connexion 618. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 620 comprenant une portion 622 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 622 se prolongeant par une portion 624 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 626 comprenant une portion 628 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 628 se prolongeant par une portion de connexion 630. L'inductance 600 comprend, en outre, des pistes 632 et 634 formant des ponts de connexion. Les portions 606 et 612 sont sensible- ment symétriques par rapport au plan P. Les portions 622 et 616 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. Les portions 624 et 628 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La portion 628 s'étend à l'intérieur de la portion 622 qui, elle-même, s'étend à l'intérieur de la portion 606. La B8144 - 06-GR1-502

23 portion 624 s'étend à l'intérieur de la portion 616 qui, elle-même, s'étend à l'intérieur de la portion 612. Dans le niveau de boucle N3, l'inductance 600 comprend une piste 636 comprenant une portion 638 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 638 se prolongeant par une portion de connexion 640. L'inductance comprend, en outre, une piste 642 comprenant une portion 644 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 644 se prolongeant par une portion de connexion 646. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 648 comprenant une portion 650 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 650 se prolongeant par une portion de connexion 652. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 654 compre- nant une portion 656 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 656 se prolongeant par une portion de connexion 658. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 660 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'induc- tance 600 comprend, en outre, une piste 662 comprenant une portion 664 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 664 se prolongeant par une portion de connexion 666. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 668 formant un pont de connexion et deux plots de connexion 669 et 670. Les portions 638 et 644 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. Les portions 650 et 656 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La portion 664 et la piste 660 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La portion 638 est située, en vue de dessus, sensiblement entre la portion 606 et la portion 622. La portion 650 est située, en vue de dessus, sensiblement entre la portion 622 et la portion 628. La piste 660 est située, en vue de dessus, sensiblement à l'intérieur de la portion 628. La portion 644 est située, en vue de dessus, sensiblement entre la portion 612 et la portion 616. La portion 656 est située, en vue de B8144 - 06-GR1-502

24 dessus, sensiblement entre la portion 616 et la portion 624. La portion 664 est située, en vue de dessus, sensiblement à l'intérieur de la portion 624. Dans le niveau de boucle N2, l'inductance 600 comprend une piste 671 comprenant une portion 672 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 672 se prolongeant par une portion de connexion 674. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 676 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 678 comprenant une portion de connexion 680 se prolongeant par une portion 682 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 682 se prolongeant par une portion de connexion 684. L'inductance comprend, en outre, une piste 686 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 688 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 690 ayant une portion 692 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 692 se prolongeant par une portion de connexion 694. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 696 formant un pont de connexion et un plot de connexion 698. La portion 672 est sensiblement alignée avec la portion 606. La piste 676 est sensiblement alignée avec la portion 612. La portion 682 est sensiblement alignée avec la portion 622. La piste 686 est sensiblement alignée avec la portion 616. La piste 688 est partiellement alignée avec la portion 628. La portion 692 est partiellement alignée avec la portion 624 Dans le niveau de boucle N1, l'inductance 600 comprend une piste 700 comprenant une portion 702 ayant sensiblement la forme d'un hexagone et correspondant à deux demi-boucles, la portion 702 se prolongeant par une portion de connexion 704.

L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 706 comprenant B8144 -06-GR1-502

