DE102006057974B4 - Richtungsempfindlicher pyroelektrischer Infrarotsensor mit sichelförmiger Elektrodenstruktur - Google Patents

Richtungsempfindlicher pyroelektrischer Infrarotsensor mit sichelförmiger Elektrodenstruktur Download PDF

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Abstract

Pyroelektrischer Infrarotsensor insbesondere für die Anwendung in einem Bewegungsmelder mit der Fähigkeit zur Erkennung der Bewegungsrichtung und Geschwindigkeit einer sich bewegenden Wärmequelle, bestehend aus einem pyroelektrischen Chip (10) und einem rauscharmen Vorverstärker, die in einem Detektorgehäuse mit infrarotdurchlässigem Fenster und drei Anschlusspins (11) untergebracht sind, wobei der pyroelektrische Chip (10) aus einem Pyroelektrikum mit einer Dicke von maximal 50 μm und beidseitig aufgebrachten, annähernd deckungsgleichen Elektroden (1, 2) besteht und das Chipvolumen zwischen den sich überlappenden Elektrodenflächen dabei das strahlungsempfindliche Sensorelement bildet, wobei die sich überlappenden Elektroden (1, 2) auf der Chipoberfläche eine kreisringsegmentähnliche Struktur aufweisen, deren Ringsegmentbreite in einer Richtung vorwiegend kontinuierlich zu- oder abnimmt und dabei vorwiegend zwei dieser kreisringsegmentähnlichen Sensorelemente vorhanden sind, die derart zueinander angeordnet sind, dass sie zusammen nahezu einen vollständigen Kreisring ergeben.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen pyroelektrischen Infrarotsensor insbesondere für die Anwendung in Bewegungsmeldern mit einem pyroelektrischen Chip mit einer Dicke von maximal 50 μm und beidseitig aufgebrachten Elektroden, wobei das Chipvolumen zwischen den sich überlappenden Elektrodenflächen das strahlungsempfindliche Sensorelement bildet. Des Weiteren sind die sich überlappenden Elektrodenflächen auf Oberseite und Unterseite des Chips sichelförmig ausgebildet. Der pyroelektrische Infrarotdetektor besitzt zwei dieser sichelförmigen, lateral strukturierten Elektrodenflächen (Dualelementsensor), die vorzugsweise kreisförmig und entweder punktsymmetrisch oder annähernd axialsymmetrisch angeordnet sind. Durch Auswertung charakteristischer Merkmale der Signalform, wie Signalbreite, Amplitude und Polarität, kann nahezu jede beliebige Bewegungsrichtung, die auf der Sensorfläche abgebildet wird, nachgewiesen werden. Durch die kreisförmige Ausrichtung der lateral strukturierten Elektrodenflächen in Sichelform kann für geradlinige Bewegungen, deren Projektionen durch den Mittelpunkt des Sensors verlaufen, ebenfalls die mittlere Objektgeschwindigkeit ermittelt werden.
  • Pyroelektrische Infrarotsensoren werden schon seit über 30 Jahren in Passiv-Infrarot-Bewegungsmeldern eingesetzt. Solche Bewegungsmelder sind beispielsweise aus dem Fachbuch „Passiv-Infrarot-Bewegungsmelder”, Verlag Moderne Industrie, Landsberg/Lech, 1996 bekannt. Die Hauptanwendungsgebiete dieser Melder liegen insbesondere im Bereich der Gebäudeautomatisierung und der Sicherheitstechnik, wobei sie für einfache Schaltaufgaben in sehr großer Stückzahl eingesetzt werden. Die Bezeichnung passiv rührt daher, dass diese Melder keinerlei Strahlung emittieren. Stattdessen reagieren sie auf bewegte Wärmequellen in einem definierten Erfassungsbereich. Dabei wird die von der Wärmequelle ausgehende Infrarotstrahlung über spezielle Linsen und/oder Spiegel auf einen oder mehrere Infrarotsensoren gelenkt und in ein elektrisches Signal umgewandelt, das dann in einer entsprechenden Auswerteelektronik verarbeitet wird. Der pyroelektrische Infrarotsensor bildet dabei das Herzstück und zugleich auch die anspruchvollste Komponente eines jeden passiv infraroten Systems und besteht im Wesentlichen aus dem pyroelektrischen Chip mit einem oder mehreren, strahlungsempfindlichen Sensorelementen und einer ersten rauscharmen Signalverarbeitungseinheit (Vorverstärker), die in einem geeigneten Detektorgehäuse mit infrarotdurchlässigem Fenster untergebracht sind.
  • Bekannt sind Dual- oder Zweielementsensoren, wobei sich die Verwendung von Lithiumtantalat als pyroelektrisches Material zur führenden Technologie entwickelt hat. Diese Dualelementsensoren besitzen einen pyroelektrischen Chip mit zwei geometrisch und elektrisch nahezu identischen Sensorelementen. Dabei erfolgt durch Reihen- oder Parallelschaltung der beiden Sensorelemente eine Kompensation gegenüber Umgebungstemperatureinflössen und Störstrahlungen (Gleichtaktunterdrückung), weshalb auch nur elf Vorverstärker sowie ein Gehäuse mit drei Anschlusspins benötigt werden. Ein Beispiel derartiger Dualelementsensoren sind etwa die Typen LHi 954/958 von PerkinElmer. Diese bekannte Sensorgeometrie ist in einer Draufsicht in 1A dargestellt. Der als Quadrat symbolisierte pyroelektrische Chip 10 des Detektors definiert die Erfassungsebene, in der die beiden gegenpolig verschalteten Sensorelemente 1, 2 angeordnet sind. 1B zeigt die entsprechende Eingangsschaltung eines solchen Sensors. Die beiden Sensorelemente 1, 2 können dabei entweder, wie in der 1B dargestellt, in Reihe oder aber parallel zueinander mit dem Hochohmwiderstand 12 und dem Feldeffekttransistor 13 verbunden werden und bilden somit einen Signalkanal, der über einen Anschlusspin 11 des Gehäuses nach außen geführt wird. Das Sensorsignal kann damit einer an die Pins des Sensors anschließbaren Auswerteelektronik zugeführt werden. Diese Sensorgeometrie eignet sich insbesondere für Bewegungsmelder für die Wandmontage, durch deren Optik die Sensorelemente vertikal in den Raum projiziert werden und an dem sich die Erfassungsobjekte tangential vorbei bewegen. Dabei wird die Wärmestrahlung des Erfassungsobjekts über die Optik des Bewegungsmelders auf den pyroelektrischen Chip abgebildet, wobei diese zeitlich nacheinander auf die beiden strahlungsempfindlichen Sensorelemente trifft. Durch die unterschiedliche Polarität der beiden Sensorelemente lassen sich damit die horizontalen Bewegungsrichtungen 0° und 180° unterscheiden, wohingegen bei den vertikalen Bewegungsrichtungen 90° und 270° keine bzw. nur unzureichende Signale erzeugt werden, die zudem keine Richtungsabhängigkeit aufweisen.
  • In DE 29716880 U1 wird eine pyroelektrische Detektorvorrichtung zur Erfassung bewegter Objekte mit weiteren Sensorelementgeometrien beschrieben. Diese werden so ausgeführt, dass sie durch eine scheibensegment-, kreissegment-, L- oder bogenförmige Umfangskontur gekennzeichnet sind. Die verwendeten Geometrien werden so ausgelegt, dass eine Bewegungsdetektion des Objektes, unabhängig von seiner Bewegungsrichtung, möglich ist. Die Detektion beliebiger Bewegungsrichtungen oder -geschwindigkeiten ist mit den beschriebenen Geometrien jedoch nicht möglich.
  • Ähnliches beschreibt die JP 02278131 A . Es wird ein pyroelektrischer Dualelementsensor aufgeführt, dessen Sensorelementgeometrien axialsymmetrisch angeordnet sind und deren Breite teilweise variiert. Die Breitenmodifikation soll so ausgeführt werden, dass Objektbewegungen deren Projektionen genau zwischen den entgegengesetzt gepolten Elektrodenflächen verlaufen, keine Signalauslöschung bewirken. Die Zielstellung ist wiederum die Detektierbarkeit von Objektbewegungen unabhängig von deren Bewegungsrichtung.
  • Die DE 32 40 920 C2 beschreibt einen pyroelektrischen Infrarotstrahlungsdetektor auf der Basis eines Polymers oder Mischpolymers mit einer angepassten Kompensationsmethode, die Störungen, insbesondere in Form von Temperaturdriften, verringern soll. Dazu sind zwei Bereiche symmetrisch zu einer Mittellinie des pyroelektrischen Elements ausgebildet, ein Detektionsbereich S1 und ein Kompensationsbereich S2. Dabei ist die Elektrode auf der Vorderseite des Detektionsbereiches strahlungsdurchlässig und die des Kompensationsbereiches strahlungsreflektierend. Des Weiteren ist eine gemeinsame Elektrode auf der Rückseite vorgesehen. Durch die Ausgestaltung der Frontelektroden als Kammform wird eine Störungsherabsetzung erreicht, da die auf diese beiden Bereiche auftreffende Infrarotstrahlung gleichförmiger verteilt ist. Eine Detektion der Bewegungsrichtung ist mit diesem Infrarotsensor allerdings nicht möglich.
  • Das Gleiche betrifft den in GB 1 377 891 beschriebenen Infrarotdetektor, der auf der Vorderseite des pyroelektrischen Films zwei kammförmige, interdigital angeordnete Elektroden besitzt. Auf der Rückseite des pyroelektrischen Films sind keine Elektroden ausgebildet. Als Pyroelektrikum wird ein Polymer verwendet, das durch Anlegen einer hohen Spannung an die beiden Elektroden polarisiert wird. Durch die kammförmige Ausgestaltung der Elektroden wird eine Polarisation an der Oberfläche des pyroelektrischen Films entlang einer ausgewählten Richtung möglich. Die Polarisationsrichtung entspricht dann nicht mehr der Dickenrichtung des Pyroelektrikums, weshalb auf eine Reduzierung der Dicke des pyroelektrischen Materials und die damit verbundenen Nachteile, wie mechanische Instabilität, verzichtet werden kann.
  • Ähnliches beschreibt die DE 197 39 477 B4 , wobei hier noch zusätzlich eine ganzflächige Elektrode auf der Rückseite des pyroelektrischen Films aufgebracht und auf Masse gelegt wird, um die Dipolkonzentration zwischen den räumlich interdigital angeordneten Fingern zu verbessern. Zusätzlich nimmt der Elektrodenabstand intervallmäßig in einer spezifizierten Richtung sukzessive zu, wodurch das Zeitverhalten des Sensorsignals bei Bewegung in genau dieser Richtung beeinflusst wird. Damit lassen sich zwei Bewegungsrichtungen unterscheiden. Die zusätzlich erwähnten 3D-Sensorstrukturen sollen eine multidirektionale Erfassung ermöglichen und die exakte Bewegungsrichtung eines Objektes detektieren können. Dazu ist aber eine Vielzahl von Sensorelementen notwendig, wodurch Komplexität und Herstellungskosten stark ansteigen.
  • Des Weiteren sind Vierelementsensoren (quad element) bekannt. Diese besitzen vier strahlungsempfindliche Sensorelemente in Form eines Quadrats oder Rechtecks, die quadrantenförmig angeordnet sind. Dadurch wird eine höhere räumliche Auflösung erreicht. Ein Beispiel derartiger Vierelementsensoren sind etwa die Typen LHi 1128/1148 von PerkinElmer. Diese Sensorgeometrien sind in einer Draufsicht in den 2 und 3 dargestellt. Der als Quadrat symbolisierte pyroelektrische Chip 10 des Detektors definiert dabei die Erfassungsebene, in der die vier Sensorelemente 1, 2, 3, 4 angeordnet sind. Werden diese vier Sensorelemente alle gegenpolig miteinander auf einen Ausgang verschalten (vgl. 4), dann werden zwar nur ein Vorverstärker und ein Gehäuse mit drei Anschlusspins benötigt, jedoch können damit keine zusätzlichen Informationen über die Bewegungsrichtung gewonnen werden. Anders ist das bei einer Verschaltung als sog. Doppel-Dualsensor (siehe 5). Bei der in DE 19607608 A1 beschriebenen Ausführung kommt ein Doppel-Dualsensor zum Einsatz, der ein vertikales Dualelement und ein horizontales Dualelement besitzt, wobei das vertikale Dualelement zur Erfassung radialer
  • Bewegungen und das horizontale Dualelement zur Erfassung tangentialer Bewegungen ausgebildet sind und somit einen Vertikalkanal und einen Horizontalkanal bilden. Mit einer derartigen Sensorgeometrie ist es möglich, mehrere Bewegungsrichtungen zu unterscheiden. Ähnliche Ergebnisse werden mit der in US 5432350 beschriebenen Struktur erzielt. Hierbei werden vier L-förmige, gekrümmte Sensorelementgeometrien definiert, die punktsymmetrisch um den Mittelpunkt der Erfassungsebene angeordnet sind. Mit der beschriebenen Ausführung als Doppel-Dualsensor können Objektbewegungen aus jeder Richtung detektiert und einer der vier Hauptbewegungsrichtungen zugeordnet werden. Der Nachteil einer Ausführung als Doppel-Dualsensor besteht darin, dass hierbei zwei Vorverstärker sowie ein Gehäuse mit vier Anschlusspins benötigt werden, womit sich die Herstellungskosten für einen solchen Infrarotdetektor stark erhöhen. Darüber hinaus wird für jeden Signalkanal eine eigene Verstärker- und Filtereinheit benötigt.
  • Bisher besitzen nur Mehrelementsensoren sowie Zeilen- und Matrixsensorarrays mit mindestens vier oder mehr strahlungsempfindlichen Sensorelementen, bei denen das Signal eines jeden Sensorelements getrennt ausgewertet werden kann, eine ausreichend hohe räumliche Auflösung, um beliebige Bewegungsrichtungen eines Objekts zu erkennen.
  • So wird z. B. in US 4914298 eine Detektoranordnung mit vier strahlungsempfindlichen Sensorelementen (in Quadrantenanordnung) beschrieben, wobei für jedes Sensorelement ein eigener Vorverstärker im Gehäuse integriert ist und die vier resultierenden Sensorsignale einer an das Gehäuse anschließbaren Auswerteelektronik zugeführt werden. Derartige Detektorvorrichtungen benötigen aber spezielle Sensorgehäuse, da für jedes Sensorelement ein eigener Vorverstärker im Gehäuse untergebracht, sowie jedes einzelne Signal über einen entsprechenden Anschlusspin nach außen geführt werden muss. Dadurch steigen Aufwand und Herstellungskosten enorm an.
  • Handelsübliche Passiv-Infrarot-Bewegungsmelder mit Zweielementsensoren nach dem Stand der Technik, die nur einen Vorverstärker sowie ein Gehäuse mit drei Anschlusspins aufweisen, können im Wesentlichen nur die Anwesenheit eines bewegten Objekts in ihrem Erfassungsbereich feststellen. Für zahlreiche Applikationen sind aber zunehmend Aussagen zur Bewegungsrichtung gefordert.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kostengünstigen pyroelektrischen Infrarotdetektor mit drei Anschlusspins bereitzustellen, der die Fähigkeit hat, wenigstens zwischen den, in 9 dargestellten, ausgewählten Bewegungsrichtungen zu unterscheiden und zusätzlich auswertbare Informationen zur Objektgeschwindigkeit zu generieren. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einem gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs ausgebildeten Infrarotdetektor gelöst.
  • Die Aufgabenstellung wird derart umgesetzt, indem das Elektrodensystem des pyroelektrischen Infrarotdetektors so ausgebildet ist, dass beim Einsatz im Bewegungsmelder ein richtungsabhängiges Zeitverhalten des Sensorausgangssignals hervorgerufen wird. Entscheidend ist dabei, dass nur ein Vorverstärker sowie ein Standardgehäuse mit drei Anschlusspins verwendet werden und dadurch die Herstellungskosten für einen solchen Detektor vergleichsweise niedrig sind. Des Weiteren wird für die Auswerteelektronik auch nur eine Verstärker- und Filtereinheit benötigt, da lediglich ein Signalkanal vorhanden ist.
  • Der Aufbau und die Eingangsschaltung des pyroelektrischen Infrarotsensors gemäß der vorliegenden Erfindung entsprechen dem eines Standard-Dualelementsensors. Dies umfasst einen pyroelektrischen Chip mit beidseitig aufgebrachten Elektrodensystemen und eine erste rauscharme Signalverarbeitungseinheit (Vorverstärker), die in einem Detektorgehäuse mit drei Anschlusspins und infrarotdurchlässigem Fenster untergebracht sind. Der pyroelektrischen Chip besteht aus einem Pyroelektrikum, wie z. B. Lithiumtantalat oder Lithiumniobat, und ist 4 × 4 mm2 groß mit einer Dicke von maximal 50 μm. Auf der Vorderseite sowie auf der Rückseite des Chips sind die Elektroden aufgebracht, wobei Front- und Rückelektrode eine nahezu identische geometrische Form haben und annähernd deckungsgleich angeordnet sind. Das Chipvolumen zwischen Front- und Rückelektrode bildet das strahlungsempfindliche Sensorelement. Erfindungsgemäß besitzen die Elektrodensysteme (und damit die strahlungsempfindlichen Sensorelemente) eine spezielle geometrische Struktur, so dass beim Einsatz im Bewegungsmelder ein richtungsabhängiges Zeitverhalten des Sensorausgangssignals hervorgerufen wird.
  • Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels mittels mehrerer Zeichnungen näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1A, 2, 3 Bekannte Anordnungen von pyroelektrischen Sensorelementen,
  • 1B, 4, 5 bekannte Nachweisschaltungen für Signale von pyroelektrischen Sensorelementen,
  • 6 eine Sensorelementgeometrie gemäß einer ersten, bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,
  • 7 eine Sensorelementgeometrie gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung,
  • 8 die Eingangsschaltung,
  • 9 ausgewählte Bewegungsrichtungen,
  • 10 das Zeitverhalten des Sensorausgangssignals der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung in Abhängigkeit von der Objektbewegungsrichtung,
  • 11 das Zeitverhalten des Sensorausgangssignals der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung in Abhängigkeit von der Objektbewegungsgeschwindigkeit bei einer Bewegungsrichtung von 90°.
  • Wie in 6 und 7 gezeigt, sind erfindungsgemäß zwei Sensorelemente mit einer kreisringsegmentähnlichen Elektrodenstruktur vorgesehen, wobei die Ringsegmentbreite in einer Richtung vorwiegend kontinuierlich zu- bzw. abnimmt, so dass sich die zwei Krümmungsbögen vorzugsweise an einem Ende dieser Struktur in genau einem Punkt schneiden. An dem anderen Ende dieser sichelförmigen Strukturen sind die Krümmungsbögen vorzugsweise durch eine Gerade miteinander verbunden. Diese beiden erfindungsgemäßen Sensorelemente sind bevorzugt annähernd axialsymmetrisch angeordnet, so dass sie zusammen nahezu einen vollständigen Kreisring ergeben. Die entsprechende Symmetrieachse verläuft vorzugsweise durch den Mittelpunkt des sich damit ergebenden Kreisrings. Die Abweichung von der Axialsymmetrie stellt das in 6 gezeigte Ineinandergreifen der breiteren Enden der Sichelstruktur dar. Durch dieses Ineinandergreifen wird bei dieser Sensorgeometrie das Auftreten nicht detektierbarer Bewegungsrichtungen verhindert. Die in 6 und 7 angegebenen Polaritäten der beiden Sensorelemente ergeben sich aus der bevorzugten gegenpoligen Verschaltung (vgl. 8) der Einzelsensorelemente. Dabei verbindet die Rückelektrodenverbindung 5 die beiden strahlungsempfindlichen Sensorelemente 1, 2 elektrisch miteinander. Das Sensorsignal wird an den beiden Kontaktierungsflächen 6, 7 der Frontelektrode abgegriffen und dem Feldeffekttransistor 13 zugeführt, der zusammen mit dem Hochohmwiderstand 12 einen Impedanzwandler darstellt. Anschließend wird das Sensorsignal über einen Anschlusspin 11 des Sensorgehäuses nach außen geführt.
  • Durch die gewählte geometrische Gestaltung und Anordnung der Sensorelemente wird beim Einsatz im Bewegungsmelder ein richtungsabhängiges Zeitverhalten des Sensorausgangssignals erzeugt, das in 10 für ausgewählte Bewegungsrichtungen der erfindungsgemäßen ersten, bevorzugten Sensorgeometrie (6) dargestellt ist. Die in 10 dargestellten Signale geben die Bewegung von Infrarotstrahlung emittierenden Wärmequellen für ausgewählte Bewegungsrichtungen wieder. Die Bewegungsrichtung einer Wärmequelle kann aus dem Sensorsignal durch Auswerten der Polarität und des Signalbreiten- bzw. Amplitudenverhältnisses der gegenpoligen Signale eindeutig bestimmt werden. Durch die kontinuierliche Änderung der sichelförmigen Elektrodenbreite können bei vergleichbarer Auswertung alle weiteren Bewegungsrichtungen detektiert werden. Für geradlinige Bewegungen, deren Projektionen durch den Mittelpunkt des Kreisrings verlaufen, kann zusätzlich die mittlere Objektgeschwindigkeit ermittelt werden. Typische Signalverläufe für drei verschiedene Objektgeschwindigkeiten werden in 11 gezeigt. Zur Geschwindigkeitsbestimmung wird die Zeitdifferenz zwischen dem Auftreten der gegenpoligen Signale ausgewertet.
  • Ein weiteres Ausführungsbeispiel wird in 7 gezeigt. Hier sind die sichelförmigen Elektroden punktsymmetrisch um den Mittelpunkt des Kreisrings angeordnet. Die Bewegungsrichtung kann bei dieser Ausführung durch Auswertung der Polaritätsreihenfolge und der absoluten Signalbreite und/oder Amplitude beider gegenpoliger Signale bestimmt werden. Somit lassen sich nahezu beliebige Bewegungsrichtungen unterscheiden.
  • Die Objektgeschwindigkeit ist in Analogie zum ersten, bevorzugten Ausführungsbeispiel, das in 6 gezeigt wird, ermittelbar.
  • 1, 2, 3, 4
    Sensorelemente
    5
    Rückelektrodenverbindung
    6, 7
    Frontelektrodenkontaktierung
    10
    Pyroelektrischer Chip
    11
    Anschlusspins des Detektorsystems
    12
    Hochohmwiderstand
    13
    Feldeffekttransistor (FET)

Claims (4)

  1. Pyroelektrischer Infrarotsensor insbesondere für die Anwendung in einem Bewegungsmelder mit der Fähigkeit zur Erkennung der Bewegungsrichtung und Geschwindigkeit einer sich bewegenden Wärmequelle, bestehend aus einem pyroelektrischen Chip (10) und einem rauscharmen Vorverstärker, die in einem Detektorgehäuse mit infrarotdurchlässigem Fenster und drei Anschlusspins (11) untergebracht sind, wobei der pyroelektrische Chip (10) aus einem Pyroelektrikum mit einer Dicke von maximal 50 μm und beidseitig aufgebrachten, annähernd deckungsgleichen Elektroden (1, 2) besteht und das Chipvolumen zwischen den sich überlappenden Elektrodenflächen dabei das strahlungsempfindliche Sensorelement bildet, wobei die sich überlappenden Elektroden (1, 2) auf der Chipoberfläche eine kreisringsegmentähnliche Struktur aufweisen, deren Ringsegmentbreite in einer Richtung vorwiegend kontinuierlich zu- oder abnimmt und dabei vorwiegend zwei dieser kreisringsegmentähnlichen Sensorelemente vorhanden sind, die derart zueinander angeordnet sind, dass sie zusammen nahezu einen vollständigen Kreisring ergeben.
  2. Pyroelektrischer Infrarotsensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, dass die kontinuierlich zu- bzw. abnehmende Ringsegmentbreite ausschließlich durch eine kontinuierliche Veränderung des Innenradius oder Außenradius erreicht wird.
  3. Pyroelektrischer Infrarotsensor nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet dadurch, dass an einem oder beiden Enden der kreisringsegmentähnlichen Sensorelemente der Innenradius dem Außenradius entspricht.
  4. Pyroelektrischer Infrarotsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, dass die beiden kreisringsegmentähnlichen Sensorelemente punktsymmetrisch angeordnet sind.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102012107739A1 (de) * 2012-08-22 2014-03-20 Pyreos Ltd. Sensorsystem zum Erkennen einer Bewegung einer Infrarotlichtquelle
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