FR2716531A1 - Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent. - Google Patents

Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent. Download PDF

Info

Publication number
FR2716531A1
FR2716531A1 FR9401846A FR9401846A FR2716531A1 FR 2716531 A1 FR2716531 A1 FR 2716531A1 FR 9401846 A FR9401846 A FR 9401846A FR 9401846 A FR9401846 A FR 9401846A FR 2716531 A1 FR2716531 A1 FR 2716531A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
rays
light
optical frequency
thickness
laser diode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR9401846A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2716531B1 (fr
Inventor
Zhang Jingwei
Grente Pascal
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SGCC SAS
Original Assignee
Saint Gobain Cinematique et Controle SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to FR9401846A priority Critical patent/FR2716531B1/fr
Application filed by Saint Gobain Cinematique et Controle SA filed Critical Saint Gobain Cinematique et Controle SA
Priority to AT95909836T priority patent/ATE173082T1/de
Priority to CA002160802A priority patent/CA2160802A1/fr
Priority to BR9506143A priority patent/BR9506143A/pt
Priority to PCT/FR1995/000184 priority patent/WO1995022740A1/fr
Priority to EP95909836A priority patent/EP0695414B1/fr
Priority to AU18155/95A priority patent/AU690966B2/en
Priority to CN95190096A priority patent/CN1123570A/zh
Priority to ES95909836T priority patent/ES2126255T3/es
Priority to DE69505749T priority patent/DE69505749T2/de
Priority to JP7521631A priority patent/JPH08509298A/ja
Priority to US08/530,378 priority patent/US5657124A/en
Priority to MX9504353A priority patent/MX9504353A/es
Publication of FR2716531A1 publication Critical patent/FR2716531A1/fr
Priority to NO954112A priority patent/NO954112D0/no
Application granted granted Critical
Publication of FR2716531B1 publication Critical patent/FR2716531B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Le procédé se caractérise en ce qu'on émet un faisceau lumineux (4) à fréquence optique modulée, en ce qu'on réceptionne deux faisceaux ou rayons lumineux (i, j) renvoyés par chacune des surfaces (2, 3) d'une paroi (1) du matériau, en ce qu'on crée une interférence entre eux (i, j) et en ce qu'on détermine la différence de marche 8 du signal d'interférence. On utilise une diode laser comme source d'éclairement, celui-ci est modulé par une modulation de la fréquence optique du faisceau. Parmi les rayons diffusés par les deux parois on sélectionne deux rayons parallèles. Le dispositif de l'invention permet d'effectuer sur chaque capteur des mesures espacées de 0,3 msec. On peut ainsi explorer tous les millimètres de la périphérie d'une rotation. Application aux bouteilles en verre ou en plastique claires ou colorées et au verre plat.

Description

PROCEDE DE MESURE D'EPAISSEUR
D'UN MATERIAU TRANSPARENT
L'invention concerne un procédé et un dispositif pour la mesure d'épaisseur de matériaux transparents. Plus particulièrement, mais non exclusivement, l'invention vise la mesure d'épaisseur de matériaux en verre et plus précisément encore la mesure d'épaisseur d'emballages en verre, tels que bouteilles ou flacons.
Les exigences générales de qualité requises par les clients et l'allègement des bouteilles nécessitent un contrôle très rigoureux de l'épaisseur de ces bouteilles.
Dans l'industrie verrière, il est usuel pour les mesures d'épaisseur, de se fonder sur la mesure de capacité électrique. En effet, le verre étant un matériau diélectrique, la mesure de capacité du verre à l'aide d'électrodes permet de déterminer localement l'épaisseur du verre.
Une telle technique est notamment décrite dans les brevets EP 300.616 et EP 363.114. Elle consiste à appliquer un capteur, sous la forme d'une électrode allongée, sur une bouteille tandis que celle-ci tourne sur elle-même.
Une telle technique présente l'inconvénient de devoir maintenir le capteur sur la paroi de la bouteille. Cela entraîne inévitablement une usure rapide du capteur, amplifiée par la rotation de la bouteille. Ce capteur peut également être totalement détruit lorsque la bouteille présente un grand défaut qui vient heurter le capteur.
Une autre technique est décrite dans le brevet fran çais publié sous le numéro 2 129 416. cette technique consiste à établir un champ haute fréquence électromagnétique et à mesurer la variation d'intensité de ce champ par l'introduction d'une matière diélectrique. La tension induite dans la sonde donne une indication de la variation de l'intensité du champ et est proportionnelle à l'épaisseur du matériau diélectrique.
Cette technique ne conduit cependant pas à une bonne précision des mesures d'épaisseurs. Elle est plus particulièrement utilisée pour déterminer des épaisseurs inférieures à une valeur seuil sans pour autant donner une mesure exacte.
De plus, elle nécessite également un contact avec la bouteille, ce qui peut entraîner une usure prématurée de la tête de mesure comme il a été décrit pour la technique précédente.
Ces usures prématurées ou destructions accidentelles nécessitent donc un remplacement des capteurs ou têtes de mesure fréquentes et conduisent à des coûts élevés de maintenance du système de contrôle.
De plus, chaque détérioration et/ou remplacement d'un capteur ou tête de mesure peut entraîner un recontrôle d'une série d'articles qui a été mal contrôlée et une interruption dans la production lors de l'arrêt du contrôle, qui conduit donc à une baisse des rendements.
Un premier but de l'invention est de trouver un procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent, notamment d'un article en verre, conduisant à une bonne précision des mesures.
Un second but est d'éviter le risque d'usure prématurée ou de destruction, des outils de mesure notamment lors du frottement des articles mesurés sur ces outils.
Un autre but de l'invention est d'adapter le procédé de mesure à la mesure d'épaisseurs d'article en mouvement continu et sur tout l'article.
Les inventeurs ont considéré un matériau transparent assimilable à un interféromètre ; la lumière attaquant perpendiculairement un tel matériau est réfléchie par les deux faces du matériau. Les deux rayons réfléchis interfèrent avec une différence de marche notée ô et qui s'exprime de la façon suivante
6 = 2 n.e (1) où n et e représentent respectivement l'indice de réfraction et l'épaisseur du matériau transparent.
Par ailleurs, les principes d'interféromètrie optique, lorsque la source lumineuse est monochromatique, conduisent à un signal d'interférence reçu par le photodétecteur qui s'exprime de la façon suivante
Figure img00030001

