FR2472831A1 - Procede et dispositif pour l'inclinaison de sondes de rayonnement superficiel - Google Patents

Abstract

OPTIQUE ELECTRONIQUE. PROCEDE POUR L'INCLINAISON D'UNE SONDE DE RAYONNEMENT SUPERFICIEL SUIVANT LEQUEL LA SECTION FORMEE DU FAISCEAU EST REPRODUITE DANS LE PLAN DE LA CIBLE PAR AU MOINS UNE LENTILLE DE TRANSMISSION ELECTROMAGNETIQUE ET SUIVANT LEQUEL LE PLAN DE LA CIBLE PEUT ETRE VISUALISE SUR UN ECRAN. APPAREILS A RAYONNEMENT CORPUSCULAIRE.

Description

La présente invention se rapporte à des appareils a' rayonnement corpusculaire et notamment à des appareils émetteurs de faisceaux électroniques qui comportent des moyens pour diriger le faisceau électronique sur une cible et pour agir sur sa section en fonction de la cible.

Des appareils émetteurs de faisceaux électroniques de ce type sont utilisés, par exemple, pour créer des dessins de rayonnement pré-programmés sur des plaquettes semiconductrices revêtues d'une laque et entrant dans la fabrication de composants microélectroniques.

Dans les appareils émetteurs de faisceaux électroniques utilisés dans le domaine cité, le champ lumineux délimité,par des diaphragmes est reproduit, en vue de créer une sonde électronique sur la cible, a' l'aide de lentilles d'optique électronique et ce champ lumineux est dirigé au moyen d'un système de déviation sur un efidroit prédéterminé par un programme de commande. On connaît déåà des appareils dans lesquels la section du faisceau sur la cible présente une forme réctangulaire, les longueurs des c8tés du rectangle pouvant être réglées électroniquement.

On peut ainsi augmenter considérablement la rapidité de l'exposition par rapport à celle des appareils émetteurs de faisceaux électroniques à section de faisceau constante.

La cellule élémentaire de la sonde de rayonnement superficiel est constituée par un carré de la grandeur du plus petit détail de la structure à exposer, les côtés du carré étant ajustés une fois pour toutes et parallèle ment par rapport aux directions de déviation X et Y. Dans ces directions on peut établir en quelques microsecondes, et sans pertes d'intensité de rayonnement, la forme de la sonde de rayonnement superficiel et l'amener pour former un rectangle de la grandeur prédéterminée par le programme de commande.

Lors de l'établissement des circuits de couplage il existe en plus des dessins d'exposition pouvant être facilement décomposés dans une série de rectangles, parallèles les uns aux autres et composant la sonde de rayonnement superficiel. On peut également décomposer le faisceau en des structures pour lesquelles la vitesse de l'exposition se trouve fortement réduite étant donné que la sonde de rayonnement superficiel doit être réglée sur la plus petite unité de ces structures. Des structures de ce type sont, par exemple, des voies conductrices obliques. On réaliserait un progrès dans la technique des circuits de couplage si on pouvait élargir la composition de la sonde du rayonnement superficiel par des formes rectangulaires présentant, par exemple, un angle d'inclinaison de 450.

En vue de créer des sondes de rayonnement superficiel qui peuvent prendre également la forme de surfaces circulaires ou de;rectangles à position oblique, il a été proposé de combiner le principe servant de base aux appareils à sonde de rayonnement superficiel,et qui consiste dans la reproduction déplaçable d'un premier diaphragme sur un deuxième, avec le principe de la reproduction d'un gabarit (Brevet DD126433). Ce procédé présente cependant la difficulté que chaque forme additionnelle doit être représentée par une ouverture de forme correspondante dans le deuxième diaphragme réalisé en tant que gabarit.

Selon une autre possibilité on peut ajouter aux bords, délimitant le faisceau et formant un angle droit les uns par rapport aux autres, du premier ou du deuxième diaphragme des appareils à rayonnement superficiel, encore d'autres bords placés sous forme de disposition polygonale de façon qu'il soit possible, lors de la reproduction superposée des deux diaphragmes au niveau de la cible, de régler également des sections faisceau présentant une forme rectangulaire oblique (demande de brevet DE-OS 2 647 855).

Suivant un autre procédé on place entre le deuxième diaphragme et la cible une lentille magnétique qui permet de réaliser une rotation de limage autour d'un angle quelconque. Cependant ce procédé n'a pas donné satisfaction du fait que la rotation de l'image provoque inévitablement une défocalisation et une déviation d'une valeur inadmissible vu la grande précision exigée.

Afin d'éviter la défocalisation se produisant lors de la rotation de l'image, la demande de brevet DE-06 2 721 704 propose de combiner la lentille magnétique avec une lentille à effet électrostatique en introduisant dans la lentille magnétique une electrode cylindrique qui re çoit une tension dépendant de l'excitation de la lentille magnétique. Abstraction faite des inconvénients techniques résultant de l'incorporation d'une électrode électrostatique, les conditions pour une rotation de l'image exempte de déviation ne se trouvent pas améliorées.

La présente invention a pour objet de créer un procédé et un dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé permettant de ne plus limiter la composition d'une sonde de rayonnement superficiel à une classe ne comprenant que des formes rectangulaires et parallèles les unes aux autres, et d'élargir cette classe d'une autre qui comprend également des formes rectangulaires et parallèles les unes aux autres, la différence entre la première et la deuxième classe consistant dans le fait que les formes rectangulaires de la deuxième classe sont tournées d'un angle, de préférence égal à 450 par rapport aux formes rectangulaires de la première classe.

Le procédé suivant l'invention présente l'avantage qu'il est possible de réaliser avec une grande vitesse d'exposition également des voies conductrices en position oblique, notamment des voies conductrices d'un angle d'inclinaison de 450,et ceci sans nuire à la précision de façon à augmenter considérablement la souplesse et la productivité des appareils à faisceau électronique et à sonde de rayonnement superficiel.

L'invention a également pour objet de permettre la rotation de l'image autour de l'un des angles de la sonde de rayonnement superficiel sans provoquer un déplacement de celle-ci. Le temps de passage de l'une à l'autre classe doit s'effectuer en moins d'une milliseconde et sans porter préjudice à la netteté et à la précision.

Lors d'un procédé pour l'inclinaison de sondes de rayonnement superficiel dans un appareil à rayonnement corpusculaire, notamment une installation à rayonnement électronique, dans laquelle la limitation de la section du faisceau électronique appelée sonde de rayonnement superficiel est créée au niveau de la cible par la reproduction de diaphragmes ou de bords délimitant le faisceau obtenue par l'intermédiaire d'au moins une lentille élec tromagnétique et dans laquelle le plan de la cible peut être reproduit sur un écran de visualisation à l'aide d'un système de projection, le problème posé est résolu en procédant de la façon suivante
Afin d'amener la sonde de rayonnement superficiel dans une position oblique, la reproduction des diaphragmes de formation de faisceau-est tournée dans le plan de la cible en créant,en amont de la lentille de transmission vu dans le sens de la propagation des rayons, un champ magnétique agissant sur le faisceau formé et s'étendant parallèlement à l'axe optique, la polarité de ce champ étant inversée pour obtenir l'inclinaison de la sonde. En vue d'amener le centre de l'inversion de rotation d'image sur un coin de la sonde de rayonnement superficiel qui constitue un point fixe lors d'un changement de format, on provoque dans le plan de la cible une déviation de la reproduction de la sonde en créant un champ magnétique qui est dirigé perpendiculairement par rapport à l'axe optique et dont la polarité est inversée de façon synchrone à l'inversion de la polarité du champ magnétique à axe parallèle. L'intensité et la direction de la déviation sont choisies de façon que le point fixe du format constitue également le point fixe pour 1 inversion de la polarité. Afin d'éviter une déviation trop importante de la
pupille à l'intérieur du diaphragme d'ouverture lors de l'inversion de la polarité, il est avantageux de créer une déviation de la pupille au moyen d'un autre champ magnétique perpendiculaire à l'axe, et dont la polarité est inversée en même temps que celle du champ magnétique à axe parallèle, et dont l'intensité et la direction sont réglées de façon à compenser la déviation de la pupille.

Pour éviter une défocalisation de la sonde de rayonnement superficiel dans le plan de la cible lors de l'inversion de polarité du champ magnétique il est avantageux de superposer à ce dernier un champ magnétique continu dont l'intensité est réglable. Il est en outre utile de représenter sur un écran de visualisation, à l'aide d'un système de projection, le plan de la cible ou le plan du diaphragme d'ouverture pour le réglage de l'amplitude d'inversion de polarité du champ magnétique, des amplitudes d'inversion des polarités du premier et du deuxième champ de déviation et de l'amplitude du champ magnétique continu, pour observer, d'une part, le comportement de la sonde de rayonnement superficiel au niveau de la cible et, d'autre part, le comportement de la pupille lors de l'inversion de la polarité.

Le procédé pour obtenir l'inclinaison de sondes de rayonnement superficiel est mis en oeuvre au moyen d'une installation à rayonnement électronique qui cpmprend au moins une lentille de transmission électronique pour la reproduction des diaphragmes limitateurs du faisceau dans le plan dela cible, et un système de projection pour vi
sualiser le plan de la cible sur un écran. Conformément à l'invention on dispose dans l'axe optique,entre le deuxième diaphragme limitateur de faisceau et la lentille de transmission d'une installation à rayonnement électronique de ce type, une lentille additionnelle composée de plusieurs spires circulaires métalliques qui sont reliées à un générateur de courant par l'intermédiaire d'un inverseur de polarité.L'inversion de la polarité du courant a pour effet d'inverser également la polarité du champ magnétique produit par ce courant et de faire tourner ainsi l'image reproduite du diaphragme de formation du faisceau (sonde de rayonnement superficiel). Sur les côtés frontaux de la lentille additionnelle on prévoit en outre un système de déviation pour maintenir le centre de l'inversion de polarité sur le point fixe du format et le cas échéant on prévoit encore un autre système de déviation afin d'empêcher une déviation trop importante de la pupille au niveau du diaphragme d'ouverture, les systèmes de déviation étant reliés à des générateurs de courant par des inverseurs de polarité. Des systèmes de déviation supplémentaires peuvent être'montés en opposition aux autres systèmes de déviation afin de pouvoir amener les points de pivotement de la déviation du faisceau dans des plans désirés.En vue de délimiter les champs dans l'espace la lentille additionnelle peut être placée dans une enceinte en ferrite et les systèmes de déviation peuvent comporter un torride en ferrite. L'inversion de la polarité du courant alimentant la lentille additionnelle et les systèmes de déviation s'effectuent par des moyens électroniques. Etant donné que le changement de polarité de la lentille additionnelle peut provoquer des défocalisations indésirables il est utile de superposer au premier enroulement de la lentille un deuxième enroulement coaxial au premier et qui est alimenté par un courant continu constant. Il est également possible de superposer un courant continu constant au courant d'inversion parcourant l'enroulement d'excitation de la lentille additionnelle.On peut en outre additionner, au courant d'inversion circulant dans les enroulements d'excitation du système de déviation, des courants continus qui sont constants par rapport à l'inversion de polarité et qui sont réglables afin de pouvoir décentrer le faisceau électronique.

Diverses autres caractéristiques de l'invention ressortent d'ailleurs de la description détaillée qui suit.

Une forme de réalisation de l'objet de l'invention est représentée, à titre d'exemple non limitatif, aux dessins annexés.

La fig. 1 est une représentation schématique d'un appareil à rayon électronique modifié conformément à l'invention.

La fig. 2 est le schéma de couplage électrique du dispositif suivant l'invention.

Les fig. 3a à 3h expliquent le réglage du dispositif pour l'inclinaison de la sonde de rayonnement superficiel.

Comme le montre la fig. 1, le faisceau 2, émanant de l'organe de concentration I d'un système générateur de rayons, est délimité par les bords 3 et 4, perpendiculaires l'un à l'autre, d'un premier diaphragme 5 et par les bords 6 et 7 d'un deuxième diaphragme 8 de façon que la section du faisceau présente dans le plan du deuxième diaphragme 8 la forme d'un rectangle, le diaphragme limitateur 5 étant de plus reproduit au niveau du diaphragme 8 par les condenseurs 9 et 10.Le format de la section rectangulaire du faisceau peut être réglé en décalant perpendiculairement à l'axe la reproduction du premier diaphragme 5 dans le plan du deuxième diaphragme 8 au moyen du système de déviation de format 11. affin de ne pas déplacer, lors du réglage du format, la reproduction de l'organe de concentration 1, appelée pupille, et se trouvant dans le plan du diaphragme d'ouverture 11, on crée une image intermédiaire 13 de l'organe de concentration au niveau du plan de pivotement virtuel du système de déviation de format 11 à l'aide du condenseur 9. Cette image intermédiaire 13 est reproduite par le deuxième condenseur 10 dans le plan de la deuxième pupille intermédiaire qui est conjuguée optiquement par rapport au plan du diaphragme d'ouverture 12 au moyen d'une lentille intermédiaire 15.La section du faisceau délimité dans le plan du deuxième diaphragme 8, pour former un rectangle à format réglable et à direction latérale constante, est reproduite sous une forme réduite par la lentille intermédiaire 15 dans un plan intermédiaire 16 et l'objectif de dévia tionl9, comprenant une lentille de transmission 17 et un système de déviation 18, transmet cette section de faisceau sur un endroit quelconque à l'intérieur du champ de travail dans le plan de la cible 20 du fait que la lentille 17 reproduit le plan 16 au niveau du plan 20 et que le système 18 dévie le faisceau. Les côtés latéraux de la sonde de rayonnement superficiel rectangulaire sont orientés, de préférence par voie optique, parallèlement à la direction x ou y du système de déviation 18 en ajustant préalablement et de manière mécanique- les bords des diaphragmes limiteurs 5 et 8 tout en tenant compte de la rotation d'image des lentilles 15 et 17. Un système de dévia tion ;; permet le centrage de la pupille sur le centre du diaphragme d'ouverture 12. La reproduction du plan de la cible 2G ou du diaphragme d'ouverture IL: sur un écran de visualisation 25 est obtenue au moyen d'un sys tène composé des lentilles 12, 23 et 24.

En principe il est possible de faire effectuer une rotation à la sonde de rayonnement superficiel en agissant sur l'excitation du diaphragme intermédiaire 15.

Cependant, par suite de l'effet de défocalisation produit par la lentille intermédiaire 15, des déplacements axiaux sont créés aussi bien des plans d'image 16 et 20 conjugués au plan du diaphragme limiteur de faisceau 8 que de la pupille. Afin de compenser les effets secondaires en résultant, les excitations des lentilles 17 et 10 doivent être réglées de nouveau ce qui dérègle alors le format qui doit, de ce fait, être réajusté et étalonné. Etant donné qutil n'y a aucune garantie que la reproduction du point d'intersection des deux bords 6 et 7 du deuxième diaphragme limiteur 8 ne se déplace pas dans le plan de la cible 20 lors d'une modification de l'excitation de la lentille 15, il est nécessaire de Drocéder à un réajustement de la position après chaque rotation de format.

Cependant ceci pose desproblèmes du fait de l'absence de parallélisme de la sonde de rayonnement superficiel nar rapport au répère de la position initiale. On n'est également pas assuré que la position concentrique de la pupille par rapport à l'ouverture du diaphragme 12 soit conservée lors de la modification de l'excitation de la lentille 15 de sorte qu'il est nécessaire de réajuster la pupille en compensant son décalage à l'aide du système de déviation 21.

Afin d'améliorer le procédé décrit, l'inclinaison de la sonde de rayonnement superficiel est réalisée en utilisant une lentille additionnelle 26 qui est Dlacée entre le deuxième diaphragme limiteur 8 et la lentille intermédiaire 15. L'enroulement d'excitation 7 de la lentille additionnelle 26 est alimenté en permanence nar un courant électrique et l'inclinaison de la sonde de rayonnement superficiel s'effectue en inversant la polarité de ce courant. En conséquence le premier étalonnage du système d'optique électronique a lieu lorsque la lentille additionnelle 26 se trouve déjà à l'état excité.

De légères défocalisations peuvent se produire lors de l'inversion de la polarité de la lentille additionnelle 26 par suite de l'existence, dans la zone axiale de cette dernière, d'un champ magnétique constant qui n'est pas créé par l'enroulement d'excitation 27. En vue de supprimer cet effet perturbateur, on crée un champ magnétique continu et constant par rapport au champ d'iversion magnétique de l'enroulement d'excitation 27 soit en additionnant, au courant d'inversion de polarité circulant dans l'enroulement d'excitation 27, un courant continu constant, soit en prévoyant un deuxième enroulement d'excitation 28 alimenté par un courant continu constant. L'intensité et le sens du courant continu sont réglés de façon à supprimer toute défocalisation de la sonde de rayonnement superficiel aussi bien dans la position normale que dans la position oblique de celle-ci.Afin d'être sûr que le point d'intersection des bords 6 et 7 dans la reproduction du diaphragme limiteur de faisceau 8 constitue le point de rotation de la sonde de rayonnement superficiel lors du passage de la position normale à la position oblique et inversement, on prévoit un système de déviation 29 qui est alimenté par un courant dont 1 inversion de polarité s'effectue simultanément à la rotation de la sonde de rayonnement superficiel. L'intensité du courant est réglée de façon que la déviation créée lors de l'inversion de la polarité du système de déviation 29 compense le décalage du coin ou de l'angle en question du diaphragme limiteur 8 provoqué par l'inversion de la polarité de l'enroulement d'excitation 27.Il est également possible d'inverser la polarité du système de déviation 29 en superposant le courant d 'inver- sion à un courant continu constant du système de déviation.

On assure, en procédant de façon analogue, que le centrage de la pupille par rapport au diaphragme d'ouverture est conservé lors de la rotation de la sonde de rayonnement superficiel du fait qu'on prévoit un autre système de déviation 30 qui est alimenté par un courant dont l'inversion de polarité s'effectue de façon synchrone avec la rotation de la sonde de rayonnement superficiel. Le courant est réglé pour que la déviation produite par l'inversion de polarité du système de déviation 30 compense le décalage de la pupille résultant de l'inversion de polarité de l'enroulement d'excitation.

A la fig. 2 l'enroulement d'excitation 27 est relié à un générateur de courant 33 par l'intermédiaire des conducteurs 31 et d'un inverseur de polarité 32. Les systèmes de déviation 29 et 30 sont également raccordés à des générateurs 38 et 39 au moyen de conducteurs 34 et 35 et d'inverseurs de polarité 36 et 37. Les systèmes de déviation 29 et 30 sont constitués chacun par deux réflecteurs réglables individuellement et dont l'un est associé à la direction de déviation x tandis que l'autre est associé à la direction de déviation y.

Les déflecteurs pour la direction de déviation y, non représentés à la fig. 2, sont également reliés chacun par l'intermédiaire de conducteurs d'alimentation et d'un inverseur de polarité à un générateur de courant. Par suite d'un ordre émis par un po programme de commande tous les cinq inverseurs sont commutés simultanément. Il est avantageux de placer les points de pivotement de la déviation du faisceau dans le plan 14 de la pupille intermédiaire ou dans celui du deuxième diaphragme limiteur de faisceau 8 au moyen des systèmes de déviation 29 et 30 en montant en opposition à ces derniers des systèmes de déviation supplémentaires 40 et 41. L'enroulement d'excitation 28 est raccordé au moyen des conducteurs 42 à un générateur de courant 43. L'intensité et le sens du courant des générateurs sont réglables.

En vue de l'étalonnage du dispositif de réglage pour obtenir la position oblique de la sonde de rayonnement superficiel on peut, par l'intermédiaire d'un programme de commande, modifier périodiquement avec une fréquence de, par exemple, 50 Hz les paramètres de la section du faisceau à savoir sa position, son format et/ou son emplacement. Il est possible de visualiser sur un écran 25, et sous forme d'une image immobile, chaque état périodique de la section du faisceau par l'intermédiaire du dispositif de projection. Les fig. 3a à 3f illustrent, à titre d'exemples, les différentes possibilités.

La fig. 3a représente le format initial de forme carrée 44 qui est obtenu lors de la position normale de la sonde de rayonnement superficiel et lorsque le système de déviation de format Il et le système de déviation d'orientation 18 ne sont pas excités. Le carré 45 montre la position du format initial après inversion de la polarité de I'excitation de l'enroulement 27. Le point image de l'intersection des bords 6 et 7 est désigné par 46, ce point image 46 ayant été dévié sur le point image 47 par suite de la rotation de la sonde de rayonnement superficiel. Le système de déviation 29, dont la polarité a été inversée de façon synchrone, est réglé en intensité et en direction pour faire coïncider les deux points image 46 et 47, comme le montre la fig. 3b.

Lorsqu'on change, en plus de la rotation, le format dé la manière visible à la fig. 3c, on obtient alors une valeur de réglage pour l'excitation de l'enroulement 27.

A la fig. 3c l'angle de rotation est inférieur à l'angle nominal de 450, et à la fig. 3d l'angle de rotation est exactement de 450,
Une autre possibilité pour obtenir un critère de réglage pour les amplitudes de l'excitation de l'enroulement 27 est expliquée à l'aide des fig. 3e et 3f.Dans ce cas une succession de positionnement du format initial servant à l'étalonnage du format est tournée de 450 ou d'un autre angle nominal prédéterminé, par suite d'une rotation de la direction de déviation du système de positionnement comme cela est illustré par les fig. 3 et 3h et cette succession de positionnement est utilisée nour le format initial tourné. h la fig. 3e l'angle de rotation du format initial est inférieur et à la fig. 3f il est supé rieur à l'angle nominal qui est prédéterminé par la rotation électronique de -la direction de déviation du système de positionnement 18 et qui détermine la position oblique de la sonde de rayonnement superficiel en faisant disparaître la surface non éclairée 48.

Il est avantageux que les cycles de la succession de positionnement selon les fig. 3g et 3h se suivent périodiquement de sorte à obtenir une image immobile sur l'écran de visualisation 25. Lors du réglage de l'amplitude de l'inversion de la polarité de l'enroulement 27 pour faire disparaître la surface 48 le format initial est également tourné vers sa position normale ce qui a pour effet de faire apparaître, au cours du cycle de positionnement de la position normale (fig. 3E),une surface contrastée et correspondant à la surface 48. Cette surface peut être éliminée par une rotation de l'image en agissant sur l'excitation de la lentille intermédiaire 15.

Une déviation de la pupille- au niveau du diaphragme d'ouverture 12 peut être représentée directement sur l'écran par une reproduction du diaphragme d'ouverture ou indirectement par une comparaison de luminosité des quatre coins ou angles du format initial se rencontrant au centre de la succession de positionnement. La correction de la déviation de la pupille s'effectue par un réglage de l'intensité et de la direction du système de déviation 30 dont la polarité est inversée de façon synchrone. Des différences de netteté au niveau des bords de la sonde de rayonnement superficiel sont corrigées, aussi bien dans la position normale que dans la position oblique de la sonde,par un régalage approprié de l'excitation de l'enroulement 28.

Claims (9)

REVENDICATIONS

1 - Procédé pour l'inclinaison de sondes de rayonnement superficiel dans un appareil à rayonnement corpusculaire et notamment dans un appareil émetteur de faisceau électronique, suivant lequel la section formée du faisceau est reproduite dans le plan de la cible par au moins une lentille de transmission électromagnétique et suivant lequel le plan de la cible,peut être visuAlisé sur un écran, caractérisé en ce qu'on crée en amont de la lentille de transmission un champ magnétique qui, en étant dirigé parallèlement à l'axe optique, agit sur le faisceau formé et dont la polarité est inversée pour obtenir la position oblique de la sonde de rayonnement superficiel et en ce quon crée,pour pouvoir amener le centre d'inversion de polarité sur un coin de la sonde de rayonnement superficiel, un champ de déviation dirigé perpendiculairement à l'axe optique et dont l'intensité et la direction sont réglables, la polarité de ce champ étant inversée de façon synchrone à celle du champ magnétique s'étendant parallèlement à l'axe optique.

2 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la compensation d'une déviation de la pupille est réalisée au moyen d'un autre champ de déviation à intensité et direction réglables, s'étendant perpendiculairement à l'axe oblique et dont la polarité est inversée de façon synchrone à celle du champ parallèle à l'axe optique.

3 - Procédé suivant l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'une défocalisation,apparaissant lors de la rotation de la sonde de rayonnement superficiel, est compensée en superposant,au champ magnétique parallèle à l'axe optique, un champ magnétique continu à intensité réglable.

4 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'un contrôle de l'inclinaison de la sonde de rayonnement superficiel s'effectue en fonction de critères qui sont visualisés sur l'écran lors de la reproduction du plan de la cible en modifiant périodiquement la position angu laire, le format et/ou le positionnement de la section du faisceau.

5 - Dispositif pour incliner des sondes de rayonnement superficiel dans un appareil à rayonnement corpusculaire, notamment dans un appareil à faisceau électronique, qui comporte deux diaphragmes limiteurs de faisceau pour déterminer la section du faisceau, au moins une lentille de transmission électromagnétique pour la-repro- duction des diaphragmes limiteurs de faisceau au niveau du plan de la cible, et un dispositif de projection pour la reproduction du plan de la cible sur un écran de visualisation, caractérisé en ce qu'une lentille additionnelle 26,constituée par plusieurs spires circulaires métalliques, est disposée coaxialement à l'axe optique entre le deuxième diaphragme limiteur 8 et la lentille de transmission 17 et est reliée à un générateur de courant 33 par l'intermédiaire d'un inverseur de polarité 32 et en ce aue sur au moins l'un des côtés frontaux de la lentille additionnelle 26 est prévu au moins un système de déviation 29 qui est relié par l'intermédiaire d'un inverseur de polarité 36 à un générateur de courant 38.

6 - Dispositif suivant la revendication 5, caractérisé en ce que des systèmes de déviation 29, 30 sont prévus sur les deux côtés frontaux de la lentille additionnelle 26.

7 - Dispositif suivant l'une des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que des systèmes de déviation supplémentaires 40, 41 sont montés en opposition aux systèmes de déviation 29, 30.

8 - Dispositif suivant la revendication 5, caractérisé en ce que la lentille additionnelle 26 est constituée par deux enroulements partiels 27, 28 dont le deuxième enroulement 28 est relié à un générateur de courant 43 qui délivre un courant continu à intensité réglable.

9 - Dispositif suivant l'une des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que la lentille additionnelle 26 est placée dans une enceinte en ferrite et en ce que les systèmes de déviation sont des systèmes de déviation à toroïde dont les toroldes sont en ferrite.