DE102006057973B4 - Richtungsempfindlicher pyroelektrischer Infrarotsensor mit zackenförmiger Elektrodenstruktur - Google Patents

Richtungsempfindlicher pyroelektrischer Infrarotsensor mit zackenförmiger Elektrodenstruktur Download PDF

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Abstract

Pyroelektrischer Infrarotsensor insbesondere für die Anwendung in einem Bewegungsmelder mit der Fähigkeit zur Erkennung der Bewegungsrichtung einer sich bewegenden Wärmequelle, bestehend aus einem pyroelektrischen Chip (10) und einem rauscharmen Vorverstärker, die in einem Detektorgehäuse mit infrarotdurchlässigem Fenster und drei Anschlusspins (11) untergebracht sind, wobei der pyroelektrische Chip (10) aus einem Pyroelektrikum mit einer Dicke von maximal 50 μm und beidseitig aufgebrachten, annähernd deckungsgleichen Elektroden (1, 2) besteht und das Chipvolumen zwischen den sich überlappenden Elektrodenflächen dabei das strahlungsempfindliche Sensorelement bildet, wobei die sich überlappenden Elektroden (1, 2) auf der Chipoberfläche eine zackenförmige Struktur aufweisen und vorwiegend zwei Zacken ausgebildet sind, die über einen schmalen Steg miteinander verbunden sind, und dabei mindestens zwei dieser zackenförmigen Sensorelemente vorhanden sind, die so angeordnet sind, dass deren Zacken wie die Zähne zweier im Eingriff befindlicher Zahnräder ineinander greifen, sich aber nicht berühren.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen pyroelektrischen Infrarotsensor insbesondere für die Anwendung in Bewegungsmeldern mit einem pyroelektrischen Chip mit einer Dicke von maximal 50 μm und beidseitig aufgebrachten Elektroden, wobei die sich überlappenden Elektrodenflächen die strahlungsempfindliche Fläche bilden. Des Weiteren sind die sich überlappenden Elektrodenflächen auf Oberseite und Unterseite des Chips zackenförmig ausgebildet. Die Signale der verschalteten und erfindungsgemäß gestalteten Elektrodensysteme werden durch rauscharme Vorverstärker verarbeitet, die in einem Detektorgehäuse mit infrarotdurchlässigem Fenster und drei Anschlusspins angeordnet sind.
  • Pyroelektrische Infrarotsensoren werden schon seit über 30 Jahren in Passiv-Infrarot-Bewegungsmeldern eingesetzt. Solche Bewegungsmelder sind beispielsweise aus dem Fachbuch „Passiv-Infrarot-Bewegungsmelder”, Verlag Moderne Industrie, Landsberg/Lech, 1996 bekannt. Die Hauptanwendungsgebiete dieser Melder liegen insbesondere im Bereich der Gebäudeautomatisierung und der Sicherheitstechnik, wobei sie für einfache Schaltaufgaben in sehr großer Stückzahl eingesetzt werden. Die Bezeichnung passiv rührt daher, dass diese Melder keinerlei Strahlung emittieren. Stattdessen reagieren sie auf bewegte Wärmequellen in einem definierten Erfassungsbereich. Dabei wird die von der Wärmequelle ausgehende Infrarotstrahlung über spezielle Linsen und/oder Spiegel auf einen oder mehrere Infrarotsensoren gelenkt und in ein elektrisches Signal umgewandelt, das dann in einer entsprechenden Auswerteelektronik verarbeitet wird. Der pyroelektrische Infrarotsensor bildet dabei das Herzstück und zugleich auch die anspruchvollste Komponente eines jeden passiv infraroten Systems und besteht im Wesentlichen aus dem pyroelektrischen Chip mit einem oder mehreren, strahlungsempfindlichen Sensorelementen und einer ersten rauscharmen Signalverarbeitungseinheit (Vorverstärker), die in einem geeigneten Detektorgehäuse mit infrarotdurchlässigem Fenster untergebracht sind.
  • Bekannt sind Dual- oder Zweielementsensoren, wobei sich die Verwendung von Lithiumtantalat als pyroelektrisches Material zur führenden Technologie entwickelt hat. Diese Dualelementsensoren besitzen einen pyroelektrischen Chip mit zwei geometrisch und elektrisch nahezu identischen Sensorelementen. Dabei erfolgt durch Reihen- oder Parallelschaltung der beiden Sensorelemente eine Kompensation gegenüber Umgebungstemperatureinflüssen und Störstrahlungen (Gleichtaktunterdrückung), weshalb auch nur ein Vorverstärker sowie ein Gehäuse mit drei Anschlusspins benötigt werden. Ein Beispiel derartiger Dualelementsensoren sind etwa die Typen LHi 954/958 von PerkinElmer. Diese bekannte Sensorgeometrie ist in einer Draufsicht in 1A dargestellt. Der als Quadrat symbolisierte pyroelektrische Chip 10 des Detektors definiert die Erfassungsebene, in der die beiden gegenpolig verschalteten Sensorelemente 1, 2 angeordnet sind. 1B zeigt die entsprechende Eingangsschaltung eines solchen Sensors. Die beiden Sensorelemente 1, 2 können dabei entweder, wie in der 1B dargestellt, in Reihe oder aber parallel zueinander mit dem Hochohmwiderstand 12 und dem Feldeffekttransistor 13 verbunden werden und bilden somit einen Signalkanal, der über einen Anschlusspin 11 des Gehäuses nach außen geführt wird. Das Sensorsignal kann damit einer an die Pins des Sensors anschließbaren Auswerteelektronik zugeführt werden. Diese Sensorgeometrie eignet sich insbesondere für Bewegungsmelder für die Wandmontage, durch deren Optik die Sensorelemente vertikal in den Raum projiziert werden und an dem sich die Erfassungsobjekte tangential vorbei bewegen. Dabei wird die Wärmestrahlung des Erfassungsobjekts über die Optik des Bewegungsmelders auf den pyroelektrischen Chip abgebildet, wobei diese zeitlich nacheinander auf die beiden strahlungsempfindlichen Sensorelemente trifft. Durch die unterschiedliche Polarität der beiden Sensorelemente lassen sich damit die horizontalen Bewegungsrichtungen 0° und 180° unterscheiden, wohingegen bei den vertikalen Bewegungsrichtungen 90° und 270° keine bzw. nur unzureichende Signale erzeugt werden, die zudem keine Richtungsabhängigkeit aufweisen.
  • Des Weiteren sind Vierelementsensoren (quad element) bekannt. Diese besitzen vier strahlungsempfindliche Sensorelemente in Form eines Quadrats oder Rechtecks, die quadrantenförmig angeordnet sind. Dadurch wird eine höhere räumliche Auflösung erreicht. Ein Beispiel derartiger Vierelementsensoren sind etwa die Typen LHi 1128/1148 von PerkinElmer. Diese Sensorgeometrien sind in einer Draufsicht in den 2 und 3 dargestellt. Der als Quadrat symbolisierte pyroelektrische Chip 10 des Detektors definiert dabei die Erfassungsebene, in der die vier Sensorelemente 1, 2, 3, 4 angeordnet sind. Werden diese vier Sensorelemente alle gegenpolig miteinander auf einen Ausgang verschalten (vgl. 4), dann werden zwar nur ein Vorverstärker und ein Gehäuse mit drei Anschlusspins benötigt, jedoch können damit keine zusätzlichen Informationen über die Bewegungsrichtung gewonnen werden. Anders ist das bei einer Verschaltung als sog. Doppel-Dualsensor (siehe 5). Bei der in DE 19607608 A1 beschriebenen Ausführung kommt ein Doppel-Dualsensor zum Einsatz, der ein vertikales Dualelement und ein horizontales Dualelement besitzt, wobei das vertikale Dualelement zur Erfassung radialer Bewegungen und das horizontale Dualelement zur Erfassung tangentialer Bewegungen ausgebildet sind und somit einen Vertikalkanal und einen Horizontalkanal bilden. Mit einer derartigen Sensorgeometrie ist es möglich, mehrere Bewegungsrichtungen zu unterscheiden. Ähnliche Ergebnisse werden mit der in US 5432350 beschriebenen Struktur erzielt. Hierbei werden vier L-förmige, gekrümmte Sensorelementgeometrien definiert, die punktsymmetrisch um den Mittelpunkt der Erfassungsebene angeordnet sind. Mit der beschriebenen Ausführung als Doppel-Dualsensor können Objektbewegungen aus jeder Richtung detektiert und einer der vier Hauptbewegungsrichtungen zugeordnet werden.
  • Die SU 1827552 A1 beschreibt einen koordinatenempfindlichen pyroelektrischen Strahlungswandler zur Anwendung als Positionssensor, dessen Ausgangsparameter eine Abhängigkeit von der Lage der auf den Wandler einfallenden Strahlung aufweist. Dieser besitzt vier elektrisch voneinander isolierte Elektroden, die jeweils paarweise auf den gegenüberliegenden Flächen der pyroelektrischen Platte angeordnet sind. Jede der Elektroden ist in der Form eines Kamms, wobei sich die geometrischen Füllkoeffizienten entlang der X- und Y-Achse ändern. Die elektrische Verschaltung entspricht der eines Doppel-Dualsensors, d. h. es gibt zwei Signalausgänge. Der entscheidende Nachteil einer Ausführung als Doppel-Dualsensor besteht darin, dass hierbei zwei Vorverstärker sowie ein Gehäuse mit vier Anschlusspins benötigt werden. Dadurch sind die Herstellungskosten für einen solchen Infrarotdetektor wesentlich höher gegenüber einem einfachen Dualelementsensor mit nur drei Anschlusspins. Darüber hinaus wird für jeden Signalkanal eine eigene Verstärker- und Filtereinheit benötigt.
  • Die DE 3240920 C2 beschreibt einen pyroelektrischen Infrarotstrahlungsdetektor auf der Basis eines Polymers oder Mischpolymers mit einer angepassten Kompensationsmethode, die Störungen, insbesondere in Form von Temperaturdriften, verringern soll. Dazu sind zwei Bereiche symmetrisch zu einer Mittellinie des pyroelektrischen Elements ausgebildet, ein Detektionsbereich S1 und ein Kompensationsbereich S2. Dabei ist die Elektrode auf der Vorderseite des Detektionsbereiches strahlungsdurchlässig und die des Kompensationsbereiches strahlungsreflektierend. Des Weiteren ist eine gemeinsame Elektrode auf der Rückseite vorgesehen. Durch die Ausgestaltung der Frontelektroden als Kammform wird eine Störungsherabsetzung erreicht, da die auf diese beiden Bereiche auftreffende Infrarotstrahlung gleichförmiger verteilt ist. Eine Detektion der Bewegungsrichtung ist mit diesem Infrarotsensor allerdings nicht möglich.
  • Das Gleiche betrifft den in GB 1377891 beschriebenen Infrarotdetektor, der auf der Vorderseite des pyroelektrischen Films zwei kammförmige, interdigital angeordnete Elektroden besitzt. Auf der Rückseite des pyroelektrischen Films sind keine Elektroden ausgebildet. Als Pyroelektrikum wird ein Polymer verwendet, das durch Anlegen einer hohen Spannung an die beiden Elektroden polarisiert wird. Durch die kammförmige Ausgestaltung der Elektroden wird eine Polarisation an der Oberfläche des pyroelektrischen Films entlang einer ausgewählten Richtung möglich. Die Polarisationsrichtung entspricht dann nicht mehr der Dickenrichtung des Pyroelektrikums, weshalb auf eine Reduzierung der Dicke des pyroelektrischen Materials und die damit verbundenen Nachteile, wie mechanische Instabilität, verzichtet werden kann.
  • Ähnliches beschreibt die DE 19739477 B4 , wobei hier noch zusätzlich eine ganzflächige Elektrode auf der Rückseite des pyroelektrischen Films aufgebracht und auf Masse gelegt wird, um die Dipolkonzentration zwischen den räumlich interdigital angeordneten Fingern zu verbessern. Zusätzlich nimmt der Elektrodenabstand intervallmäßig in einer spezifizierten Richtung sukzessive zu, wodurch das Zeitverhalten des Sensorsignals bei Bewegung in genau dieser Richtung beeinflusst wird. Damit lassen sich zwei Bewegungsrichtungen unterscheiden. Die zusätzlich erwähnten 3D-Sensorstrukturen sollen eine multidirektionale Erfassung ermöglichen und die exakte Bewegungsrichtung eines Objektes detektieren können. Dazu ist aber eine Vielzahl von Sensorelementen notwendig, wodurch Komplexität und Herstellungskosten stark ansteigen.
  • Bisher besitzen nur Mehrelementsensoren sowie Zeilen- und Matrixsensorarrays mit mindestens vier oder mehr strahlungsempfindlichen Sensorelementen, bei denen das Signal eines jeden Sensorelements getrennt ausgewertet werden kann, eine ausreichend hohe räumliche Auflösung, um beliebige Bewegungsrichtungen eines Objekts zu erkennen.
  • So wird z. B. in US 4914298 eine Detektoranordnung mit vier strahlungsempfindlichen Sensorelementen (in Quadrantenanordnung) beschrieben, wobei für jedes Sensorelement ein eigener Vorverstärker im Gehäuse integriert ist und die vier resultierenden Sensorsignale einer an das Gehäuse anschließbaren Auswerteelektronik zugeführt werden. Derartige Detektorvorrichtungen benötigen aber spezielle Sensorgehäuse, da für jedes Sensorelement ein eigener Vorverstärker im Gehäuse untergebracht, sowie jedes einzelne Signal über einen entsprechenden Anschlusspin nach außen geführt werden muss. Dadurch steigen Aufwand und Herstellungskosten enorm an.
  • Handelsübliche Passiv-Infrarot-Bewegungsmelder mit Zweielementsensoren nach dem Stand der Technik, die nur einen Vorverstärker sowie ein Gehäuse mit drei Anschlusspins aufweisen, können im Wesentlichen nur die Anwesenheit eines bewegten Objekts in ihrem Erfassungsbereich feststellen. Für zahlreiche Applikationen sind aber zunehmend Aussagen zur Bewegungsrichtung gefordert.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kostengünstigen pyroelektrischen Infrarotdetektor mit drei Anschlusspins bereitzustellen, der die Fähigkeit hat, wenigstens zwischen den, in 8 dargestellten, vier ausgewählten Bewegungsrichtungen 0°, 90°, 180°, 270° zu unterscheiden. Speziell für Bewegungsmelder der Deckenmontage ist es wünschenswert, noch weitere Bewegungsrichtungen 45°, 135°, 225°, 315° zu erkennen. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einem gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs ausgebildeten Infrarotdetektor gelöst.
  • Die Aufgabenstellung wird derart umgesetzt indem das Elektrodensystem des pyroelektrischen Infrarotdetektors so ausgebildet ist, dass beim Einsatz im Bewegungsmelder ein richtungsabhängiges Zeitverhalten des Sensorausgangssignals hervorgerufen wird. Entscheidend ist dabei, dass nur ein Vorverstärker sowie ein Standardgehäuse mit drei Anschlusspins verwendet werden und dadurch die Herstellungskosten für einen solchen Detektor vergleichsweise niedrig sind. Des Weiteren wird für die Auswerteelektronik auch nur eine Verstärker- und Filtereinheit benötigt, da lediglich ein Signalkanal vorhanden ist.
  • Der Aufbau und die Eingangsschaltung des pyroelektrischen Infrarotsensors gemäß der vorliegenden Erfindung entsprechen dem eines Standard-Dualelementsensors. Dies umfasst einen pyroelektrischen Chip mit beidseitig aufgebrachten Elektrodensystemen und eine erste rauscharme Signalverarbeitungseinheit (Vorverstärker), die in einem Detektorgehäuse mit drei Anschlusspins und infrarotdurchlässigem Fenster untergebracht sind. Der pyroelektrischen Chip besteht aus einem Pyroelektrikum, wie z. B. Lithiumtantalat oder Lithiumniobat, und ist 4 × 4 mm2 groß mit einer Dicke von maximal 50 μm. Auf der Vorderseite sowie auf der Rückseite des Chips sind die Elektroden aufgebracht, wobei Front- und Rückelektrode eine nahezu identische geometrische Form haben und annähernd deckungsgleich angeordnet sind. Das Chipvolumen zwischen Front- und Rückelektrode bildet das strahlungsempfindliche Sensorelement. Erfindungsgemäß besitzen die Elektrodensysteme (und damit die strahlungsempfindlichen Sensorelemente) eine spezielle geometrische Struktur, so dass beim Einsatz im Bewegungsmelder ein richtungsabhängiges Zeitverhalten des Sensorausgangssignals hervorgerufen wird.
  • Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels mittels mehrerer Zeichnungen näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1A, Bekannte Anordnungen von pyroelektrischen Sensorelementen,
  • 2, Bekannte Anordnungen von pyroelektrischen Sensorelementen,
  • 3 Bekannte Anordnungen von pyroelektrischen Sensorelementen,
  • 1B, bekannte Nachweisschaltungen für Signale von pyroelektrischen Sensorelementen,
  • 4, bekannte Nachweisschaltungen für Signale von pyroelektrischen Sensorelementen,
  • 5 bekannte Nachweisschaltungen für Signale von pyroelektrischen Sensorelementen,
  • 6 eine Sensorelementgeometrie gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,
  • 7 die Eingangsschaltung,
  • 8 ausgewählte Bewegungsrichtungen,
  • 9 das Zeitverhalten des Sensorausgangssignals der erfindungsgemäßen Sensorelementgeometrie.
  • Wie in der 6 gezeigt, sind erfindungsgemäß zwei Sensorelemente mit einer zackenförmigen Elektrodenstruktur vorgesehen, wobei jeweils vorwiegend zwei Zacken ausgebildet und mit einem schmalen Steg miteinander verbunden sind. Die beiden Sensorelemente sind zueinander so angeordnet, dass deren Zacken wie die Zähne zweier im Eingriff befindlicher Zahnräder ineinander greifen, sich aber nicht berühren. Die Zacken bilden dabei vorzugsweise ein allgemeines Dreieck. Die in der 6 angegebenen Polaritäten der beiden Sensorelemente ergeben sich aus der bevorzugten gegenpoligen Verschaltung (vgl. 7) der Einzelsensorelemente. Dabei verbindet die Rückelektrodenverbindung 5 die beiden strahlungsempfindlichen Sensorelemente 1, 2 elektrisch miteinander. Das Sensorsignal wird an den beiden Kontaktierungsflächen 6, 7 der Frontelektrode abgegriffen und dem Feldeffekttransistor (FET) 13 zugeführt, der zusammen mit dem Hochohmwiderstand 12 einen Impedanzwandler darstellt. Anschließend wird das Sensorsignal über einen Anschlusspin 11 des Sensorgehäuses nach außen geführt.
  • Durch die gewählte geometrische Gestaltung und Anordnung der Sensorelemente wird beim Einsatz im Bewegungsmelder ein richtungsabhängiges Zeitverhalten des Sensorausgangssignals erzeugt, das in 9 für ausgewählte Bewegungsrichtungen dargestellt ist. 9 zeigt dabei nicht das Sensorsignal, wie es am Ausgangssignalpin des Sensors vorliegt, sondern nachdem es im Bewegungsmelder verstärkt und gefiltert wurde. Durch die Optik des Bewegungsmelders trifft die Wärmestrahlung der sich bewegenden Wärmequelle zeitlich nacheinander auf die strahlungsempfindlichen Bereiche der Sensorelemente. Für die ausgewählten Bewegungsrichtungen 0°, 90°, 180°, 270° (vgl. 8) ergeben sich dabei unterschiedliche Zeitverläufe, die aus einer Sequenz von Signalen unterschiedlicher Anzahl und Polarität bestehen. Während die Wärmestrahlung bei den vertikalen Bewegungsrichtungen 90° und 270° auf jedes Sensorelement nur einmal trifft, trifft sie bei den horizontalen Bewegungsrichtungen 0° und 180° (aufgrund der vier ausgebildeten Zacken) auf jedes Sensorelement zweimal. Deswegen lassen sich die Bewegungsrichtungen 0°, 90°, 180°, und 270° durch die Anzahl und die Polarität der Extremwerte im Sensorsignal unterscheiden. Ferner ist es möglich weitere Bewegungsrichtungen, wie z. B. die diagonalen Bewegungsrichtungen 45°, 135°, 225° und 315° zu erkennen, weil durch die kontinuierlich abnehmende Breite der Zacken in einer Richtung zusätzlich das Signalmuster beeinflusst wird (9). Somit lassen sich nahezu beliebige Bewegungsrichtungen unterscheiden.
  • 1, 2, 3, 4
    Sensorelemente
    5
    Rückelektrodenverbindung
    6, 7
    Frontelektrodenkontaktierungsflächen
    10
    Pyroelektrischer Chip
    11
    Anschlusspins des Detektorsystems
    12
    Hochohmwiderstand
    13
    Feldeffekttransistor (FET)

Claims (4)

  1. Pyroelektrischer Infrarotsensor insbesondere für die Anwendung in einem Bewegungsmelder mit der Fähigkeit zur Erkennung der Bewegungsrichtung einer sich bewegenden Wärmequelle, bestehend aus einem pyroelektrischen Chip (10) und einem rauscharmen Vorverstärker, die in einem Detektorgehäuse mit infrarotdurchlässigem Fenster und drei Anschlusspins (11) untergebracht sind, wobei der pyroelektrische Chip (10) aus einem Pyroelektrikum mit einer Dicke von maximal 50 μm und beidseitig aufgebrachten, annähernd deckungsgleichen Elektroden (1, 2) besteht und das Chipvolumen zwischen den sich überlappenden Elektrodenflächen dabei das strahlungsempfindliche Sensorelement bildet, wobei die sich überlappenden Elektroden (1, 2) auf der Chipoberfläche eine zackenförmige Struktur aufweisen und vorwiegend zwei Zacken ausgebildet sind, die über einen schmalen Steg miteinander verbunden sind, und dabei mindestens zwei dieser zackenförmigen Sensorelemente vorhanden sind, die so angeordnet sind, dass deren Zacken wie die Zähne zweier im Eingriff befindlicher Zahnräder ineinander greifen, sich aber nicht berühren.
  2. Pyroelektrischer Infrarotsensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, dass die Zacken der Sensorelemente vorwiegend senkrecht zu dem schmalen Steg stehen und die Zacken nahezu dreieckig ausgebildet sind.
  3. Pyroelektrischer Infrarotsensor nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, dass der Abstand zwischen den Zacken vorwiegend konstant ist.
  4. Pyroelektrischer Infrarotsensor nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, dass die Zacken der Sensorelemente eine unterschiedliche Breite und/oder Länge aufweisen.
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