où lo et i représentent respectivement l'intensité lumineuse et la longueur d'onde de la source monochromatique et
K désigne le contraste dtinterférence.
Par détermination de la différence de marche, il est alors aisé de déterminer l'épaisseur du matériau transparent. Cependant, il apparaît une limite pour l'application de cette méthode liée à la périodicité du signal d'interférence en fonction de la différence de marche. En effet, la différence de marche étant déterminée à partir de mesure de phase, il y a un problème d'ambiguïté. Pour déterminer la différence de marche, il faut une phase inférieure à 1! et donc une différence de marche inférieure à la moitié de la longueur d'onde. Cela se traduit par des mesures d'épaisseurs très précises mais limitées à des matériaux dont l'épaisseur est inférieure au micron.
Cet inconvénient lié à la limite d'une telle technique de mesure est résolu selon l'invention qui propose un procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent ou semi-transparent consistant à émettre un faisceau lumineux à fréquence optique modulée puis à réceptionner deux faisceaux ou rayons lumineux, avantageusement parallèles, renvoyés par chacune des surfaces d'une paroi du matériau, à créer une interférence entre eux et à déterminer la différence de marche du signal d'interférence.
La différence de marche est avantageusement déduite du nombre de battements du signal d'interférence par période de modulation.
Le faisceau lumineux est avantageusement issu d'une diode laser. Dans le cas d'un matériau à surfaces parallèles, on utilise un faisceau parallèle et dans le cas de matériau à faces non parallèles, le faisceau est avantageusement focalisé sur la paroi du matériau.
Avantageusement, on module la fréquence optique du faisceau émis en modulant le courant d'alimentation de la diode laser.
De façon préférée, on crée une modulation linéaire de la fréquence optique du faisceau lumineux.
Selon ce mode préféré de l'invention, on module li néairement l'inverse de la longueur d'onde 1/ > .Cela se traduit par une modulation de la fréquence optique qui s'exprime W, = cl X où c est la célérité de la lumière.
Par analogie, on parlera de l/ > comme de la fréquence optique. Celle-ci lors d'une modulation linéaire se traduit par la relation
Figure img00040001

ou et T représentent respectivement la variation de la longueur d'onde sans saut de mode et la période de la modulation. t désigne le temps.
Il est alors possible d'appliquer les principes d'interférence hétérodyne. Le signal d'interférence reçu s'exprime alors de la façon suivante
Figure img00040002

