FR2542878A1 - Dispositif de balayage - Google Patents
Dispositif de balayage Download PDFInfo
- Publication number
- FR2542878A1 FR2542878A1 FR8401872A FR8401872A FR2542878A1 FR 2542878 A1 FR2542878 A1 FR 2542878A1 FR 8401872 A FR8401872 A FR 8401872A FR 8401872 A FR8401872 A FR 8401872A FR 2542878 A1 FR2542878 A1 FR 2542878A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- lens
- light
- scanning
- beam splitter
- image plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/0005—Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
Abstract
CE DISPOSITIF AVEC UNE GRANDE CAPACITE DE RESOLUTION UTILISE UN LASER COMME SOURCE LUMINEUSE 1, DONT LE FAISCEAU LUMINEUX L1 EST DEVIE DE FACON A SUIVRE SENSIBLEMENT L'AXE OPTIQUE D'UNE LENTILLE F-TH 5 APRES AVOIR TRAVERSE UNE LENTILLE DIVERGENTE 2. UN MIROIR POLYGONAL ROTATIF 4 EST DISPOSE DE L'AUTRE COTE DE LE LENTILLE 5, DE FACON QU'UN FAISCEAU DE BALAYAGE REFLECHI SOIT OBTENU. CE FAISCEAU DE BALAYAGE PEUT PASSER UNE FOIS ENCORE A TRAVERS LA LENTILLE F-TH 5 ET EST DIVISE DANS LES DIVISEURS DE FAISCEAU 7, 10 POUR GENERER UN FAISCEAU D'EXPLORATION PAR BALAYAGE L3 ET UN FAISCEAU DE REFERENCE L5. LES POINTS P, Q FORMES PAR LES FAISCEAUX DE BALAYAGE ET DE REFERENCE L3, L5 SE DEPLACENT SIMULTANEMENT, LE POINT Q DU FAISCEAU DE REFERENCE ETANT UTILISE POUR DEFINIR, A L'AIDE D'UNE ECHELLE A IMPULSION D'HORLOGE 11, LA POSITION EXACTE DU POINT P DU FAISCEAU DE BALAYAGE SUR UN OBJET BALAYE K. APPLICATION AU CONTROLE DE CIRCUITS IMPRIMES, A LA MESURE DE DISTANCES DANS DES IMAGES BIDIMENSIONNELLES.
Description
1.
"DISPOSITIF DE BALAYAGE"
La présente invention a trait aux dispositifs de ba-
layage ayant une grande aptitude de résolution pour explo-
rer un plan d'image sur lequel de petits détails doivent être décelés De tels détails peuvent être formés par des
modèles de circuit sur des tableaux imprimés ou des cir-
cuits en film épais, des points et des lignes ou autres caractères en typographie photographique, ou des mesures
de distance dans des tableaux bidimensionnels Le disposi-
tif de balayage selon l'invention comprend une source lu-
mineuse envoyant un faisceau de lumière étroit, sensible-
ment parallèle vers un miroir de balayage mobile, le fais-
ceau lumineux étant apte à suivre un chemin optique compre-
nant une lentille divergente et une lentille positive pour balayer le plan d'image comme un point le long d'une ligne
de balayage répétitive.
Dans les dispositifs de balayage de ce type, un laser a été normalement utilisé comme source lumineuse, dont le faisceau lumineux qui en émane est dirigé vers une lentille divergente disposée sur le même axe optique qu'une lentille de collimateur, qui envoie un faisceau lumineux composé de rayons parallèles vers un miroir polygonal rotatif de façon à faire passer le faisceau de lumière parallèle à
travers la lentille positive sous différents angles d'in-
cidence Le faisceau lumineux réfléchi par le miroir poly-
gonal est rendu convergent après passage à travers une
lentille positive pour former un point lumineux qui se dé-
place le long du chemin de balayage autant de fois par révolution du miroir polygonal que le miroir comporte de
surfaces réfléchissantes.
Dans de tels dispositifs de balayage connus (cf aussi figure 1 qui est décrite ci-après) il y a des distances relativement grandes entre le miroir polygonal tournant et le système de lentille adjacent, ce qui a pour effet que les surfaces à la fois du miroir et des lentilles
doivent avoir une certaine largeur De tels éléments op-
tiques larges sont coûteux et difficiles à fabriquer.
