FI93580B - Förfarande och anordning för återkoppling av en osymmetrisk tryckskillnadsgivare - Google Patents
Förfarande och anordning för återkoppling av en osymmetrisk tryckskillnadsgivare Download PDFInfo
- Publication number
- FI93580B FI93580B FI934434A FI934434A FI93580B FI 93580 B FI93580 B FI 93580B FI 934434 A FI934434 A FI 934434A FI 934434 A FI934434 A FI 934434A FI 93580 B FI93580 B FI 93580B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- feedback
- sensor
- electrode
- measured
- capacitor
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
- G01L11/004—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces
- G01L11/008—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces electrostatic or electromagnetic counterbalancing forces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Claims (13)
1. Förfarande för äterkoppling av en osymmetrisk tryckskillnadsgivare, varvid ett för tryck känsligt membran (1), som bildar en första elektrod i givaren, medelst 5 en puisad signal hälls i kraftbalans i förhällande tili en motelektrod (2, 3), kännetecknat avatt - membranet (1) hälls statlonärt i ett geometriskt oförändrat tillständ och en önskad elektrisk potential kopplas tili membranet (1), 10 - den pulsade signalen mätäs tili minst tvä motelektroder (2, 3) eller elektrodgrupper pä sä sätt, att - de tili olika elektroder (2, 3) eller elektrodgrupper 15 matade signalema under ätminstone en del av mättiden uppvisar inverterade polariteter i förhällande tili det tryck-känsliga membranets (1) elektriska potential, och - de tili olika elektroder (2, 3) eller elektrodgrupper 20 matade signalema ätminstone elektrodparvis (2, 3) uppvisar lika Stora amplituder, och att - samma pulsade signal används samtidigt bäde för ä-stadkom-mande av kraftbalansen och för utförande av kapacitansmätningen. 25
2. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat av att kapacitansen mellan den tryckkänsliga elektroden (1) och motelektrodema (2, 3) mäts i tvä cykliskt altemerande faser, varvid 30. skillnaden mellan tvä givarkapacitanser (C1 - C2) mäts vid en första fas, och - summan av tvä givarkapacitanser (Cn + C2) mäts vid en andra fas. 22 93580
3. Förfarande enligt patentkravet 2, kännetecknat avatt skillnaden mellan tvä mätkapacitanser (C1 - C2) hälles konstant medelst äterkoppling, varvid det geometriska tillständet hos givarens tryckkänsliga membran (1) förblir oförändrat och en förändring i dielektricitetskonstanten beräknas pä basen av en 5 förändring i summan av mätkapacitansema (C1 + C2).
4. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat avatt signaler (+V0, -V„), som är inverterade i förhällande till jordpotentiaien, mätäs tili de olika motelektrodema (2, 3). 10
5. Förfarande enligt patentkravet 1, varvid en pulsfrekvensmodulerad signal används som äterkopplingselement, kännetecknat av att förändringen i dielektricitetskonstanten kompenseras genom att ändra pulsamplituden eller -bredden. 15
6. Förfarande enligt patentkravet 1, varvid en pulsbreddsmodulerad signal används som äterkopplingselement, kännetecknat av att förändringen i dielektricitetskonstanten kompenseras genom att ändra pulsamplituden eller -frekvensen. 20
7. Förfarande enligt patentkravet 1, varvid en amplitudmodulerad signal används som äterkopplingselement, kännetecknat av att förändringen i dielektricitetskonstanten kompenseras genom att ändra pulsbredden eller -frekvensen. 25
8. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat av att den pulsade signalen med hjälp av en strömställare (12) ansluts tili givarmembranet (1) via en referenskondensator (11) pä sä sätt, att den pulsade signalen ansluts tili givarelektrodema (2, 3) med samma polaritet och tili referenskondensatom (11) 30 med motsatt polaritet i förhällande tili givarmembranets (1) elektriska potential.
9. Anordning för elektrisk äterkoppling av en osymmetrisk tryckskillnadsgivare (1, 2, 3) i enlighet med kraftbalansprincipen, omfattande 23 93580 - ett tryckkänsligt membran (1), som utgör en första elektrod i den kondensator som skall mätäs, - minst en i närheten av det tryckkänsiiga membranet (1) anordnad 5 motelektrod (2, 3), som utgör en andra elektrod i den kondensator som skall mätäs, - kapacitansmätningsorgan (5) för bestämning av kapadtansen hos den kondensator som skall mätäs, ooh 10 - en äterkopplingsanordning (9, 4, 22, 19) för äterkoppling medelst en pulsad elektrisk signal i enlighet med kraftbalansprincipen av den kondensator som skall mätäs, 15 kännetecknad avatt - motelektroden (2, 3) bildas av minst tvä koncentriska elektroder (2, 3), ooh 20 - äterkopplingsanordningen (9, 4, 22, 19) omfattar ett don (7) för bildande av minst tvä pulsade signaler (+V0I -V0), som uppvisar .. inverterad polaritet i förhällande tili det tryckkänsiiga membranets (1) elektriska potential ooh kan mätäs tili minst tvä av motelektrodema (2, 3). 25
10. Anordning enligt patentkravet 9, kännetecknad avatt äterkopplingsanordningen (9, 4, 22, 19) omfattar ett kopplingsdon (13), medelst vilket minst en av motelektrodema (2) kan anslutas tili en inverterad och en oinverterad pulsad signal pä ett altemerande sätt. 30
11. Anordning enligt patentkravet 10, kännetecknad avatt den utöver givarkapacitansen (C1 + C2) även omfattar en tili givarmembranet (1) ansluten referenskondensator (11) och en strömställare (12), med vilken referenskonden- 93580 24 satom (11) kan anslutas till och bortkopplas fran matningen.
12. Anordning enligt patentkravet 9, kännetecknad avatt motelektroder-na (2, 3) uppvisar ätminstone approximativt lika Stora effektiva ytor. 5
13. Anordning enligt patentkravet 9, kännetecknad avatt referenskon-densatoms (11) kapacitans och summan (C-, + C2) av kapadtansema mellan givarens stationära elektroder (2, 3) och givarmembranet (1) är ätminstone approximativt lika stora. 10 t * t tl;
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI934434A FI93580C (sv) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | Förfarande och anordning för återkoppling av en osymmetrisk tryckskillnadsgivare |
EP94307077A EP0647840B1 (en) | 1993-10-08 | 1994-09-28 | Method and apparatus for feedbackcontrol of an asymmetric differential pressure transducer |
DE69419100T DE69419100T2 (de) | 1993-10-08 | 1994-09-28 | Verfahren und Vorrichtung zur Rückkopplungsregelung eines asymmetrischen Differenzdruckwandlers |
US08/317,358 US5641911A (en) | 1993-10-08 | 1994-10-04 | Method and apparatus for feedback-control of an asymmetric differential pressure transducer |
CA002133685A CA2133685C (en) | 1993-10-08 | 1994-10-05 | Method and apparatus for feedback-control of an asymmetric differential pressure transducer |
JP24387094A JP3339974B2 (ja) | 1993-10-08 | 1994-10-07 | 非対称差圧トランスジューサの帰還制御方法及び装置 |
NO943787A NO308052B1 (no) | 1993-10-08 | 1994-10-07 | FremgangsmÕte og apparat for tilbakekopling av en asymmetrisk differensialtrykkføler |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI934434 | 1993-10-08 | ||
FI934434A FI93580C (sv) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | Förfarande och anordning för återkoppling av en osymmetrisk tryckskillnadsgivare |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI934434A0 FI934434A0 (sv) | 1993-10-08 |
FI93580B true FI93580B (sv) | 1995-01-13 |
FI93580C FI93580C (sv) | 1995-04-25 |
Family
ID=8538733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI934434A FI93580C (sv) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | Förfarande och anordning för återkoppling av en osymmetrisk tryckskillnadsgivare |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5641911A (sv) |
EP (1) | EP0647840B1 (sv) |
JP (1) | JP3339974B2 (sv) |
CA (1) | CA2133685C (sv) |
DE (1) | DE69419100T2 (sv) |
FI (1) | FI93580C (sv) |
NO (1) | NO308052B1 (sv) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI102783B1 (sv) * | 1994-12-22 | 1999-02-15 | Vaisala Oyj | Förfarande för linearisering av en strömhastighetsgivare samt lineariserad strömhastighetsmätanordning |
US5817943A (en) * | 1997-03-24 | 1998-10-06 | General Electric Company | Pressure sensors |
FI105237B (sv) * | 1998-06-24 | 2000-06-30 | Valtion Teknillinen | Kiselmikromekanisk våg |
JP4467027B2 (ja) * | 2000-10-30 | 2010-05-26 | ミヤチシステムズ株式会社 | 電気回路の断線検査方法 |
US20030098699A1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-29 | Lemkin Mark A. | Sense interface system with velocity feed-through rejection |
US20050224899A1 (en) * | 2002-02-06 | 2005-10-13 | Ramsey Craig C | Wireless substrate-like sensor |
FR2851368B1 (fr) * | 2003-02-18 | 2008-03-07 | Agence Spatiale Europeenne | Composants electroniques comportant des condensateurs micro electromecaniques a capacite ajustable |
DE60306892T2 (de) * | 2003-05-02 | 2007-08-30 | Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza | Verfahren und Anordnung zur Messung der Kopplungskapazität zwischen zwei Leiterbahnen |
US6877382B1 (en) * | 2003-10-20 | 2005-04-12 | Robert D Gourlay | Inhalation detector |
WO2007098149A2 (en) * | 2006-02-21 | 2007-08-30 | Cyberoptics Semiconductor, Inc. | Capacitive distance sensing in semiconductor processing tools |
US7893697B2 (en) * | 2006-02-21 | 2011-02-22 | Cyberoptics Semiconductor, Inc. | Capacitive distance sensing in semiconductor processing tools |
DE112007002309T5 (de) | 2006-09-29 | 2009-07-30 | Cyberoptics Semiconductor, Inc., Beaverton | Substratähnlicher Teilchensensor |
CN100498865C (zh) * | 2006-10-20 | 2009-06-10 | 沈阳中科博微自动化技术有限公司 | 压力数字化采集前端 |
US20080246493A1 (en) * | 2007-04-05 | 2008-10-09 | Gardner Delrae H | Semiconductor Processing System With Integrated Showerhead Distance Measuring Device |
US20090015268A1 (en) * | 2007-07-13 | 2009-01-15 | Gardner Delrae H | Device and method for compensating a capacitive sensor measurement for variations caused by environmental conditions in a semiconductor processing environment |
DE102007062713A1 (de) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor und Verfahren zu dessen Kalibrierung |
US10420374B2 (en) | 2009-09-18 | 2019-09-24 | Altria Client Services Llc | Electronic smoke apparatus |
EP2343507B1 (fr) * | 2009-12-24 | 2012-11-28 | EM Microelectronic-Marin SA | Procédé de mesure d'un paramètre physique et circuit électronique d'interface d'un capteur capacitif pour sa mise en oeuvre |
US8656772B2 (en) | 2010-03-22 | 2014-02-25 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with pressure output signal |
US8616065B2 (en) * | 2010-11-24 | 2013-12-31 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor |
US8695417B2 (en) | 2011-01-31 | 2014-04-15 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with enhanced flow range capability |
TWI447402B (zh) * | 2012-03-05 | 2014-08-01 | Mstar Semiconductor Inc | 電容偵測裝置及應用該電容偵測裝置之電容式觸控系統 |
US9052217B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-06-09 | Honeywell International Inc. | Variable scale sensor |
US10309997B2 (en) * | 2013-03-15 | 2019-06-04 | Infineon Technologies Ag | Apparatus and a method for generating a sensor signal indicating information on a capacitance of a variable capacitor comprising a variable capacitance |
US8960010B1 (en) | 2013-12-23 | 2015-02-24 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Automatic detection and adjustment of a pressure pod diaphragm |
DE102014201529A1 (de) * | 2014-01-28 | 2015-07-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum Betreiben eines Druckmessumformers sowie Druckmessumformer |
US9645029B2 (en) | 2014-04-07 | 2017-05-09 | Infineon Technology Ag | Force feedback loop for pressure sensors |
JP6430628B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-11-28 | フレセニウス メディカル ケア ホールディングス インコーポレーテッド | 体外血液透析機用圧力出力装置 |
US11511891B2 (en) * | 2018-11-19 | 2022-11-29 | Andrew Neil Aurigema | System and method for generating forces using asymmetrical electrostatic pressure |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1450709A (en) * | 1973-12-31 | 1976-09-29 | Birchall D J | Pressure transducers |
US4434664A (en) * | 1981-07-06 | 1984-03-06 | The Bendix Corporation | Pressure ratio measurement system |
US4584885A (en) * | 1984-01-20 | 1986-04-29 | Harry E. Aine | Capacitive detector for transducers |
FI872049A (fi) * | 1987-05-08 | 1988-11-09 | Vaisala Oy | Kondensatorkonstruktion foer anvaendning vid tryckgivare. |
US5211051A (en) * | 1987-11-09 | 1993-05-18 | California Institute Of Technology | Methods and apparatus for improving sensor performance |
GB8728442D0 (en) * | 1987-12-04 | 1988-01-13 | Russell M K | Triaxial accelerometers |
JPH0672899B2 (ja) * | 1988-04-01 | 1994-09-14 | 株式会社日立製作所 | 加速度センサ |
US5377524A (en) * | 1992-06-22 | 1995-01-03 | The Regents Of The University Of Michigan | Self-testing capacitive pressure transducer and method |
FI93579C (sv) * | 1993-08-20 | 1995-04-25 | Vaisala Oy | Kapacitiv givare som är återkopplad med elektrostatisk kraft och förfarande för styrning av formen hos dess aktiva element |
-
1993
- 1993-10-08 FI FI934434A patent/FI93580C/sv active
-
1994
- 1994-09-28 EP EP94307077A patent/EP0647840B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-09-28 DE DE69419100T patent/DE69419100T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-10-04 US US08/317,358 patent/US5641911A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-10-05 CA CA002133685A patent/CA2133685C/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-10-07 NO NO943787A patent/NO308052B1/no not_active IP Right Cessation
- 1994-10-07 JP JP24387094A patent/JP3339974B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2133685A1 (en) | 1995-04-09 |
JP3339974B2 (ja) | 2002-10-28 |
NO943787D0 (no) | 1994-10-07 |
EP0647840B1 (en) | 1999-06-16 |
JPH07181094A (ja) | 1995-07-18 |
EP0647840A2 (en) | 1995-04-12 |
US5641911A (en) | 1997-06-24 |
FI934434A0 (sv) | 1993-10-08 |
NO308052B1 (no) | 2000-07-10 |
DE69419100D1 (de) | 1999-07-22 |
CA2133685C (en) | 2006-08-15 |
NO943787L (no) | 1995-04-10 |
EP0647840A3 (en) | 1996-01-31 |
DE69419100T2 (de) | 2000-03-30 |
FI93580C (sv) | 1995-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI93580B (sv) | Förfarande och anordning för återkoppling av en osymmetrisk tryckskillnadsgivare | |
US6516672B2 (en) | Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter | |
JP4832512B2 (ja) | 静電容量の測定回路 | |
US6720777B2 (en) | Bridged capacitor sensor measurement circuit | |
US5440939A (en) | Servo-controlled pendular micro-sensor | |
Smith et al. | A 15 b electromechanical sigma-delta converter for acceleration measurements | |
CA2010987C (en) | Pulse-driven accelerometer arrangement | |
JPH06265417A (ja) | 力測定装置 | |
US4336718A (en) | Control circuit for accelerometer | |
US4743836A (en) | Capacitive circuit for measuring a parameter having a linear output voltage | |
JP6038152B2 (ja) | 物理量を検出する容量性変換器システム | |
EP1072893A1 (en) | Method and apparatus for reducing output noise in a digitally rebalanced accelerrometer | |
JPH05180674A (ja) | 磁気誘導型流量計 | |
WO2016180568A1 (en) | Sensor circuit and method for measuring a physical or chemical quantity | |
US7347096B2 (en) | Digital accelerometer | |
KR101759390B1 (ko) | 전자 측정 회로 | |
JP2008529370A (ja) | デルタシグマ変調器 | |
Nagarajan et al. | An improved direct digital converter for bridge-connected resistive sensors | |
Areekath et al. | An auto-balancing capacitance-to-pulse-width converter for capacitive sensors | |
JPH08233598A (ja) | 容量性センサの校正回路 | |
KR20160102900A (ko) | 전자 측정 회로 | |
CA2828057C (en) | Method for using a sensor system having a single-bit quantizer and a multi-bit feedback loop | |
JP4664297B2 (ja) | 同期したシグマ−デルタ変換器を用いたマルチ相計測システム | |
JPS60178368A (ja) | 測定電流をこれに比例するパルスレ−トに変換する方法および装置 | |
JP3189987B2 (ja) | 容量型センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BB | Publication of examined application |