où lo et Ao représentent respectivement l'intensité lumineuse et la longueur d'onde de la source monochromatique en absence de modulation et 8 est la différence de marche. K désigne le contraste d'interférence.
L'expression (4) montre qu'une modulation linéaire de la fréquence optique de la source lumineuse entraîne un signal d'interférence cosinusoïdal dont la pulsation est
Dans une variante, l'invention propose une modulation sinusoïdale de la fréquence optique du faisceau lumineux.
Le nombre de battements N pendant une période de modulation T correspond au rapport de la pulsation W sur la pulsation de modulation et s'exprime donc
Figure img00050001
Ce rapport et la détermination du nombre de battements
N conduisent à la différence de marche par la relation (7) et à l'épaisseur du matériau "e" par la relation (1).
Cette méthode permet donc de déterminer l'épaisseur "e" d'un matériau transparent et conduit à une bonne précision de mesure, ce qui confirme qu'un tel matériau est assimilable à un interféromètre.
De plus, le procédé selon l'invention se basant sur l'émission d'un signal lumineux et la réception de signaux renvoyés par le matériau, peut être mis en oeuvre à l'aide d'outils d'émission et de réception installés à une distance, non nulle, du matériau. Le procédé ainsi décrit permet donc une mesure d'épaisseur "e" sans contact entre le matériau transparent et les outils de mesure et donc sans risque pour ces derniers de connaître une usure prématurée due par exemple aux frottement des articles.
Cette méthode peut notamment être appliquée à la mesure de feuille de verre qui présente deux faces parallèles. Par contre, dans d'autres applications et notamment pour la mesure d'épaisseur des emballages en verre tels que des flacons, les résultats obtenus ne sont pas toujours satisfaisants.
Il s'avère que la qualité dioptrique de la face intérieure de la paroi d'un flacon ou d'une bouteille, est mauvaise du fait des techniques de fabrication et de plus, généralement, non parallèle à la face externe. La réflexion obtenue à partir de cette face est donc aléatoire.
En vue d'adapter le procédé de mesure à ce type de matériau et notamment aux récipients en verre, l'invention propose selon un mode avantageux de capter parmi les rayons diffusés émis par chacune des faces d'une paroi deux rayons parallèles l'un à l'autre et de créer une interférence de ces rayons. Pour capter des rayons diffusés et leur interférence, il est préférable de focaliser le faisceau incident sur la paroi du récipient.
Bien qu'il soit communément admis que le verre est un matériau peu ou quasiment pas diffusant, il est apparu que cette variante de l'invention conduit à des mesures exactes avec une bonne précision.
Les rayons diffusés captés sont de préférence choisis selon une direction autre que celle du faisceau réfléchi par les surfaces de la paroi du matériau transparent.
La relation (1) associant la différence de marche à l'épaisseur est alors différente et s'exprime
Figure img00060001
et I : angle d'incidence
angle de système, c'est-à-dire l'angle formé par le faisceau incident et les rayons diffusés mesurés.
L'épaisseur "e" du matériau transparent pourra être déterminée à partir de cette relation (1') et de la relation (7) après détermination du nombre de battements N par période de modulation. il est important de noter que l'épaisseur reste une grandeur proportionnelle au nombre de battements.
Lors de la mesure d'épaisseur sur des bouteilles, celles-ci sont en rotation sur elles-mêmes. Il est alors apparu que cette rotation peut entraîner une variation de l'intensité lumineuse des rayons renvoyés par les surfaces de la paroi. Cette variation de l'intensité peut notamment être due à la présence de poussières ou de taches ou irrégularités du matériau sur la surface externe ou interne.
Cette variation est donc une fonction du temps.
Cette variation vient alors perturber le signal d'interférence (vu) et la détermination du nombre de battements N ou de la différence de marche 6 , devient délicate.
Pour y remédier, l'invention propose dans une variante d'effectuer le quotient (V-t/VmOa), (VmOd) désignant le signal de l'intensité lumineuse des rayons issus des surfaces de la paroi du matériau transparent. il est alors possible de déterminer la différence de marche 6 du signal d'interférence (Vint) notamment à partir du nombre de battements N par période de modulation.
L'invention propose également un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé précédemment décrit.
Celui-ci comprend d'une part, une source lumineuse monochromatique à fréquence optique modulée, qui est avantageusement une diode laser associée à une lentille focalisatrice et d'autre part, des moyens de réception d'un signal d'interférence et un calculateur déterminant le nombre de battements du signal d'interférence par période de modulation.
De préférence, la diode laser est alimentée par un générateur fournissant un courant modulé linéairement.
Notamment dans le cas de la mesure de l'épaisseur d'emballages en verre qui nécessite le traitement de rayons diffusés, les moyens de réception sont une lentille et une photodiode à avalanche placée au foyer de la lentille.
De préférence encore, la source lumineuse et les moyens de réception sont logés dans un même boîtier ou capteur et lors des mesures celui-ci est positionné de sorte que le faisceau émis forme un angle avec la surface externe de l'emballage différent de 90 . De cette façon, le faisceau réfléchi par les surfaces de la paroi ne peut gêner l'interférence de deux rayons de diffusion qui présentent une intensité beaucoup plus faible.
Egalement pour améliorer le signal d'interférence, il est préférable d'utiliser une photodiode à avalanche telle que le rapport de son diamètre photosensible sur la distance focale de la lentille soit faible. Cela assure en effet un bon contraste d'interférence. Lors des essais, ce rapport était de 1/200.
D'autres détails et caractéristiques avantageux de l'invention ressortent ci-après de la description des fisures et des essais réalisés conformément à l'invention.
Les figures représentent
- figure 1, une représentation schématique d'un dispositif selon l'invention pour la mesure de l'épaisseur d'un article en verre,
- figure 2, une mesure de la modulation linéaire de l'intensité lumineuse (Vmo < ) en fonction du temps,
- figure 3, une mesure du signal d'interférence (V.t) en fonction du temps pour une épaisseur e = 1,67 mm,
- figure 4, une représentation du nombre de battements par période de modulation pour une épaisseur e = 1,67 mm,
- figure 5, une représentation de nombre de battements par période de modulation pour une épaisseur e = 3,85 mm,
- figure 6, le tracé du nombre de battements par période de modulation en fonction de l'épaisseur du matériau.
Les ordonnées des figures 2, 3, 4 et 5 sont représentées en unités arbitraires.
La figure 1 représente un schéma d'un dispositif selon l'invention adapté à la mesure d'épaisseur "e" de la paroi (1) d'une bouteille de verre immobile. La paroi (1) de la bouteille est schématisée de façon partielle sur cette figure. Elle comporte une surface externe (2) qui est en contact avec un moule lors de sa formation et qui présente une qualité dioptrique tout à fait satisfaisante. La surface interne (3) de la paroi, qui est en contact avec l'air soufflé lors de sa formation présente quant à elle une mauvaise qualité dioptrique. Les défauts de cette surface sont volontairement amplifiés sur cette représentation schématique pour bien mettre en évidence que la direction d'un faisceau réfléchi par cette surface est totalement aléatoire et varie en fonction du point d'impact sur cette surface.
Le faisceau (4) incident arrivant sur la paroi est émis depuis une diode laser (5) et traverse une lentille (12) qui le focalise sur la paroi (1).
La diode laser (5) utilisée dans les essais qui seront décrits ultérieurement est une diode de type monomode longitudinal et transversal. Sa puissance maximale est de 10 mW et sa longueur d'onde = O - 780 nm.
La diode laser (5) est alimentée par un générateur (6) dont le courant est modulé linéairement et périodiquement.
Cette modulation du courant d'alimentation permet de moduler la longueur d'onde de la diode laser et module également son intensité.
D'autres moyens permettent de ne moduler que la longueur d'onde en maintenant l'intensité constante mais sont bien plus onéreux.
Le faisceau incident (4), émis depuis la diode laser (5), est focalisé sur la paroi (1) et rencontre un premier point d'impact (7) sur la surface externe (2) et un second point (8) sur la paroi interne (3). Les flèches (i, i', i''..) et (j, j', j''..) symbolisent la diffusion du verre qui s'effectue dans toutes les directions.
Un dispositif de réception composé d'une lentille (9) et d'une photodiode à avalanche (10) est positionné de fa çon à recevoir un signal d'interférence de deux rayons (i, j) diffusés par chacune des surfaces (2, 3) de la paroi (1). La diffusion s'effectuant dans toutes les directions, il est toujours possible de réceptionner deux rayons (i, j) parallèles diffusés depuis les points (7) et (8). La photodiode à avalanche (10) est située à la distance focale de la lentille (9) pour recevoir le signal d'interférence (Vint). Cette photodiode à avalanche (10) est associée à un amplificateur (11) pour obtenir un signal plus facilement analysable.
En effet, le verre est connu pour avoir une surface faiblement diffusante. Cependant, il s'est avéré que le traitement de rayons diffusés selon l'invention conduit à de bons résultats. Toutefois, il est souhaitable que le dispositif de réception soit placé sur une direction autre que celle du faisceau réfléchi par les faces de la paroi.
Dans le cas contraire, ce faisceau, qui est bien plus intense que les rayons de diffusion, serait également reçu par la photodiode à avalanche (10) et viendrait perturber le signal d'interférence (Vt).
En pratique, la diode laser et la photodiode à avalanche sont placées dans un même boîtier ou capteur.
L'angle du système # est choisi très faible environ (5 ) et l'incidence est choisie différemment de la normale, de manière que la photodiode ne puisse pas être sur le parcours du faisceau réfléchi par les surfaces.
Le signal (Vlne) est transmis à un calculateur (13) pour effectuer l'analyse, par la liaison (14).
Le signal (VmOd) représentant la variation de l'intensité lumineuse en fonction du temps est également transmis au calculateur (13) par la liaison (15).
Sur la figure 1, le signal (Vrn) est transmis depuis la diode laser par l'intermédiaire du système d'alimentation, car la bouteille de verre est immobile. En effet, la variation de l'intensité lumineuse du faisceau incident (4) est alors proportionnelle à celle des rayons diffusés (i, j). I1 en serait autrement si la bouteille était animée d'un mouvement de rotation puisque comme nous l'avons vu, cette rotation entraîne une variation de l'intensité en fonction du temps.
Dans ce dernier cas, pour avoir VmOd, il est possible de mesurer l'intensité lumineuse des rayons (i, j) par exemple en intercalant un cube séparateur semi-réfléchissant sur le trajet des rayons (i, j) avant qu'ils n'atteignent la lentille (9) et en les orientant sur une autre photodiode, sans qu'il se produise une interférence de ces rayons (i, j).
Le type de signal d'interférence (Vint) obtenu avec un tel dispositif est représenté sur la figure 3. Un tel signal apparaît difficile à analyser, l'amplitude variant sur une période de modulation.
La figure 2 montre une mesure de la modulation linéaire de l'intensité (V,,) de la diode laser. Pour permettre une analyse du signal d'interférence (Vi t), il est possible d'effectuer le rapport (Vint/VmO) tel que représenté sur la figure 4 à l'aide du calculateur (13). Ce signal (Vint/Vmod) permet de dénombrer le nombre de battements et donc l'épaisseur "e" de la bouteille de verre analysée.
Nous avons vu précédemment que l'analyse du signal (Vint/Vmod) permet d'éviter les perturbations dues à la variation de l'intensité lors de la rotation des bouteilles.
Or, dans le cas de la figure 1 la bouteille a été considérée comme étant immobile.
Le signal (Vlnt/VmO) est tout de même intéressant dans ce cas car le type de modulation choisi entraîne une variation de l'intensité en fonction du temps (Vmo > ) et perturbe également le signal (Vt) comme le montre la figure 3.
Différents essais ont été réalisés sur des échantillons de verre d'épaisseurs connues pour valider le procédé de mesure selon l'invention.
Les figures 3 et 4 concernent un échantillon d'une épaisseur connue e = 1,67 millimètres.
La figure 5 représente le signal (Vint/VmO) obtenu par la mesure sur un échantillon dont on détermine l'épaisseur e = 3,85 millimètres.
Ces deux résultats et d'autres, non présentés sous la forme des figures 4 et 5, sont représentés par la figure 6 qui est un tracé regroupant les valeurs de battements par période de modulation, mesurées sur des échantillons d'épaisseurs données.
La figure 6 montre que ce tracé forme une droite passant par l'origine. L'application des principes d'interférométrie hétérodyne se voit donc confirmer par ce tracé. En effet, la relation de proportionnalité entre le nombre de battements par période de modulation et l'épaisseur "e" du matériau mesuré est vérifiée. Cela confirme également l'assimilation des matériaux transparents, et notamment le verre, à un interféromètre.
Parmi les essais, certains ont été réalisés sur des échantillons présentant des épaisseurs très proches les unes des autres, plus exactement pour des épaisseurs variant de 20 microns. Le procédé selon l'invention a permis d'obtenir ces trois valeurs. Elles apparaissent sur la figure 6 ; il s'agit des épaisseurs 2,58 mm, 2,60 mm, 2,62 mm.
De façon à simplifier les opérations lors des mesures et éviter de déterminer les caractéristiques 2 O et n, il est possible d'effectuer une mesure sur un échantillon d'épaisseur connue et d'étalonner ainsi l'appareil de mesure.
Lors du contrôle des bouteilles, il est intéressant d'effectuer des contrôles d'épaisseurs sur différentes parties de la bouteille et plus particulièrement aux niveaux du col, de l'épaule et à différentes hauteurs du corps de la bouteille. De plus, il est préférable de réaliser ces essais sur toute la périphérie de la bouteille.
Pour cela, les bouteilles défilent en continu devant plusieurs capteurs qui peuvent être disposés à différents niveaux et les bouteilles sont animées d'un mouvement de rotation sur elles-mêmes.
Le dispositif proposé permet d'effectuer une mesure par capteur dans le cas le plus exigeant toutes les 0,3 millisecondes, ce qui se traduit par une mesure tous les millimètres sur la périphérie de la bouteille pour les vitesses de défilement et de rotation habituelles sur les lignes de production de bouteilles.
Les résultats obtenus ont été satisfaisants pour des mesures effectuées sur du verre plat, des bouteilles de verre colorées ou non ainsi que sur des bouteilles en matière plastique.

Claims (17)

REVENDICATIONS
1. Procédé de mesure d'épaisseurs (e) d'un matériau transparent, caractérisé en ce qu'on émet un faisceau lumineux (4) à fréquence optique modulée, en ce qu'on réceptionne deux faisceaux ou rayons lumineux (i, j) renvoyés par chacune des surfaces (2, 3) d'une paroi (1) du matériau, en ce qu'on crée une interférence entre eux (i, j) et en ce qu'on détermine la différence de marche 6 du signal d'interférence.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les deux faisceaux ou rayons renvoyés par chacune des surfaces sont parallèles.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la différence de marche est déduite du nombre de battements par période de modulation.
4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le faisceau lumineux (4) est émis depuis une diode laser (5).
5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'on module la fréquence optique du faisceau émis en modulant le courant d'alimentation de la diode laser (5).
6. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'on crée une modulation linéaire de la fréquence optique du faisceau lumineux (4).
7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'on crée une modulation sinusoïdale de la fréquence optique du faisceau lumineux (4).
8. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau est le verre ou le plastique, transparent , clair ou coloré
9. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le faisceau incident (4) est focalisé sur la paroi du matériau.
10. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les rayons lumineux (i, j) qui interfèrent sont des rayons diffusés par chacune des faces (2, 3) d'une paroi (1) du matériau.
11. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'on effectue le rapport du signal d'interférence (V1nt) sur le signal d'intensité lumineuse (Vmo) pour déterminer la différence de marche 6.
12. Dispositif pour la mesure d'épaisseur d'un matériau transparent, caractérisé en ce qu'il comprend une source lumineuse (5, 6, 12) monochromatique à fréquence optique (1/ 2 ) modulée, des moyens de réception (9, 10, 11) d'un signal d'interférence (Vint) et un calculateur (13) déterminant le nombre de battements (N) du signal d'interférence (V. at) par période de modulation (T).
13. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que la source lumineuse est une diode laser (5) associée à une lentille focalisatrice (12).
14. Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que la diode laser(5) est alimentée par un générateur (6) fournissant un courant modulé.
15. Dispositif selon l'une des revendications 12 à 14, caractérisé en ce que les moyens de réception sont une lentille (9) et une photodiode à avalanche (10), placée la au foyer de la lentille (9), associée à un amplificateur (11).
16. Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que la photodiode à avalanche (10) est telle que le rapport du diamètre photosensible sur la distance focale de la lentille (9) soit faible.
17. Dispositif selon l'une des revendications 12 à 16, caractérisé en ce que la source lumineuse (5, 6, 12) et les moyens de réception (9, 10, 11) sont logés dans un même boitier ou capteur et en ce que celui-ci est placé tel que le faisceau émis (4) forme un angle avec la surface externe (2) de la paroi (1) différent de 900.
FR9401846A 1994-02-18 1994-02-18 Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent. Expired - Fee Related FR2716531B1 (fr)

