FR2515818A1 - Detecteur d'infrarouge pyroelectrique - Google Patents
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Abstract
L'INVENTION CONCERNE UN DETECTEUR D'INFRAROUGE PYROELECTRIQUE. IL COMPREND UN ELEMENT 6 DE RECEPTION DE LUMIERE COMPORTANT PLUSIEURS AIRES DE TRAVAIL PYROELECTRIQUES, DONT L'UNE EST UTILISEE POUR LA DETECTION DES SIGNAUX INFRAROUGES ET POSSEDE UNE ELECTRODE DE SURFACE TRANSMETTANT LA LUMIERE. LE SIGNAL ELECTRIQUE PRODUIT PAR L'AIRE DE DETECTION SUBIT UNE COMPENSATION A L'AIDE DES SIGNAUX ELECTRIQUES PRODUITS DANS UNE OU PLUSIEURS AUTRES AIRES DE TRAVAIL PYROELECTRIQUES POSSEDANT UNE ELECTRODE DE SURFACE REFLECHISSANT LA LUMIERE. LE DETECTEUR D'INFRAROUGE SELON L'INVENTION PEUT ETRE UTILISE COMME DETECTEUR D'INCENDIE OU DETECTEUR D'INTRUSION.
Description
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La présente invention concerne un détecteur d'infrarouge pyroélectrique et, plus spécialement, un élément de réception de rayons infrarouges dans lequel la dérive de température incorporée dans les signaux entrant en provenance de l'extérieur et les bruits produits par les vibrations peuvent être éliminés par l'existence
de plusieurs aires de travail pyroélectriques, dont l'une est uti-
lisée comme aire de détection de signaux infrarouges, et par com-
pensation des signaux électriques produits dans l'aire de détection de signaux au moyen des signaux électriques produits dans l'autre
ou les autres aires de travail pyroélectriques.
Il est bien connu que l'on peut faire apparaître une propriété pyroélectrique en polarisant une pellicule d'un matériau à haut poids moléculaire, comme par exemple un polymère ou copolymère comprenant essentiellement un fluorure de vinylidène, un fluorure de vinyle, et un trifluorure d'éthylène ou les autres monomères polaires Différents types de détecteurs d'infrarouge, tels que
détecteur d'incendie ou détecteur d'intrusion, utilisant une pel-
licule pyroélectrique ont été proposés Toutefois, puisque la pel-
licule pyroélectrique à haut poids moléculaire présente en général
aussi bien de la pyroélectricité que de la piézoélectricité et pro-
duit un signal électrique sous l'effet de vibrations externes, les vibrations externes sont souvent la cause de bruits importants Pour éliminer ces bruits, le brevet des Etats-Unis d'Amérique no 3 877 308, par exemple, a proposé un élément pyroélectrique que l'on forme en disposant plusieurs aires de travail pyroélectriques comportant des
électrodes sur les deux faces d'une feuille d'une pellicule pyro-
électrique à haut -poids moléculaire L'élément n'utilise qu'une seule de ces aires de travail pyroélectriques comme aire de détection de signaux infrarouges associés à la chaleur rayonnante venant de l'extérieur L'aire de détection est couplée à au moins l'une des aires de travail pyroélectriques restantes par l'intermédiaire d'électrodes respectives de différentes polarités On peut obtenir
des signaux pyroélectriques ne provenant que de la chaleur rayon-
nante en compensant le signal électrique produit dans les aires de détection de signaux au moyen des signaux électriques produits dans
l'autre ou plusieurs aires de travail pyroélectriques.
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Dans le cas o une semblable aire de travail pyroélec-
trique particulière est utilisée pour compenser le bruit de la manière indiquée ci-dessus, il est préférable que les effets des bruits résultants des conditions d'environnement dans lesquels baignent les aires de travail pyroélectriques de détection et de compensation soient égaux en quantité et en qualité dans la plus
grande mesure possible Toutefois, dans le cas du brevet des Etats-
Unis d'Amérique N O 3 877 308, les conditions susdites ne sont pas
suffisantes puisque l'aire de travail pyroélectrique de cnmpensa-
tion n'est pas placée en un endroit o elle est influencée par la chaleur rayonnante Par conséquent, dans le cas o une chaleur rayonnante relativement forte doit être détectée au moyen d'un
élément pyroélectrique possédant une sensibilité basse, la compen-
sation effectue à l'aide de l'élément décrit dans le brevet des EtatsUnis d'Amérique cité ci-dessus est sûrement efficace, mais
il existe des bruits importants qui sont dus à la dérive de tempé-
rature lorsque la sensibilité de l'élément pyroélectrique est augmentée. De plus, dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique N O 3 453 432, il est proposé un détecteur d'infrarouge que l'on constitue en plaçant deux aires de travail pyroélectriques en un endroit o il existe une chaleur rayonnante sur une feuille de
matière pyroélectrique située à l'intérieur du détecteur d'infra-
rouge Une électrode réfléchissant la lumière, par exemple en alu-
minium, est disposée sur la face de réception de lumière d'une première aire de travail Une électrode d'absorption de lumière, par exemple en noir d'or, se trouve sur la face de réception de lumière de l'autre aire de travail L'aire de travail possédant l'électrode d'absorption de lumière fait fonction d'élément de
détection, et l'aire de travail possédant l'électrode réfléchis-
sant la lumière fait fonction d'élément de compensation Dans ce
brevet des Etats-Unis d'Amérique, puisqu'une substance non orga-
nique, comme la céramique ou un matériau analogue, par exemple, est utilisée comme matériau pyroélectrique, et que les deux aires de travail pyroélectriques sont toutes deux placées à l'intérieur d'une région dans laquelle pénètrentles rayons de chaleur rayonnante,
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on peut s'attendre à ce que les bruits résultant de l'environnement soient encore diminués Toutefois, on attend toujours un dispositif
présentant un bruit inférieur et une absence de dérive.
C'est donc un but principal de l'invention de proposer un détecteur d'infrarouge pyroélectrique dans lequel la dérive de température incluse dans le signal introduit depuis l'extérieur
et les bruits dus aux vibrations peuvent être remarquablement réduits.
Avant d'arriver à l'invention, la demanderesse a produit un détecteur d'infrarouge pyroélectrique analogue qui utilisait comme matériau pyroélectrique une pellicule pyroélectrique à haut poids moléculaire et qui portait deux aires de travail pyroélectrique possédant respectivement une électrode réfléchissant la lumière et
une électrode absorbant la lumière A la suite d'expériences effec-
tuées sur les bruits, il s'est révélé que la production de bruits était fortement réduite par comparaison avec le cas du brevet des Etats-Unis d'Amérique N O 3 877 308 Après d'autres recherches, la demanderesse a réussi à mettre au point un détecteur d'infrarouge encore plus exempt de bruit,-par comparaison avec le brevet des Etats-Unis d'Amérique N O 3 453 432, que l'on forme en disposant une électrode de surface transmettant la lumière sur l'aire de travail pyroélectrique du cbté de détection, et une électrode de
surface réfléchissent à la lumière sur l'aire de travail pyroélec-
trique du coté de compensation.
On forme le détecteur d'infrarouge pyroélectrique selon
l'invention en disposant au moins deux aires de travail pyroélec-
triques, à savoir une électrode transmettant la lumière qui est faite d'une pellicule transmettant la lumière et conductrice, par exemple en ITO, destinée à être utilisée comme électrode du côté de réception de la lumière et une électrode réfléchissant la lumière
qui est faite d'une pellicule réfléchissant la lumière et conduc-
trice, par exemple en aluminium, sur la pellicule pyroélectrique à haut poids moléculaire de mime nature ou d'une nature différente, en plaçant les deux aires sur un passage d'arrivée d'une fenêtre pour rayons infrarouges, et en compensant la charge électrique produite sur l'aire de travail pyroélectrique portant l'électrode de transmission et servant à la détection du signal infrarouge,
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au moyen de la charge électrostatique produite sur les aires de
travail pyroélectriques portant l'électrode réfléchissante et ser-
vant à la compensation.
Comme électrodes transmettant la lumière qui peuvent être utilisées dans l'invention, on indiquera une pellicule trans- parente (d'une épaisseur approximative de 400 à 2000 A par exemple) en céramique conductrice ou en un matériau analogue, tel que lTO
(oxyde d'indium-oxyde d'étain), oxyde d'étain (plus oxyde dtanti-
moine), etc, ou une pellicule métallique mince semi-transparente (une pellicule déposée d'une épaisseur d'environ 30 à 200 tmi par exemple), telle que or, platine, argent, nickel, chrome> aluminium cuivre, etc. D'autre part> comme électrode réfléchissante, on peut utiliser une pellicule faite d'aluminium> d'étain, de nickel, de chrome, d'antimoine, de fer ou d'autres métaux blancs sous une
épaisseur d'environ 500 à 3000 A (suffisante pour ne pas trans-
mettre du tout de lumière) On forme ces électrodes à la surface
de la pellicule par un procédé ordinaire tel que dépôt, pulvérisa-
tion cathodique, placage, etc Il faut plusieurs électrodes desti-
nées à être utilisées comme électrodes opposées sur le côté posté-
rieur de la pellicule sur lequel les électrodes de transmission et de réflexion susdites sont fixées, mais ces électrodes opposées peuvent etre faites sous forme d'une pellicule mince de n'importe quel matériau approprié Toutefois, dans ce cas, il est préférable que ces deux électrodes soient faites du même matériau et aient une mtme épaisseur de façon qu'il n'existe aucune différence entre elles en ce qui concerne la sensibilité vis-à-vis des signaux et des bruits Dans le cas o les électrodes de transmission et de réflexion sont déposées sur une seule feuille de pellicule pyroélectrique, on peut utiliser une seule électrode commune au lieu des électrodes opposées. Bien que le polychlorure de vinylidène soit considéré comme le meilleur parmi les matériaux à haut poids moléculaire utilisés pour la pellicule pyroélectrique à haut poids moléculaire de l'invention, il est également possible d'utiliser une substance
pyroélectrique à haut poids moléculaire telle qu'un polymèrecopo-
lymère, etc comprenant essentiellement le fluorure de vinyle, le
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trifluoroéthylène et d'autres monomères polaires Il faut comprendre que le polyfluorure de vinylidène indiqué ci-dessus n'est pas limité aux homopolymères de fluorure de vinylidène, mais peut également comporter des copolymères contenant chacun du fluorure de vinylidène en une quantité supérieure à environ 50 moles%, et un ou plusieurs des comonomères qui peuvent copolymériser avec le fluorure de vinylidène, tels que des oléfines contenant du fluor, par exemple
fluorure de vinyle, chlorofluorovinylidène, chlorotrifluoro-
éthylène, tétrafluoroéthylène,-hexafluoropropylène.
Une pellicule pyroélectrique à haut poids moléculaire portant l'électrode réfléchissante utilisée dans le détecteur d'infrarouge selon l'invention diffère, du point de vue de ses propriétés d'absorption des rayons infrarouges, de celle a laquelle les électrodes absorbantes de même nature décrites dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 453 432 sont fixées On obtient une meilleure sensibilité aux rayons infrarouges avec un détecteur d'infrarouge du type compensation constitué par l'utilisation d'wle pellicule pyroélectrique portant une électrode absorbante du côté de détection, tandis que la môme pellicule pyroélectrique porte une électrode réfléchissante du côté de compensation, que ce n'est le cas avec le détecteur d'infrarouge selon l'invention Toutefois, il est apparu que le bruit du dispositif selon l'invention diminuait
de moitié, ou même plus, par comparaison avec le détecteur d'infra-
rouge utilisant l'électrode absorbante du cbté de détection Puisque la sensibilité peut ôtre électriquement amplifiée quand le besoins'en fait sentir, si l'on amplifie les deux signaux de façon que les niveaux de bruit deviennent égaux, il est facile de comprendre que
le détecteur d'infrarouge selon l'invention correspond à une sensi-
bilité supérieure -
La raison pour laquelle le bruit du détecteur d'infra-
rouge selon l'invention utilisant l'électrode de transmission subit
une forte diminution par comparaison avec le bruit du détecteurd'in-
frarouge utilisant l'électrode absorbanteco mme électrode dans l'aire de travail pyroélectrique servant à la compensation n'a pas encore été clairement élucidé, mais on peut avancer la raison probable suivante De façon générale, l'électrode absorbant la lumière qui est faite de noir d'or, ou d'un matériau analogue, peut absorber
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avec sensibilité l'énergie correspondant aux variations de tempéra-
ture du milieu environnant, mais l'absorption d'énergie s'effectuant
par l'intermédiaire de l'électrode réfléchissante ou de transmis-
sion n'est pas aussi bonne, de sorte que l'on peut considérer que le bruit qui résulte de l'utilisation de l'électrode transmettant
la lumière et de la réalisation de la compensation par l'intermé-
diaire de l'électrode réfléchissante devient beaucoup plus petite.
De plus, la pellicule pyroélectrique à haut poids moléculaire est très mince par comparaison avec les matériaux pyroélectriques du
type céramique, et sa conductivité thermique n'est pas aussi bonne.
Le détecteur utilisant une pellicule pyroélectrique à haut poids moléculaire dotée de l'électrode absorbant la lumière fonctionne dans un état tel qu'une sensibilité relativement élevée, est obtenue à un niveau très supérieur On peut considérer que ces faits sont la cause de l'augmentation du bruit dans le cas de l'électrode
absorbant la lumière.
La description suivante, conçue à titre d'illustration
de l'invention, vise à donner une meilleure compréhension de ses caractéristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels:
la figure 1 est une vue en coupe du détecteur d'infra-
rouge selon l'invention; les figures 2 A et 2 B montrent respectivement une vue en plan et une vue en coupe d'un élément pyroélectrique utilisé selon l'invention; la figure 3 est un circuit amplificateur utilisant un transistor à effet de champ;
la figure 4 est une vue en plan montrant une modifi-
cation des aires de travail pyroélectriques de l'élément pyroélec-
trique;
la figure 5 est un schéma simplifié montrant la dis-
position de détecteurs d'infrarouge utilisés dans l'expérience de comparaison; et les figures 6 à 9 montrent des diagrammes de divers
signaux de bruit.
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En relation avec les figures 1, 2 A et 2 B, on voit qu'tn détecteur 1 d'infrarouge selon l'invention comprend un boitier 2, une fenêtre 4 transmettant la lumière qui est placée sur la face avant (le dessus sur la figure 1) du bottier 2 et comporte un filtre 3 fait d'un matériau transmettant le rayonnement infrarouge, comme le silicium, le germanium, le saphir, etc, par exemple, et
un élément pyroélectrique 6 disposé à l'arrière-du filtre et pos-
sédant, comme plaque de base, une pellicule 5 de polyfluorure de
vinylidène pyroélectrique Comme le montrent clairement les fi-
gures 2 A et 2 B, une électrode 7 transmettant la lumière, qui est faite d'une pellicule obtenue par pulvérisation cathodique de ITO, et une électrode 8 réfléchissant la lumière, qui est faite d'une
pellicule obtenue par dépôt d'aluminium, sont respectivement dis-
posées sur la face d'arrivée de la lumière (côté filtre) de l'élé-
ment pyroélectrique 6 Une électrode opposée commune 9, faite d'une pellicule obtenue par dépôt d'aluminium, est disposée sur la face arrière de la pellicule 5 Dans ce cas, la région dans laquelle la pellicule de ITO est disposée correspond à une aire de travail pyroélectrique 51 servant à la détection des signaux infrarouges,
et l'autre région dans laquelle la pellicule d'aluminium est dis-
posée, comme électrode de surface du côté incident, correspond à
une aire de travail pyroélectrique 52 destinée à la compensation.
L'électrode de transmission 7 et l'électrode réfléchissante 8 sont
connectées à un amplificateur 10 à transistor à effet de champ.
Une bague li est utilisée comme support à crémaillère pour les
éléments de pellicules pyroélectriques.
La figure 3 montre un circuit amplificateur comportant
le transistor à effet de champ L'électrode transparente 7 corres-
pondant au bloc de travail pyroélectrique S servant à la détection
est connectée à la grille du transistor à effet de champ par l'in-
termédiaire d'une borne Tl, et l'électrode réfléchissante 8 cor-
respondant au bloc de travail pyroélectrique 52 destiné à la com-
pensation est raccordée à la terre par l'intermédiaire d'une borne T 4 Par conséquent, la grille du transistor à effet de champ reçoit un signal par l'intermédiaire de la charge électrostatique produite sur l'aire de travail pyroélectrique 51 à laquelle charge
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a été soustraite la charge électrostatique produite sur l'aire de travail pyroélectrique 52 Le signal d'entrée appliqué à la grille
du transistor à effet de champ subit alors une conversion d'impé-
dance et est délivré à la borne de source T 2 comme courant de sortie La borne de drain T 3 du transistor à effet de champ est
connectée à une source d'alimentation électrique.
Dans l'exemple donné ci-dessus, il a été indiqué que
les aires de travail pyroélectri 4 ues S et S utilisés respective-
pyrolecriqes 1 2 ment pour la détection et la compensation devaient être disposées
sur une feuille d'une pellicule pyroélectrique à haut poids molé-
culaire, mais qu'elles pouvaient être disposées séparément sur des pelliculespyroélectriques à haut poids moléculaire distinctes en
juxtaposition mutuelle à l'intérieur de l'aired'incidence du filtre.
-En tout cas, il est préférable que les aires 51 et 52 soient dans
un même plan parallèle à la fenêtre d'incidence et soient symétri-
quement disposées vis-à-vis de l'intersection de ce plan avec la ligne centrale de la fenêtre d'incidence Il est également possible
que les aires 51 et 52 soient formées sur une même surface péri-
phérique et qu'elles puissent avoir des tailles respectivement dif-
férentes.
Dans le cas o les deux aires de travail pyroélectriques sont disposées sur une unique feuille de pellicule, l'électrode de transmission 7 et l'électrode réfléchissante 8 peuvent être conçues sous forme de peigneset combinées de la manière présentée sur la figure 4 Dans ce cas> puisque la lumière arrivant sur les
deux aires de travail pyroélectriques est plus uniformément répar-
tie, on peut espérer une plus forte réduction du bruit.
En outre, il faut comprendre que les aires de travail pyroélectriques servant à la détection et à la compensation ne sont pas nécessairement limitées à une seule aire, mais chaque
aire peut être constituée de plus de deux aires.
Les électrodes 7 et 8 associées aux aires de travail
pyroélectriques 51 et 52 possédant une même sensibilité pyroélec-
trique sont en général d'une même dimension Toutefois, dans le cas o la sensibilité pyroélectrique diffère de l'une à l'autre,
on peut choisir de manière appropriée le rapport des dimensions -
de 51 et 52 en relation avec la sensibilité pyroélectrique des
aires de travail pyroélectriques.
Dans le circuit de la figure 3, il est montré que les
électrodes des deux aires de travail pyrodlectriques sont directe-
ment couplées au transistor à effet de champ de façon que les charges électrostatiques produites se soustraient, mais il est également possible d'utiliser un circuit de compensation approprié
qui effectue une compensation sur les signaux électriques recueil-
lis distinctement de la part des électrodes 51 et 52 à l'aide d'un
amplificateur différentiel.
Alors que, ci-après, vont ttre présentés plusieurs exemples du détecteur d'infrarouge selon l'invention, ainsi que des résultats de comparaison avec d'autres détecteurs d'infrarouge classiques, on note que, dans l'exemple illustré, la pellicule pyroélectrique du cas de l'exemple (A) selon l'invention est une pellicule pyroélectrique obtenue par polarisation d'une pellicule de fluorure de vinylidène identique ayant le même diamètre et la même épaisseur ainsi qu'une sensibilité pyroélectrique presque identique. Exemle On a produit, selon les spécifications suivantes, le détecteur d'infrarouge pyroélectrique (A) relatif à l'invention de façon qu'il présente une structure identique à celle montrée sur les figures 1 à 3 Le bottier a un diamètre externe de 8 mm et une hauteur de 6 mm et comporte, comme fenêtre d'incidence, un
filtre au silicium mesurant 5 mm de diamètre et 0,5 mm d'épais-
seur On met en place, avec un jeu de 0,5 mm par rapport au filtre, une paire d'éléments pyroélectriques constitués de polyfluorure
de vinylidène pyroélectrique d'un diamètre de 6 mm et d'une épais-
seur de 6 pm On dispose sur la pellicule pyroélectrique, comme électrode de surface de transmission, une pellicule obtenue par O pulvérisation cathodique de ITO, d'une épaisseur de 500 A, et on fixe, de part et d'autre de la pellicule pyroélectrique, pour servir d'électrode de surface réfléchissante et d'électrode commune postérieure opposée, des couches d'une épaisseur de 1000 A obtenues par dépôt d'aluminium De façon plus détaillée, les deux électrodes
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de surface sont formées de façon que la périphérie externe de chacune d'elles coïncide avec la circonférence d'un cercle de
4 mm de diamètre Chaque électrode présente la forme d'une demi-
lune, et il existe, au niveau de la partie centrale, un jeu de 0,7 mm entre elles L'électrode commune de la face postérieure est formée de façon à coïncider avec les électrodes de surface
sur un cercle de 4 mm de diamètre.
On prépare, à titre de comparaison avec le détecteur d'infrarouge (A) selon l'invention, les détecteurs d'infrarouge
suivants désignés par (B), (C), (D) et (E).
(B) Il s'agit d'un détecteur d'infrarouge dans lequel il
est utilisé un élément pyroélectrique possédant une aire de tra-
vail pyroélectrique destinée à la détection, comprenant une pel-
licule circulaire de ITO d'un diamètre de 2,5 mm et d'une épais-
o seur-de 500 A disposée sur la partie centrale d'une pellicule de polyfluorure de vinylidène pyroélectrique identique A celle de (A),
et une couche d'aluminium présentant le m Sme diamètre et une épais-
o seur de 1000 A disposée sur sa face postérieure, mais ne possédant
pas d'aire de travail pyroélectrique servant à la compensation.
De façon plus détaillée, il s'agit d'un détecteur d'infrarouge exactement identique à (A) à l'exception du fait que 52 est omis
du schéma du circuit de la figure 3 et que l'électrode 8 est directe-
ment couplée à la borne 4.
(C) Il s'agit d'un détecteur d'infrarouge identique au
détecteur (A), à l'exception de ce qui suit Un élément pyroélec-
trique de détection et un élément pyroélectrique de compensation
sont respectivement placés de part et d'autre d'une bague d'écarte-
ment, comme en montre la figure 2 B L'élément pyroélectrique de
détection possède une pellicule de ITO identique à celle du détec-
teur d'infrarouge (B) et est monté sur le dessus de la bague L'élé-
ment pyroélectrique de compensation est monté sur le fond de la bague et possède la même structure d'électrode que le détecteur (B), et son électrode d'aluminium disposée sur une même pellicule de polyfluorure de vinylidène pyroélectrique que dans le détecteur (A) est placée sur le côté de la bague L'électrode du côté de la bague appartenant à l'élément étalé sur la surface de la bague (c Oté filtre) et l'électrode du coté de la bague appartenant à l'autre
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élément étalé sur la surface postérieure de la bague sont électri-
quement couplées au travers de la bague, et l'électrode située le
plus loin du filtre est connectée à la borne de terre T 4.
(D) Il s'agit d'un détecteur d'infrarouge identique au détecteur (A), à l'exception du fait qu'il possède une aire de travail pyroélectrique absorbant la lumière qui est constituée au moyen d'une pellicule de 500 A obtenue par dépôt d'aluminium, pour servir de couche de terre, à la place de la pellicule en ITO transmettant la lumière de l'élément utilisé dans le détecteur (A),
la pellicule d'aluminium portant une pellicule de noir d'or d'envi-
ron 10 microns obtenue par un processus de dépôt.
(E) Il s'agit de détecteurs d'infrarouge pyroëlectriques
disponibles dans le commerce et présentant les particularités sui-
vantes (ii, iii et iv sont donnés d'après les catalogues).
i) bottier presque le même que celui de l'invention ii) filtre plaque de silicium iii) base pyroélectrique Li Ta O 2,50 pm iv) diamètre d'électrode 2,5 mm v) aire de travail pyroélectrique de compensation non prévue. On a réalisé l'expérience de comparaison des signaux de bruit en plaçant côte à côte le détecteur d'infrarouge (A) et l'un des détecteurs d'infrarouge (B) à (D) en avant d'un mur blanc ( 101) d'un laboratoire non vide, avec une distance de 1 m entre eux,
comme le montre la figure 5 Le capteur (A) et un détecteur de com-
paraison sont respectivement représentés par les numéros de réfé-
rence 102 et 103, et ils sont ainsi placés que leurs surfaces de
filtresent parallèle la surface du mur et raccordées à un dis-
positif d'enregistrement 106 à prises par l'intermédiaire respectif d'amplificateurs 104 et 105 Les variations des courants des signaux venant des capteurs respectifs sont enregistrées sous forme de
variations de tension sur un diagramme 107 en fonction du temps.
Les figures 6, 7, 8 et 9 montrent des graphes de compa-
raison pour les signaux de bruit obtenus respectivement en prove-
nance des détecteurs (A)-(B), (A)-(C), (A)-(D) et (A)-(E), après ajustement des amplificateurs permettant l'obtention d'une même
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sensibilité pour les deux détecteurs En résultat, on admettra que le détecteur (A) possède un niveau de bruit plus petit d'environ deux chiffres par comparaison avec les détecteurs de comparaison (B), (C) et (E), et il possède un signal de bruit valant moins d'un quart, même par comparaison avec un détecteur tel que le détecteur (D) dans lequel l'électrode de l'aire de travail pyroélectrique destinée à la compensation est faite en noir d'or Au cours de l'opération suivante, on a mesuré la sensibilité des détecteurs d'infrarouge (A)
à (E) Comme source de rayons infrarouges, on a utilisé un disposi-
tif (IRTS-20), fabriqué par la société Japan Sensor Corporation, que l'on a placé devant le détecteur, la température de la source lumineuse étant fixée à 5000 K On a placé devant le détecteur un
découpeur présentant un cycle de découpage de 20 Hz On a repré-
senté la sensibilité de chaque détecteur sous forme d'une courbe de tension au moyen d'un analyseur d'ondes " 3581 A" de la société
HEWLETT PACKARD.
En résultat de ces mesures, il a été trouvé un rapport des sensibilités (pour une sensibilité du détecteur (A) prisé égale à 1) de 1,1, 0,9, 1,5 et 1,4 pour les détecteurs de comparaison (B),
(C), (D) et (E) respectivement.
Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer,
à partir du détecteur dont la description vient être donnée à titre
simplement illustratif et nullement limitatif, diverses variantes
et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention.
Claims (10)
1 Détecteur d'infrarouge pyroélectrique comprenant un élément de réception de lumière qui consiste de plusieurs aires de travail pyroélectriques possédant des électrodes disposées sur
les deux faces d'une pellicule pyroélectrique à haut poids molé-
culaire, ledit élément étant placé à l'intérieur d'un boîtier ( 2)
qui comporte une fenêtre d'incidence ( 4) pour les rayons infra-
rouges, au moins l'une desdites aires de travail pyroélectriques étant utilisée comme aire de travail pyroélectrique située sur
le passage de rayons infrarouges entrant par ladite fenêtre d'inci-
dence, et la charge électrostatique produite sur ladite aire de
travail pyroélectrique quisert à la détection des signaux infra-
rouges subissant une compensation au moyen de la charge électro-
statique produite sur au moins l'une des autres aires de travail
pyroélectriques, le détecteur étant caractérisé en ce que l'élec-
trode ( 7) se trouvant sur le côté de surface d'incidence de lumière de ladite aire de travail pyroélectrique ( 51) servant à la détection des signaux infrarouges est constituée d'une pellicule conductrice
transmettant la lumière, l'aire de travail pyroélectrique ( 52) ser-
vant à la compensation parmi les aires de travail pyroélectriques servant à la détection des signaux infrarouges est disposée de
manière analogue dans le passage des rayons infrarouges, et l'6 lec-
trode ( 8) du côté de surface d'incidence de lumière est constituée
d'une pellicule conductrice réfléchissant la lumière.
2 Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite aire de travail pyroélectrique ( 51) servant à la détection
des signaux infrarouges qui possède ladite électrode ( 7) de trans-
mission de lumière et ladite aire de travail pyroélectrique ( 52)
servant à la compensation et possédant ladite électrode ( 8) réflé-
chissant la lumière sont disposées dans un même plan parallèle à ladite fenêtre ( 4) d'incidence de lumière et de manière symétrique par rapport à l'intersection de la ligne centrale de la fenêtre
avec ledit plan.
3 Détecteur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite aire de travail pyroélectrique ( 51) servant à la détection des rayons infrarouges qui possède ladite électrode ( 7)
158 1 8
transmettant la lumière et ladite aire de travail pyroélectrique ( 52)
servant à la compensation qui possède ladite électrode ( 8) réflé-
chissant la lumière sont disposées sur une feuille d'une pellicule
pyroélectrique ( 5) à haut poids moléculaire.
4 Détecteur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite aire de travail pyroélectrique ( 51) servant à la détection des signaux infrarouges qui possède ladite électrode ( 7) transmettant la lumière et ladite aire de travail pyroélectrique ( 52)
servant à la compensation qui possède ladite électrode ( 8) réflé-
chissant la lumière sont disposées sur des pellicules pyroélec-
triques à haut poids moléculaire différentes l'une de l'autre.
Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite électrode ( 7) transmettant la lumière est faite d'une pellicule transparente de céramique conductrice, telle que, par exemple, oxyde d'indium-oxyde d'étain, ou oxyde d'étain (plus oxyde d'antimoine), ou d'une pellicule métallique mince semi-transparente,
d'un matériau tel que or, platine, argent, nickel, chrome, aluminium-
et cuivre.
6 Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'électrode ( 8) réfléchissant la lumière est faite d'un métal blanc tel que aluminium, étain, nickel, chrome, antimoine ou fer possédant une épaisseur suffisante pour ne pas transmettre de lumière.
7 Détecteur selon les revendications 3 et 4, caractérisé
en ce que ladite pellicule pyroélectrique ( 5) à haut poids molécu-
laire est faite d'un polyfluorure de vinylidène ou d'une substance à haut poids moléculaire pyroélectrique telle qu'un polymère ou copolymère comprenant essentiellement le fluorure de vinyle, le
trichloroéthylène ou les autres monomères polaires.
8 Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite aire de détection ( 51) et ladite aire de compensation (S)
sont électriquement connectées de manière que les charges électro-
statiques détectées se soustraient l'une de l'autre.
9 Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce
que les deux électrodes ( 7, 8) sont en forme de peigne.
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Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce
que ladite électrode ( 7) transmettant la lumière et ladite élec-
trode ( 8) réfléchissant la lumière sont respectivement en forme de demilune et sont disposées de façon que leurs quartiers soient en regard l'un de l'autre.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56177743A JPS5879122A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 焦電性赤外線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2515818A1 true FR2515818A1 (fr) | 1983-05-06 |
| FR2515818B1 FR2515818B1 (fr) | 1986-04-25 |
Family
ID=16036339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8218623A Expired FR2515818B1 (fr) | 1981-11-05 | 1982-11-05 | Detecteur d'infrarouge pyroelectrique |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4792682A (fr) |
| JP (1) | JPS5879122A (fr) |
| DE (1) | DE3240920A1 (fr) |
| FR (1) | FR2515818B1 (fr) |
| GB (1) | GB2112567B (fr) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0196188A2 (fr) * | 1985-03-23 | 1986-10-01 | Gec-Marconi Limited | Détecteurs pyroélectriques |
| DE3713642A1 (de) * | 1987-04-23 | 1988-11-17 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Infrarot-pyrodetektorsystem, geeignet zur temperaturmessung von koerpern |
| EP0338639A2 (fr) * | 1988-04-22 | 1989-10-25 | Gec-Marconi Limited | Détecteurs de radiation thermique à compensation de température |
| WO2014120338A1 (fr) * | 2012-12-28 | 2014-08-07 | Illinois Tool Works Inc. | Capteur ir possédant une surface spécifique accrue |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2197753B (en) * | 1986-11-12 | 1990-01-24 | Philips Electronic Associated | Infrared radiation detection device |
| FR2639784B1 (fr) * | 1988-11-29 | 1991-01-11 | Commissariat Energie Atomique | Structure monolithique de detection ou d'imagerie infrarouge et son procede de fabrication |
| JPH0356831A (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-12 | Fujitsu Ltd | 冷却型赤外線検知装置 |
| AU631734B2 (en) * | 1990-04-18 | 1992-12-03 | Terumo Kabushiki Kaisha | Infrared ray sensor and method of manufacturing the same |
| AU642607B2 (en) * | 1990-04-18 | 1993-10-21 | Terumo Kabushiki Kaisha | Infrared ray sensor and method of manufacturing the same |
| US6002792A (en) * | 1993-11-16 | 1999-12-14 | Hamamatsu Photonics Kk | Semiconductor device inspection system |
| US5473461A (en) * | 1994-08-26 | 1995-12-05 | Interactive Light, Inc. | Wide dynamic range optical receiver |
| US6361825B1 (en) * | 1995-06-07 | 2002-03-26 | Texas Instruments Incorporated | Micro-bolometer cell structure |
| US6630671B2 (en) | 1997-01-31 | 2003-10-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Domain engineered ferroelectric optical radiation detector having multiple domain regions for acoustic dampening |
| US6114698A (en) * | 1997-01-31 | 2000-09-05 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Domain engineered ferroelectric optical radiation detector |
| GB0225396D0 (en) * | 2002-10-31 | 2002-12-11 | Shimadzu Res Lab Europe Ltd | A device for reflecting and detecting electromagnetic radiation |
| AT500829B1 (de) * | 2004-10-07 | 2007-03-15 | Piezocryst Ges Fuer Piezoelek | Sensorelement mit zumindest einem messelement, welches piezoelektrische und pyroelektrische eigenschaften aufweist |
| US20060163482A1 (en) * | 2004-12-28 | 2006-07-27 | Mantese Joseph V | Pyroelectric sensor and method for determining a temperature of a portion of a scene utilizing the pyroelectric sensor |
| DE102006057972B4 (de) * | 2006-12-04 | 2010-01-28 | Technische Universität Dresden | Richtungsempfindlicher pyroelektrischer Infrarotsensor mit kammförmiger Elektrodenstruktur |
| DE102006057973B4 (de) * | 2006-12-04 | 2010-08-26 | Technische Universität Dresden | Richtungsempfindlicher pyroelektrischer Infrarotsensor mit zackenförmiger Elektrodenstruktur |
| DE102006057974B4 (de) * | 2006-12-04 | 2010-03-04 | Technische Universität Dresden | Richtungsempfindlicher pyroelektrischer Infrarotsensor mit sichelförmiger Elektrodenstruktur |
| JP6007477B2 (ja) * | 2011-10-31 | 2016-10-12 | セイコーエプソン株式会社 | 焦電型光検出器、焦電型光検出装置および電子機器 |
| CN103133964A (zh) * | 2011-11-29 | 2013-06-05 | 株式会社小糸制作所 | 车辆用照明灯具 |
| US9797779B2 (en) | 2013-12-05 | 2017-10-24 | National University Of Singapore | Pyroelectric detector using graphene electrode |
| KR102217495B1 (ko) * | 2014-07-08 | 2021-02-18 | 내셔널 유니버시티 오브 싱가포르 | 그래핀-초전성 물질을 이용한 인간-기계 인터페이스 |
| US9500585B2 (en) | 2014-10-16 | 2016-11-22 | Spectro Scientific, Inc. | Photometer and method for compensating for ambient temperature changes in a photometer |
| DE102015223362A1 (de) * | 2015-11-25 | 2017-06-01 | Minimax Gmbh & Co. Kg | Explosionsgeschütztes Gehäuse für Mittel zum Senden und Empfangen elektromagnetischer Strahlung |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3453432A (en) * | 1966-06-23 | 1969-07-01 | Barnes Eng Co | Pyroelectric radiation detector providing compensation for environmental temperature changes |
| FR2501369A1 (fr) * | 1981-03-04 | 1982-09-10 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | Detecteur photo-electrique |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3581092A (en) * | 1969-04-09 | 1971-05-25 | Barnes Eng Co | Pyroelectric detector array |
| US3842276A (en) * | 1973-06-15 | 1974-10-15 | Rca Corp | Thermal radiation detector |
| GB1377891A (en) * | 1973-09-19 | 1974-12-18 | Marconi Co Ltd | Heat sensitive devices |
| US3877308A (en) * | 1974-01-02 | 1975-04-15 | Minnesota Mining & Mfg | Pyroelectric temperature compensated sensing apparatus |
| US4060729A (en) * | 1976-12-10 | 1977-11-29 | Martin Marietta Corporation | Pyroelectric detector with decreased susceptibility to vibrational noise |
| US4225786A (en) * | 1978-09-15 | 1980-09-30 | Detection Systems, Inc. | Infrared detection system |
| DE3028252A1 (de) * | 1979-07-27 | 1982-03-04 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verbesserung eines pyrodetektors |
| JPS56132533A (en) * | 1980-03-21 | 1981-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pyroelectric type infrared detector |
| US4384207A (en) * | 1981-01-23 | 1983-05-17 | Eltec Instruments, Inc. | Differential pyroelectric detector |
| JPS5928629A (ja) * | 1982-08-10 | 1984-02-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 焦電型赤外線検出器の製造方法 |
| US4514631A (en) * | 1982-12-30 | 1985-04-30 | American District Telegraph Company | Optical system for ceiling mounted passive infrared sensor |
-
1981
- 1981-11-05 JP JP56177743A patent/JPS5879122A/ja active Granted
-
1982
- 1982-11-05 GB GB08231740A patent/GB2112567B/en not_active Expired
- 1982-11-05 FR FR8218623A patent/FR2515818B1/fr not_active Expired
- 1982-11-05 DE DE19823240920 patent/DE3240920A1/de active Granted
-
1986
- 1986-07-21 US US06/888,681 patent/US4792682A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3453432A (en) * | 1966-06-23 | 1969-07-01 | Barnes Eng Co | Pyroelectric radiation detector providing compensation for environmental temperature changes |
| FR2501369A1 (fr) * | 1981-03-04 | 1982-09-10 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | Detecteur photo-electrique |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| PATENTS ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 6, no. 34 (P-104) (912), 2 mars 1982 * |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0196188A2 (fr) * | 1985-03-23 | 1986-10-01 | Gec-Marconi Limited | Détecteurs pyroélectriques |
| EP0196188A3 (fr) * | 1985-03-23 | 1988-08-03 | Gec-Marconi Limited | Détecteurs pyroélectriques |
| DE3713642A1 (de) * | 1987-04-23 | 1988-11-17 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Infrarot-pyrodetektorsystem, geeignet zur temperaturmessung von koerpern |
| EP0338639A2 (fr) * | 1988-04-22 | 1989-10-25 | Gec-Marconi Limited | Détecteurs de radiation thermique à compensation de température |
| EP0338639A3 (fr) * | 1988-04-22 | 1991-07-03 | Gec-Marconi Limited | Détecteurs de radiation thermique à compensation de température |
| WO2014120338A1 (fr) * | 2012-12-28 | 2014-08-07 | Illinois Tool Works Inc. | Capteur ir possédant une surface spécifique accrue |
| US9939323B2 (en) | 2012-12-28 | 2018-04-10 | Illinois Tool Works Inc. | IR sensor with increased surface area |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| GB2112567B (en) | 1985-08-29 |
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| DE3240920C2 (fr) | 1990-03-22 |
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| GB2112567A (en) | 1983-07-20 |
| JPS6226693B2 (fr) | 1987-06-10 |
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