FI83463B - Foerfarande och anordning foer ytdiagnostik. - Google Patents

Claims (15)

1. Förfarande för analysering av en yta (12), vid vilket förfarande en sondsträle (13) riktas mot ytan för att lösgö-ra ett materialprov därav, ett jonlserande strälningsknippe riktas mot det lösgjorda provet i närheten av ytan för jonisering av provet, och det joniserade provet utsättes för en masspektrometeranalys, kännetecknat av att nämnda jonlserande knlppe är ett icke-renonansbildande knlppe, som har en tillräckllg lntensitet för att lndlucera en icke-resonansblldande fotojonlserlng 1 provet, varvld de okända materialarterna, som innehälls av det ifrägavarande provet, jonlseras oselektivt och beskaffenheten av de ifrägavarande materialarterna bestämms genom nämnda masspektrometeranly-sen.

2. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat av att det ifrägavarande jonlserande knlppet har en tillräckllg lntensitet för att Inducera en icke-resonansbildande flerfo-tonjonisering 1 provet.

3. Förfarande enligt patentkravet 1 eller 2, kännetecknat av att det ifrägavarande jonlserande knlppet har en tillräckllg lntensitet för att inducera en mättad icke-resonansbil-dande jonisering 1 provet.

4. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-3, kännetecknat av att det joniserade provet utsättes för en löptids-masspektrometeranlys och att denna analys innefattar ett steg för tidsfokusering av det joniserade provet, för att kompensera spridning 1 jonernas hastigheter 1 nämnda prov, varvld analysens upplösningsförmäga skulle förbättras.

5. Förfarande enligt patentkravet 4, kännetecknat av att nämnda steg av tidsfokusering innefattar ett steg, där det joniserade provet reflekteras elektrostatiskt.

6. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-3, kännetecknat av att det joniserade provet utsättes för en löptids- i9 83463 masspektrometeranalys och denna analys innefattar ett steg, där energetiskt diskrimineras de sekundära jonerna frän ytan, genom vilket oönskad bakgrund minskas.

7. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-6, känneteck-nat av att sondsträlens intensitet har justeräts att av-lägsna bara smä mängder av material frän nämnda yta, varvid denna yta skadas minimalt.

8. Anordning för analysering av en yta (12), vilken anord-ning innehäller sondsträlsorgan (13), som ästadkommer en sondsträle mot ytan (12), som skall inspekteras för att lösgöra ett materialprov därav, joniseringsträlningsknippe-organ (17), som ästadkommer ett joniserande strälningsknip-pe, som har riktats mot ett i närheten av den ifrägavarande ytan liggande rymdomräde för att jonisera provet, och en masspektrometer (31), som har anordnats att analysera det joniserade provet, kännetecknad av att nämnda jonisering-strälningsknippeorgan (17) ästadkommer ett icke-resonans-bildande joniserande knippe, som har tillräcklig intensitet för att inducera en icke-resonansbildande fotojonisering i provet inom nämnda rymdomräde, varvid de okända material-arterna, som innehälls av provet joniseras oselektivt och beskaffenheten av de ifrägavarande okända materialarterna bestämms genom nämnda masspektrometer (31).

9. Anordning enligt patentkravet 8, kännetecknad av att nämnda joniseringsträlningsknippeorgan ästadkommer ett icke-resonansbildande joniserande strälningsknippe, som har tillräcklig intensitet för att inducera en icke-resonansbildande flerfotonjonisering i provet.

10. Anordning enligt patentkravet 8 eller 9, kännetecknad av att nämnda masspektrometer är försedd med en löptids-masspektrometer och ytterligare innehäller organ för att diskriminera de sekundära jonerna frän ytan som skall inspekteras . 20 83463

11. Anordnlng enligt patentkravet 10, kännetecknad av att nämnda diskriminatororgan innefattar en jonreflektor.

12. Anordnlng enligt patentkravet 9, kännetecknad av att nämnda masspektrometer är försedd med en löptidsmasspektro-meter och ytterligare innehäller organ för löptidsfokusering av nämnda jonlserade provet för att kompensera spridning 1 jonernas utgängshastigheter av jonerna i nämnda prov, genom vllket analysens upplösnlngsförmäga förbättras.

13. Anordnlng enligt patentkravet 12, kännetecknad av att organ för tidsfokusering innefattar en reflektor.

14. Anordnlng enligt nägot av patentkraven 8-13, kännetecknad av att den ytterligare innehäller organ för pulsering av sondsträlen, genom vllket minskas ytans skador.

15. Anordning enligt patentkravet 14, kännetecknad av att den ytterligare innehäller organ för pulsering av jonise-ringsknippet i tidskorrelation med sondsträlen.