25 une portion 708 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 708 se prolongeant par une portion de connexion 710. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 712 comprenant une portion 714 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 714 se prolongeant par une portion 716 ayant partiellement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 716 se prolongeant par une portion de connexion 718. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 720 ayant partiellement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 600 comprend, en outre, une piste 722 formant un pont de connexion. Les portions 638 et 644 sont sensiblement alignées avec la portion 702. La portion 708 est sensiblement alignée avec la portion 650. La piste 720 est partiellement alignée avec la portion 664. La portion 714 est sensiblement alignée avec la portion 656. La portion 716 est partiellement alignée avec la piste 660. Les connexions entre les niveaux de boucle N4 et N3 sont les suivantes. Le pont de connexion 632 relie le plot 669 à l'extrémité libre de la portion 656 par des vias 724 et 726. Le pont de connexion 634 relie l'extrémité libre de la portion 638 au plot 670 par des vias 728 et 730. Le pont de connexion 668 relie l'extrémité libre de la portion 616 à l'extrémité libre de la portion 628 par des vias 732 et 734. L'extrémité libre de la portion 606 est reliée à la portion de connexion 658 par un via 736. La portion de connexion 630 est reliée à l'extrémité libre de la portion 644 par un via 738. L'extrémité libre de la portion 622 est reliée à la portion de connexion 666 par un via 740. La portion de connexion 614 est reliée à l'extrémité libre de la portion 650 par un via 742. L'extrémité libre de la portion 624 est reliée à la portion de connexion 640 par un via 744. La portion de connexion 618 est reliée à une première extrémité de la piste 660 par un via 746.

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26 Les connexions entre les niveaux de boucle N3 et N2 sont les suivantes. La portion de connexion 652 est reliée à une première extrémité de la piste 676 par un via 748. Le plot 669 est relié à l'extrémité libre de la portion 672 par un via 750.

La portion de connexion 646 est reliée à une première extrémité de la piste 688 par un via 752. Le plot 670 est relié à l'extrémité libre de la portion 692 par un via 754. L'extrémité libre de la portion 664 est reliée à la portion de connexion 680 par un via 756. La seconde extrémité de la piste 660 est reliée au plot 698 par un via 758. Les connexions entre les niveaux de boucle N2 et N1 sont les suivantes. Le pont de connexion 722 relie une première extrémité de la piste 686 au plot 698 par des vias 760 et 762. Le pont de connexion 696 relie l'extrémité libre de la portion 708 à une première extrémité de la piste 720 par des vias 764 et 766. La seconde extrémité de la piste 676 est reliée à la portion de connexion 710 par un via 768. La portion de connexion 694 est reliée à l'extrémité libre de la portion 702 par un via 770. La seconde extrémité de la piste 686 est reliée à la portion de connexion 718 par un via 772. La portion de connexion 674 est reliée à l'extrémité libre de la portion 714 par un via 774. La seconde extrémité de la piste 688 est reliée à la portion de connexion 704 par un via 776. La portion de connexion 684 est reliée à la seconde extrémité de la piste 720 par un via 778. La figure 11 est une vue analogue à la figure 2 et illustre un exemple d'ordre de passage du courant dans les demi-boucles de l'inductance 600 de la figure 10. En considérant que le courant débute son parcours par la borne d'accès 604, le courant parcourt la portion 606 (case N 1). Puis, par l'intermédiaire du via 736 et de la portion de connexion 658, le courant parcourt la portion 656 (case N 2). Puis, par l'intermédiaire du via 726, du pont de connexion 632, du via 724, du plot 669 et du via 750, le courant parcourt la portion 672 (case N 3). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 674 B8144 - 06-GR1-502

27 et du via 774, le courant parcourt la portion 714 (case N 4) puis la portion 716 (case N 5). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 718 et du via 772, le courant parcourt la piste 686 (case N 6). Puis, par l'intermédiaire du via 760, du pont de connexion 722, du via 762, du plot 698 et du via 758, le courant parcourt la piste 660 (case N 7). Puis, par l'intermédiaire du via 746 et de la portion de connexion 618, le courant parcourt la portion 616 (case N 8). Puis, par l'intermédiaire du via 732, du pont de connexion 668 et du via 734, le courant parcourt la portion 628 (case N 9). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 630 et du via 738, le courant parcourt la portion 644 (case N 10). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 646 et du via 752, le courant parcourt la piste 688 (case N 11). Puis, par l'inter- médiaire du via 776 et de la portion de connexion 704, le courant parcourt la portion 702 (cases N 12 et 13). Puis, par l'intermédiaire du via 770 et de la portion de connexion 694, le courant parcourt la portion 692 (case N 14). Puis, par l'intermédiaire du via 754, du plot 670, du via 730, du pont de connexion 634 et du via 728, le courant parcourt la portion 638 (case N 15). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 640 et du via 744, le courant parcourt la portion 624 (case N 16) puis la portion 622 (case N 17). Puis, par l'intermédiaire du via 740 et de la portion de connexion 666, le courant parcourt la portion 664 (case N 18). Puis, par l'intermédiaire du via 756 et de la portion de connexion 680, le courant parcourt la portion 682 (case N 19). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 684 et du via 778, le courant parcourt la piste 720 (case N 20). Puis, par l'inter- médiaire du via 766, du pont de connexion 696 et du via 764, le courant parcourt la portion 708 (case N 21). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 710 et du via 768, le courant parcourt la piste 676 (case 22). Puis par l'intermédiaire du via 748 et de la portion de connexion 652, le courant parcourt la portion 650 (case N 23). Puis par l'inter- B8144 -06-GR1-502

28 médiaire du via 742 et de la portion de connexion 614, le courant parcourt la portion 612 (case N 24) pour atteindre la borne d'accès 610.L'inductance 600 comporte un point milieu MI, faci-5 lement accessible, à l'intersection entre la portion 702 du niveau de boucle N1 et le plan P. Des modes de réalisation particuliers de la présente invention ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, bien que les 10 boucles représentées aient la forme d'hexagone, elles pourraient avoir des formes différentes, par exemple circulaires ou rectangulaires.

Claims

REVENDICATIONS

1. Inductance (10 ; 100 ; 200 ; 400 ; 600) formée dans un empilement de couches isolantes, l'inductance comprenant des premières et secondes demi-boucles, chaque première demi-boucle étant au moins en partie la symétrique de l'une des secondes demi-boucles, les premières demi-boucles étant réparties en premiers groupes de premières demi- boucles au moins en partie alignées selon la direction d'empilement des couches isolantes et les secondes demi-boucles étant réparties en seconds groupes de secondes demi-boucles au moins en partie alignées selon la direction d'empilement des couches isolantes, caractérisée en ce que pour toute paire de premières demi-boucles adjacentes d'un même groupe, l'une des premières demi-boucles de la paire est électriquement connectée en série à l'autre des premières demi-boucles de la paire par une seule seconde demi-boucle et en ce que pour toute paire de secondes demi-boucles adjacentes d'un même groupe, l'une des secondes demi-boucles de la paire est électriquement connectée en série à l'autre des secondes demi-boucles de la paire par une seule première demi-boucle.

2. Inductance selon la revendication 1, dans laquelle à chaque couche isolante est associé un niveau de métallisation (Ml, M2, M2, M4) parmi plusieurs niveaux de métallisation, au moins l'une des premières ou secondes demi-boucles comprenant au moins deux pistes de niveaux de métallisation différents alignées selon la direction d'empilement des couches isolantes et connectées l'une à l'autre sur toute leur longueur.

3. Inductance selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle les premières et secondes demi-boucles comprennent des pistes métalliques d'au moins deux niveaux de métallisation (Ml, M2, M3, M4), l'inductance comprenant, pour chacun des deux niveaux de métallisation, au moins deux premières demi-boucles et au moins deux secondes demi-boucles.

4. Inductance selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle les premières et secondes demi-boucles comprennent des pistes métalliques d'au moins quatreB8144 - 06-GR1-502 30 niveaux de métallisation (Ml, M2, M3, M4), l'inductance comprenant, pour chacun des quatre niveaux de métallisation, au moins deux premières demi-boucles et au moins deux secondes demi-boucles.

5. Inductance (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant des pistes métalliques au moins de premier, deuxième, troisième et quatrième niveaux de métallisation (Ml, M2, M3, M4), l'inductance comprenant, en outre : dans le premier niveau de métallisation : une première piste (16) formant une première demi-boucle et reliée à une première borne d'accès (14) ; une deuxième piste (22) au moins en partie symétrique de la première piste (16) par rapport à un plan (P) et formant une deuxième demi-boucle, la deuxième piste étant reliée à une seconde borne d'accès (20), la deuxième piste se prolongeant par une troisième piste (26) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la première piste (16) et formant une troisième demi-boucle ; et une quatrième piste (30) au moins en partie symétrique de la troisième piste (26) par rapport audit plan et formant une quatrième demi-boucle ; dans le deuxième niveau de métallisation : une cinquième piste (36) alignée avec la première piste (16) et connectée à la première piste sur toute sa longueur, la cinquième piste se prolongeant par une sixième piste (40) alignée avec la quatrième piste (30) et connectée à la quatrième piste sur toute sa longueur ; une septième piste (48) alignée avec la deuxième piste (22) et connectée à la deuxième piste sur toute sa longueur ; et une huitième piste (52) alignée avec la troisième piste (26) et connectée à la troisième piste sur toute sa longueur ; dans le troisième niveau de métallisation : une neuvième piste (58) au moins partiellement alignée avec la première piste (16) et formant une cinquième demi-B8144 - 06-GR1-502 31 boucle, la neuvième piste étant connectée en série à la sixième piste (40) ; une dixième piste (62) au moins partiellement alignée avec la deuxième piste (22) et formant une sixième demi-boucle, la dixième piste étant connectée en série à la troisième piste (26), la dixième piste se prolongeant par une onzième piste (66) au moins partiellement alignée avec la troisième piste (26) et avec la quatrième piste (30) et formant des septième et huitième demi-boucles ; et dans le quatrième niveau de métallisation : une douzième piste (72) alignée avec la neuvième piste (58) et connectée à la neuvième piste sur toute sa longueur, la douzième piste se prolongeant par une treizième piste (76) alignée avec la onzième piste (66) et connectée à la onzième piste sur toute sa longueur ; et une quatorzième piste (68) alignée avec la dixième piste (62) et connectée à la dixième piste sur toute sa longueur.

6. Inductance (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant des pistes métalliques au moins de premier, deuxième, troisième et quatrième niveaux de métallisation, l'inductance comprenant, en outre : dans le premier niveau de métallisation ; une première piste (114) formant une première demi-boucle et reliée à une première borne d'accès (112) ; une deuxième piste (106) au moins en partie symétrique de la première piste (114) par rapport à un plan (P), formant une deuxième demi-boucle et reliée à une seconde borne d'accès (104) ; dans le deuxième niveau de métallisation ; une troisième piste (124) au moins partiellement alignée avec la première piste (114) et formant une troisième demi-boucle ; une quatrième piste (118) au moins partiellement alignée avec la deuxième piste (106) et formant une quatrième demi- boucle ;B8144 - 06-GR1-502 32 dans le troisième niveau de métallisation ; une cinquième piste (130) au moins partiellement alignée avec la première piste (114) et avec la deuxième piste (106) et formant des cinquième et sixième demi-boucles, la cinquième piste étant connectée en série entre la troisième piste (124) et la quatrième piste (118) ; et dans le quatrième niveau de métallisation ; une sixième piste (144) au moins partiellement alignée avec la première piste (114) et formant une septième demi- boucle, la sixième piste étant connectée en série entre la quatrième piste (118) et la deuxième piste (106) ; et une septième piste (150) au moins partiellement alignée avec la deuxième piste (106) et formant une huitième demi- boucle, la septième piste étant connectée en série entre la troisième piste (124) et la première piste (114).

7. Inductance (200) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant des pistes métalliques au moins de premier, deuxième, troisième et quatrième niveaux de métallisation, l'inductance comprenant, en outre : dans le premier niveau de métallisation : une première piste (206) formant une première demi-boucle et reliée à une première borne d'accès (204) ; une deuxième piste (212) au moins en partie symétrique de la première piste (206) par rapport à un plan (P) et for- mant une deuxième demi-boucle, la deuxième piste étant reliée à une seconde borne d'accès (210), la deuxième piste se prolongeant par une troisième piste (214) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la première piste (206) et formant une troisième demi-boucle ; et une quatrième piste (218) au moins en partie symétrique de la troisième piste (214) par rapport audit plan et formant une quatrième demi-boucle, la quatrième piste étant connectée en série à la première piste (206) ; dans le deuxième niveau de métallisation :B8144 - 06-GR1-502 33 une cinquième piste (232) formant une cinquième demi-boucle, la cinquième piste se prolongeant par une sixième piste (234) au moins en partie symétrique par rapport audit plan et formant des sixième et septième demi- boucles ; et une septième piste (226) au moins en partie symétrique de la cinquième piste (232) par rapport audit plan et formant une huitième demi-boucle, la septième piste étant connectée en série à la sixième piste (234) ; dans le troisième niveau de métallisation : une huitième piste (244) au moins partiellement alignée avec la première piste (206) et formant une neuvième demi-boucle, la huitième piste étant connectée en série à la quatrième piste (218) ; une neuvième piste (248) au moins partiellement alignée avec la deuxième piste (212) et formant une dixième demi-boucle, la neuvième piste étant connectée en série à la troisième piste (214), la neuvième piste se prolongeant par une dixième piste (250) au moins partiellement alignée avec la troisième piste (214) et formant une onzième demi-boucle ; et une onzième piste (254) au moins partiellement alignée avec la quatrième piste (218) et formant une douzième demi-boucle, la onzième piste étant connectée en série à la huitième piste (244) ; et dans le quatrième niveau de métallisation : une douzième piste (268) au moins partiellement alignée avec la cinquième piste (232) et formant une treizième demi-boucle, la douzième piste se prolongeant par une treizième piste (270) au moins partiellement alignée avec la sixième piste (234) et formant une quatorzième demi-boucle, la douzième piste étant connectée en série à la onzième piste (254) et la treizième piste étant connectée en série à la cinquième piste (232) ;B8144 - 06-GR1-502 34 une quatorzième piste (264) au moins partiellement alignée avec la septième piste (226) et formant une quinzième demi-boucle, la quatorzième piste étant connectée en série à la dixième piste (250) ; et une quinzième piste (272) au moins partiellement alignée avec la sixième piste (234) et formant une seizième demi-boucle, la quinzième piste étant connectée en série entre la septième piste (226) et la quatorzième piste (264).

8. Inductance selon la revendication 7, dans laquelle, en vue de dessus, la cinquième piste (232) s'étend au moins en partie entre la première piste (206) et la troisième piste (214), la septième piste (226) s'étendant au moins en partie entre la deuxième piste (212) et la quatrième piste (218), la sixième piste (234) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la troisième piste (214) et de la quatrième piste (218).

9. Inductance (400) selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 4, comprenant des pistes métalliques au moins de premier, deuxième, troisième et quatrième niveaux de métal- lisation, l'inductance comprenant, en outre : dans le premier niveau de métallisation : une première piste (406) formant une première demi-boucle et reliée à une première borne d'accès (404), la première piste se prolongeant par une deuxième piste (408) formant une deuxième demi-boucle ; une troisième piste (414) au moins en partie symétrique de la première piste (406) par rapport à un plan (P) et formant une troisième demi-boucle, la troisième piste étant reliée à une seconde borne d'accès (412), la deuxième piste (408) s'étendant à l'intérieur de la troisième piste ; et une quatrième piste (418) au moins en partie symétrique de la deuxième piste (408) par rapport audit plan et formant une quatrième demi-boucle, la quatrième piste étant connectée en série à la troisième piste (414) ; dans le deuxième niveau de métallisation :B8144 - 06-GR1-502 35 une cinquième piste (428) formant une cinquième demi-boucle ; une sixième piste (434) au moins en partie symétrique de la cinquième piste (428) par rapport audit plan et formant une sixième demi-boucle, la sixième piste se prolongeant par une septième piste (436) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la cinquième piste (428) et formant une septième demi-boucle ; et une huitième piste (438) au moins en partie symétrique de la septième piste (436) par rapport audit plan et formant une huitième demi-boucle, la huitième piste étant connectée en série à la cinquième piste (428) ; dans le troisième niveau de métallisation : une neuvième piste (452) au moins partiellement alignée avec la première piste (406) et formant une neuvième demi- boucle, la neuvième piste étant connectée en série à la deuxième piste (408), la neuvième piste se prolongeant par une dixième piste (454) au moins partiellement alignée avec la deuxième piste et formant une dixième demi-boucle, la dixième piste (408) étant connectée en série à la septième piste (436) ; une onzième piste (448) au moins partiellement alignée avec la troisième piste (414) et formant une onzième demi-boucle, la onzième piste étant connectée en série à la quatrième piste (418) ; et une douzième piste (458) au moins partiellement alignée avec la quatrième piste (418) et formant une douzième demi-boucle, la douzième piste étant connectée en série entre les huitième et onzième pistes (438, 448) ; et dans le quatrième niveau de métallisation : une treizième piste (472) au moins partiellement alignée avec la cinquième piste (428) et la sixième piste (434) et formant des treizième et quatorzième demi-boucles, la treizième piste se prolongeant par une quatorzième piste (474) au moins partiellement alignée avec la septième pisteB8144 - 06-GR1-502 36 (436) et formant une quinzième demi-boucle, la quatorzième piste étant connectée en série à la sixième piste (434) ; et une quinzième piste (468) au moins partiellement alignée avec la huitième piste (438) et formant une seizième demi- boucle, la quatorzième piste étant connectée en série entre la cinquième piste (428) et la treizième piste (472).

10. Inductance selon la revendication 9, dans laquelle, en vue de dessus, la cinquième piste (428) s'étend au moins en partie entre la première piste (406) et la quatrième piste (418), la sixième piste (434) s'étendant au moins en partie entre la troisième piste (414) et la deuxième piste (408), la septième piste (436) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la quatrième piste (418) et la huitième piste (438) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la deuxième piste (408).

11. Inductance (600) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant des pistes métalliques au moins de premier, deuxième, troisième et quatrième niveaux de métallisation, l'inductance comprenant, en outre : dans le premier niveau de métallisation : une première piste (606) formant une première demi-boucle et reliée à une première borne d'accès (604) ; une deuxième piste (612) au moins en partie symétrique de la première piste (606) par rapport à un plan (P) et formant une deuxième demi-boucle, la deuxième piste étant reliée à une seconde borne d'accès (610) ; une troisième piste (616) formant une troisième demi-boucle, la troisième piste s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la deuxième piste (612) ; une quatrième piste (622) au moins en partie symétrique de la troisième piste (616) par rapport audit plan et formant une quatrième demi-boucle, la quatrième piste s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la première piste (606), la quatrième piste se prolongeant par une cinquième piste (624) formant une cinquième demi-boucle, la cinquième pisteB8144 - 06-GR1-502 37 s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la troisième piste (616) ; et une sixième piste (628) au moins en partie symétrique de la cinquième piste (624) par rapport audit plan et formant une sixième demi-boucle, la sixième piste s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la quatrième piste (622) ; dans le deuxième niveau de métallisation : une septième piste (638) formant une septième demi-boucle, la septième piste étant connectée en série à la cinquième piste (624) ; une huitième piste (644) au moins en partie symétrique de la septième piste (638) par rapport audit plan et formant une huitième demi-boucle, la huitième piste étant connectée en série à la sixième piste (628) ; une neuvième piste (650) formant une neuvième demi-boucle, la neuvième piste s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la septième piste (638), la neuvième piste étant connectée en série à la deuxième piste (612) ; une dixième piste (656) au moins en partie symétrique de la neuvième piste (650) par rapport audit plan et formant une dixième demi-boucle, la dixième piste s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la huitième piste (644), la dixième piste étant connectée en série à la première piste (606) ; une onzième piste (660) formant une onzième demi-boucle, la onzième piste s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la neuvième piste (650), la onzième piste étant connectée en série à la troisième piste (616) ; et une douzième piste (664) au moins en partie symétrique de la onzième piste (660) par rapport audit plan et formant une douzième demi-boucle, la douzième piste s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la dixième piste (656), la douzième piste étant connectée en série à la quatrième piste (622) ; dans le troisième niveau de métallisation :B8144 - 06-GR1-502 38 une treizième piste (672) au moins partiellement alignée avec la première piste (606) et formant une treizième demi-boucle, la treizième piste étant connectée en série à la dixième piste (656) ; une quatorzième piste (676) au moins partiellement alignée avec la deuxième piste (612) et formant une quatorzième demi-boucle, la quatorzième piste étant connectée en série à la neuvième piste (650) ; une quinzième piste (682) au moins partiellement alignée avec la quatrième piste (622) et formant une quinzième demi-boucle, la quinzième piste étant connectée en série à la douzième piste (624) ; une seizième piste (686) au moins partiellement alignée avec la troisième piste (616) et formant une seizième demi- boucle, la seizième piste étant connectée en série à la onzième piste (660) ; une dix-septième piste (688) au moins partiellement alignée avec la sixième piste (628) et formant une dix-septième demi-boucle, la dix-septième piste étant connectée en série à la huitième piste (644) ; une dix-huitième piste (692) au moins partiellement alignée avec la cinquième piste (624) et formant une dix-huitième demi-boucle, la dix-huitième piste étant connectée en série à la septième piste (638) ; et dans le quatrième niveau de métallisation : une dix-neuvième piste (702) au moins partiellement alignée avec la septième piste (638) et la huitième piste (644) et formant des dix-neuvième et vingtième demi-boucles, la dix-neuvième piste étant connectée en série entre la dix- septième piste (688) et la dix-huitième piste (692) ; une vingtième piste (708) au moins partiellement alignée avec la neuvième piste (650) et formant une vingt et unième demi-boucle, la vingtième piste étant connectée en série à la quatorzième piste (676) ;B8144 - 06-GR1-502 39 une vingt et unième piste (714) au moins partiellement alignée avec la dixième piste (656) et formant une vingt-deuxième demi-boucle, la vingt et unième piste étant connectée en série à la treizième piste (672), la vingt et unième piste se prolongeant par une vingt-deuxième piste (716) au moins partiellement alignée avec la onzième piste (660) et formant une vingt-troisième demi-boucle, la vingt-deuxième piste étant connectée en série à la seizième piste (686) ; et une vingt-troisième piste (720) au moins partiellement alignée avec la douzième piste (664) et formant une vingt-quatrième demi-boucle, la vingt-troisième piste étant connectée en série entre la quinzième piste (682) et la vingtième piste (708).

12. Inductance selon la revendication 11, dans laquelle, en vue de dessus, la septième piste (638) s'étend au moins en partie entre la première piste (606) et la quatrième piste (622), la huitième piste (644) s'étendant au moins en partie entre la deuxième piste (612) et la troisième piste (616), la neuvième piste (650) s'étendant au moins en partie entre la quatrième piste (622) et la sixième piste (628), la dixième piste (656) s'étendant au moins en partie entre la troisième piste (616) et la cinquième piste (624), la onzième piste (660) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la sixième piste (628) et la douzième piste (664) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la cinquième piste (624).