Priority Applications (14)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9401846A FR2716531B1 (fr) 1994-02-18 1994-02-18 Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent.
JP7521631A JPH08509298A (ja) 1994-02-18 1995-02-17 透明材料の厚さ測定方法
BR9506143A BR9506143A (pt) 1994-02-18 1995-02-17 Processo de medida de espessuras de um material transparente e dispositivo para a medida de espessura de um material transparente
PCT/FR1995/000184 WO1995022740A1 (fr) 1994-02-18 1995-02-17 Procede de mesure d'epaisseur d'un materiau transparent
EP95909836A EP0695414B1 (fr) 1994-02-18 1995-02-17 Procede de mesure d'epaisseur d'un materiau transparent
AU18155/95A AU690966B2 (en) 1994-02-18 1995-02-17 Method for measuring the thickness of a transparent material
CN95190096A CN1123570A (zh) 1994-02-18 1995-02-17 测量透明材料厚度的方法和装置
ES95909836T ES2126255T3 (es) 1994-02-18 1995-02-17 Procedimiento de medida del espesor de un material transparente.
AT95909836T ATE173082T1 (de) 1994-02-18 1995-02-17 Dickenmessverfahren für transparentes material
CA002160802A CA2160802A1 (fr) 1994-02-18 1995-02-17 Procede de mesure d'epaisseur d'un materiau transparent
US08/530,378 US5657124A (en) 1994-02-18 1995-02-17 Method of measuring the thickness of a transparent material
MX9504353A MX9504353A (es) 1994-02-18 1995-02-17 Metodo para medir el espesor de un material transparente.
DE69505749T DE69505749T2 (de) 1994-02-18 1995-02-17 Dickenmessverfahren für transparentes material
NO954112A NO954112D0 (no) 1994-02-18 1995-10-16 Fremgangsmåte og anordning for måling av tykkelsen til et transparent materiale

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9401846A FR2716531B1 (fr) 1994-02-18 1994-02-18 Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2716531A1 true FR2716531A1 (fr) 1995-08-25
FR2716531B1 FR2716531B1 (fr) 1996-05-03

Family

ID=9460207

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR9401846A Expired - Fee Related FR2716531B1 (fr) 1994-02-18 1994-02-18 Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent.

Country Status (14)

