CN104391478B - 水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置，监控装置包括监控电路和报警电路；监控电路连接到第一插座的第一至第六针脚，报警电路串联于第一插座的第七和第八针脚间。其中，监控电路包括：二极管，正极与第一针脚连接；第一电阻，一端与二极管负极连接，另一端接地；第二电阻，一端与二极管负极连接；第一电容，一端与第二电阻另一端连接，另一端接地；第三和第四电阻，串联后接于电源和地间；比较器，正输入端接于第三和第四电阻间，负输入端与第二电阻另一端连接；RS触发器，R端与比较器输出端连接，S端经第五电容与地连接；驱动用反相器，I1引脚与RS触发器输出端连接；报警输出继电器，接于驱动用反相器O1引脚和电源间。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体来说，本发明涉及一种水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置。
背景技术
现有技术中，某些水平扩散炉(例如英国Thermco公司的5200系列水平扩散炉)的进舟系统的马达电流没有监控，一旦马达由于长期使用导致电流过大就会造成控制板损坏，晶舟(Boat)走不到位，最终造成扔片。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置，避免马达电流过大而造成进舟系统的驱动控制板损坏，导致晶舟走不到位而扔片。
为解决上述技术问题，本发明提供一种水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置，所述监控装置包括监控电路和报警电路；所述监控电路连接到第一插座的第一至第六针脚，所述报警电路串联于所述第一插座的第七和第八针脚之间；所述第二和第三针脚共同接地，所述第五针脚连接到电源；
其中，所述监控电路包括：
隔离二极管，其正极与所述第一针脚连接；
第一电阻，其一端与所述隔离二极管的负极连接，其另一端接地；
第二电阻，其一端与所述隔离二极管的负极连接；
第一电容，其一端与所述第二电阻的另一端连接，其另一端接地；
第三电阻和第四电阻，两者串联后连接于所述电源和地之间，用于从中提取所述马达电流为一预定检测电流时所对应的比较器的动作电压；
比较器，其正输入端连接于所述第三电阻和所述第四电阻之间，其负输入端与所述第二电阻的另一端连接；
RS触发器，其R输入端与所述比较器的输出端连接，其S输入端经过一第五电容与地连接以及连接到所述第四针脚；
驱动用反相器，其I1引脚与所述RS触发器的输出端连接，其GND引脚接地，其CD+引脚连接到所述电源，其O1引脚连接到所述第六针脚；以及
报警输出继电器，其连接于所述驱动用反相器的O1引脚和所述电源之间；
所述报警电路包括：
第一开关，其包括常开触点、常闭触点和常连触点，所述报警输出继电器控制所述常连触点与所述常闭触点抑或所述常开触点相连接；当所述第一开关闭合时，所述第七、第八针脚之间短路，所述水平扩散炉不报警；以及当所述第一开关打开时，所述第七、第八针脚之间开路，所述水平扩散炉报警。
可选地，所述监控装置还包括电源检测电路，所述电源检测电路连接到第二插座的第壹、第叁针脚，其第贰针脚空置不用；
所述电源检测电路包括：
电源监控继电器，其连接于所述电源和地之间，所述电源监控继电器的一端与所述第壹针脚连接，其另一端与所述第叁针脚连接；以及
第六电容，其与所述电源监控继电器并联，连接于所述第壹、第叁针脚之间；
此时，所述报警电路还包括：
第二开关，其也包括常开触点、常闭触点和常连触点，所述电源监控继电器控制所述常连触点与所述常闭触点抑或所述常开触点连接；当所述电源正常供电时，所述第二开关闭合，只要所述第一开关也闭合，所述第七、第八针脚之间短路，所述水平扩散炉不报警；当所述电源发生故障时，所述第二开关打开，无论所述第一开关是否闭合，所述第七、第八针脚之间开路，所述水平扩散炉报警。
可选地，在所述报警电路中，受所述报警输出继电器控制的所述第一开关采用双路并联结构，即两个并联的所述第一开关共同控制所述第七、第八针脚之间的短路或者开路。
可选地，在所述报警电路中，受所述电源监控继电器控制的所述第二开关也采用双路并联结构，即两个并联的所述第二开关共同控制所述第七、第八针脚之间的短路或者开路。
可选地，在所述第一插座中：
所述第一针脚和所述第二针脚并联在一检测电阻的两端；所述检测电阻的一端连接到所述进舟系统的驱动控制板输出端负极，其另一端连接到所述进舟系统的马达的负极，所述马达的正极连接到所述进舟系统的驱动控制板输出端正极；
所述第三针脚和所述第四针脚之间串联有一个复位开关；
所述第五针脚和所述第六针脚之间串联有一个指示灯，所述指示灯与所述复位开关整合在一起；
所述第七针脚和所述第八针脚连接到所述水平扩散炉的报警输入端。
为解决上述技术问题，本发明还提供一种水平扩散炉的进舟系统，其具有马达电流的监控装置，所述监控装置包括监控电路和报警电路；所述监控电路连接到第一插座的第一至第六针脚，所述报警电路串联于所述第一插座的第七和第八针脚之间；所述第二和第三针脚共同接地，所述第五针脚连接到电源；
其中，所述监控电路包括：
隔离二极管，其正极与所述第一针脚连接；
第一电阻，其一端与所述隔离二极管的负极连接，其另一端接地；
第二电阻，其一端与所述隔离二极管的负极连接；
第一电容，其一端与所述第二电阻的另一端连接，其另一端接地；
第三电阻和第四电阻，两者串联后连接于所述电源和地之间，用于从中提取所述马达电流为一预定检测电流时所对应的比较器的动作电压；
比较器，其正输入端连接于所述第三电阻和所述第四电阻之间，其负输入端与所述第二电阻的另一端连接；
RS触发器，其R输入端与所述比较器的输出端连接，其S输入端经过一第五电容与地连接以及连接到所述第四针脚；
驱动用反相器，其I1引脚与所述RS触发器的输出端连接，其GND引脚接地，其CD+引脚连接到所述电源，其O1引脚连接到所述第六针脚；以及
报警输出继电器，其连接于所述驱动用反相器的O1引脚和所述电源之间；
所述报警电路包括：
第一开关，其包括常开触点、常闭触点和常连触点，所述报警输出继电器控制所述常连触点与所述常闭触点抑或所述常开触点相连接；当所述第一开关闭合时，所述第七、第八针脚之间短路，所述水平扩散炉不报警；以及当所述第一开关打开时，所述第七、第八针脚之间开路，所述水平扩散炉报警。
可选地，所述监控装置还包括电源检测电路，所述电源检测电路连接到第二插座的第壹、第叁针脚，其第贰针脚空置不用；
所述电源检测电路包括：
电源监控继电器，其连接于所述电源和地之间，所述电源监控继电器的一端与所述第壹针脚连接，其另一端与所述第叁针脚连接；以及
第六电容，其与所述电源监控继电器并联，连接于所述第壹、第叁针脚之间；
此时，所述报警电路还包括：
第二开关，其也包括常开触点、常闭触点和常连触点，所述电源监控继电器控制所述常连触点与所述常闭触点抑或所述常开触点连接；当所述电源正常供电时，所述第二开关闭合，只要所述第一开关也闭合，所述第七、第八针脚之间短路，所述水平扩散炉不报警；当所述电源发生故障时，所述第二开关打开，无论所述第一开关是否闭合，所述第七、第八针脚之间开路，所述水平扩散炉报警。
可选地，在所述报警电路中，受所述报警输出继电器控制的所述第一开关采用双路并联结构，即两个并联的所述第一开关共同控制所述第七、第八针脚之间的短路或者开路。
可选地，在所述报警电路中，受所述电源监控继电器控制的所述第二开关也采用双路并联结构，即两个并联的所述第二开关共同控制所述第七、第八针脚之间的短路或者开路。
可选地，在所述第一插座中：
所述第一针脚和所述第二针脚并联在一检测电阻的两端；所述检测电阻的一端连接到所述进舟系统的驱动控制板输出端负极，其另一端连接到所述进舟系统的马达的负极，所述马达的正极连接到所述进舟系统的驱动控制板输出端正极；
所述第三针脚和所述第四针脚之间串联有一个复位开关；
所述第五针脚和所述第六针脚之间串联有一个指示灯，所述指示灯与所述复位开关整合在一起；
所述第七针脚和所述第八针脚连接到所述水平扩散炉的报警输入端。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：
本发明考虑到涂源工艺不允许进炉时中断工艺，所以在设计时仅在出炉时对驱动马达进行监控，从而避免马达电流过大造成驱动控制板损坏，最终导致晶舟走不到位而扔片，同时也避免了驱动控制板的损坏。
本发明的监控装置不影响水平扩散炉设备的工艺过程，对原厂的电路没有任何不良影响。同时由于马达电流刚大于预定检测电流就被替换下来，该马达线圈仍旧完好，一般只要清除换向器间的碳粉，仍旧可以修复，有利于降低成本。
综上所述，本发明通过加装进舟系统的马达过流的监控装置，就能及时更换马达，大大减少对进舟系统的驱动控制板的损坏，从而彻底避免马达电流过大造成的晶舟走不到位而扔片。
附图说明
本发明的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变得更加明显，其中：
图1为本发明一个实施例的水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置的电路示意图；
图2为图1所示实施例的水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置中的第一插座的对外连接方式示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，在以下的描述中阐述了更多的细节以便于充分理解本发明，但是本发明显然能够以多种不同于此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎，因此不应以此具体实施例的内容限制本发明的保护范围。
水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置实施例
图1为本发明一个实施例的水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置的电路示意图。需要注意的是，这个附图仅作为示例，其并非是按照等比例的条件绘制的，并且不应该以此作为对本发明实际要求的保护范围构成限制。如图1所示，该监控装置主要包括监控电路101和报警电路102。该监控电路101连接到第一插座SV1的第一至第六针脚SV1-1～SV1-6，该报警电路102串联于该第一插座SV1的第七和第八针脚SV1-7～SV1-8之间。该第二和第三针脚SV1-2～SV1-3共同接地，该第五针脚SV1-5连接到电源。
其中，该监控电路101主要包括：隔离二极管D1、第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3、第四电阻R4、第一电容C1、比较器IC1、RS触发器IC2、驱动用反相器IC3和报警输出继电器K1。隔离二极管D1的正极与该第一针脚SV1-1连接，隔离二极管D1起隔离作用，只有在出炉时，检测电阻(图2中)两端的电压才能送给比较器IC1。第一电阻R1的一端与该隔离二极管D1的负极连接，其另一端接地。第二电阻R2的一端与该隔离二极管D1的负极连接；第一电容C1的一端与该第二电阻R2的另一端连接，其另一端接地。第二电阻R2和第一电容C1组成延迟电路，马达电流例如要持续30秒＞2A(马达正常的工作电流＜1A，保护电流为3A，所以可以将检测电流设为2A)，比较器IC1才动作。第三电阻R3和第四电阻R4组成分压电路，两者串联后连接于该电源和地之间，用于从中提取该马达电流为一预定检测电流时所对应的比较器IC1的动作电压，使比较器IC1的动作电压对应马达电流为2A。比较器IC1为电压比较器(型号LM393)，其正输入端连接于该第三电阻R3和该第四电阻R4之间，其负输入端与该第二电阻R2的另一端连接。RS触发器IC2(型号CD4011)为由两个与非门组成RS触发器，其R输入端与该比较器IC1的输出端连接，其S输入端经过一第五电容C5与地连接以及连接到该第四针脚SV1-4。驱动用反相器IC3(型号ULN2004)的I1引脚与该RS触发器IC2的输出端连接，其GND引脚接地，其CD+引脚连接到该电源，其O1引脚连接到该第六针脚SV1-6。报警输出继电器K1(型号G6A-234P)连接于该驱动用反相器IC3的O1引脚和该电源之间。
该报警电路102主要包括第一开关103，其包括常开触点S11、常闭触点O11和常连触点P11。该报警输出继电器K1控制该常连触点P11与该常闭触点O11抑或该常开触点S11相连接。当该第一开关103闭合时，该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间短路，该水平扩散炉不报警；以及当该第一开关103打开时，该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间开路，该水平扩散炉报警。
图2为图1所示实施例的水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置中的第一插座的对外连接方式示意图。如图2所示，在该第一插座SV1中：
该第一针脚SV1-1和该第二针脚SV1-2并联在一检测电阻201的两端。该检测电阻201的一端连接到该进舟系统的驱动控制板输出端负极，其另一端连接到该进舟系统的马达202的负极，该马达202的正极连接到该进舟系统的驱动控制板输出端正极；
该第三针脚SV1-3和该第四针脚SV1-4之间串联有一个复位开关203；
该第五针脚SV1-5和该第六针脚SV1-6之间串联有一个指示灯204，该指示灯204与该复位开关203整合在一起；
该第七针脚SV1-7和该第八针脚SV1-8连接到该水平扩散炉的报警输入端。
请重新回到图1，在本实施例中，该监控装置还可包括电源检测电路104，该电源检测电路104连接到第二插座SV2的第壹、第叁针脚SV2-1、SV2-3，其第贰针脚SV2-2空置不用。该第壹、第叁针脚SV2-1、SV2-3连接到一+12V、1A的开关电源。其中，该电源检测电路104包括：电源监控继电器K2和第六电容C6。电源监控继电器K2(型号G6A-234P)用于监控该监控装置的电源性能，其连接于该电源和地之间，该电源监控继电器K2的一端与该第壹针脚SV2-1连接，其另一端与该第叁针脚SV2-3连接。第六电容C6与该电源监控继电器K2并联，连接于该第壹、第叁针脚SV2-1、SV2-3之间。
此时，该报警电路102还包括第二开关105，其也包括常开触点O21、常闭触点S21和常连触点P21。该电源监控继电器K2控制该常连触点P21与该常闭触点S21抑或该常开触点O21连接。当该电源正常供电时，该第二开关105闭合，只要该第一开关103也闭合，该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间短路，该水平扩散炉不报警；当该电源发生故障时，该第二开关105打开，无论该第一开关103是否闭合，该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间开路，该水平扩散炉报警。
如图1所示，在该报警电路102中，受该报警输出继电器K1控制的该第一开关103可以采用双路并联结构，这是为了增加可靠性，即两个并联的该第一开关103共同控制该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间的短路或者开路。
类似地，在该报警电路102中，受该电源监控继电器K2控制的该第二开关105也可以采用双路并联结构，这也是为了增加可靠性，即两个并联的该第二开关105共同控制该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间的短路或者开路。
当然，图1中所示的马达电流的监控装置的电路示意图中为了正常工作还可包括有第三电容C3、第四电容C4、第五电阻R5和第六电阻R6等元件，它们的存在和连接方式都是本领域中常规的技术手段，如图1所示即可清楚了解，就不另外赘述了。
总而言之，本发明在马达驱动回路中串入一个检测电阻201。当出炉时，马达202转动后将检测电阻201上面的压降送到比较器IC1，比较器IC1的设定值可以为马达电流为2A对应的电压值。当马达电流持续30秒＞2A时，比较器IC1的输出由高电平变为低电平，触发后面的RS触发器IC2，使其输出锁定为高电平，再由后面的驱动用反相器IC3驱动报警输出继电器K1动作，使常闭触点O11、O12开路输出报警信号，同时点亮复位开关203面板上的指示灯204。水平扩散炉的控制系统一旦收到报警信号，就会锁定设备，使下一次工艺无法进行。只有工程师更换马达202，并且将检测报警装置通过复位开关203复位后，设备才能恢复工作。
水平扩散炉的进舟系统实施例
本实施例沿用前述实施例的元件标号与部分内容，其中采用相同的标号来表示相同或近似的元件。该水平扩散炉的进舟系统具有马达电流的监控装置，如图1所示，该监控装置主要包括监控电路101和报警电路102。该监控电路101连接到第一插座SV1的第一至第六针脚SV1-1～SV1-6，该报警电路102串联于该第一插座SV1的第七和第八针脚SV1-7～SV1-8之间。该第二和第三针脚SV1-2～SV1-3共同接地，该第五针脚SV1-5连接到电源。
其中，该监控电路101主要包括：隔离二极管D1、第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3、第四电阻R4、第一电容C1、比较器IC1、RS触发器IC2、驱动用反相器IC3和报警输出继电器K1。隔离二极管D1的正极与该第一针脚SV1-1连接，隔离二极管D1起隔离作用，只有在出炉时，检测电阻(图2中)两端的电压才能送给比较器IC1。第一电阻R1的一端与该隔离二极管D1的负极连接，其另一端接地。第二电阻R2的一端与该隔离二极管D1的负极连接；第一电容C1的一端与该第二电阻R2的另一端连接，其另一端接地。第二电阻R2和第一电容C1组成延迟电路，马达电流例如要持续30秒＞2A(马达正常的工作电流＜1A，保护电流为3A，所以可以将检测电流设为2A)，比较器IC1才动作。第三电阻R3和第四电阻R4组成分压电路，两者串联后连接于该电源和地之间，用于从中提取该马达电流为一预定检测电流时所对应的比较器IC1的动作电压，使比较器IC1的动作电压对应马达电流为2A。比较器IC1为电压比较器(型号LM393)，其正输入端连接于该第三电阻R3和该第四电阻R4之间，其负输入端与该第二电阻R2的另一端连接。RS触发器IC2(型号CD4011)为由两个与非门组成RS触发器，其R输入端与该比较器IC1的输出端连接，其S输入端经过一第五电容C5与地连接以及连接到该第四针脚SV1-4。驱动用反相器IC3(型号ULN2004)的I1引脚与该RS触发器IC2的输出端连接，其GND引脚接地，其CD+引脚连接到该电源，其O1引脚连接到该第六针脚SV1-6。报警输出继电器K1(型号G6A-234P)连接于该驱动用反相器IC3的O1引脚和该电源之间。
该报警电路102主要包括第一开关103，其包括常开触点S11、常闭触点O11和常连触点P11。该报警输出继电器K1控制该常连触点P11与该常闭触点O11抑或该常开触点S11相连接。当该第一开关103闭合时，该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间短路，该水平扩散炉不报警；以及当该第一开关103打开时，该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间开路，该水平扩散炉报警。
图2为图1所示实施例的水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置中的第一插座的对外连接方式示意图。如图2所示，在该第一插座SV1中：
该第一针脚SV1-1和该第二针脚SV1-2并联在一检测电阻201的两端。该检测电阻201的一端连接到该进舟系统的驱动控制板输出端负极，其另一端连接到该进舟系统的马达202的负极，该马达202的正极连接到该进舟系统的驱动控制板输出端正极；
该第三针脚SV1-3和该第四针脚SV1-4之间串联有一个复位开关203；
该第五针脚SV1-5和该第六针脚SV1-6之间串联有一个指示灯204，该指示灯204与该复位开关203整合在一起；
该第七针脚SV1-7和该第八针脚SV1-8连接到该水平扩散炉的报警输入端。
请重新回到图1，在本实施例中，该监控装置还可包括电源检测电路104，该电源检测电路104连接到第二插座SV2的第壹、第叁针脚SV2-1、SV2-3，其第贰针脚SV2-2空置不用。该第壹、第叁针脚SV2-1、SV2-3连接到一+12V、1A的开关电源。其中，该电源检测电路104包括：电源监控继电器K2和第六电容C6。电源监控继电器K2(型号G6A-234P)用于监控该监控装置的电源性能，其连接于该电源和地之间，该电源监控继电器K2的一端与该第壹针脚SV2-1连接，其另一端与该第叁针脚SV2-3连接。第六电容C6与该电源监控继电器K2并联，连接于该第壹、第叁针脚SV2-1、SV2-3之间。
此时，该报警电路102还包括第二开关105，其也包括常开触点O21、常闭触点S21和常连触点P21。该电源监控继电器K2控制该常连触点P21与该常闭触点S21抑或该常开触点O21连接。当该电源正常供电时，该第二开关105闭合，只要该第一开关103也闭合，该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间短路，该水平扩散炉不报警；当该电源发生故障时，该第二开关105打开，无论该第一开关103是否闭合，该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间开路，该水平扩散炉报警。
如图1所示，在该报警电路102中，受该报警输出继电器K1控制的该第一开关103可以采用双路并联结构，这是为了增加可靠性，即两个并联的该第一开关103共同控制该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间的短路或者开路。
类似地，在该报警电路102中，受该电源监控继电器K2控制的该第二开关105也可以采用双路并联结构，这也是为了增加可靠性，即两个并联的该第二开关105共同控制该第七、第八针脚SV1-7、SV1-8之间的短路或者开路。
当然，图1中所示的马达电流的监控装置的电路示意图中为了正常工作还可包括有第三电容C3、第四电容C4、第五电阻R5和第六电阻R6等元件，它们的存在和连接方式都是本领域中常规的技术手段，如图1所示即可清楚了解，就不另外赘述了。
总而言之，本发明在马达驱动回路中串入一个检测电阻201。当出炉时，马达202转动后将检测电阻201上面的压降送到比较器IC1，比较器IC1的设定值可以为马达电流为2A对应的电压值。当马达电流持续30秒＞2A时，比较器IC1的输出由高电平变为低电平，触发后面的RS触发器IC2，使其输出锁定为高电平，再由后面的驱动用反相器IC3驱动报警输出继电器K1动作，使常闭触点O11、O12开路输出报警信号，同时点亮复位开关203面板上的指示灯204。水平扩散炉的控制系统一旦收到报警信号，就会锁定设备，使下一次工艺无法进行。只有工程师更换马达202，并且将检测报警装置通过复位开关203复位后，设备才能恢复工作。
本发明考虑到涂源工艺不允许进炉时中断工艺，所以在设计时仅在出炉时对驱动马达进行监控，从而避免马达电流过大造成驱动控制板损坏，最终导致晶舟走不到位而扔片，同时也避免了驱动控制板的损坏。
本发明的监控装置不影响水平扩散炉设备的工艺过程，对原厂的电路没有任何不良影响。同时由于马达电流刚大于预定检测电流就被替换下来，该马达线圈仍旧完好，一般只要清除换向器间的碳粉，仍旧可以修复，有利于降低成本。
综上所述，本发明通过加装进舟系统的马达过流的监控装置，就能及时更换马达，大大减少对进舟系统的驱动控制板的损坏，从而彻底避免马达电流过大造成的晶舟走不到位而扔片。
本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化及修饰，均落入本发明权利要求所界定的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置，所述监控装置包括监控电路(101)和报警电路(102)；所述监控电路(101)连接到第一插座(SV1)的第一至第六针脚(SV1-1～SV1-6)，所述报警电路(102)串联于所述第一插座(SV1)的第七和第八针脚(SV1-7～SV1-8)之间；所述第二和第三针脚(SV1-2～SV1-3)共同接地，所述第五针脚(SV1-5)连接到电源；
其中，所述监控电路(101)包括：
隔离二极管(D1)，其正极与所述第一针脚(SV1-1)连接；
第一电阻(R1)，其一端与所述隔离二极管(D1)的负极连接，其另一端接地；
第二电阻(R2)，其一端与所述隔离二极管(D1)的负极连接；
第一电容(C1)，其一端与所述第二电阻(R2)的另一端连接，其另一端接地；
第三电阻(R3)和第四电阻(R4)，两者串联后连接于所述电源和地之间，用于从中提取所述马达电流为一预定检测电流时所对应的比较器(IC1)的动作电压；
比较器(IC1)，其正输入端连接于所述第三电阻(R3)和所述第四电阻(R4)之间，其负输入端与所述第二电阻(R2)的另一端连接；
RS触发器(IC2)，其R输入端与所述比较器(IC1)的输出端连接，其S输入端经过一第五电容(C5)与地连接，所述S输入端连接到所述第四针脚(SV1-4)；
驱动用反相器(IC3)，其I1引脚与所述RS触发器(IC2)的输出端连接，其GND引脚接地，其CD+引脚连接到所述电源，其O1引脚连接到所述第六针脚(SV1-6)；以及
报警输出继电器(K1)，其连接于所述驱动用反相器(IC3)的O1引脚和所述电源之间；
所述报警电路(102)包括：
第一开关(103)，其包括常开触点(S11)、常闭触点(O11)和常连触点(P11)，所述报警输出继电器(K1)控制所述常连触点(P11)与所述常闭触点(O11)抑或所述常开触点(S11)相连接；当所述第一开关(103)闭合时，所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间短路，所述水平扩散炉不报警；以及当所述第一开关(103)打开时，所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间开路，所述水平扩散炉报警。
2.根据权利要求1所述的马达电流的监控装置，其特征在于，所述监控装置还包括电源检测电路(104)，所述电源检测电路(104)连接到第二插座(SV2)的第壹、第叁针脚(SV2-1、SV2-3)，其第贰针脚(SV2-2)空置不用；
所述电源检测电路(104)包括：
电源监控继电器(K2)，其连接于所述电源和地之间，所述电源监控继电器(K2)的一端与所述第壹针脚(SV2-1)连接，其另一端与所述第叁针脚(SV2-3)连接；以及
第六电容(C6)，其与所述电源监控继电器(K2)并联，连接于所述第壹、第叁针脚(SV2-1、SV2-3)之间；
此时，所述报警电路(102)还包括：
第二开关(105)，其也包括常开触点(O21)、常闭触点(S21)和常连触点(P21)，所述电源监控继电器(K2)控制所述常连触点(P21)与所述常闭触点(S21)抑或所述常开触点(O21)连接；当所述电源正常供电时，所述第二开关(105)闭合，只要所述第一开关(103)也闭合，所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间短路，所述水平扩散炉不报警；当所述电源发生故障时，所述第二开关(105)打开，无论所述第一开关(103)是否闭合，所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间开路，所述水平扩散炉报警。
3.根据权利要求2所述的马达电流的监控装置，其特征在于，在所述报警电路(102)中，受所述报警输出继电器(K1)控制的所述第一开关(103)采用双路并联结构，即两个并联的所述第一开关(103)共同控制所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间的短路或者开路。
4.根据权利要求3所述的马达电流的监控装置，其特征在于，在所述报警电路(102)中，受所述电源监控继电器(K2)控制的所述第二开关(105)也采用双路并联结构，即两个并联的所述第二开关(105)共同控制所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间的短路或者开路。
5.根据权利要求4所述的马达电流的监控装置，其特征在于，在所述第一插座(SV1)中：
所述第一针脚(SV1-1)和所述第二针脚(SV1-2)并联在一检测电阻(201)的两端；所述检测电阻(201)的一端连接到所述进舟系统的驱动控制板输出端负极，其另一端连接到所述进舟系统的马达(202)的负极，所述马达(202)的正极连接到所述进舟系统的驱动控制板输出端正极；
所述第三针脚(SV1-3)和所述第四针脚(SV1-4)之间串联有一个复位开关(203)；
所述第五针脚(SV1-5)和所述第六针脚(SV1-6)之间串联有一个指示灯(204)，所述指示灯(204)与所述复位开关(203)整合在一起；
所述第七针脚(SV1-7)和所述第八针脚(SV1-8)连接到所述水平扩散炉的报警输入端。
6.一种水平扩散炉的进舟系统，其具有马达电流的监控装置，所述监控装置包括监控电路(101)和报警电路(102)；所述监控电路(101)连接到第一插座(SV1)的第一至第六针脚(SV1-1～SV1-6)，所述报警电路(102)串联于所述第一插座(SV1)的第七和第八针脚(SV1-7～SV1-8)之间；所述第二和第三针脚(SV1-2～SV1-3)共同接地，所述第五针脚(SV1-5)连接到电源；
其中，所述监控电路(101)包括：
隔离二极管(D1)，其正极与所述第一针脚(SV1-1)连接；
第一电阻(R1)，其一端与所述隔离二极管(D1)的负极连接，其另一端接地；
第二电阻(R2)，其一端与所述隔离二极管(D1)的负极连接；
第一电容(C1)，其一端与所述第二电阻(R2)的另一端连接，其另一端接地；
第三电阻(R3)和第四电阻(R4)，两者串联后连接于所述电源和地之间，用于从中提取所述马达电流为一预定检测电流时所对应的比较器(IC1)的动作电压；
比较器(IC1)，其正输入端连接于所述第三电阻(R3)和所述第四电阻(R4)之间，其负输入端与所述第二电阻(R2)的另一端连接；
RS触发器(IC2)，其R输入端与所述比较器(IC1)的输出端连接，其S输入端经过一第五电容(C5)与地连接，所述S输入端连接到所述第四针脚(SV1-4)；
驱动用反相器(IC3)，其I1引脚与所述RS触发器(IC2)的输出端连接，其GND引脚接地，其CD+引脚连接到所述电源，其O1引脚连接到所述第六针脚(SV1-6)；以及
报警输出继电器(K1)，其连接于所述驱动用反相器(IC3)的O1引脚和所述电源之间；
所述报警电路(102)包括：
第一开关(103)，其包括常开触点(S11)、常闭触点(O11)和常连触点(P11)，所述报警输出继电器(K1)控制所述常连触点(P11)与所述常闭触点(O11)抑或所述常开触点(S11)相连接；当所述第一开关(103)闭合时，所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间短路，所述水平扩散炉不报警；以及当所述第一开关(103)打开时，所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间开路，所述水平扩散炉报警。
7.根据权利要求6所述的水平扩散炉的进舟系统，其特征在于，所述监控装置还包括电源检测电路(104)，所述电源检测电路(104)连接到第二插座(SV2)的第壹、第叁针脚(SV2-1、SV2-3)，其第贰针脚(SV2-2)空置不用；
所述电源检测电路(104)包括：
电源监控继电器(K2)，其连接于所述电源和地之间，所述电源监控继电器(K2)的一端与所述第壹针脚(SV2-1)连接，其另一端与所述第叁针脚(SV2-3)连接；以及
第六电容(C6)，其与所述电源监控继电器(K2)并联，连接于所述第壹、第叁针脚(SV2-1、SV2-3)之间；
此时，所述报警电路(102)还包括：
第二开关(105)，其也包括常开触点(O21)、常闭触点(S21)和常连触点(P21)，所述电源监控继电器(K2)控制所述常连触点(P21)与所述常闭触点(S21)抑或所述常开触点(O21)连接；当所述电源正常供电时，所述第二开关(105)闭合，只要所述第一开关(103)也闭合，所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间短路，所述水平扩散炉不报警；当所述电源发生故障时，所述第二开关(105)打开，无论所述第一开关(103)是否闭合，所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间开路，所述水平扩散炉报警。
8.根据权利要求7所述的水平扩散炉的进舟系统，其特征在于，在所述报警电路(102)中，受所述报警输出继电器(K1)控制的所述第一开关(103)采用双路并联结构，即两个并联的所述第一开关(103)共同控制所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间的短路或者开路。
9.根据权利要求8所述的水平扩散炉的进舟系统，其特征在于，在所述报警电路(102)中，受所述电源监控继电器(K2)控制的所述第二开关(105)也采用双路并联结构，即两个并联的所述第二开关(105)共同控制所述第七、第八针脚(SV1-7、SV1-8)之间的短路或者开路。
10.根据权利要求9所述的水平扩散炉的进舟系统，其特征在于，在所述第一插座(SV1)中：
所述第一针脚(SV1-1)和所述第二针脚(SV1-2)并联在一检测电阻(201)的两端；所述检测电阻(201)的一端连接到所述进舟系统的驱动控制板输出端负极，其另一端连接到所述进舟系统的马达(202)的负极，所述马达(202)的正极连接到所述进舟系统的驱动控制板输出端正极；
所述第三针脚(SV1-3)和所述第四针脚(SV1-4)之间串联有一个复位开关(203)；
所述第五针脚(SV1-5)和所述第六针脚(SV1-6)之间串联有一个指示灯(204)，所述指示灯(204)与所述复位开关(203)整合在一起；
所述第七针脚(SV1-7)和所述第八针脚(SV1-8)连接到所述水平扩散炉的报警输入端。
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