En disposant les lentilles divergentes, dans les dis-
positifs de balayage du type mentionné ci-avant, sur un axe
optique commun à la lentille positive et au miroir de ba-
layage rotatif, axe sur lequel un séparateur de faisceau est également disposé, et de façon telle que ce séparateur
de faisceau et cette lentille positive soient insérés en-
tre la lentille divergente et le miroir de balayage et que la lentille positive soit disposée entre le séparateur de faisceau et le miroir de balayage afin de faire passer le faisceau lumineux dirigé sur le miroir de balayage ainsi que le faisceau lumineux réfléchi par celui-ci à travers à la fois la lentille positive et le diviseur de faisceau, ce diviseur de faisceau dirigeant la lumière réfléchie sur le plan d'image, les inconvénients mentionnés ci-avant sont surmontés En outre, la suppression de l'élément positif de la lentille divergente a été rendue possible, tandis qu'en même temps une réduction du diamètre de la lentille positive et de la taille des surfaces réfléchissantes du
miroir de balayage ont été rendues possibles.
Avantageusement la lentille positive est une lentille F-8. Il a été ainsi possible de fournir un dispositif de
balayage, bien adapté à la fois techniquement et économi-
quement pour son utilisation dans des systèmes d'explora-
tion du type décrit dans l'introduction Cependant, ce sont uniquement des exemples de l'éventail d'utilisation, et par conséquent le dispositif de balayage selon l'invention ne doit pas être considéré comme étant limité à ceux-ci, et il répond bien à l'objet d'un, ainsi appelé, scanographe à ligne pour tous les domaines d'utilisation nécessitant
une large résolution Par l'utilisation d'un autre déve-
loppement du dispositif de balayage selon l'invention, la détermination en position de détails individuels dans le
champ de vision est ainsi rendue possible, du fait de l'u-
tilisation de parties du faisceau lumineux réfléchi comme référence ou faisceau horloge Par exemple, on peut faire balayer par le faisceau une échelle divisée en zones de
référence distinctes, chacune de ces zones donnant naissan-
ce à un signal qui indique la position exacte du rayon de
balayage, et qui peut aussi être comparé avec des informa-
tions précédemment mises en mémoire Des circuits électro-
niques permettant d'évaluer les valeurs de balayage obte- nues optiquement sont connus, par exemple par des brevets
suédois 405 050, 409 467 et 412 966.
De tels circuits sont également décrits dans le rapport de recherche LITHISY-I-264 avec le titre "A system for Automatic Visual Inspection of Printed Circuit Boards" par
D Antonsson et al, Université de Linkbping 1979-01-16.
De toute façon l'invention sera bien comprise à l'ai-
de de la description détaillée qui suit, partant d'un dis-
positif précédemment proposé, et en référence au dessin schématique annexé dans lequel
Figure 1 illustre le principe d'un dispositif de ba-
layage précédemment proposé; Figure 2 est une vue de côté du chemin d'un rayon dans une première forme de réalisation du dispositif de balayage selon l'invention
Figure 3 est une vue de dessus du dispositif de figu-
re 2; et
Figures 4 et 5 sont des vues correspondant aux figu-
res 2 et 3 d'une forme de réalisation préférée du disposi-
tif de balayage selon l'invention, la figure 4 indiquant
schématiquement l'utilisation de l'invention en corréla-
tion avec l'inspection de tableaux de circuits imprimés
(PCB).
Le principe est illustré en figure 1 pour le chemin d'un rayon lumineux dans un dispositif de balayage déjà
proposé, celui-ci étant illustré schématiquement pour ins-
pecter un tableau de circuit imprimé (PCB) noté (K) Un dispositif à laser est utilisé comme source lumineuse ( 1), le faisceau lumineux (Ll) qui en émane est dirigé sur une lentille divergente ( 2), et après passage à travers une
lentille de collémation ( 3) et réflexion par un miroir in-
cliné ( 6), il devient un large faisceau lumineux parallèle
A 2878
(L 2) et frappe un miroir polygonal rotatif ou "spinner"
( 4) Dans la forme de réalisation illustrée ici, le "spin-
ner" ( 4) comporte douze facettes, un mouvement de balayage
étant communiqué, de façon connue en soi, au faisceau ré-
fléchi (L 3) lorsque le "spinner" ( 4) tourne.
Le faisceau de balayage réfléchi (L 3) possède sensi-
blement le même chemin de rayon lumineux parallèle que le faisceau lumineux (L 2) et est dirigé sur une lentille F-e ( 5).
Cette lentille ( 5) fait converger le faisceau de ba-
layage (L 3) en un point (P), qui se déplacera le long d'une
ligne (L) sur le "PCB" (K) A son tour, le "PCB" est dépla-
cé par degré dans le sens de la flèche (D), l'entière sur-
face du tableau pouvant être ainsi explorée par balayage
répété du faisceau (L 3).
Les positions pour d'éventuelles ouvertures dans le
"PCB" (K) vont maintenant être examinées avec le disposi-
tif de balayage proposé Pour une telle ouverture, le fais-
ceau (L 3) passe à travers le "PCB" et est reçu par un ré-
cepteur de lumière placé sous celui-ci, ce récepteur com-
prenant une optique à fibre ( 8) et un photomultiplicateur
( 9) Afin d'obtenir une détermination de position correc-
te, on fait passer le faisceau (L 3) à travers un prisme diviseur de faisceau ( 7), qui a un taux de transmission/
réflexion de 90/10 % Le faisceau réfléchi (L 5) forme ain-
si un point lumineux (Q) sur une échelle à impulsion d'hor-
loge ( 11) qui génère un signal de référence électrique par
l'optique à fibre et les moyens photomultiplicateurs ( 11 ').
Un signal électrique provenant du photomultiplicateur ( 9) indique une ouverture dans le PCB, et la position de cette ouverture est déterminée par la position que le point (Q)
prend alors sur l'échelle à impulsion d'horloge ( 11).
Ainsi qu'il l'a déjà été mentionné dans l'introduction
de cette description, un dispositif connu de ce type pré-
sente des inconvénients générateurs de problèmes Un objet
primordial de la présente invention est de limiter ces in-
convénients et notamment de minimiser la surface du point
lumineux de balayage (P), par exemple de façon que des rup-
tures extrêmement petites dans les conducteurs sur le "PCB" puissent être détectées, puisque de telles ruptures peuvent
avoir un effet dévastateur sur la fonction du circuit.
Afin d'obtenir un dispositif de balayage amélioré, il a été trouvé que à la fois le faisceau lumineux incident (Ll) et le faisceau lumineux réfléchi (L 3) doivent passer à travers la lentille F-8 ( 5) Cette situation forme donc
la base de l'invention qui peut être alors réalisée de dif-
férentes façons.
Un appareil de balayage selon l'invention, avec lequel il est facile d'obtenir en pratique de petits diamètres
pour le point (P) est illustré dans les figures 2 et 3.
Dans la forme de réalisation de cette invention, la source lumineuse ( 1) est adaptée de façon que le faisceau lumineux en émanant (Ll) soit parallèle au faisceau divergent (L 2) dirigé vers la lentille ( 5) Le faisceau divergent (L 2) est appliqué centralement à la lentille ( 5), qui transmet de façon similaire le faisceau parallèle formé, concentrique
à l'axe de la lentille, vers le "spinner" ( 4).
Le faisceau parallèle réfléchi par-le "spinner" ( 4) sera bien évidemment appliqué centralement à la lentille
( 5) Afin de réaliser effectivement un faisceau de balaya-
ge (L 3), dont le point (P) doit se déplacer sur le plan
d'image <K), un prisme diviseur de faisceau ( 7) a été dis-
posé sur le trajet du faisceau divergent (L 2) appliqué-à la lentille ( 3) aussi bien que pour le faisceau de balayage (L 3) partant de la lentille Le prisme diviseur de faisceau ( 7) est réalisé sous la forme de deux prismes triangulaires collés l'un à l'autre et ayant un taux de transmission/ réflexion de 50/50 %, par exemple Le faisceau divergent incident (L 2) sera ainsi réfléchi jusqu'à 50 % (vers le haut dans la figure 2) et sera transmis par la lentille ( 5) jusqu'à 50 % La partie réfléchie n'est pas utilisée De la même façon, le faisceau de balayage (L 3) provenant de la lentille sera réfléchi (vers le bas sur la figure 2) jusqu'à 50 % et passera tout droit à travers le prisme
jusqu'à 50 % Dans ce cas, la partie réfléchie est utili-
sée, cependant, et garde la référence (L 3), tandis que la partie du faisceau passant à travers le prisme n'est pas utilisée. La partie utilisée du faisceau de balayage (L 3) se di- rige donc à angle droit vers le bas en direction du plan d'image o le point (P) formé se déplace, par exemple sur
un panneau de circuit imprimé (K) qui doit être inspecté.
Pour permettre d'évaluer l'état du "PCB", un faisceau de mesure (L 4) réfléchi à partir de celui-ci est utilisé Pour
permettre l'évaluation du faisceau de mesure (L 4), la ré-
flexion de celui-ci doit être effectuée loin du faisceau
de balayage (L 3) et ceci est obtenu en disposant la surfa-
ce du "PCB" <K) de façon qu'elle forme un angle avec l'axe
du faisceau de balayage incident (L 3) Le faisceau de me-
sure (L 4) est reçu, d'une façon proposée précédemment, par
une optique à fibre ( 8), couplée à une cellule photoélec-
trique, photomultiplicateur ou photodiode ( 9), afin d'ob-
tenir des valeurs électriques instantanées qui peuvent être
envoyées à un ordinateur (non représenté).
Afin que l'ordinateur obtienne aussi la valeur de cri-
tère pertinente, un autre prisme diviseur de faisceau ( 10)
a été inséré, à savoir dans le chemin lumineux de la par-
tie du faisceau de balayage (L 3) qui est utilisée Ainsi que pour le prisme diviseur de faisceau ( 7) déjà mentionné, cet autre prisme diviseur de faisceau ( 10) est formé de deux prismes triangulaires collés ensemble Ces prismes ont un taux de transmission/réflexion, par exemple de 90/10 %,
puisqu'il est souhaitable d'utiliser la plus grande quanti-
té possible de lumière provenant du faisceau de balayage (L 3) pour obtenir un faisceau de mesure (L 4) mesurable,
tandis qu'il n'est pas nécessaire que le faisceau de réfé-
rence défléchi (L 5) ait une intensité lumineuse particu-
lière pour obtenir un signal de référence de détermination
de position.
Le signal de référence de détermination de position
est obtenu d'une façon précédemment proposée, par le fais-
ceau de référence défléchi (L 5) qui est autorisé à frapper
une échelle d'impulsion d'horloge ( 11), divisée en diffé-
rentes-zones sur lesquelles le faisceau de référence (L 5) se déplace En autorisant un ordinateur à enregistrer en permanence la position du faisceau de référence (L 5) sur
l'échelle à impulsion d'horloge ( 11-), on obtient une pos-
sibilité pour déterminer la position exacte du faisceau
de balayage (L 3) sur le "PCB" <K.
En conséquence, des signaux électriques correspondants
aux faisceaux (L 4) et (L 5) peuvent être envoyés à un ordi-
nateur (non représenté) et le signal de sortie résultant provenant de l'ordinateur peut être utilisé par la suite
de la façon désirée.
Cependant, ceci ne fait pas partie de la présente in-
vention et ne sera pas considéré plus en détail ici.
Afin d'obtenir une symétrie totale dans tous les che-
mins des rayons lumineux, et par conséquent contrer toute
aberration sphérique non désirable, un prisme de compensa-
tion ( 12) peut être introduit dans le chemin des rayons entre la lentille divergente ( 2) et le prisme diviseur de
faisceau ( 7) L'incidence du faisceau provenant de la sour-
ce lumineuse ( 1) sur la lentille divergente ( 2) est obte-
nue à l'aide de deux miroirs ( 13, 14).
Dans des essais réalisés avec la forme de réalisation des figures 2 et 3, un laser He-Ne d'une puissance de 6 m V a été utilisé comme source lumineuse pour le balayage de tableaux de circuit Le "spinner" utilisé a un rayon de mm et dix surfaces de miroir La longueur de la ligne de balayage pour le point (P) ainsi que pour le point (Q) du faisceau de référence <L 5) était de 500 mm, alors que
le tableau de circuit imprimé (K) était avancé par degrés.
Un résultat d'inspection extrêmement bon a été obtenu, le signal de sortie provenant de l'ordinateur étant utilisé pour l'enregistrement de l'essai par un ordinateur Les diamètres des points (P, Q) étaient d'environ 18 ' I Une forme d'exécution modifiée selon les figures 4 et peut être utilisée pour réduire l'optique nécessaire pour la forme de réalisation décrite ci-dessus en liaison avec les figures 2 et 3, et sans aucune diminution importante de l'exactitude dans le dispositif de balayage Le coût de fabrication est réduit par les optiques plus simples, mais le diamètre des points (P Q) peut encore être main- tenu à 18-20 ( Ainsi que pour les exemples de réalisation selon les figures 2 et 3, la source lumineuse ( 1) est disposée de façon que la lumière (LI) transmise soit parallèle à l'axe optique A de la lentille F-e ( 5) Cependant, dans cette forme d'exécution modifiée, qui se distingue en cela du dispositif selon les figures 2 et 3, les miroirs ( 13, 14)
sont disposés angulairement de façon que le faisceau lumi-
neux (L 2) forme un angle aigu (") par rapport à l'axe (A).
Le faisceau lumineux (L 2) incident sur le prisme diviseur de faisceau ( 7) sera ainsi-légèrement décalé par rapport
au centre, ce qui s'applique également au faisceau parallè-
le projeté sur le "spinner" ( 4) Le faisceau parallèle ré-
fléchi par le "spinner" ( 4) qui est rendu convergent par
la lentille F-e ( 5), sera divisé en un faisceau de balaya-
ge (L 3) et un faisceau de référence (L 5) par le prisme ( 7).
Dans cette forme d'exécution modifiée, les parties réflé-
chies et transmises du faisceau réfléchi par le "spinner" ( 4) sont donc ainsi utilisées Le taux de transmission/ réflexion pour le prisme diviseur de faisceau ( 7) sera
choisi ici de façon appropriée à 50/50 %.
Puisque le faisceau (L 2) forme un angle (d) avec l'a-
xe optique (A), le faisceau de référence (L 5) formera aus-
si le même angle par rapport à l'axe (A), mais sur le côté opposé de l'axe L'échelle à impulsion d'horloge ( 11) peut
donc être installée à proximité immédiate de l'axe (A).
La division en zone de l'échelle à impulsion d'horloge ( 11)
est indiquée à la figure 4.
De la même façon, comme le faisceau lumineux (L 2) et le faisceau de référence (L 5) forment chacun un angle if) par rapport à l'axe optique (A), la partie réfléchie du faisceau de balayage (L 3) formera un angle correspondant par rapport à un axe coupant l'axe (A) à angle droit Si le plateau de circuit imprimé (K) est déplacé le long d'un chemin parallèle à l'axe (A),;un faisceau de mesure (L 4) réfléchi à un angle (q) est obtenu automatiquement vers l'optique à fibre ( 8) et la photodiode ( 9). La forme d'exécution modifiée selon les figures 4 et a autrement la même fonction que la forme d'exécution dis-
cutée conjointement aux figures 2 et 3.
Bien que des formes d'exécutions préférées aient été décrites ci-dessus en conjonction avec le dessin, elles
ne doivent pas être considérées comme limitant la présen-
te invention, puisque différentes modifications peuvent
être effectuées sans s'écarter du concept selon l'invention.
Une telle modification peut être réalisée en enlevant les prismes ( 10) et ( 12) montrés dans la figure 2 lorsque la
lentille F-e ( 5) est une lentille de très haute qualité.
L'échelle à impulsion d'horloge ( 11) peut alors être rem-
placée par une source d'horloge fixe Les impulsions de la
source d'horloge fixe sont utilisées d'une façon correspon-
dant à celle décrite en relation avec les impulsions pro-
venant de l'échelle à impulsion d'horloge ( 11).
Le dispositif de balayage a été expliqué dans une cer-
taine limite par son application à une méthode pour inspec-
ter les tableaux de circuits imprimés, mais il est destiné à être utilisé dans toutes les applications de balayage ou d'exploration dans lesquelles une grande précision est importante.
Claims (5)
1 Dispositif de balayage avec grande capacité de résolution pour explorer un plan d'image (K) comportant
de petits détails devant être détectés, le dispositif com-
prenant une source lumineuse ( 1) pour transmettre un fais- ceau lumineux étroit sensiblement parallèle (Ll) dirigé
vers un miroir de balayage mobile ( 4), le faisceau lumi-
neux étant apte à suivre un chemin de rayons optiques com-
prenant une lentille divergente ( 2) et une lentille posi-
tive ( 5) pour balayer le plan d'image par un point lumi-
neux se déplaçant le long d'une ligne de balayage (L) ré-
pétitive, caractérisé en ce que la lentille divergente ( 2)
est disposée sur un axe optique commun à la lentille posi-
tive ( 5) et au miroir de balayage mobile ( 4), axe sur le-
quel est disposé également un diviseur de faisceau ( 7), et de telle sorte que le diviseur de faisceau ( 7) et la
lentille positive ( 5) sont insérés entre la lentille diver-
gente ( 2) et le miroir de balayage ( 4) et que la lentille positive ( 5) est disposée entre le diviseur de faisceau ( 7) et le miroir de balayage ( 4) pour transmettre le faisceau lumineux (L 2) dirigé vers le miroir de balayage ainsi que
le faisceau lumineux (L 3, L 5) réfléchi par celui-ci, à tra-
vers à la fois lalentille positive et le diviseur de fais-
ceau, ce diviseur de faisceau dirigeant la lumière réflé-
chie sur un plan d'image (K).
2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la lentille divergente ( 2) est disposée sur l'axe optique commun (A), un diviseur de faisceau de référence ( 10) étant disposé entre le diviseur de faisceau ( 7) et le plan d'image (K) pour réfléchir en direction d'une échelle
à impulsion d'horloge ( 11) une partie du faisceau (L 3) di-
rigé vers le plan d'image, ce faisceau partiel étant des-
tiné à former un faisceau de référence (L 5), et en ce qu'un
prisme égalisateur ( 12) est disposé dans le chemin des ra-
yons lumineux entre la lentille divergente ( 2) et le divi-
seur de faisceau ( 7).
3 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé il
en ce que la lentille divergente ( 2) est décalée par rap-
port à l'axe optique (A) et en ce que le diviseur de fais-
ceau ( 7), disposé entre la lentille positive et la lentille divergente, envoie un faisceau de balayage (L 3) dirigé vers le plan diimage (K) et un faisceau partiel utilisé comme faisceau de référence (L 5), le faisceau de référence
étant décalé de la même quantité par rapport à l'axe opti-
que commun (A), mais du côté opposé à celui-ci, relative-
ment à la lentille divergente ( 2) et étant dirigé vers
l'échelle à impulsion d'horloge ( 11).
4 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un faisceau lumineux (L 4) réfléchi à partir de la
ligne de balayage (L) du plan d'image (K) est apte à se dé-
placer le long d'un conducteur de lumière ( 8) comprenant des fibres optiques, et dont la transmission lumineuse est captée d'une manière connue en soi à l'aide d'un détecteur photoélectrique ( 9) de façon à transmettre des impulsions électriques correspondantes et aptes à être fournies, à un ordinateur pour y être comparées par rapport aux impulsions, produites par une source d'horloge fixe ou par une échelle
à impulsion d'horloge ( 11) activée par le faisceau de réfé-
rence (L 5), et fournies à l'ordinateur.
Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le faisceau de référence (L 5) est apte, de façon connue en soi, à se déplacer sur l'échelle à impulsion
d'horloge ( 11), divisée en zones distinctes, pour détermi-
ner la position du faisceau lumineux (L 4) réfléchi par la
ligne de balayage (L 3) du plan d'image (K).
6 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé
en ce que la lentille positive ( 5) est une lentille F-e.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE8300480A SE456194B (sv) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | Avsokningsanordning |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2542878A1 true FR2542878A1 (fr) | 1984-09-21 |
FR2542878B1 FR2542878B1 (fr) | 1988-11-18 |
Family
ID=20349821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8401872A Expired FR2542878B1 (fr) | 1983-01-31 | 1984-01-30 | Dispositif de balayage |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4629885A (fr) |
JP (1) | JPS59155825A (fr) |
CH (1) | CH663285A5 (fr) |
DE (1) | DE3402843A1 (fr) |
FR (1) | FR2542878B1 (fr) |
GB (1) | GB2137374B (fr) |
IT (1) | IT1180412B (fr) |
NL (1) | NL8400283A (fr) |
SE (1) | SE456194B (fr) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8700520U1 (fr) * | 1987-01-12 | 1987-03-12 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch, De | |
JP2575418B2 (ja) * | 1987-10-15 | 1997-01-22 | 富士写真フイルム株式会社 | 光ビーム走査装置 |
US4947039A (en) * | 1988-10-17 | 1990-08-07 | Eotron Corporation | Flat stationary field light beam scanning device |
JP2722269B2 (ja) * | 1989-03-17 | 1998-03-04 | 旭光学工業株式会社 | 走査光学系 |
US5194982A (en) * | 1989-03-17 | 1993-03-16 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning optical system |
WO1993000696A1 (fr) * | 1991-06-21 | 1993-01-07 | Zera, Gary, William | System de detection de la position a faisceau explorateur optique |
JPH06331556A (ja) * | 1993-05-21 | 1994-12-02 | Toyo Glass Co Ltd | 透明体中の不透明異物分別装置 |
DE29811486U1 (de) | 1998-06-26 | 1998-10-08 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2511716B2 (de) * | 1974-03-22 | 1977-05-18 | International Business Machines Corp., Armonk, N.Y. (V.St.A.) | Optischer drucker mit seriellem pufferspeicher, welcher binaerwoerter unterschiedlicher laenge verarbeitet |
EP0028160A1 (fr) * | 1979-10-29 | 1981-05-06 | Xerox Corporation | Systèmes de balayage optique à spot volant |
US4284994A (en) * | 1979-07-30 | 1981-08-18 | Eikonix Corporation | Laser beam recorder |
EP0049164A2 (fr) * | 1980-09-29 | 1982-04-07 | Xerox Corporation | Système optique |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH539892A (de) * | 1971-03-22 | 1973-07-31 | Zellweger Uster Ag | Abtastvorrichtung für optisch erkennbare Zeichen |
JPS53121471A (en) * | 1977-03-31 | 1978-10-23 | Nippon Chemical Ind | Automatic position matching device |
US4279472A (en) * | 1977-12-05 | 1981-07-21 | Street Graham S B | Laser scanning apparatus with beam position correction |
JPS5557826A (en) * | 1978-10-24 | 1980-04-30 | Fujitsu Ltd | Optical scanning position detector |
US4241257A (en) * | 1979-05-24 | 1980-12-23 | Koester Charles J | Scanning microscopic apparatus |
-
1983
- 1983-01-31 SE SE8300480A patent/SE456194B/sv not_active IP Right Cessation
-
1984
- 1984-01-27 DE DE19843402843 patent/DE3402843A1/de not_active Withdrawn
- 1984-01-30 FR FR8401872A patent/FR2542878B1/fr not_active Expired
- 1984-01-30 GB GB08402365A patent/GB2137374B/en not_active Expired
- 1984-01-31 IT IT12415/84A patent/IT1180412B/it active
- 1984-01-31 JP JP59016895A patent/JPS59155825A/ja active Pending
- 1984-01-31 CH CH442/84A patent/CH663285A5/de not_active IP Right Cessation
- 1984-01-31 US US06/575,582 patent/US4629885A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-01-31 NL NL8400283A patent/NL8400283A/nl not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2511716B2 (de) * | 1974-03-22 | 1977-05-18 | International Business Machines Corp., Armonk, N.Y. (V.St.A.) | Optischer drucker mit seriellem pufferspeicher, welcher binaerwoerter unterschiedlicher laenge verarbeitet |
US4284994A (en) * | 1979-07-30 | 1981-08-18 | Eikonix Corporation | Laser beam recorder |
EP0028160A1 (fr) * | 1979-10-29 | 1981-05-06 | Xerox Corporation | Systèmes de balayage optique à spot volant |
EP0049164A2 (fr) * | 1980-09-29 | 1982-04-07 | Xerox Corporation | Système optique |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59155825A (ja) | 1984-09-05 |
IT8412415A0 (it) | 1984-01-31 |
GB8402365D0 (en) | 1984-02-29 |
DE3402843A1 (de) | 1984-08-02 |
SE8300480D0 (sv) | 1983-01-31 |
GB2137374A (en) | 1984-10-03 |
SE456194B (sv) | 1988-09-12 |
SE8300480L (sv) | 1984-08-01 |
CH663285A5 (de) | 1987-11-30 |
IT8412415A1 (it) | 1985-07-31 |
NL8400283A (nl) | 1984-08-16 |
US4629885A (en) | 1986-12-16 |
FR2542878B1 (fr) | 1988-11-18 |
GB2137374B (en) | 1986-11-26 |
IT1180412B (it) | 1987-09-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0586288B1 (fr) | Procédé et dispositif de mesure de vibrations d'aubes de turbine en fonctionnement | |
EP3765835B1 (fr) | Ellipsomètre ou scattéromètre instantané et procédé de mesure associé | |
EP0279730B1 (fr) | Procédé et dispositif de relèvement tridimensionnel | |
EP0291394A1 (fr) | Capteur de déplacement à fibres optiques décalées | |
FR2458830A1 (fr) | Systeme de representation optique muni d'un systeme de detection opto-electronique servant a determiner un ecart entre le plan image du systeme de representation et un second plan destine a la representation | |
FR2493541A1 (fr) | Procede et equipement pour analyser une deviation de rayonnement | |
EP0255792A1 (fr) | Système de repérage utilisant un ensemble rétroréflecteur, et modulateur d'un faisceau laser | |
FR2647913A1 (fr) | Dispositif optique a reseau et element separateur pour le controle, par detection de phase, d'un quelconque systeme optique, en particulier d'une lentille ophtalmique | |
EP0015820A1 (fr) | Dispositif pour la mesure des vitesses linéaires sans contact et sans marquage | |
FR2487077A1 (fr) | Dispositif de determination a distance de la position dans l'espace d'un objet effectuant des mouvements de rotation | |
EP0512919A1 (fr) | Dispositif de mesure à distance de la position d'un objet | |
FR2647912A1 (fr) | Dispositif optique a reseau pour le controle, en transmission, par detection de phase, d'un quelconque systeme optique, en particulier d'une lentille ophtalmique | |
FR2542878A1 (fr) | Dispositif de balayage | |
EP0018873B1 (fr) | Dispositif compact de couplage optique et gyromètre interferométrique à fibre optique comportant un tel dispositif | |
EP0429332B1 (fr) | Procédé et dispositif pour la détermination des caractéristiques d'une lentille, et notamment, de sa puissance | |
FR2547409A1 (fr) | Compensateur d'oscillations pour gyroscope a laser en anneau | |
EP0035423B1 (fr) | Système de détection et de localisation de discontinuité de surface par faisceau lumineux | |
EP0669525A2 (fr) | Système interférométrique de détection et de localisation de défauts réflecteurs de structures guidant la lumière | |
EP0069071B1 (fr) | Procédé d'identification d'un objet et de mesure de sa position et de son orientation, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé | |
EP0448415B1 (fr) | Dispositif de détection à distance d'une grandeur physique, fonctionnant en réflexion | |
CH645733A5 (fr) | Dispositif optique a cables en fibres optiques. | |
FR2572805A1 (fr) | Procede de mesure du centrage d'un barreau cylindrique dans un revetement transparent cylindrique et dispositif de mise en oeuvre | |
EP1119756B1 (fr) | Generation d'un train d'impulsions electromagnetiques pour test de fibres optiques | |
EP0591911B1 (fr) | Interféromètre comprenant un ensemble intégré et une unité réfléchissante séparés l'un de l'autre par une région de mesure | |
FR2655799A1 (fr) | Dispositif d'analyse de documents. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |