FR2919422A1

FR2919422A1 - Inductance a surface reduite et a point milieu determinable simplement

Info

Publication number: FR2919422A1
Application number: FR0756764A
Authority: FR
Inventors: Frederic Gianessello
Original assignee: STMicroelectronics SA
Current assignee: STMicroelectronics SA
Priority date: 2007-07-27
Filing date: 2007-07-27
Publication date: 2009-01-30
Also published as: US7982571B2; US20090027150A1

Abstract

L'invention concerne une inductance (10) formée dans un empilement de couches isolantes, l'inductance comprenant des première et seconde bornes d'accès (14, 20) et des premières et secondes demi-boucles réparties dans l'empilement de couches isolantes sur un nombre de niveaux distincts supérieur ou égal à quatre. Pour chaque niveau, chaque première demi-boucle est au moins en partie la symétrique de l'une des secondes demi-boucles. Toutes les premières demi-boucles sont connectées en série selon une première succession de premières demi-boucles pour former des premières boucles entre la première borne d'accès et un point milieu (MI) et toutes les secondes demi-boucles sont connectées en série selon une seconde succession de secondes demi-boucles pour former des secondes boucles entre la seconde borne de sortie et le point milieu.

Description

B8394 - 06-GR1-281 1 INDUCTANCE À SURFACE RÉDUITE ET À POINT MILIEU

DÉTERMINABLE SIMPLEMENT

Domaine de l'invention La présente invention concerne une structure particulière d'inductance destinée à être utilisée, par exemple, dans des amplificateurs à bas bruit, des mélangeurs, des oscillateurs contrôlés en tension, des filtres passifs, des transformateurs, etc. Exposé de l'art antérieur Pour obtenir une inductance de forte valeur qui occupe une surface réduite, une possibilité consiste à réaliser les boucles de l'inductance par des pistes métalliques, appartenant à différents niveaux de métallisation, qui sont plus ou moins empilées selon une direction privilégiée. Une inductance comprend généralement deux bornes d'accès principales. Pour certaines applications, en plus des bornes d'accès principales, il est souhaitable de disposer d'une borne d'accès supplémentaire au niveau d'un point particulier de l'inductance pour lequel la tension entre la borne d'accès supplémen- taire et l'une des bornes d'accès principales est opposée à la tension entre la borne d'accès supplémentaire et l'autre borne d'accès principale. Un tel point est appelé point milieu de l'inductance et la borne d'accès supplémentaire est appelée B8394 - 06-GR1-281

2 borne d'accès différentiel. Le point milieu correspond en fait au point de l'inductance pour lequel les composantes inductive et résistive de l'inductance entre l'une des bornes d'accès principales et le point milieu sont identiques respectivement aux composantes inductive et résistive de l'inductance entre le point milieu et l'autre borne d'accès principale. Il est souhaitable que l'inductance ait une structure permettant de déterminer de façon simple et systématique la position du point milieu. A titre d'exemple, lorsque l'induc- tance est constituée d'une boucle circulaire unique, les deux extrémités en vis-à-vis de la boucle formant les bornes d'accès principales, le point milieu correspond au point de la boucle diamétralement opposé aux bornes d'accès principales. Toutefois, dès que l'inductance comprend des boucles réalisées par des pistes métalliques de plusieurs niveaux de métallisation, il peut être difficile de déterminer de façon simple et systématique la position du point milieu. Une difficulté provient du fait que les matériaux utilisés pour réaliser les pistes métalliques peuvent être différents d'un niveau de métallisation à l'autre. A titre d'exemple, pour certaines filières CMOS, l'aluminium peut être utilisé pour le dernier niveau de métallisation tandis que le cuivre peut être utilisé pour les autres niveaux de métallisation. Une autre difficulté provient du fait que les épaisseurs des pistes métalliques peuvent être différentes d'un niveau de métallisation à l'autre. Par ailleurs, il est souhaitable que le point milieu soit facilement accessible, c'est-à-dire généralement que le point milieu se trouve sur une boucle située au niveau du pourtour de l'inductance.

Résumé de l'invention La présente invention vise une inductance réalisée par des pistes métalliques de plusieurs niveaux de métallisation et comprenant un point milieu dont la détermination peut être réalisée de façon simple.

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3 Selon un autre objet, la détermination du point milieu est indépendante du type de matériau utilisé dans les niveaux de métallisation. Selon un autre objet, l'inductance peut être réalisée par des procédés de fabrication classique de circuit intégré. Ainsi, selon un aspect de la présente invention, il est prévu une inductance formée dans un empilement de couches isolantes, l'inductance comprenant des première et seconde bornes d'accès et des premières et secondes demi-boucles réparties dans l'empilement de couches isolantes sur un nombre de niveaux distincts supérieur ou égal à quatre. Pour chaque niveau, chaque première demi-boucle est au moins en partie la symétrique de l'une des secondes demi-boucles. Toutes les premières demi-boucles sont connectées en série selon une première succession de premières demi-boucles pour former des premières boucles entre la première borne d'accès et un point milieu et toutes les secondes demi-boucles sont connectées en série selon une seconde succession de secondes demi-boucles pour former des secondes boucles entre la seconde borne de sortie et le point milieu.

Selon un mode de réalisation, le rang de chaque seconde demi-boucle dans la seconde succession est identique au rang de la première demi-boucle dans la première succession qui est au moins en partie la symétrique de ladite seconde demi-boucle.

Selon un mode de réalisation, le nombre de niveaux est pair, les niveaux étant répartis en paires distinctes de niveaux adjacents, et pour chaque paire, toutes les premières demi-boucles de ladite paire étant connectées en série les unes à la suite des autres et toutes les secondes demi-boucles de ladite paire étant connectées en série les unes à la suite des autres. Selon un mode de réalisation, à chaque couche isolante est associé un niveau de métallisation parmi plusieurs niveaux de métallisation, au moins l'une des premières ou secondes demi-boucles comprenant au moins deux pistes de niveaux de métal- lisation différents alignées selon la direction d'empilement des B8394 - 06-GR1-281

4 couches isolantes et connectées l'une à l'autre sur toute leur longueur. Selon un mode de réalisation, l'inductance comprend, pour chaque niveau, au moins quatre premières demi-boucles et au 5 moins quatre secondes demi-boucles. Selon un mode de réalisation, le point milieu est formé à la jonction entre l'une des premières demi-boucles et l'une des secondes demi-boucles situées à la périphérie de l'inductance. 10 Brève description des dessins Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres seront exposés en détail dans la description suivante d'un mode de réalisation particulier faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : 15 la figure 1 est une vue schématique en perspective des pistes métalliques d'un exemple de réalisation d'une inductance à deux boucles formée sur quatre niveaux de boucle ; et la figure 2 est une section schématique de l'inductance de la figure 1 illustrant un exemple d'ordre de passage du 20 courant dans les boucles de l'inductance. Description détaillée Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, comme cela est habituel dans la représentation des circuits 25 intégrés, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. La présente invention va maintenant être décrite pour une inductance réalisée de façon intégrée. Toutefois, la pré-sente invention peut également s'appliquer à une inductance réalisée de façon monolithique. 30 Dans la suite de la description, on considère une inductance formée dans un circuit comprenant un empilement de couches isolantes recouvrant un substrat. A chaque couche isolante sont associées des pistes métalliques d'un niveau de métallisation donné. On appelle premier niveau de métallisation, le niveau de 35 métallisation utilisé pour la réalisation de l'inductance pour B8394 - 06-GR1-281

lequel les pistes sont les plus proches du substrat et dernier niveau de métallisation, le niveau de métallisation utilisé pour la réalisation de l'inductance pour lequel les pistes sont les plus éloignées du substrat. Une boucle d'une inductance 5 correspond à une ou plusieurs pistes métalliques, éventuellement de niveaux de métallisation différents, connectées les unes aux autres de façon à être électriquement équivalentes à une seule piste ayant la forme d'une boucle. Une demi-boucle correspond à une ou plusieurs pistes métalliques, éventuellement de niveaux de métallisation différents, connectées les unes aux autres de façon à être électriquement équivalentes à une seule piste ayant la forme d'une moitié de boucle. En outre, dans la suite de la description, une piste d'un niveau de métallisation donné est dite alignée avec une piste d'un autre niveau de métallisation, si, vues selon la direction d'empilement des couches isolantes, les pistes se recouvrent sensiblement de façon complète. Une piste d'un niveau de métallisation donné est dite partiellement alignée avec une piste d'un autre niveau de métallisation, si, vues selon la direction d'empilement des couches isolantes, les pistes se recouvrent sensiblement de façon complète seulement sur une partie de leur longueur. Dans la suite de la description, une demi-boucle d'une inductance peut comprendre une piste métallique d'un seul niveau de métallisation ou plusieurs pistes métalliques de niveaux de métallisation successifs qui sont alignées et connectées les unes aux autres sur toute leur longueur par des vias conducteurs. Dans ces deux cas, on considère que la demi-boucle appartient à un seul niveau de boucle. Dans la suite de la description, on appelle premier niveau de boucle, le niveau de boucle pour lequel une demi-boucle comprend seulement une piste du premier niveau de métallisation ou comprend des pistes des premiers niveaux de métallisation qui sont alignées et connectées les unes aux autres sur toute leur longueur par des vias conduc- teurs. On appelle dernier niveau de boucle, le niveau de boucle B8394 - 06-GR1-281

6 pour lequel une demi-boucle comprend seulement une piste du dernier niveau de métallisation ou comprend des pistes des derniers niveaux de métallisation qui sont alignées et connectées les unes aux autres sur toute leur longueur par des nias conduc- teurs. Dans la suite de la description, deux demi-boucles sont dites alignées lorsque toutes les pistes métalliques qui les constituent sont alignées. En outre, des première et deuxième demi-boucles alignées sont dites adjacentes s'il n'y a pas une troisième demi-boucle alignée avec les première et deuxième demi-boucles qui est interposée entre les première et deuxième demi-boucles. La présente invention consiste à former, dans un empilement de couches isolantes, une inductance comprenant des pre- mières et secondes demi-boucles formées par des pistes de plu- sieurs niveaux de métallisation. Chaque première demi-boucle est sensiblement la symétrique de l'une des secondes demi-boucles. Toutes les premières demi-boucles sont connectées en série les unes aux autres pour former un premier groupe de boucles. De façon analogue, toutes les secondes demi-boucles sont connectées en série les unes aux autres pour former un second groupe de boucles. Le point milieu de l'inductance correspond alors natu- rellement au point se trouvant à la jonction entre les premier et second groupes. Chaque groupe ayant le même nombre de demi- boucles du même type par niveau de boucle, la position du point milieu est indépendante des matériaux utilisés ou des dimensions des pistes métalliques pour les différents niveaux de métal- lisation. Selon un mode de réalisation de la présente invention, pour former les premier et second groupes, les premières demi- boucles sont connectées en série les unes aux autres entre une première borne d'accès et le point milieu et forment une pre- mière succession de demi-boucles dans laquelle chaque première demi-boucle a un rang (premier, deuxième, troisième, etc.) ou indice de position donné. De façon analogue, les secondes demi- boucles sont connectées en série les unes aux autres entre la seconde borne d'accès et le point milieu et forment une seconde B8394 - 06-GR1-281

7 succession de demi-boucles dans laquelle chaque seconde demi-boucle a un rang donné. Pour chaque rang, la première demi-boucle dudit rang dans la première succession est la symétrique de la seconde demi-boucle dudit rang dans la seconde succession.

Pour former les première et seconde successions de demi-boucles, un mode de réalisation prévoit, pour chaque paire distincte de niveaux de boucle adjacents, de parcourir les premières demi-boucles de ladite paire et de répéter l'opération pour les paires suivantes de niveaux de boucle jusqu'à ce que l'ensemble des premières demi-boucles, c'est-à-dire la moitié des demi-boucles, soit parcourue. Le point milieu est alors atteint. Les secondes demi-boucles sont parcourues de façon analogue. La figure 1 est une vue en perspective schématique des pistes métalliques d'un exemple de réalisation d'une inductance 10 comprenant deux boucles par niveau de boucles sur quatre niveaux de boucles N1 à N4, le niveau N1 correspondant au premier niveau de boucle. A titre d'exemple, les demi-boucles du niveau de boucle N1 comprennent des paires de pistes métalliques de deux niveaux de métallisation successifs qui sont alignées et connectées entre elles sur toute leur longueur. De même, les demi-boucles du niveau de boucle N2 comprennent des paires de pistes métalliques de deux niveaux de métallisation successifs qui sont alignées et connectées entre elles sur toute leur longueur. Les demi-boucles du niveau de boucle N3 comprennent des pistes métalliques de l'avant-dernier niveau de métallisation et les demi-boucles du niveau de boucle N4 comprennent des pistes métalliques du dernier niveau de métallisation. Pour les niveaux de boucle N1 et N2, une piste ou une portion métallique correspond donc à des pistes métalliques empilées de deux niveaux de métallisation. Dans le niveau de boucle N4, l'inductance 10 comprend une piste 12 comprenant une portion rectiligne 14 formant une première borne d'accès, se prolongeant par une portion 16 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 18 B8394 -06-GR1-281

8 comprenant une portion rectiligne 20, formant une seconde borne d'accès, se prolongeant par une portion 22 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 26 ayant sensi- blement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 28 comprenant une portion de connexion 30 se prolongeant par une portion 32 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 32 se prolongeant par une portion de connexion 34. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 36 formant un pont de connexion. Les portions 16 et 22 sont sensiblement symétriques par rapport à un plan P représenté par une ligne en tirets. En outre, la piste 26 et la portion 32 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La piste 26 est réalisée à l'intérieur de la portion 16 et la portion 32 est réalisée à l'intérieur de la portion 22. Dans le niveau de boucle N3, l'inductance 10 comprend une piste 38 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 40 comprenant une portion de connexion 42 se prolongeant par une portion 44 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 44 se prolongeant par une portion de connexion 46. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 48 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 50 comprenant une portion 52 de connexion se prolongeant par une portion 54 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 54 se prolongeant par une portion de connexion 56. L'inductance 10 comprend, en outre, un plot de connexion 58. La piste 38 et la portion 44 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La piste 48 et la portion 54 sont sensiblement symétriques par rapport au plan P. La piste 38 est située, en vue de dessus, sensiblement entre la portion 16 et la piste 26. La portion 44 est située, en vue de dessus, sensi- B8394 - 06-GR1-281

9 blement entre la portion 22 et la portion 32. La piste 48 est située, en vue de dessus, sensiblement à l'intérieur de la piste 26. La portion 54 est située, en vue de dessus, sensiblement à l'intérieur de la portion 32.

Dans le niveau de boucle N2, l'inductance 10 comprend une piste 60 comprenant une portion 62 ayant sensiblement la forme d'un hexagone et correspondant à deux demi-boucles, la portion 62 se prolongeant par une portion de connexion 64. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 66 ayant sensi- blement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 68 comprenant une portion de connexion 70 se prolongeant par une portion 72 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 72 se prolongeant par une portion de connexion 74. L'inductance 10 comprend, en outre, deux plots de connexion 76 et 78. La portion 16 et la portion 22 sont sensiblement alignées avec la portion 62. La piste 66 est sensiblement alignée avec la piste 26. La piste 68 est sensiblement alignée avec la piste 28. Le plot 78 est sensiblement aligné avec le plot 58 et le plot 76 est sensiblement aligné avec l'extrémité de la portion de connexion 52. Dans le niveau de boucle N1, l'inductance 10 comprend une piste 80 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 82 comprenant une portion de connexion 84 se prolongeant par une portion 86 ayant sensiblement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle, la portion 86 se prolongeant par une portion de connexion 88. L'inductance 10 comprend, en outre, une piste 90 ayant partiellement la forme d'un demi-hexagone et correspondant à une demi-boucle. L'induc- tance 10 comprend, en outre, une piste 92 comprenant une portion 94 ayant partiellement la forme d'un demi-hexagone et correspon- dant à une demi-boucle, la portion 94 se prolongeant par une portion de connexion 96. La piste 80 est sensiblement alignée avec la piste 38. La piste 82 est sensiblement alignée avec la B8394 - 06-GR1-281

10 piste 40. La piste 90 est partiellement alignée avec la piste 48. La portion 94 est partiellement alignée avec la portion 54. La portion de connexion 96 est sensiblement alignée avec la portion de connexion 56.

Les connexions entre les niveaux de boucle N4 et N3 sont les suivantes. Le pont de connexion 36 relie une première extrémité de la piste 48 au plot 58 par des nias 98 et 100. La portion de connexion 30 est reliée à une première extrémité de la piste 38 par un via 102. Une première extrémité de la piste 26 est reliée à la portion de connexion 42 par un via 104. La portion de connexion 34 est reliée à la seconde extrémité de la piste 48 par un via 106. La seconde extrémité de la piste 26 est reliée à la portion de connexion 56 par un via 108. La portion de connexion 24 est reliée à la seconde extrémité de la piste 38 par un via 110. L'extrémité libre de la portion 16 est reliée à la portion de connexion 46 par un via 112. Les connexions entre les niveaux de boucle N3 et N2 sont les suivantes. Le plot 58 est relié au plot 78 par un via 114. La portion de connexion 52 est reliée au plot 76 par un via 116. Les connexions entre les niveaux de boucle N2 et N1 sont les suivantes. La portion de connexion 70 est reliée à une première extrémité de la piste 80 par un via 118. Une première extrémité de la piste 66 est reliée à la portion de connexion 84 par un via 120. Le plot 76 est relié à une première extrémité de la piste 90 par un via 122. Le plot 78 est relié à l'extrémité libre de la portion 94 par un via 124. La portion de connexion 74 est reliée à la seconde extrémité de la piste 90 par un via 126. La seconde extrémité de la piste 66 est reliée à la portion de connexion 96 par un via 128. La portion de connexion 64 est reliée à la seconde extrémité de la piste 80 par un via 130. L'extrémité libre de la portion 62 est reliée à la portion de connexion 88 par un via 132. La figure 2 illustre un exemple d'ordre de passage du 35 courant dans les demi- boucles de l'inductance 10 de la figure 1.

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11 La figure 2 représente des cases symbolisant les demi-boucles de l'inductance 10 vues en coupe selon un plan perpendiculaire au plan P. Chaque case est désignée par la référence de la piste ou portion métallique à laquelle elle correspond. Dans chaque case est inscrit un nombre indiquant l'ordre de passage du courant dans la demi-boucle correspondante. En considérant que le courant débute sa progression par la borne d'accès 14, le courant parcourt la portion 16 (case n 1). Puis, par l'intermédiaire du via 112 et de la portion de connexion 46, le courant parcourt la portion 44 (case n 2). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 42 et du via 104, le courant parcourt la piste 26 (case n 3). Puis, par l'intermédiaire du via 108 et de la portion de connexion 56, le courant parcourt la portion 54 (case n 4). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 52, du via 116, du plot 76 et du via 122, le courant parcourt la piste 90 (case n 5). Puis, par l'intermédiaire du via 126 et de la portion de connexion 74, le courant parcourt la portion 72 (case n 6). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 70 et du via 118, le courant parcourt la piste 80 (case n 7). Puis, par l'intermédiaire du via 130 et de la portion de connexion 64, le courant parcourt la portion 62 (cases n 8 et 9). Puis, par l'intermédiaire du via 132 et de la portion de connexion 88, le courant parcourt la portion 86 (case n 10). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 84 et du via 120, le courant parcourt la piste 66 (case n 11). Puis, par l'intermédiaire du via 128 et de la portion de connexion 96, le courant parcourt la portion 94 (case n 12). Puis, par l'intermédiaire du via 124, du plot 78, du via 114, du plot 58, du via 100, du pont de connexion 36 et du via 98, le courant parcourt la piste 48 (case n 13). Puis, par l'intermédiaire du via 106 et de la portion de connexion 34, le courant parcourt la portion 32 (case n 14). Puis, par l'intermédiaire de la portion de connexion 30 et du via 102, le courant parcourt la piste 38 (case n 15).

Puis, par l'intermédiaire du via 110 et de la portion de B8394 -06-GR1-281

12 connexion 24, le courant parcourt la portion 22 (case n 16) pour atteindre la borne d'accès 20. L'inductance 10 comprend un point milieu MI à l'inter-section entre le plan P et la portion 62. En effet, comme cela apparaît de l'ordre de passage du courant décrit précédemment en relation avec la figure 2, le chemin électrique reliant l'une ou l'autre des bornes d'accès 14 ou 20 au point milieu MI comprend une demi-boucle "interne" et une demi-boucle "externe" pour chaque niveau de boucle N1 à N4. De ce fait, ces deux chemins électriques ont les mêmes caractéristiques de résistance et d'inductance même si les caractéristiques de résistance et d'inductance des demi-boucles peuvent être différentes d'un niveau de boucle à l'autre. En particulier, les premiers niveaux de métallisation peuvent correspondre à des pistes en cuivre et le dernier niveau de métallisation peut correspondre à des pistes en aluminium. En outre, les épaisseurs des pistes métalliques peuvent être différentes d'un niveau de métallisation à l'autre. De plus, pour certains niveaux de boucle, les demi-boucles associées peuvent correspondre à l'empilement de deux pistes métalliques ou davantage de niveaux de métallisation successifs, connectées entre elles sur toute leur longueur par des nias conducteurs. L'exemple de réalisation décrit précédemment concerne une inductance formée sur quatre niveaux de boucle et comprenant deux boucles par niveau de boucle. Il est toutefois clair que la présente invention peut être mise en oeuvre pour une inductance comprenant un nombre plus important de niveaux de boucle et/ou un nombre plus important de boucles par niveau de boucle. De façon générale, lorsque l'inductance comprend un nombre pair de niveaux de boucle, la présente invention peut être mise en oeuvre en groupant les niveaux de boucle par paires distinctes de niveaux de boucle adjacents. On définit alors un chemin électrique depuis une première borne d'accès de l'inductance jusqu'au point milieu en parcourant la moitié des demi-boucles d'une première paire de niveaux de boucle adjacents, puis la moitié B8394 - 06-GR1-281

13 des demi-boucles d'une seconde paire de niveaux de boucle adjacents, etc., jusqu'à la moitié des demi-boucles de la dernière paire de niveaux de boucle adjacents. Le point milieu est alors atteint. Le chemin électrique depuis le point milieu jusqu'à la seconde borne d'accès de l'inductance est obtenu en parcourant, de façon symétrique, les demi-boucles restantes depuis la dernière paire jusqu'à la première paire de niveaux de boucle. Plus précisément, pour chaque paire de niveaux de boucle adjacents, on parcourt successivement une demi-boucle de l'un des niveaux de boucle de la paire puis une demi-boucle de l'autre niveau de boucle jusqu'à ce que la moitié des demi-boucles de la paire soient parcourues. Des modes de réalisation particuliers de la présente invention ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, dans l'exemple de réalisation précédemment décrit, les bornes d'accès principales de l'inductance sont réalisées dans le dernier niveau de boucle tandis que le point milieu de l'inductance est réalisé dans un niveau de boucle inférieur. Il est clair que le point milieu et les bornes d'accès peuvent être réalisés dans des niveaux de boucle différents que ceux décrits précédemment en fonction notamment des contraintes de connexion de l'inductance à d'autres composants électroniques. A titre d'exemple, le point milieu de l'inductance pourrait être réalisé dans le dernier niveau de boucle et les bornes d'accès principales de l'inductance pourraient être réalisées dans un niveau de boucle inférieur.

Claims

REVENDICATIONS

1. Inductance (10) formée dans un empilement de couches isolantes, l'inductance comprenant des première et seconde bornes d'accès (14, 20) et des premières et secondes demi-boucles réparties dans l'empilement de couches isolantes sur un nombre de niveaux distincts supérieur ou égal à quatre, l'inductance étant caractérisée en ce que, pour chaque niveau, chaque première demi-boucle est au moins en partie la symétrique de l'une des secondes demi-boucles, en ce que toutes les premières demi-boucles sont connectées en série selon une première succession de premières demi-boucles pour former des premières boucles entre la première borne d'accès et un point milieu (MI) et en ce que toutes les secondes demi-boucles sont connectées en série selon une seconde succession de secondes demi-boucles pour former des secondes boucles entre la seconde borne de sortie et le point milieu.

2. Inductance selon la revendication 1, dans laquelle le rang de chaque seconde demi-boucle dans la seconde succession est identique au rang de la première demi-boucle dans la première succession qui est au moins en partie la symétrique de ladite seconde demi-boucle.

3. Inductance selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle le nombre de niveaux est pair, les niveaux étant répartis en paires distinctes de niveaux adjacents, et pour chaque paire, toutes les premières demi-boucles de ladite paire étant connectées en série les unes à la suite des autres et toutes les secondes demi-boucles de ladite paire étant connectées en série les unes à la suite des autres.

4. Inductance selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle à chaque couche isolante est associé un niveau de métallisation parmi plusieurs niveaux de métallisation, au moins l'une des premières ou secondes demi-boucles comprenant au moins deux pistes de niveaux de métallisation différents alignées selon la direction d'empilement desB8394 - 06-GR1-281 15 couches isolantes et connectées l'une à l'autre sur toute leur longueur.

5. Inductance selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant, pour chaque niveau, au moins quatre premières demi-boucles et au moins quatre secondes demi-boucles.

6. Inductance selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le point milieu (MI) est formé à la jonction entre l'une des premières demi-boucles et l'une des secondes demi-boucles situées à la périphérie de l'inductance.

7. Inductance selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant des pistes métalliques au moins de premier, deuxième, troisième et quatrième niveaux de métal- lisation, l'inductance comprenant, en outre : dans le premier niveau de métallisation : une première piste (16) formant une première demi-boucle et reliée à la première borne d'accès (14) ; une deuxième piste (22) au moins en partie symétrique de la première piste (16) par rapport à un plan (P) et formant une deuxième demi-boucle, la deuxième piste étant reliée à la seconde borne d'accès (20) ; une troisième piste (26) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la première piste (16) et formant une troi-25 sième demi-boucle ; et une quatrième piste (32), s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la deuxième piste (22), la quatrième piste (32) étant au moins en partie symétrique de la troisième piste (26) par rapport audit plan et formant une quatrième 30 demi-boucle ; dans le deuxième niveau de métallisation : une cinquième piste (38) formant une cinquième demi-boucle, la cinquième piste étant connectée en série entre la quatrième piste (32) et la deuxième piste (22) ;B8394 - 06-GR1-281 16 une sixième piste (44) au moins en partie symétrique de la cinquième piste (38) par rapport audit plan et formant une sixième demi-boucle, la sixième piste étant connectée en série entre la troisième piste (26) et la première piste (16) ; une septième piste (48) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la cinquième piste (38) et formant une septième demi-boucle, la septième piste étant connectée en série à la quatrième piste (32) ; et une huitième piste (54) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la sixième piste (44), la huitième piste (54) étant au moins en partie symétrique de la septième piste (48) par rapport audit plan et formant une huitième demi-boucle, la huitième piste étant connectée en série à la troisième piste (26) ; dans le troisième niveau de métallisation : une neuvième piste (62) au moins partiellement alignée avec la première piste (16) et la deuxième piste (22) et formant des neuvième et dixième demi-boucles ; une dixième piste (66) au moins partiellement alignée avec la troisième piste (26) et formant une onzième demi-boucle ; et une onzième piste (72) au moins partiellement alignée avec la quatrième piste (32) et formant une douzième demi- boucle ; et dans le quatrième niveau de métallisation : une douzième piste (80) au moins partiellement alignée avec la cinquième piste (38) et formant une treizième demi-boucle, la douzième piste étant connectée en série entre la onzième piste (72) et la neuvième piste (62) ; une treizième piste (86) au moins partiellement alignée avec la sixième piste (44) et formant une quatorzième demi-boucle, la treizième piste étant connectée en série entre la dixième piste (66) et la neuvième piste (62) ;B8394 - 06-GR1-281 17 une quatorzième piste (90) au moins partiellement alignée avec la septième piste (48) et formant une quinzième demi-boucle, la quatorzième piste étant connectée en série entre la huitième piste (54) et la onzième piste (72) ; et une quinzième piste (94) au moins partiellement alignée avec la huitième piste (54) et formant une seizième demi-boucle, la quinzième piste étant connectée en série entre la septième piste (48) et la dixième piste (66).

8. Inductance selon la revendication 7, dans laquelle, en vue de dessus, la cinquième piste (38) s'étend au moins en partie entre la première piste (16) et la troisième piste (26), la sixième piste (44) s'étendant au moins en partie entre la deuxième piste (22) et la quatrième piste (32), la septième piste (48) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la troisième piste (26) et la huitième piste (54) s'étendant au moins en partie à l'intérieur de la quatrième piste (32).

9. Circuit électronique, notamment un amplificateur à bas bruit, un mélangeur, un oscillateur contrôlé en tension, un filtre passif ou un transformateur, comprenant au moins une induc- tance (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes.