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KR20200051105A
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USD981973S1
(en)
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2021-05-11 |
2023-03-28 |
Asm Ip Holding B.V. |
Reactor wall for substrate processing apparatus
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CN113309858B
(zh)
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2021-06-04 |
2023-06-23 |
浙江万龙机械有限公司 |
一种阀杆高频启闭防抖的氨用阀
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USD990441S1
(en)
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2021-09-07 |
2023-06-27 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate
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