FR2393418A1 - Procede et appareil pour projeter un faisceau de particules electrisees sur une cible - Google Patents

Procede et appareil pour projeter un faisceau de particules electrisees sur une cible

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/3002—Details
    • H01J37/3007—Electron or ion-optical systems

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Abstract

Procédé et appareil pour projeter un faisceau de particules électrisées. Procédé pour faire varier et pour projeter un faisceau de particules électrisées qui consiste à préparer, au moins, trois masques; à << éclairer l'ouverture du masque supérieur avec le faisceau; à dévier le faisceau entre certains masques d'amont afin de réduire celui-ci dans la mesure nécessaire pour former l'image voulue sur une cible; et, à dévier le faisceau ainsi réduit entre des masques d'aval afin de découper la section du faisceau pour lui donner exactement la forme de l'image voulue, évitant ainsi le flou de l'image des régions recouvrant les ouvertures des masques d'aval correspondants. L'invention décrit aussi un appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé. Application à l'usinage électronique de précision ou le micro-usinage au moyen de faisceaux électroniques, en particulier, pour la fabrication de microcomposants électroniques.
FR7816064A 1977-05-31 1978-05-30 Procede et appareil pour projeter un faisceau de particules electrisees sur une cible Expired FR2393418B1 (fr)

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