Country Link
US (1) US5657124A (fr)
EP (1) EP0695414B1 (fr)
JP (1) JPH08509298A (fr)
CN (1) CN1123570A (fr)
AT (1) ATE173082T1 (fr)
AU (1) AU690966B2 (fr)
BR (1) BR9506143A (fr)
CA (1) CA2160802A1 (fr)
DE (1) DE69505749T2 (fr)
ES (1) ES2126255T3 (fr)
FR (1) FR2716531B1 (fr)
MX (1) MX9504353A (fr)
NO (1) NO954112D0 (fr)
WO (1) WO1995022740A1 (fr)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2762083B1 (fr) * 1997-04-11 1999-07-02 Verreries Souchon Neuvesel Procede optique de mesure de l'epaisseur de la paroi et/ou de l'ovalisation d'un recipient et dispositif en faisant application
FR2780778B3 (fr) * 1998-07-03 2000-08-11 Saint Gobain Vitrage Procede et dispositif pour la mesure de l'epaisseur d'un materiau transparent
US6307212B1 (en) * 1999-04-01 2001-10-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy High resolution imaging using optically transparent phosphors
DE19928171B4 (de) * 1999-06-19 2011-01-05 Leybold Optics Gmbh Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen
US6683695B1 (en) 1999-07-21 2004-01-27 Electronic Design To Market, Inc. Method and apparatus for detecting properties of reflective transparent surface coatings on a sheet of transparent material
US6693275B1 (en) 2000-03-23 2004-02-17 Plastipak Packaging, Inc. Method and apparatus for inspecting blow molded containers
US20040061873A1 (en) * 2002-09-26 2004-04-01 Davis Brett L. Method and apparatus for detecting media thickness
US7057735B2 (en) * 2002-11-14 2006-06-06 Fitel U.S.A. Corp. Method for measuring the optical and physical thickness of optically transparent objects
CN1307402C (zh) * 2004-06-03 2007-03-28 中南大学 高精度在线铝板凸度检测装置
US7417749B1 (en) 2004-09-01 2008-08-26 Electric Design To Market, Inc. Method and apparatus for protecting an optical transmission measurement when sensing transparent materials
US20060054843A1 (en) * 2004-09-13 2006-03-16 Electronic Design To Market, Inc. Method and apparatus of improving optical reflection images of a laser on a changing surface location
US7339682B2 (en) * 2005-02-25 2008-03-04 Verity Instruments, Inc. Heterodyne reflectometer for film thickness monitoring and method for implementing
US20060285120A1 (en) * 2005-02-25 2006-12-21 Verity Instruments, Inc. Method for monitoring film thickness using heterodyne reflectometry and grating interferometry
US20060266743A1 (en) * 2005-05-30 2006-11-30 National Chiao Tung University Laser-ablated fiber devices and method of manufacturing the same
CN100422776C (zh) * 2005-06-17 2008-10-01 陈南光 激光微加工处理全光纤型元件的制作方法
US7545503B2 (en) * 2005-09-27 2009-06-09 Verity Instruments, Inc. Self referencing heterodyne reflectometer and method for implementing
EP2278269B1 (fr) * 2005-11-07 2016-07-27 Cardinal CG Company Procédé destiné à identifier des revêtements photocatalytiques
US7583368B1 (en) 2006-04-05 2009-09-01 Electronic Design To Market, Inc. Method of enhancing measurement of stress in glass
US7652760B1 (en) 2006-04-05 2010-01-26 Electronic Design To Market, Inc. System for detecting coatings on transparent or semi-transparent materials
US7505496B2 (en) * 2006-04-05 2009-03-17 Ciena Corporation Systems and methods for real-time compensation for non-linearity in optical sources for analog signal transmission
US20080065351A1 (en) * 2006-09-11 2008-03-13 George Panotopoulos Thickness measurement based navigation apparatus and methods
US20110206830A1 (en) * 2010-02-19 2011-08-25 United Solar Ovonic Llc Reverse interferometric method and apparatus for measuring layer thickness
FR2971847B1 (fr) * 2011-02-18 2013-07-19 Tiama Procede et dispositif pour detecter des defauts de repartition de matiere dans des recipients transparents
FR2977312B1 (fr) * 2011-06-29 2014-06-13 Sidel Participations Procede de mesure de l'epaisseur d'une paroi transparente d'un recipient par interferometrie et dispositif pour la mise en oeuvre du procede
CN103438802B (zh) * 2013-09-17 2016-04-20 上海理工大学 光纤涂覆层几何参数测量方法
US9593939B1 (en) * 2013-12-30 2017-03-14 Flextronics Ap, Llc Glue thickness inspection (GTI)
BR112016015543A2 (pt) * 2014-02-14 2017-08-08 Halliburton Energy Services Inc Método e sistema
TWI700473B (zh) * 2014-06-04 2020-08-01 美商康寧公司 用於量測玻璃物品厚度的方法及系統
EP3714231B1 (fr) * 2017-11-24 2024-07-03 ABB Schweiz AG Système et procédé permettant de caractériser un revêtement tel qu'un film de peinture par rayonnement et installation de peinture dotée d'un tel système
EP3489620B1 (fr) 2017-11-28 2023-06-07 Koh Young Technology Inc. Appareil d'inspection d'un substrat et procédé associé
EP3489619A1 (fr) 2017-11-28 2019-05-29 Koh Young Technology Inc. Appareil d'inspection de substrat et procédé associé
KR102138622B1 (ko) * 2017-11-28 2020-07-28 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
CN113405478A (zh) * 2021-06-01 2021-09-17 西安工业大学 一种透明材料厚度测量方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2069220A5 (fr) * 1969-11-11 1971-09-03 British Aircraft Corp Ltd
FR2274022A1 (fr) * 1974-06-07 1976-01-02 Decca Ltd Determination de l'epaisseur de films transparents
FR2435019A1 (fr) * 1978-09-04 1980-03-28 Asahi Dow Ltd Procede et instrument de mesure de l'epaisseur d'une pellicule mince par interferences en infrarouge
FR2589578A1 (fr) * 1985-11-05 1987-05-07 Univ Reims Champagne Ardenne Procede et dispositif de controle optique par reflexion d'un materiau ou composant semi-transparent

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5402230A (en) * 1991-12-16 1995-03-28 Tsinghua University Heterodyne interferometric optical fiber displacement sensor for measuring displacement of an object

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2069220A5 (fr) * 1969-11-11 1971-09-03 British Aircraft Corp Ltd
FR2274022A1 (fr) * 1974-06-07 1976-01-02 Decca Ltd Determination de l'epaisseur de films transparents
FR2435019A1 (fr) * 1978-09-04 1980-03-28 Asahi Dow Ltd Procede et instrument de mesure de l'epaisseur d'une pellicule mince par interferences en infrarouge
FR2589578A1 (fr) * 1985-11-05 1987-05-07 Univ Reims Champagne Ardenne Procede et dispositif de controle optique par reflexion d'un materiau ou composant semi-transparent

Also Published As

Publication number Publication date
MX9504353A (es) 1997-05-31
NO954112L (no) 1995-10-16
US5657124A (en) 1997-08-12
BR9506143A (pt) 1996-04-16
DE69505749T2 (de) 1999-07-01
AU1815595A (en) 1995-09-04
ES2126255T3 (es) 1999-03-16
EP0695414A1 (fr) 1996-02-07
NO954112D0 (no) 1995-10-16
WO1995022740A1 (fr) 1995-08-24
JPH08509298A (ja) 1996-10-01
DE69505749D1 (de) 1998-12-10
ATE173082T1 (de) 1998-11-15
CN1123570A (zh) 1996-05-29
EP0695414B1 (fr) 1998-11-04
AU690966B2 (en) 1998-05-07
FR2716531B1 (fr) 1996-05-03
CA2160802A1 (fr) 1995-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0695414B1 (fr) Procede de mesure d&#39;epaisseur d&#39;un materiau transparent
EP0291394B1 (fr) Capteur de déplacement à fibres optiques décalées
US8705039B2 (en) Surface plasmon resonance sensor using vertical illuminating focused-beam ellipsometer
FR2491615A1 (fr) Procede de mesure optoelectronique et dispositifs pour la determination de la qualite de surfaces a reflexion diffuse
EP0333812B1 (fr) Dispositif pour determiner en continu un indice d&#39;etat de surface d&#39;une feuille crepee en mouvement
EP0443322B1 (fr) Méthode et appareil pour mesurer l&#39;épaisseur d&#39;une couche
EP0015820A1 (fr) Dispositif pour la mesure des vitesses linéaires sans contact et sans marquage
EP0414614A1 (fr) Procédé et dispositif de caractérisation géométrique de tubes transparents
EP0601081B1 (fr) Microcapteur à poutre vibrante compensé en température
FR2499718A1 (fr) Procede et dispositif pour la detection des defauts de surface des pieces mecaniques, en particulier des pieces a surface courbe
EP0856840A1 (fr) Appareil de mesure de la birefringence de substrats de disques optiques
FR3090099A1 (fr) Dispositif laser pour interferometrie a polarisation
FR2542878A1 (fr) Dispositif de balayage
EP1131599B1 (fr) Dispositif pour la mesure dimensionnelle et le controle des defauts des fibres optiques en production
EP1674878A1 (fr) Sonde électro-optique de mesure de champs électriques ou électromagnétiques à asservissement de la longueur d&#39;onde du point de fonctionnement
EP0736747A1 (fr) Procédé de détection de la variation du diamètre d&#39;une fibre optique et procédé de fabrication de fibre optique
FR2570489A1 (fr) Procede et dispositif pour le controle des volumes de verre apres decoupe
FR2481445A1 (fr) Procede et dispositif de mesure de caracteristiques geometriques d&#39;un element en materiau refringent, notamment d&#39;un tube
FR2762083A1 (fr) Procede optique de mesure de l&#39;epaisseur de la paroi et/ou de l&#39;ovalisation d&#39;un recipient et dispositif en faisant application
FR2572805A1 (fr) Procede de mesure du centrage d&#39;un barreau cylindrique dans un revetement transparent cylindrique et dispositif de mise en oeuvre
FR2706613A1 (fr) Procédé pour déterminer la résistance à la déchirure ductile d&#39;un matériau.
WO2000009978A1 (fr) Appareil de mesure de la longueur d&#39;onde d&#39;un faisceau lumineux
CA2449251A1 (fr) Procede de detection optique d&#39;especes chimiques contenues dans les milieux condenses
EP0940662B1 (fr) Sonde à fibres optiques
FR2474160A1 (fr) Dispositif de mesure de rugosite superficielle

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse