FR2824543A1 - Dispositif de chargement et de dechargement de plaquettes de silicium dans des fours a partir d'une station multi-cassettes - Google Patents
Dispositif de chargement et de dechargement de plaquettes de silicium dans des fours a partir d'une station multi-cassettes Download PDFInfo
- Publication number
- FR2824543A1 FR2824543A1 FR0106756A FR0106756A FR2824543A1 FR 2824543 A1 FR2824543 A1 FR 2824543A1 FR 0106756 A FR0106756 A FR 0106756A FR 0106756 A FR0106756 A FR 0106756A FR 2824543 A1 FR2824543 A1 FR 2824543A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- transfer
- basket
- load
- station
- baskets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67754—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a batch of workpieces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer
Abstract
Dispositif pour le chargement automatique et de déchargement automatique d'une charge à traiter dans une unité de traitement thermique (1) du genre four de diffusion, comportant au moins un cantilever (2) destiné à recevoir la totalité de la charge et introduire cette charge dans le four. La charge peut être constituée par des plaquettes de silicium (4) disposées dans des nacelles en quartz. Le dispositif comprend un équipement de transfert automatique multi-paniers recevant sur une aire de réception, la totalité de la charge, et assurant le transfert, de l'aire de réception vers le cantilever, de la totalité de la charge et éventuellement de charges postiches, de charges écrans et d'éléments témoins et inversement après traitement thermique le transfert de la totalité de la charge traitée vers l'aire de réception ainsi que le transfert, du cantilever vers leurs emplacements d'origines, des charges écrans et des éléments témoins, les différentes opérations de transfert étant effectuées selon un scénario prédéfini.
Description
collerette.
DISPOSITIF DE CHARGEMENT ET DE DÉCHARGEMENT DE PLAQUETTES
DE SI LICIUM DANS DES FOURS À PARTIR D' U NE STATION MULTI-
CASSETTES.
La présente invention concerne un dispositif de chargement et de déchargement de plaquettes de matériaux semi-conducteurs tel que le silicium dans des équipements de traitement chimique et thermique tel que des fours
horizontaux de diffusion.
Cette invention est destinée à l'industrie de fabrication de composants semi-conducteurs. o Les plaquettes de silicium sont véhiculées dans les salles blanches dans des botes en plastique contenant vingt-cinq plaquettes disposées dans une cassette plastique à vingt-cinq positions appelée panier, les différentes positions étant matérialisées par des gorges formées dans la cassette. Ces plaquettes de silicium sont traitées thermiquement dans des fours horizontaux après transfert s de la cassette plastique sur des nacelles en matériau thermiquement réfractaire tel que le quartz et le Carture de Silicium. Ces nacelles en quartz ou Carbure de Silicium sont placces manuellement sur un cantilever en Carbure de Silicium sous forme de pelle en porte-à-faux ou bitubes. Six à huit nacelles de cinquante plaquettes sont la charge normale. Dans les salles blanches, il est très courant o trouver des machines de transfert de un, maximum deux paniers sur une seule nacelle contenant alors vingt-cinq ou cinquante plaquettes disposées dans les vingt-cinq ou cinquante gorges de la nacelle. La nacelle est placée manuellement sur le cantilever suivant l'étage, car les fours horizontaux de diffusion comportent en général quatre étages superposés dont l'étage supérieur
:: se trouve environ à deux mètres du sol.
Cette pratique présente les inconvénients suivants: - la présence de manipulateur humain génère des particules se déposant sur les micromotifs des circuits intégrés causant un défaut électrique après passage au four. o - L'opérateur en posant les nacelles sur les cantilevers provoque des frottements
de matériaux réfractaires générant des particules donc des défauts électriques.
- De plus, le poids d'une nacelle pleine, chargée de vingt-cinq à cinquante plaquettes de diamètre cent cinquante ou deux cent millimètres est conséquent
et rend difficile le chargement sur les étages supérieurs du four de diffusion.
On peut noter également que le positionnement manuel des nacelles sur le cantilever est aléatoire ce qui n'assure pas la répétitivité des résultats soumis
à l'assurance d'une position stable et unique dans les chambres de diffusion.
Enfin par une erreur humaine, I'opérateur peut retourner après traitement les plaquettes dans les mauvaises cassettes, ce qui ne permettrait pas de suivre
le lot au cours des différentes étapes de la fabrication des semiconducteurs.
o Pour éviter ces inconvénients, il existe des systèmes élévateurs chargeant automatiquement chaque nacelle sur l'étage choisi au préalable. Ces élévateurs sont alimentés ou alimentent un système de transfert automatique à
partir de un voire maximum deux paniers.
Cette pratique présente les inconvénients suivants: s - La charge à poser sur le cantilever est issue de huit à dix paniers de vingt-cinq plaquettes. L'opérateur doit alimenter le transfert automatique par sa présence
pendant l'opération de chargement ou déchargement.
- de plus des plaques témoins pour évaluation du procédé thermique doivent être placées sur des endroits précis des nacelles et récupérées après traitement thermique pour mesures. L'opérateur les place sur le cantilever de façon
manuelle malgré le chargement automatique par l'élévateur.
- D'autre part, la charge des nacelles emplies de plaquettes Silicium et chargées sur le cantilever doit être encadrée par des nacelles écrans à disque de quartz
ou de Carbure de Silicium.
s - Enfin par une erreur humaine, I'opérateur peut retourner après traitement les plaquettes dans les mauvais paniers, ce qui ne permettrait pas de suivre le lot au cours des différentes étapes de la fabrication. Le même problème se trouve posé en ce qui concerne la récupération des témoins par rapport à leur position
sur la charge.
o La présente invention a pour but d'apporter des solutions à ces inconvénients en proposant un nouveau dispositif intégrant le chargement et le
déchargement complet de la charge du cantilever sans présence humaine.
À cet effet le nouveau dispositif selon l'invention pour le chargement automatique et de déchargement automatique d'une charge à traiter dans une unité de traitement thermique comportant au moins un cantilever destiné à recevoir la totalité de la charge à traiter laquelle charge est constituée par plusieurs éléments de charge physiquement indépendant les uns des autres, ladite charge pouvant être constituée par un ensemble de plaquettes de silicium agencé en lots, chaque élément de charge étant alors constitué par une plaquette et ladite unité de traitement thermique pouvant être constituée par au moins un four de diffusion dans lequel pénètre le cantilever et la charge qu'il o porte, laquelle alors à ce niveau est répartie dans des nacelles en quartz ou autre matériau adapté, se caractérise essentiellement en ce qu'il comprend un équipement de transfert automatique multi-paniers recevant sur une aire de réception, la totalité de la charge à traiter, constituée de plusieurs éléments de charge, et assurant le transfert de l'aire de réception vers le cantilever, de la s totalité de la charge à traiter et éventuellement de charge postiche, de charges écran et d'éléments témoins et inversement après traitement thermique, le transfert de la totalité de la charge traitée vers l'aire de réception ainsi que le transfert, du cantilever vers leurs emplacements d'origines, des charges écrans et des éléments témoins, les différentes opérations de transfert étant effectuées selon un scénario prédéfini et préenregistré dans une mémoire d'une unité superviseur multi-tâches, connoctée électriquement audit équipement de transfert, ladite unité assurant le contrôle et la commande des diverses
opérations de transfert au moins.
Grâce à ces caractéristiques, I'opérateur, avant que l'opération de chargement du cantilever ne débute, pourra poser sur 1'aire de réception la totalité de la charge à traiter qui à cet endroit précis peut se présenter en plusieurs lots physiquement séparés les uns des autres constitués chacun de plusieurs éléments de charge disposés à écartement les uns des autres dans un panier approprié. La charge à cet endroit précis est donc constituée de plusieurs paniers amovibles contenant chacun plusieurs éléments de charge. L'utilisateur est donc amené à poser sur l'aire de réception plusieurs paniers contenant
chacun plusieurs éléments de charge.
Pour une application au traitement de plaquettes de Silicium, les paniers sont constitués en une matière synthétique qui ne peut résister à la température
requise par le traitement thermique.
Pour cette raison, selon une autre caractéristique de l'invention, I'équipement de s transfert automatique assure d'abord le transfert des éléments de charge contenus dans les paniers en matière synthétique vers les nacelles en quartz et
une fois chaque nacelle pleine, le transfert de cette dernière vers le cantilever.
Selon une autre caractéristique de l'invention, I'équipement de transfert automatique multi-paniers comprend: o - une station de transfert multipaniers, comportant l'aire de réception de la charge constituée par la face supérieure d'un plateau horizontal, sur laquelle aire les paniers sont disposés de manière ordonnée dans des emplacements précis, ladite aire étant prévue pour recevoir huit à douze paniers pouvant contenir chacun vingt-cinq éléments de charge, - un élévateur manipulateur avec un système de tête de préhension, connecté électriquement à l'unité superviseur, - une station de chargement/déchargement automatique multipaniers, connoctée électriquement à l'unité superviseur, - un support horizontal pivotant d'orientation connecté électriquement à l'unité o superviseur, - un plusieurs docks de stockage des nacelles vides, - un plusieurs docks intelligents de stockage des nacelles contenant des charges écrans, ces docks étant disposés à portée de l'élévateur manipulateur
au-dessus de la station de transfert automatique multi-paniers.
Selon une caractéristique additionnelle de l'invention, les éléments de charge de chaque panier sont saisis par leurs tranches par la station de chargemenVdéchargement automatique. Pour des plaquettes de Silicium dont le traitement concerne essentiellement l'une au moins de leurs grandes faces, la station de chargemenVdéchargement automatique saisit ces dernières par leurs o tranches. On évite ainsi toutes altérations de leurs grandes faces. Cette station permet le transfert automatique de huit à douze paniers sur des nacelles chargées dans l'ordre sur le support rotatif amenant nacelle pleine et nacelle s vide. De plus, les plaques témoins sont placées automatiquement sur les
positions des nacelles définies par le scénario de l'unité superviseur.
Le mouvement de la charge lors de son transfert entre le panier correspondant et la nacelle se décompose en un mouvement vertical ascendant de translation, suivi d'un mouvement horizontal de translation selon un niveau supérieur lui-même suivi d'un mouvement vertical descendant de translation. Ce mouvement de transfert ainsi décomposé peut être assuré par la station de chargemenVdéchargement mais selon une forme préférée de réalisation au moins le mouvement de transfert vertical des éléments de charge du ou vers le to panier est assuré par un organe de levage annexe. Préférentiellement cet organe de levage est disposé sous le plateau horizontal de la station de transfert et ledit plateau au droit de chaque panier comporte une ouverture traversante de passage de l'organe de levage tandis que le panier ne comporte pas de fond de façon que ledit organe de levage puisse venir agir en poussé sur les éléments s de charge tout en assurant le maintien de leur position relative les uns par
rapport aux autres.
Selon une autre caractéristique de l'invention, un second organe de
levage est associé au support horizontal pivotant d'orientation.
Préférentiellement ce second organe de levage est disposé sous le support o horizontal, ce dernier étant alors pourvu d'une ouverture traversante de passage dudit organe. De plus chaque nacelle ne comporte pas de fond pour permettre le passage de l'organe de levage afin que ce dernier puisse venir agir en poussée sur les éléments de charge tout en assurant le maintien de leur position
relative les uns par rapport aux autres.
Selon une autre caractéristique de l'invention, I'un au moins des organes
de levage est mobile en rotation selon un quart de tour suivant un axe vertical.
Cette disposition est particulièrement avantageuse puisque grâce à elle il est maintenant possible d'améliorer grandement l'ergonomie de la station automatique de transfert. En effet il est maintenant possible de s'affranchir d'un o positionnement transversal ou longitudinal de chaque panier imposé par le mouvement de transfert de la station de chargement/déchargement eVou par les mouvements du manipulateur élévateur 11 est maintenant possible de positionner les paniers sur le plateau de la manière la plus ergonomique pour I'utilisateur, on réduit ainsi les mouvements dorsaux de l'opérateur au strict nécessaire et on diminue les risques de pathologies liées à des mauvaises
positions dorsales.
Selon encore une autre caractéristique de l'invention, les paniers sont s agencés suivant des lignes et des colonnes sur le plateau. Dans ce cas ce dernier est monté mobile su r des glissières horizontales de g u id age selon une direction perpendiculaire à la direction du mouvement horizontal de la station de chargement et déchargement. En variante selon une autre forme de réalisation, les paniers sont agencés sur le plateau selon un cercle, dans ce cas le plateau to est mobile en rotation selon un axe vertical passant par le centre du cercle précité. Dans cette configuration, la position occupée par l'utilisateur pour le chargement du plateau se trouve décalée angulairement de quatre-vingt-dix dog rés par rapport aux orga nes de levage. Ainsi l'orientation d u pa nier lorsq ue ce dernier est situé au-dessus de l'un ou lautre élément de levage est décalée de quatre-vingt-dix degrés par rapport à celle qu'il possède lorsqu'il est chargé sur le plateau, cette position de chargement pouvant être alors une position erçonomique. Un autre avantage de cette disposition réside dans le fait qu'elle simplifie la réalisation de station de transfert automatique. En effet il n'est plus utile de o conférer à l'organe de levage associé une liberté de mouvement en rotation
autour d'un axe vertical.
D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparatront à la
lecture de la description ci-après, de formes de réalisation données à titre
d'exemple, non limitatifs et illustrés par les dessins joints dans lesquels:
- La figure 1 représente une vue globale du dispositif selon différentes faces.
- Les figures 2 et 3 représentent des vues en perspective du dispositif de
transfert automatique des plaquettes entre les paniers et les nacelles.
Pour faciliter la description des mouvements des différents éléments du
dispositif la direction X représentera la direction longitudinale du dispositif, Y la direction latérale et Z la direction verticale. Ces axes sont clairement représentés
sur la figure 1.
En figure 1 est représenté le dispositif selon l'invention pour le chargement automatique et de déchargement automatique d'une charge à traiter dans une unité de traitement thermique constituce par un four de diffusion 1 à plusieurs étages comportant plusieurs cantilevers 2 destinés à recevoir des nacelles en quartz contenant la totalité de la charge à traiter, laquelle charge est constituée par plusieurs éléments de charge 4 en l'espèce des plaquettes de silicium installée initialement dans des paniers 5 en matière synthétique. Les cantilevers 2 sont chacun mobiles en X afin d'enfourner les plaquettes dans le
four 1. Ce dispositif comprend un équipement de transfert automatique multi-
paniers recevant sur une aire de réception, la totalité de la charge à traiter, constituée de plaquettes de silicium, disposoe dans des paniers 4 en matière o synthétique et assurant le transfert de l'aire de réception vers le cantilever 2, de la totalité de la charge à traiter et éventuellement de charge postiche, de charges écran et d'éléments témoins et inversement après traitement thermique, le transfert de la totalité de la charge traitée vers l'aire de réception ainsi que le transfert, du cantilever 2 vers leurs emplacements d'origines, des charges s écrans et des éléments témoins, les différentes opérations de transfert étant effectuées selon un scénario prédéfini et prcenregistré dans une mémoire d'une unité superviseur multi-tâches, connoctée électriquement audit équipement de transfert, ladite unité assurant le contrôle et la commande des diverses opérations de transfert au moins. Cet équipement de transfert assure donc le o transfert automatique des plaquettes 4 entre des panier 5 et des naceiles 6. En effet, pour résister aux températures du traitement, les plaquettes initialement contenues dans des paniers 5 en matière synthétique doivent être transférés dans des nacelles 6 composées généralement de quartz ou de carbure de silicium. Les formes des paniers 5 et de nacelles 6 peuvent être variables. A titre d'exemple représenté sur la figure 1, les paniers 5 peuvent avoir une forme parallélépipédique ouverte sur la partie supérieure. La partie intérieure des paniers est dotée d'encoches pour le positionnement et le maintien des plaquettes 4. Les nacelles 6 peuvent se présenter sous forme d'un réceptacle de forme incurvée maintenant la base des plaquettes dans des encoches. Toutes o autres formes de panier 5 et de nacelles sont bien entendues envisageables. A titre d'exemple, les paniers et les nacelles peuvent contenir vingt-cinq ou cinquante plaquettes de silicium disposées en rang et espacées les unes des
autres de quelques millimètres.
Le dispositif comprend de plus: - une station 3 de transfert multipaniers, comportant une aire de réception de la charge constituée par la face supérieure d'un plateau horizontal 7, sur laquelle aire les paniers 5 sont disposés de manière ordonnée dans des emplacements s précis, ladite aire étant prévue pour recevoir huit à douze paniers pouvant contenir chacun vingt-cinq éléments de charge, - un élévateur manipulateur 11 avec un système de tête de préhension 17, connecté électriquement à l'unité superviseur, - une station 10 de chargement/déchargement automatique multi-paniers, o connectée électriquement à l'unité superviseur, - un support horizontal pivotant d'orientation 8 connecté électriquement à l'unité superviseur, - un ou plusieurs docks 14 de stockage des nacelles vides, - un ou plusieurs docks inteiligents 15 de stockage des nacelles contenant des charges écrans, ces docks étant disposés à portée de l'élévateur maniqulateur
au-dessus de la station de transfert automatique multi-paniers.
L'unité superviseur comprend un écran plat du type tactile sur lequel ladite unité affiche différents paramètres ainsi que les divers scénarios envisageables quant à i'opération de chargement, chaque scénario définissant o notamment les positions des nacelles, le nombre de plaquettes produits ou postiches, les positions des plaques témoins sur les nacelles dédiées, le chargement automatique des naceiles écrans. Ainsi l'utilisateur par l'intermédiaire de l'écran tactile choisit le scénario et initie les opérations de
transfert multi-paniers.
L'unité superviseur, en vue des opérations de chargement du cantilever 2 commande à l'élévateur/maniqulateur 11 de prélever par sa tête de préhension 17 une nacelle vide 6 dans le dock 15 correspondant et de transporter et disposer cette nacelle sur le support pivotant d'orientation 8. Ensuite cette unité commande à la station de chargemenVdéchargement 10 le prélèvement de la o totalité du lot d'élément de charge contenu dans l'un des paniers 5 et la pose de ce lot dans la nacelle 6. Par la suite si la capacité de la nacelle permet de recevoir deux lots d'éléments de charge, I'unité superviseur commande la rotation selon un demi-tour et selon un axe géométrique vertical, du support horizontal d'orientation 8 et ensuite commande de nouveau à la station de chargement/déchargement 10, le prélèvement de la totalité du lot d'élément de charge contenu dans un autre panier 5 et la pose de ce lot dans la nacelle. Par ce biais on charge une nacelle 6 de plus grande capacité que la capacité de chaque panier. On peut prévoir aussi la pose de deux nacelles 6 sur le support horizontal d'orientation 8, dans ce cas, la capacité de chaque nacelle est égale à celle de chaque panier 5. Après chargement de chaque nacelle, I'unité superviseur commande l'élévateur manipulateur 11 afin que ce dernier puisse par sa tête de préhension 17 saisir la nacelle 8 et ensuite transporter et disposer o cette dernière sur le cantilever 2. L'unité superviseur commande aussi l'élévateur manipulateur 11 afin que ce dernier charge sur le cantilever 2 des nacelles écrans. Les étapes précédentes se répètent jusqu'à ce que le chargement soit terminé. Les cantilevers 2 introduisent alors les nacelles pleines dans le four 1. Une fois le traitement terminé les nacelles sont déchargées et les plaquettes réintroduites dans les cassettes selon le même cycle mais d'une
manière inversée.
L'intérêt de l'automatisation des charges de chargement du cantilever et du contrôle des mouvements des divers éléments participant au chargement réside dans le fait que les nacelles sont disposées de manière particulièrement précise
o sur le cantilever 2 ce qui assure la répétitivité des résultats.
Pendant l'opération de chargement de la nacelle telle que décrite, I'unité superviseur peut commander et contrôler l'élévateur manipulateur 11 afin que ce dernier accomplisse simultanément et donc en temps masqué, d'autres tâches,
par exemple le chargement sur le cantilever 2 des nacelles écrans.
s Le plateau 7 de la station de transfert automatique 3 est mobile dans un plan horizontal pour en combinaison avec les mouvements de la station de chargementldéchargement 10 positionner tour à tour chaque panier à portée de
ladite station.
Le plateau 7 de l'aire de réception de la station de transfert multipaniers o est agencé pour recevoir simu ltanément plusieu rs pa n iers 5 pa r exemple h u it à douze et à cet effet selon une première forme de réalisation ce plateau, comporte plusieurs emplacements dans lesquels l'opérateur vient disposer les paniers. Ces divers emplacements sont de préférence matérialisés par plusieurs paires de moyens de positionnement des paniers, matérialisant les différents emplacements des pa niers. Les moyens de position nement pou rront être constitués par des lumières oblongues pratiquées dans le plateau horizontal de la station de transfert. Ces lumières sont prévues pour recevoir en embotement
s de forme des lèvres verticales de positionnement formées dans les paniers.
Selon une première forme de réalisation, les paniers 5 sont agencés suivant des lignes et des colonnes sur le plateau. Dans ce cas, ce dernier est monté mobile sur des glissières horizontales de guidage selon la direction Y. cette direction étant perpendiculaire à la direction du mouvement horizontal de la
to station de chargement et déchargement 10.
En variante, selon une autre forme de réalisation, les paniers 5 sont agencés sur le plateau 7 selon un cercle, dans ce cas le plateau est mobile en rotation selon un axe vertical passant par le centre du cercle précité. Dans cette configuration, la position occupée par l'utilisateur pour le chargement du plateau s se trouve décalée angulairement de quatrevingt-dix degrés par rapport aux
organes de levage. Ainsi l'orientation du panier lorsque ce dernier est situé au-
dessus de l'un ou l'autre élément de levage est décalée de quatre-vingtdix degrés par rapport à celle qu'il possède lorsqu'il est chargé sur le plateau, cette
position de chargement pouvant étre alors une position ergonomique.
o Le mouvement des éléments de charge 4 lors de leur transfert entre le panier 5 correspondant et la nacelle 6 se décompose en un mouvement vertical ascendant de translation, suivi d'ur; mouvement horizontal de translation selon un niveau supérieur lui-même suivi d'un mouvement vertical descendant de translation. Ce mouvement de transfert ainsi décomposé peut être assuré par la station de chargemenVdéchargement mais selon une forme préférée de réalisation au moins le mouvement vertical de translation des éléments de charge depuis ou vers le panier est assuré par un organe de levage annexe 9 mobile verticalement. Préférentiellement cet organe de levage 9 est disposé sous le plateau horizontal 7 de la station de transfert 3 et ledit plateau au droit o de chaque panier comporte une ouverture traversante de passage de l'organe de levage tandis que le panier 5 ne comporte pas de fond de façon que ledit organe de levage puisse venir agir en poussé sur les éléments de charge 4 tout en assurant le maintien de leur position relative les uns par rapport aux autres 1 1 Cet organe de levage à pour but d'amener la charge de plaquettes contenue dans le panier à un niveau de hauteur selon lequel elle pourra être saisie par la
station de chargement/déchargement 10.
Avantageusement un second organe de levage est associé au support s horizontal pivotant d'orientation 8. Préférentiellement ce second organe de levage assure le mouvement vertical des éléments de charge vers ou depuis la nacelle, et est disposé sous le support horizontal, ce dernier étant alors pourvu d'une ouverture traversante de passage dudit organe. De plus chaque nacelle ne comporte pas de fond pour permettre le passage de l'organe de levage afin to que ce dernier puisse venir agir en poussée sur les éléments de charge tout en assurant le maintien de leur position relative les uns par rapport aux autres Pour un plateau mobile en translation selon l'axe Y. I'un au moins des organes de levage est mobile en rotation selon un quart de tour suivant un axe vertical à savoir l'axe Z. s Cette disposition est particulièrement avantageuse puisque grâce à elle il est maintenant possible d'améliorer grandement l'ergonomie de la station automatique de transfert. En effet il est maintenant possible de s'affranchir d'un positionnement transversal ou longitudinal de chaque panier 5 imposé par le mouvement de transfert de la station de chargemenVdéchargement 10 eVou par o les mouvements du maniqulateur élévateur 11. Il est maintenant possible de positionner les paniers sur le plateau 7 de la manière la plus ergonomique pour l'utilisateur, on réduit ainsi les mouvements dorsaux de l'opérateur au strict nécessaire et on diminue les risques de pathologies liées à des mauvaises
positions dorsales.
s Selon la forme préférée de réalisation, I'organe de levage 9 est constitué par deux poussoirs horizontaux 13 et 13' espacés l'un de l'autre dotés de fentes pour le maintien des plaquettes, lesdits poussoirs étant fixés à une même structure porteuse solidaire d'un élément moteur connecté électriquement à
l'unité superviseur.
Selon une forme préférée de réalisation, la station de transfert automatique 10 est équipée d'un dispositif automatique d'orientation des plaquettes contenue dans chaque panier, chaque plaquette comportant un méplat d'orientation. Ce dispositif logé sous le plateau de la station de transfert automatique assure l'orientation des plaquettes alors que ces dernières sont encore dans leur panier. Ce dispositif est connecté électriquement à l'unité
superviseur et est piloté et contrôlé par cette dernière.
La station de chargemenVdéchargement 10 est mobile horizontalement s selon l'axe X et verticalement selon l'axe Z. Cette station est équipée d'un dispositif de préhension et de maintien des plaquettes pendant le transfert, constitué de deux mâchoires 12 et 12' animées chacune d'un mouvement de rotation opposé et venant serrer la base de la série de plaquettes du panier par leurs tranches. Les mâchoires 12 et 12' sont dotees chacune de fentes de
o positionnement des plaquettes.
Le support horizontal pivotant d'orientation 8 reçoit les nacelles devant être remplies pour être traitées ou les nacelles devant être déchargées. Le support (8) est monté rotatif autour d'un axe en Z et comporte au moins deux emplacements se présentant alternativement en position de chargement ou de
déchargement par la station de chargement déchargement 10.
Le manipulateur élévateur 11 est du type quatre axes et comprend un bras manipulateur mobile selon une direction verticale et selon deux directions horizontales perpendiculaires l'une à l'autre, ledit bras manipulateur étant équipé de la tête de préhension 17. Comme on peut le voir, le bras manipulateur est o monté mobile verticalement sur une colonne verticale de guidage elle même montée mobile par une au moins de ses extrémités sur unrail de guidage horizontal s'étendant selon la direction X. Le bras s'étend selon la direction Y et est par exempie conformé de manière télescopique pour être mobile selon la direction Y. La tête de préhension 17 est montée en extrémité du bras et est agencé pour venir saisir par le dessous les différentes nacelles en vue de leur transport. La tête de préhension vient se positionner sous la nacelle, la soulève de son support, se dégage du dispositif selon l'axe Y. et la déplace d'un poste à l'autre. À cet élévateur, sont associés des capteurs de température, des o détecteurs de force et un moyen de réglage du positionnement du cantilever par
lunette laser.
Enfin, le dispositif est équipé d'un jeu de capteurs pour vérifier le déroulement normal des séquences de transfert. Un capteur de température vérifie la temperature des nacelles compatibles avec la matière synthétique des paniers
Claims (10)
1/ Dispositif pour le chargement automatique et de déchargement automatique d'une charge à traiter dans une unité de traitement thermique (1) comportant au moins un cantilever (2) destiné à recevoir la totalité de la charge à traiter laquelle charge est constituée par plusieurs éléments de charge (4) physiquement indépendants les uns des autres, ladite charge pouvant être constituée par un ensemble de plaquettes de silicium agencé en lots dans chaque paniers (5), chaque élément de charge étant alors constitué par une plaquette et ladite unité de traitement thermique (1) pouvant être constituée par o au moins un four de diffusion dans lequel pénètre le cantilever (2) et la charge qu'il porte, laquelle alors à ce niveau est répartie dans des nacelles (6) en quartz ou autre matériau adapté, caractérisé en ce qu'il comprend un équipement de transfert automatique multi-paniers recevant sur une aire de réception, la totalité de la charge à traiter, constituée de plusieurs éléments de charge, et assurant le transfert de l'aire de réception vers le cantilever (2), de la totalité de la charge à traiter et éventuellement de charge postiche, de charges écran et d'éléments témoins et inversement après traitement thermique, le transfert de la totalité de la charge traitée vers l'aire de réception ainsi que le transfert, du cantilever (2) vers leurs emplacements d'origines, des charges écrans et des éléments o témoins, les différentes opérations de transfert étant effectuces selon un scénario prédéfini et préenregistré dans une mémoire d'une unité superviseur multi-tâches, connectée électriquement audit équipement de transfert, ladite unité assurant le contrôle et la commande des diverses opérations de transfert
au moins.
2/ Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'équipement de transfert automatique assure d'abord le transfert des éléments de charge contenus dans les paniers (5) en matière synthétique vers les nacelles en quartz et une fois chaque nacelle pleine, le transfert de cette dernière vers le cantilever (2) o 3/ Dispositif selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé en ce que l'unité superviseur comprend un écran plat du type tactile sur lequel ladite unité affiche différents paramètres ainsi que les divers scénarios envisageables quant à l'opération de chargement, chaque scénario definissant notamment les positions des nacelles, le nombre de plaquettes produits ou postiches, les positions des plaques témoins sur les nacelles dédiées, le
chargement automatique des nacelles écrans.
41 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes
s caractérisé en ce que 17équipement de transfert automatique multipaniers comprend: - une station de transfert multi-paniers (3), comportant 1'aire de réception de la charge constituée par la face supérieure d'un plateau horizontal (7), sur laquelle aire les paniers sont disposés de manière ordonnée dans des emplacements o précis, ladite aire étant prévue pour recevoir huit à douze paniers pouvant contenir chacun vingt-cinq éléments de charge, - un élévateur manipulateur (11) avec un système de tête de préhension (17), connecté électriquement à l'unité superviseur, une station de chargemenVdéchargement automatique multi-paniers (10), connectée électriquement à 1'unité superviseur, - un support horizontal p ivotant d 'orientation (8) con necté électriq uement à l'unité superviseur, - un ou plusieurs docks (14) de stockage des nacelles (6) vides, - un ou plusieurs docks intelligents (15) de stockage des nacelles contenant des o charges écrans, ces docks étant disposés à portée de l'élévateur manipulateur
au-dessus de la station de transfert automatique multi-paniers.
/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes
caractérisé en ce que l'aire de réception de la charge de la station de transfert multi-paniers (3), comprend plusieurs paires de moyens de positionnement des
paniers (5), matérialisant les différents emplacements des paniers (5).
61 Dispositif selon la revendication 5 caractérisé en ce que les moyens de positionnement sont constitués par des lumières oblongues pratiquces dans le plateau horizontal (7) de la station de transfert (3), prévues pour recevoir en embotement de forme des lèvres verticales de positionnement formées dans les
o paniers.
71 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes
caractérisé en ce que le mouvement des éléments de charge (4) lors de leur transfert entre le panier (5) correspondant et la nacelle (6) se décompose en un mouvement vertical ascendant de translation, suivi d'un mouvement horizontal de translation selon un niveau supérieur lui-même suivi d'un mouvement vertical
descendant de translation.
8/ Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'au moins le s mouvement vertical de translation des éléments de charge depuis ou vers le panier (5) est assuré par un organe de levage annexe (9) disposé sous le plateau horizontal (7) de la station de transfert (3) et que ledit plateau (7) au droit de chaque panier (5) comporte une ouverture traversante de passage de l'organe de levage (9) tandis que le panier (5) ne comporte pas de fond de façon o que ledit organe de levage (9) puisse venir agir en poussée sur les éléments de charge tout en assurant le maintien de leur position relative les uns par rapport
aux autres.
9/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 7 ou 8 caractérisé
par un second organe de levage pour assurer le mouvement vertical des l5 éléments de charge vers ou depuis la nacelle, ledit second organe étant disposé sous le support horizontal pivotant d'orientation (8), ce dernier étant alors pourvu d'une ouverture traversante de passage dud it organe et chaque nacelle (6) ne comportant pas de fond pour permettre ie passage de l'organe de levage afin que ce dernier puisse venir agir en poussée sur les éléments de charge tout en
o assurant le maintien de leur position relative les uns par rapport aux autres.
/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 8 ou 9
caractérisé en ce que l'un au moins des organes de levage (9) est mobile en
rotation selon un quart de tour suivant un axe vertical.
11/ Dispositif selon la revendication 4,caractérisé en ce que le plateau (7) de la station de transfert automatique (3) est mobile dans un pian horizontal pour en combinaison avec les mouvements de la station de chargemenV déchargement (10) positionner tour à tour chaque panier (5) à portée de ladite station. 12/ Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que les paniers
o (5) sont agencés suivant des lignes et des colonnes sur le plateau (7).
13/ Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que le plateau (7) est monté mobile sur des glissières horizontales de guidage selon une j' direction perpendiculaire à la direction du mouvement horizontal de la station de
chargement et déchargement (10).
141 Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que les paniers (5) sont agencés sur le plateau (7) selon un cercle, et que le plateau (7) est mobile en rotation selon un axe vertical passant par le centre du cercle précité. / Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que la station de transfert automatique (3) est équipée d'un dispositif automatique d'orientation des plaquettes contenue dans chaque panier (5), chaque plaquette comportant
un méplat d'orientation.
to 16/ Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que la station de chargemenVdéchargement (10) est mobile horizontalement selon l'axe X et verticalement selon l'axe Z et que ladite station est équipée d'un dispositif de
préhension et de maintien des plaquettes pendant le transfert.
17/ Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce que le dispositif de préhension est constitué de deux mâchoires (12) et (12') animées chacune d'un mouvement de rotation opposé et venant serrer la base de la série de plaquettes du panier par leurs tranches. Les mâchoires (12) et (12') sont dotées
chacune de fentes de positionnement des plaquettes.
18/ Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le support (8) o d'orientation est monté rotatif autour d'un axe en Z et comporte au moins deux emplacements se présentant alternativement en position de chargement ou de
déchargement par la station de chargement déchargement (10).
19/ Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le manipulateur élévateur (11) est du type quatre axes et comprend un bras s manipulateur (18) mobile selon une direction verticale et selon deux directions horizontales perpendiculaires l'une à l'autre, ledit bras manipulateur étant équipé
de la tête de préhension (17).
/ Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'à l'élévateur (11) sont associés des capteurs de température, des détecteurs de force et un
o moyen de réglage du positionnement du cantilever par lunette laser.
21/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes
caractérisé en ce qu'il est équipé d'un jeu de capteurs pour vérifier le déroulement normal des séquences de transfert et d'au moins un capteur de
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0106756A FR2824543B1 (fr) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | Dispositif de chargement et de dechargement de plaquettes de silicium dans des fours a partir d'une station multi-cassettes |
| PCT/FR2002/001619 WO2002093617A2 (fr) | 2001-05-14 | 2002-05-14 | Dispositif de chargement et de dechargement de plaquettes de silicium dans des fours a partir d'une station multi-cassettes |
| US10/477,425 US7326021B2 (en) | 2001-05-14 | 2002-05-14 | Device for loading and unloading silicon wafers in an oven from a multiple-cassette station |
| KR10-2003-7014784A KR20040012825A (ko) | 2001-05-14 | 2002-05-14 | 다중카세트 스테이션으로부터 오븐내부로 실리콘웨이퍼를장착하고 분리하기 위한 장치 |
| CNB028135970A CN1295744C (zh) | 2001-05-14 | 2002-05-14 | 用于把硅片从多盒站装载及卸入炉子的装置 |
| AU2002302725A AU2002302725A1 (en) | 2001-05-14 | 2002-05-14 | Device for loading and unloading silicon wafers in an oven from a multiple-cassette station |
| JP2002590393A JP2004531890A (ja) | 2001-05-14 | 2002-05-14 | 複数カセット式ステーションから炉へのシリコンウェーハのローディングおよびアンローディング用装置 |
| EP02730403A EP1388163A2 (fr) | 2001-05-14 | 2002-05-14 | Dispositif de chargement et de dechargement de plaquettes de silicium dans des fours a partir d'une station multi-cassettes |
| HK04110395A HK1067787A1 (en) | 2001-05-14 | 2004-12-31 | Device for loading and unloading silicon wafers inan oven from a multiplecassette station |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0106756A FR2824543B1 (fr) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | Dispositif de chargement et de dechargement de plaquettes de silicium dans des fours a partir d'une station multi-cassettes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2824543A1 true FR2824543A1 (fr) | 2002-11-15 |
| FR2824543B1 FR2824543B1 (fr) | 2003-10-17 |
Family
ID=8863563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR0106756A Expired - Fee Related FR2824543B1 (fr) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | Dispositif de chargement et de dechargement de plaquettes de silicium dans des fours a partir d'une station multi-cassettes |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7326021B2 (fr) |
| EP (1) | EP1388163A2 (fr) |
| JP (1) | JP2004531890A (fr) |
| KR (1) | KR20040012825A (fr) |
| CN (1) | CN1295744C (fr) |
| AU (1) | AU2002302725A1 (fr) |
| FR (1) | FR2824543B1 (fr) |
| HK (1) | HK1067787A1 (fr) |
| WO (1) | WO2002093617A2 (fr) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012127123A1 (fr) | 2011-03-18 | 2012-09-27 | Semco Engineering Sa | Support de plaquettes de silicium et procédé de traitement de ces plaquettes |
| CN112678093A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-20 | 中北大学 | 一种车载运动平台及自动对接装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101353222B (zh) * | 2007-07-26 | 2010-12-01 | 张彩根 | 悬臂石英桨的制作方法及产品 |
| JP5050761B2 (ja) * | 2007-10-03 | 2012-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の処理システム及び被処理体の熱処理方法 |
| CN102760676B (zh) * | 2012-05-18 | 2015-01-21 | 南京华伯仪器科技有限公司 | 一种硅片装卸篮装置 |
| CN104391478B (zh) * | 2014-09-18 | 2017-02-15 | 上海先进半导体制造股份有限公司 | 水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置 |
| CN108190345A (zh) * | 2018-03-02 | 2018-06-22 | 三和盛电子科技（东莞）有限公司 | 一种用于smt料盘的自动存储设备 |
| CN109531399B (zh) * | 2018-11-13 | 2021-02-05 | 杭州中为光电技术有限公司 | 一种用于多晶硅块不同高度检测及抓取的方法及其组件 |
| CN113394145B (zh) * | 2021-05-07 | 2022-08-19 | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 | 一种硅片的导片系统 |
| CN116666268B (zh) * | 2023-05-18 | 2023-12-01 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4568234A (en) * | 1983-05-23 | 1986-02-04 | Asq Boats, Inc. | Wafer transfer apparatus |
| US4728246A (en) * | 1986-05-16 | 1988-03-01 | Thermco Systems, Inc. | Wafer boat transfer tool |
| US5030057A (en) * | 1987-11-06 | 1991-07-09 | Tel Sagami Limited | Semiconductor wafer transferring method and apparatus and boat for thermal treatment of a semiconductor wafer |
| US5193969A (en) * | 1991-05-20 | 1993-03-16 | Fortrend Engineering Corporation | Wafer transfer machine |
| EP0798763A2 (fr) * | 1996-03-25 | 1997-10-01 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd | Méthode et appareil de transfert de galettes semi-conductrices |
| EP0827194A1 (fr) * | 1995-05-01 | 1998-03-04 | Tokyo Electron Limited | Procede et dispositif destine a un traitement |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527390A (en) * | 1993-03-19 | 1996-06-18 | Tokyo Electron Kabushiki | Treatment system including a plurality of treatment apparatus |
| US5544421A (en) * | 1994-04-28 | 1996-08-13 | Semitool, Inc. | Semiconductor wafer processing system |
| US6203582B1 (en) * | 1996-07-15 | 2001-03-20 | Semitool, Inc. | Modular semiconductor workpiece processing tool |
| US5820266A (en) * | 1996-12-10 | 1998-10-13 | Fedak; Tibor J. | Travelling thermocouple method & apparatus |
-
2001
- 2001-05-14 FR FR0106756A patent/FR2824543B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-05-14 KR KR10-2003-7014784A patent/KR20040012825A/ko not_active Application Discontinuation
- 2002-05-14 CN CNB028135970A patent/CN1295744C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-05-14 AU AU2002302725A patent/AU2002302725A1/en not_active Abandoned
- 2002-05-14 EP EP02730403A patent/EP1388163A2/fr not_active Withdrawn
- 2002-05-14 WO PCT/FR2002/001619 patent/WO2002093617A2/fr not_active Application Discontinuation
- 2002-05-14 US US10/477,425 patent/US7326021B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-05-14 JP JP2002590393A patent/JP2004531890A/ja active Pending
-
2004
- 2004-12-31 HK HK04110395A patent/HK1067787A1/xx not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4568234A (en) * | 1983-05-23 | 1986-02-04 | Asq Boats, Inc. | Wafer transfer apparatus |
| US4728246A (en) * | 1986-05-16 | 1988-03-01 | Thermco Systems, Inc. | Wafer boat transfer tool |
| US5030057A (en) * | 1987-11-06 | 1991-07-09 | Tel Sagami Limited | Semiconductor wafer transferring method and apparatus and boat for thermal treatment of a semiconductor wafer |
| US5193969A (en) * | 1991-05-20 | 1993-03-16 | Fortrend Engineering Corporation | Wafer transfer machine |
| EP0827194A1 (fr) * | 1995-05-01 | 1998-03-04 | Tokyo Electron Limited | Procede et dispositif destine a un traitement |
| EP0798763A2 (fr) * | 1996-03-25 | 1997-10-01 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd | Méthode et appareil de transfert de galettes semi-conductrices |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012127123A1 (fr) | 2011-03-18 | 2012-09-27 | Semco Engineering Sa | Support de plaquettes de silicium et procédé de traitement de ces plaquettes |
| CN112678093A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-20 | 中北大学 | 一种车载运动平台及自动对接装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20040012825A (ko) | 2004-02-11 |
| US7326021B2 (en) | 2008-02-05 |
| HK1067787A1 (en) | 2005-04-15 |
| CN1524286A (zh) | 2004-08-25 |
| WO2002093617A3 (fr) | 2003-02-27 |
| EP1388163A2 (fr) | 2004-02-11 |
| US20040191027A1 (en) | 2004-09-30 |
| FR2824543B1 (fr) | 2003-10-17 |
| AU2002302725A1 (en) | 2002-11-25 |
| JP2004531890A (ja) | 2004-10-14 |
| CN1295744C (zh) | 2007-01-17 |
| WO2002093617A2 (fr) | 2002-11-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2844258A1 (fr) | Systeme de transport et stockage de conteneurs de plaques de semi-conducteur, et mecanisme de transfert | |
| BE1006857A3 (fr) | Installation pour garnir d'une maconnerie de briques une paroi interieure d'une enceinte. | |
| FR2824543A1 (fr) | Dispositif de chargement et de dechargement de plaquettes de silicium dans des fours a partir d'une station multi-cassettes | |
| US8277163B2 (en) | Substrate transfer apparatus, substrate process system, and substrate transfer method | |
| EP0147435A1 (fr) | Dispositif de transfert de microplaquettes | |
| EP2999649B1 (fr) | Magasin automatise et unité de production de produits manufactures le comportant | |
| FR2787771A1 (fr) | Procede de stockage et entrepot automatise | |
| EP2366281B1 (fr) | Machine de retournement automatique d'objets conditionnés sur claies | |
| EP0736470B1 (fr) | Installation de transport de conteneurs pour produits s'écoulant par gravité | |
| FR2527184A1 (fr) | Dispositif pour accumuler des pieces et les transferer de part et d'autre d'une porte susceptible de fermeture | |
| CA2219858A1 (fr) | Magasin de stockage | |
| FR2776552A1 (fr) | Machine modulaire de polissage et de planarisation de substrats | |
| JP3086185B2 (ja) | サンプル容器の搬送装置 | |
| FR2617145A1 (fr) | Magasin de stockage et de distribution d'objets | |
| FR2683803A1 (fr) | Procede et installation pour l'approvisionnement en moteurs d'un groupe de bancs d'essai. | |
| EP3112301B1 (fr) | Installation destinée au transfert de récipients pouvant contenir une matière pulvérulente | |
| WO2018065722A1 (fr) | Deplacement de produits dans une ligne | |
| WO2023094671A1 (fr) | Dispositif de chargement d'au moins un chariot sur un robot mobile | |
| FR2757829A1 (fr) | Dispositif d'adaptation d'un chariot a un appareil de manutention de palettes | |
| WO2024008870A1 (fr) | Installation de palettisation | |
| EP2852956A1 (fr) | Dispositif de stockage | |
| FR2669312A1 (fr) | Magasin de stockage automatique. | |
| FR2722770A1 (fr) | Ensemble de manutention permettant la prise ou la depose de palettes par de chariots automatiques assurant leur transfert entre deux zones | |
| FR2645130A1 (fr) | Installation pour la preparation de commandes par regroupement dans un meme emballage d'articles differents | |
| FR2844259A1 (fr) | Procede, dispositif et installation de palettisation de piles de plateaux contenant des articles fragiles |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ST | Notification of lapse |
Effective date: 20090119 |