DE69419100D1 - Verfahren und Vorrichtung zur Rückkopplungsregelung eines asymmetrischen Differenzdruckwandlers - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Rückkopplungsregelung eines asymmetrischen Differenzdruckwandlers

Info

Publication number
DE69419100D1
DE69419100D1 DE69419100T DE69419100T DE69419100D1 DE 69419100 D1 DE69419100 D1 DE 69419100D1 DE 69419100 T DE69419100 T DE 69419100T DE 69419100 T DE69419100 T DE 69419100T DE 69419100 D1 DE69419100 D1 DE 69419100D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
differential pressure
feedback control
pressure converter
asymmetrical differential
asymmetrical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69419100T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69419100T2 (de
Inventor
Tapani Ryhanen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vaisala Oy
Original Assignee
Vaisala Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaisala Oy filed Critical Vaisala Oy
Application granted granted Critical
Publication of DE69419100D1 publication Critical patent/DE69419100D1/de
Publication of DE69419100T2 publication Critical patent/DE69419100T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
    • G01L11/004—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces
    • G01L11/008—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces electrostatic or electromagnetic counterbalancing forces
DE69419100T 1993-10-08 1994-09-28 Verfahren und Vorrichtung zur Rückkopplungsregelung eines asymmetrischen Differenzdruckwandlers Expired - Lifetime DE69419100T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI934434A FI93580C (fi) 1993-10-08 1993-10-08 Menetelmä ja laitteisto epäsymmetrisen paine-eroanturin takaisinkytkemiseksi

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69419100D1 true DE69419100D1 (de) 1999-07-22
DE69419100T2 DE69419100T2 (de) 2000-03-30

Family

ID=8538733

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69419100T Expired - Lifetime DE69419100T2 (de) 1993-10-08 1994-09-28 Verfahren und Vorrichtung zur Rückkopplungsregelung eines asymmetrischen Differenzdruckwandlers

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5641911A (de)
EP (1) EP0647840B1 (de)
JP (1) JP3339974B2 (de)
CA (1) CA2133685C (de)
DE (1) DE69419100T2 (de)
FI (1) FI93580C (de)
NO (1) NO308052B1 (de)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI102783B (fi) * 1994-12-22 1999-02-15 Vaisala Oyj Menetelmä virtausnopeusanturin linearisoimiseksi sekä linearisoitu vir tauksen nopeuden mittauslaitteisto
US5817943A (en) * 1997-03-24 1998-10-06 General Electric Company Pressure sensors
FI105237B (fi) * 1998-06-24 2000-06-30 Valtion Teknillinen Piimikromekaaninen vaaka
JP4467027B2 (ja) * 2000-10-30 2010-05-26 ミヤチシステムズ株式会社 電気回路の断線検査方法
US20030098699A1 (en) * 2001-11-16 2003-05-29 Lemkin Mark A. Sense interface system with velocity feed-through rejection
US20050224899A1 (en) * 2002-02-06 2005-10-13 Ramsey Craig C Wireless substrate-like sensor
FR2851368B1 (fr) 2003-02-18 2008-03-07 Agence Spatiale Europeenne Composants electroniques comportant des condensateurs micro electromecaniques a capacite ajustable
EP1475642B1 (de) * 2003-05-02 2006-07-19 STMicroelectronics S.r.l. Verfahren und Anordnung zur Messung der Kopplungskapazität zwischen zwei Leiterbahnen
US6877382B1 (en) * 2003-10-20 2005-04-12 Robert D Gourlay Inhalation detector
US7893697B2 (en) * 2006-02-21 2011-02-22 Cyberoptics Semiconductor, Inc. Capacitive distance sensing in semiconductor processing tools
WO2007098149A2 (en) * 2006-02-21 2007-08-30 Cyberoptics Semiconductor, Inc. Capacitive distance sensing in semiconductor processing tools
GB2455006A (en) 2006-09-29 2009-05-27 Cyberoptics Semiconductor Inc Substrate-like particle sensor
US20080246493A1 (en) * 2007-04-05 2008-10-09 Gardner Delrae H Semiconductor Processing System With Integrated Showerhead Distance Measuring Device
US20090015268A1 (en) * 2007-07-13 2009-01-15 Gardner Delrae H Device and method for compensating a capacitive sensor measurement for variations caused by environmental conditions in a semiconductor processing environment
DE102007062713A1 (de) * 2007-12-27 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Drucksensor und Verfahren zu dessen Kalibrierung
EP2343507B1 (de) * 2009-12-24 2012-11-28 EM Microelectronic-Marin SA Verfahren zum kapazitiven Messen eines physikalischen Parameters und elektronischer Schnittstellenschaltkreis für einen kapazitiven Sensor
US8656772B2 (en) 2010-03-22 2014-02-25 Honeywell International Inc. Flow sensor with pressure output signal
US8616065B2 (en) * 2010-11-24 2013-12-31 Honeywell International Inc. Pressure sensor
US8695417B2 (en) 2011-01-31 2014-04-15 Honeywell International Inc. Flow sensor with enhanced flow range capability
TWI447402B (zh) * 2012-03-05 2014-08-01 Mstar Semiconductor Inc 電容偵測裝置及應用該電容偵測裝置之電容式觸控系統
US9052217B2 (en) 2012-11-09 2015-06-09 Honeywell International Inc. Variable scale sensor
US10309997B2 (en) * 2013-03-15 2019-06-04 Infineon Technologies Ag Apparatus and a method for generating a sensor signal indicating information on a capacitance of a variable capacitor comprising a variable capacitance
US8960010B1 (en) 2013-12-23 2015-02-24 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Automatic detection and adjustment of a pressure pod diaphragm
DE102014201529A1 (de) * 2014-01-28 2015-07-30 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum Betreiben eines Druckmessumformers sowie Druckmessumformer
US9645029B2 (en) * 2014-04-07 2017-05-09 Infineon Technology Ag Force feedback loop for pressure sensors
US9757505B2 (en) * 2014-09-26 2017-09-12 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Pressure output device for extracorporeal hemodialysis machine
US11511891B2 (en) * 2018-11-19 2022-11-29 Andrew Neil Aurigema System and method for generating forces using asymmetrical electrostatic pressure

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1450709A (en) * 1973-12-31 1976-09-29 Birchall D J Pressure transducers
US4434664A (en) * 1981-07-06 1984-03-06 The Bendix Corporation Pressure ratio measurement system
US4584885A (en) * 1984-01-20 1986-04-29 Harry E. Aine Capacitive detector for transducers
FI872049A (fi) * 1987-05-08 1988-11-09 Vaisala Oy Kondensatorkonstruktion foer anvaendning vid tryckgivare.
US5211051A (en) * 1987-11-09 1993-05-18 California Institute Of Technology Methods and apparatus for improving sensor performance
GB8728442D0 (en) * 1987-12-04 1988-01-13 Russell M K Triaxial accelerometers
JPH0672899B2 (ja) * 1988-04-01 1994-09-14 株式会社日立製作所 加速度センサ
US5377524A (en) * 1992-06-22 1995-01-03 The Regents Of The University Of Michigan Self-testing capacitive pressure transducer and method
FI93579C (fi) * 1993-08-20 1995-04-25 Vaisala Oy Sähköstaattisen voiman avulla takaisinkytketty kapasitiivinen anturi ja menetelmä sen aktiivisen elementin muodon ohjaamiseksi

Also Published As

Publication number Publication date
DE69419100T2 (de) 2000-03-30
CA2133685A1 (en) 1995-04-09
FI93580B (fi) 1995-01-13
EP0647840A2 (de) 1995-04-12
FI934434A0 (fi) 1993-10-08
JPH07181094A (ja) 1995-07-18
EP0647840B1 (de) 1999-06-16
NO943787D0 (no) 1994-10-07
NO943787L (no) 1995-04-10
US5641911A (en) 1997-06-24
NO308052B1 (no) 2000-07-10
FI93580C (fi) 1995-04-25
JP3339974B2 (ja) 2002-10-28
CA2133685C (en) 2006-08-15
EP0647840A3 (de) 1996-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69419100D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Rückkopplungsregelung eines asymmetrischen Differenzdruckwandlers
DE69413642D1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Steuerungshilfe eines Flugzeuges
DE69429079D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur spitzenleistungsregelung eines verstärkers
DE69319887T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur dynamischen kalibrierung eines differentialodometers
DE69637204D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Drucksteuerung
DE69131009D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur linearen Sprachsteuerung des Cursors
DE69306018D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur modulierten Differenzialanalyse
DE69523717D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur richtungssteuerung eines objektes
DE69428918D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur gitarrenrückkopplung
DE59307383D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur regelung des verzugs eines streckwerks
DE69622420T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur reduzierung unerwünschter rückkopplung
DE69611188D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Geschwindigkeitsregelung eines Schiffes
DE69409442D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchflusssteuerung einer Hydraulikpumpe
DE69624693T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur ausführung eines anwendungsprogramms
DE69430158D1 (de) Verfahren und Gerät zur Steuerung eines Audiosystems
DE59409257D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur verstopfungsfreien Drosselung einer fluiden Suspensionsströmung
DE69131841D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Regelung eines Stromrichterbetriebes
DE69415942D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verstärkungsregelung eines Verstärkers für Hochfrequenzsignale
DE69523802D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Flüssigkeitssteuerung
DE69301474T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Hochdruck-IMC-Beschichtung
DE69115664D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur drucksteuerung
DE59604319D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ansteuerung eines stellgliedes
DE69613911T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur betriebssteuerung eines elektronischen antennegespeisten tragbaren gegenstandes
DE59506050D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur regelung der bewegung eines gegenstandes
DE69302579D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur leistungsregelung eines verstarkers

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition