FI83416C - Foerfarande foer framstaellning av ett genomsynligt, dimfritt tennoxidoeverdrag. - Google Patents

Description

1 83416

Menetelmä läpinäkyvän, sumuttoman tinaoksidipäällysteen valmistamiseksi Tämä keksintö koskee kemiallista höyrykerrostusme-5 netelmää läpinäkyvän, sumuttoman tinaoksidipäällysteen valmistamiseksi edullisesti lasille, läpinäkyvän, sumuttoman tinaoksidipäällysteen käsittävää rakennetta sekä tällaisen rakenteen käyttöä.

Tinaoksidia käytetään yleisesti päällystysmateriaa li) Iina optisissa instrumenteissa. Tinaoksidipäällysteen vaaditaan olevan läpinäkyvä ja sumuton, jotta vältettäisiin häiritsemästä laitteen optista suorituskykyä. Tinaoksidi-päällystettä käytetään myös pienentämään tai mitätöimään irisoimista ikkunalasirakenteista. Vaikka tällaiset tina-15 oksidipäällysteet toimivat tehokkaasti aiotuissa tarkoi tuksissa, ne tuovat mukanaan sameutta systeemiin, ellei niitä muodosteta erittäin rajoitetuissa ja epäedullisissa kerrostusolosuhteissa. Näin ollen ehdotetaan vältettäväksi tinatetrakloridia tai mitä tahansa muuta vastaavaa halidia 20 sisältävää yhdistettä, joka voi tuottaa happohöyryä kuumalla lasipinnalla.

Irisoimattomia lasirakenteita kuvataan esimerkiksi FI-patenttijulkaisussa 72 961. Ko. julkaisussa käsitellään lähinnä läpinäkyvään rakenteeseen sisältyvien, läpi-: 25 näkyvällä alustalla olevien kerrosten paksuutta ja niiden järjestystä. Mainituissa rakenteissa alustan ja päällysteen välissä oleva irisointia vähentävä välikerros koostuu kahdesta välikerroskomponentista, joista alustaa lähempänä oleva ensimmäinen komponentti voi olla metallioksidia tai . 30 -nitridiä, ja päällyste voi olla fluorilla dopattua tina-oksidia. Fl-patenttijulkaisun 72 961 mukaisen rakenteen välikerroksen muodostavien, suhteellisen suuren ja suhteellisen alhaisen taitekertoimen omaavien, ensimmäisen ja toisen välikerroskomponentin on oltava tietyssä järjestyk-35 sessä, jotta rakenne olisi päätavoitteen mukaisesti iri- 2 83416 soimaton.

Myös US-patenttijulkaisussa 3 949 146 kuvataan la-sialustalla olevaa läpinäkyvää kalvoa. Siinä käsitellään erityisesti esikalvon muodostavaa koostumusta, joka voi 5 olla tinan happea sisältävä alempialkyylijohdannainen.

Esillä olevassa keksinnössä tinaa sisältävä kalvo sitävastoin valmistetaan monofenyylitinatrikloridista happea sisältävässä atmosfäärissä. Alan ammattimies olettaisi, että klooria sisältävästä materiaalista saatava 10 kalvo olisi ainakin hieman sumuinen, mutta yllättäen keksinnön mukaisesti valmistettu kalvo onkin sumuton.

Keksinnön mukaiselle menetelmälle läpinäkyvän, sumuttoman tinaoksidipäällysteen valmistamiseksi on tunnusomaista, että höyrystetään monofenyylitinatrikloridia ja 15 saatetaan sanottu höyry kosketukseen happea sisältävässä atmosfäärissä alustan kanssa korotetussa alustan lämpötilassa Tämän keksinnön luonteenomaisena piirteenä nestemäisellä monofenyylitinatrikloridilla on vähäinen syövyt-20 tävyys ja vähäinen myrkyllisyys ja se hajoaa nopeasti ilmassa korotetussa alustan lämpötilassa aikaansaaden läpinäkyviä, sumuttomia tinaoksidipäällysteitä. Näillä tinaok-sidipäällysteillä on tyypillisesti alle 1 %:n sameus ja yli 80 %:n näkyvän valon läpäisy ja niitä saadaan jopa 250 25 nm:n paksuisina alle 25 sekunnin kerrostusajalla n. 450-650°C:n lasin lämpötilassa.

Mainittu sumuton tinaoksidipäällyste toimii iri-soimista vähentävänä tinaoksidipäällystekerroksena. Sitä voidaan kuitenkin käyttää myös pöhjakerroskalvona tai en-30 simmäisenä sumuttomana tinaoksidipäällystekalvona. Tällöin sen päälle patenttivaatimuksen 5 mukaisella menetelmällä muodostettu, infrapunasäteilyä heijastava tinaoksidipääl-lystekerros omaksuu pöhjakerroskalvon sumuttomat ominaisuudet .

35 Lisäksi mainittua sumutonta kerrosta voidaan käyt- 3 83416 tää välkehtimisen pienentämiseen heijastavassa lasirakenteessa, joka sisältää läpinäkyvän, johtavan tinaoksidi-päällysteen.

Kuvio on kaavamainen esitys laitteistosta, jolla 5 suoritetaan tämän keksinnön mukainen päällystysprosessi.

Viitaten nyt kuvioon siinä näytetään kaavamainen esitys laitteistosta, joka sopii tämän keksinnön prosessin suorittamiseen. Näin ollen kantokaasua 10, joka sisältää happea, annostellaan syöttöputken 11 läpi ennalta määrä-10 tyllä virtausnopeudella ilmakuivaustornin 12 läpi kuivan ilman virran 13 aikaansaamiseksi. Erillinen ilmavirta voidaan suunnata kostuttimen 14 läpi, joka sisältää sopivan määrän vettä 15 kostean ilmavirran 16 aikaansaamiseksi, jolla on haluttu suhteellinen kosteus. Tällöin joko kuiva 15 tai kostea ilmavirta 17 voidaan johtaa haihduttimen 18 läpi, joka sisältää astian 19, jossa on nestemäistä mono-fenyylitinatrikloridia. Neste syötetään haihduttimeen 18 mäntäpumpulla 20 ja männällä 21. Ilmavirta lämmitetään öljyhauteen (ei esitetty) avulla haluttuun haihdutuslämpö-20 tilaan.

Ilmavirrassa 22 oleva höyrystetty nestemäinen mono-fenyylitinatrikloridi kulkee kerrostuskammioon 23, jossa on päällystyssuutin 24 ja jossa lasialusta 25 on asennettu levylle 26, joka on kuumennettu ennalta määrättyyn lämpö-25 tilaan. Senjälkeen kun tinaoksidipäällyste on kerrostettu lasialustalla, kerrostuksen kaasumaiset sivutuotteet ajetaan ulos.

Tämän keksinnön mukaisesti voidaan valmistaa läpinäkyviä, sumuttomia tinaoksidipäällysteitä laajalla pro-30 sessiolosuhteiden alueella, kuten jäljempänä on kuvattu.

Näin ollen lasialustaa pidetään sopivasti n. 450-650eC:n lämpötilassa, edullisesti 500-600®C:ssa.

Nestemäinen monofenyylitinatrikloridin höyrystys-lämpötila vaihtelee prosessissa sopivasti välillä n. 100-35 250°C ja edullisesti n. 120-175eC.

4 83416

Kantokaasu on happea sisältävä kaasu, joka voi olla sopivasti ilma tai hapen ja inertin kaasun seos ja on edullisesti ilma.

Kantokaasu voi olla kuivaa tai kosteaa; edullisesti 5 vesihöyryn väkevyys on alle 10 moolia vettä yhtä moolia kohti monofenyylitinatrikloridia.

Kantokaasun nopeus vaihtelee edullisesti välillä n. 0,1-10 m/s.

Monofenyylitinatrikloridin väkevyys kantokaasussa 10 vaihtelee sopivasti välillä n. 10'5-10'2 moolia monofenyylitinatrikloridia yhtä moolia kohti kantokaasua.

Yleensä tämän keksinnön prosessi tuottaa läpinäkyviä, sumuttomia tinaoksidipäällysteitä, joilla on alle 1 %:n sameus ja yli 80 %:n näkyvän valon läpäisy ja ne 15 saadaan jopa 250 nm:n paksuisina alle 25 sekunnin kerros-tusajassa.

Keksinnön tinaoksidipäällysteiden sameussisältö määritettiin Gardner-sameusmittarin mittauksiin lasilevyillä, jotka oli päällystetty tinaoksidilla, joka oli 20 kerrostettu monofenyylitinatrikloridista normin ASTM D 1003-61 (hyväksytty uudelleen 1977)-menetelmän A mukaisesti .

Näkyvän valon läpäisevyys mitattiin UV/näkyvän valon spektrofotometrillä 400-800 nm:n alueella ilmaa vas-25 taan ja % Tvl,-arvoista otettiin keskiarvo eri aallonpituuksista.

Kalvon paksuus mitattiin beta-takaisinsirontamene-telmällä normien British Standard Institution, menetelmä BS 5411: Part 12, 1981 ja ISO 3543-1981 mukaisesti.

30 Keksinnön etuja voidaan helpommin arvioida viittaa malla seuraaviin erikoisesimerkkeihin, joissa monofenyylitinatrikloridista saatujen tinaoksidipäällysteiden sameus-prosenttia lasilla verrataan monobutyylitinatrikloridista valmistettujen tinaoksidipäällysteiden sameusprosenttiin 35 (taulukko I); ja monofenyylitinatrikloridista saatujen 5 83416 päällysteiden sameusprosenttiin tietyllä prosessilolosuh-teiden alueella (taulukko II).

TAULUKKO I

5

Monofenyylltinatrikloridlsta (MPTC) ja monobutyylitinatri-kloridista (MBTC) saatujen tinaoksidipäällysteiden sameus-sisältö

Esi- Väkevyys Alustan Sameus-% Päällystämä- 10 merkki (mol/1) 1-tila (°C) MPTC MBTC tön lasi 1 0,079 600 0,90 5,5 2 " 550 0,75 2,7 3 " 500 0,75 1,1 0,75

15 TAULUKKO II

Monofenyylltinatrikloridlsta eri prosesslolosuhteissa saatujen tinaoksidipäällysteiden sameussisältö Esi- Väkevyys Alustan Sameus-% 20 merkki (mol/1) 1-tila (*C) MPTC Päällystämätön lasi 4 0,119 600 0,90 5 " 550 0,75 6 " 500 0,75 7 0,159 600 0,75 25 8 " 500 0,75 0,75

Kastepiste, esimerkit 1-3, 2,4; esimerkit 4-8, 12,0; höyrystymislämpötila, esimerkit 1-8, 157°C; päällysteiden paksuus, esimerkit 1-8, 190 nm; kerrostusajat, esimerkit 30 1-8, MPTC 6-22 s, esimerkit 1-3, MBPC 7-9; näkyvän valon läpäisevyys, esimerkit 1-8, MPTC, 80 %; esimerkit 1-3, MBTC, 75 %.

Taulukoiden tulokset osoittavat, että monofenyyli-tinatrikloridista saaduilla tinaoksidipäällysteillä on 35 alle 1 %:n sameus laajalla prosessiolosuhteiden alueella 6 83416 ja tietyissä alustan lämpötiloissa ne osoittavat yhtä suurta arvoa kuin päällystämätön lasi. Toisaalta monobu-tyylitinatrikloridista valmistetut tinaoksidipäällysteet ovat sameita kaikissa prosessiolosuhteissa. Sitäpaitsi 5 päällysteet, jotka on valmistettu käyttäen tinatetraklori-dia, etyylitinatribromidia, dibutyylitinadikloridia, dime-tyylitinadikloridia, metyylitinatrikloridia, dibutyyliti-nadi-asetaattia, tributyylitinakloridia ja tetrabutyylitinää, osoittavat kaikki samanlaista tai voimakkaampaa sa-10 meutta kuin monobutyylitinatrikloridi. Lisäksi laajalla höyrykerrostusolosuhteiden alueella monofenyylitinatriklo-ridi tuotti erinomaisia sumuttomia päällysteitä.

Syytä siihen, että sumuttomia tinaoksidipäällystei-tä voidaan valmistaa monofenyylitinatrikloridista, joka on 15 orgaaninen tinatrihalidiyhdiste, ei tällä hetkellä täysin ymmärretä. Tämä edullinen ominaisuus voi kuitenkin liittyä minimimäärään pintahuokosia tai pistesyöpymiä, jotka havaitaan tästä yhdisteestä valmistetuissa tinaoksidipääl-lysteissä.

20 Toisena tämän keksinnön ominaispiirteenä monofenyy litinatrikloridista valmistettua sumutonta tinaoksidipääl-lystettä voidaan käyttää pohjapäällystyskalvona lasin ja tinaoksidipäällystekerroksen välissä, jolloin tinaoksidi-päällystekerros omaksuu pohjapäällystyskalvon sumuttomat 25 ominaisuudet. Pintapäällystyskalvo voidaan tällöin kerros taa mistä tahansa tinayhdisteestä, joka muodostaa tinaok-sidipäällysteitä. Haluttaessa johtava tinaoksidipäällyste-kerros voidaan muodostaa sisällyttämällä dopausainetta tinayhdisteeseen. Esimerkiksi sellaisia yhdisteitä kuin 30 tinatetrakloridia, monoalkyylitinatriklorideja, esim. mo- nobutyylitinatrikloridia, dibutyylitinadiasetaattia, dime-tyylitinadikloridia yms. voidaan käyttää. Monobutyylitinatrikloridi on edullinen lähtöyhdiste.

Dopausainetta, joka antaa tinaoksidipäällikerrok-35 selle johtavuutta, voidaan sisällyttää haluttaessa tina- 7 83416 päällystysseokseen. Tällaisia dopausaineita ovat tri-fluorietikkahappo, trifluorietikkahappoanhydridi, etyyli-trifluoriasetaatti, pentafluoripropionihappo, difluori-kloorimetaani, monokloorifluorimetaani, 1,1-difluorietan-5 oli yms.

Edullinen johtava tinaoksidipäällikerroksen kokoonpano sisältää monobutyylitinatrikloridia ja trifluorietik-kahappoa, sopivasti seossuhteissa n. 70-99 p-% orgaanista tinayhdistettä ja 1-30 p-% dopausainetta.

10 Tinaoksidipohjapäällystyskalvon paksuus on sopivas ti vähintään 10 nm ja edullisesti 30 nm. Tinaoksidipinta-päällysteellä voi olla mikä tahansa haluttu paksuus; tavallisesti lasilla olevien johtavien päällysteiden osalta se on n. 150-250 nm.

15 Tinaoksidipäällysteet, jotka on saatu käyttäen mo- nofenyylitinatrikloridia pohjapäällysteenä, ovat sumuttomia laajalla prosessiolosuhteiden alueella ja tietyillä alustan lämpötiloilla ne osoittavat arvoa, joka on oleellisesti yhtä suuri kuin päällystämätön lasin arvo. Toi-20 saalta monobutyylitinatrikloridista suoraan lasille valmistetut tinaoksidipäällysteet ovat sameita kaikissa pro-sessiolosuhteissa.

Tässä aikaansaadaan myös irisoimattomia, sumuttomia, infrapunasäteilyä heijastavia lasirakenteita, jotka 25 sisältävät läpinäkyvän, johtavan tinaoksidipäällysteen, joka heijastaa infrapunasäteilyä, ja läpinäkyvän, sumuttoman monofenyylitinatrikloridista valmistetun tinaoksidipäällysteen, joka on läsnä pienentämässä sanotun rakenteen välkehtimistä. Tällaisista tinaoksidipäällysteistä käyte-30 tään tässä myös nimitystä häiriönpeittokalvot.

Eräässä toteutusmuodossa päällysteet levitetään lasilevyn vastakkaisille pinnoille ja monofenyylitinatrikloridista valmistetun sumuttoman tinaoksidipäällysteen paksuus on ennalta määrätty johtavan tinaoksidipäällysteen 35 paksuuden suhteen oleellisesti irisoimattoman, sumuttoman β 83416 rakenteen aikaansaamiseksi.

Kuten edellä esitettiin monofenyylitinatrikloridis-ta valmistettu sumuton tinaoksidipäällyste voidaan levittää yhtenä kerroksena tai siitä voidaan muodostaa pohja-5 päällyste sen päälle tulevia seuraavia kerroksia varten, jotka omaksuvat pohjapäällysteen sumuttomat ominaisuudet. Johtava tinaoksidipäällyste muodostetaan tavanomaisin menetelmin, esim. pyrolyysillä, kemiallisella höyrykerros-tuksella, jauhepäällystyksellä, sputteroimalla ja tavan-10 omaisista dopatun tinaoksidin lähteistä, esim. dibutyyli-tinadifluoridista, dibutyylitinadiasetaatista, monobutyyl-itinatrikloridista jne ja tarvittaessa dopausaineesta, kuten fluoridopausaineesta.

Kaksilasinen ikkunatuote, joka on läpinäkyvä ja su-15 muton, aikaansaadaan myös tässä.

Häiriönpeittokalvot (välkehtimistä vähentävät) ovat tinaoksidikalvoja, jotka on tehty monofenyylitinatriklori-dista. Tällaiset häiriönpeittokalvot ovat värittömiä tinaoksidikalvoja, joiden näkyvän valon reflektanssi on tar-20 peeksi suuri peittääkseen tinaoksidia olevan infrapunasä-teilyä heijastavan kalvon näkyvän häiriövaikutuksen. Tina-oksidipeittokalvon paksuus valitaan tunnettujen vakiintuneiden kriteerien perusteella halutun irisoimista pienentävän vaikutuksen aikaansaamiseksi.

25 Eräässä näiden rakenteiden toteutusmuodossa infra- punasäteilyä heijastava päällyste levitetään lasilevyn toiselle pinnalle ja enemmän näkyvää valoa heijastava peittokalvo kerrostetaan lasilevyn vastakkaiselle pinnalle. Tätä päällystettyä tuotetta voidaan käyttää yksittäin 30 tai edullisesti se voidaan asentaa monilasiseksi yksiköksi .

Toisessa toteutusmuodossa infrapunasäteilyä heijastava kalvo levitetään lasilevyn pinnalle, kun taas enemmän näkyvää valoa heijastava peittokalvo levitetään toisen 35 lasilevyn yhdelle pinnalle. Nämä kaksi päällystettyä lasi- 9 83416 levyä kootaan monilasiseksi ikkunayksiköksi, molempien päällysteiden ollessa edullisesti kohti yksikön sisätilaa. Monllaslsen yksikön edullinen sljoltussuunta rakennuksessa on infrapunasäteilyä heijastava kalvo sisälasilevyllä.

5 Vielä muussa toteutusmuodossa kaksilasisen yksikön molemmat levyt päällystetään molemmilta puolilta, infrapunasäteilyä heijastavien tinaoksidikalvojen ollessa sisäpinnoilla ja värittömien tinaoksidipeittokalvojen ulkopinnoilla. Nämä kaksi päällystettä voidaan levittää samanai-10 kaisesti.

Muussa kaksilasisen ikkunarakenteen toteutusmuodossa toisen lasin sisäpinta on infrapunasäteilyä heijastava ja toisen lasin sisäpinta, joka on kohti edellistä, on irisoimista vähentävä ja tehty monofenyylitinatriklori-15 dista. Tällaiset tuotteet ovat tehokkaita passiivisiin aurinkolämmityssovellutuksiin, sillä suuri läpäisevyys päästää auringon energiaa (valoa ja lämpöä) rakenteeseen samalla, kun suuri infrapunasäteilyn heijastavuus ja pieni emissiokyky pitävät lämmön sisäpuolella päästämättä sitä 20 hukkaan.

Lasirakenteiden eräässä toteutusmuodossa lasilevy, tyypillisesti lasinen ikkunaruutu, päällystetään yhdeltä sen pääpinnalta häiriöt peittävällä tinaoksidipäällysteel-lä, joka muodostetaan monofenyylitinatrikloridin kemialli-25 sella höyrykerrostuksella. Tämä päällyste on johtamaton, sillä sen tehtävänä rakenteessa on ainoastaan peittää tai vähentää irisoimista tuomatta mukanaan sameutta laajalla prosessiolosuhteiden alueella ja suurella kerrostusnopeu-della. Tämä päällyste on oleellisesti sumuton, ts. sen sa-30 meusprosentti on alle 1 % ja itse asiassa se on suunnilleen yhtä suuri kuin päällystämättömän lasin sameuspro-sentti.

Johtava, infrapunasäteilyä heijastava tinaoksidi-päällyste aikaansaadaan levyn vastakkaiselle pinnalle. 35 Tämä päällyste voidaan tehdä mistä tahansa tavanomaisesta dopatusta tinaoksidilähteestä, esim. dibutyylitinatriklo- ίο 83 41 6 ridista, dibutyylitinadiasetaatista, monobutyylitinatri-kloridista ja sopivasta dopausalneesta, esim. fluorista, joka on peräisin sellaisista lähteistä kuin trifluorietik-kahaposta ja etyylitrifluoriasetaatista.

5 Sumutonta häiriöt peittävää tinaoksidikerrosta voi daan käyttää myös kaksilasisessa ikkunarakenteessa, joka sulkee eristävän ilmatilan sisemmän läpinäkyvän ruudun ja ulomman läpinäkyvän ruudun väliin. Nämä ruudut on muodostettu lasista ja johtavat tinaoksidipäällysteet ovat läsnä 10 lasin sisäpinnoilla, jotka ovat toisiaan vasten.

Tyypillisessä toteutusmuodossa johtavan ja peittävän päällysteen välillä on n. 1/4-aallonpituuden ero; johtava päällyste on esimerkiksi n. 0,2 mikronia, kun taas peittävä päällyste on n. 0,27 mikronia erotuksen ollessa 15 0,07 mikronia.

Il

Claims (16)

1. Menetelmä läpinäkyvän, sumuttoman tinaoksidi-päällysteen valmistamiseksi, tunnettu siitä, että 5 höyrystetään monofenyylitinatrikloridia ja saatetaan tämä höyry kosketukseen happea sisältävässä atmosfäärissä alustan kanssa korotetussa alustan lämpötilassa.

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että sanottu alustan lämpötila on noin 10 450 - 600 °C.

3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että alusta on lasia.

4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että tasaisen lasilevyn kummallekin pin- 15 nalle muodostetaan irisoimista vähentävä tinaoksidipääl- lystekerros saattamalla lasilevyn molemmat pinnat kosketukseen monofenyylitinatrikloridin kanssa happea sisältävässä atmosfäärissä.

5. Jonkin patenttivaatimuksista 1-3 mukainen mene-20 telmä, tunnettu siitä, että alustalle muodostetaan ensimmäinen sumuton tinaoksidipäällystekalvo höyrystämällä monofenyylitinatrikloridia ja saattamalla tämä höyry kosketukseen happea sisältävässä atmosfäärissä alustan kanssa korotetussa alustan lämpötilassa, ja sen jälkeen ensimmäi-25 selle tinaoksidipäällystekalvolle kerrostetaan toinen sumuton tinaoksidipäällystekalvo höyrystämällä organotinayh-distettä ja saattamalla tämä höyry kosketukseen happea sisältävässä atmosfäärissä korotetussa lämpötilassa olevan ensimmäisen tinaoksidipäällysteen kanssa.

6. Patenttivaatimuksen 4 ja 5 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että ainakin yhdelle, irisoimista vähentävällä tinaoksidilla päällystetylle lasilevyn pinnalle kerrostetaan infrapunasäteilyä heijastava toinen tinaoksidipäällystekerros höyrystämällä organotinayhdis-35 tettä ja saattamalla tämä höyry kosketuksiin happea sisäl- i2 8341 6 tävässä atmosfäärissä korotetussa lämpötilassa olevan lasilevyn pinnan kanssa, jolla lasilla on ensimmäinen väl-kehtimistä vähentävä tinaoksidipäällyste.

7. Patenttivaatimuksen 5 tai 6 mukainen menetelmä, 5 tunnettu siitä, että toinen tinaoksidipäällyste on johtava tinaoksidipäällyste.

8. Patenttivaatimuksen 7 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainittu johtava tinaoksidi-päällystekerros muodostetaan monoalkyylitinatrikloridista 10 ja sen kanssa toimivasta fluoridopausaineesta.

9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mainittu johtava tinaoksidipäällyste kerrostetaan monobutyylitinatrikloridista ja trifluorietikkahaposta.

10. Jonkin patenttivaatimuksista 5-9 mukainen me netelmä, tunnettu siitä, että ensimmäisen tinaok-sidipäällystekalvon paksuus on vähintään 10 nm.

11. Läpinäkyvän, sumuttoman tinaoksidipäällysteen käsittävä rakenne, jossa ainakin yhdellä alustan pinnois- 20 ta on irisoimista vähentävä tinaoksidipäällystekerros, tunnettu siitä, että alusta on pinnoitettu jonkin patenttivaatimuksista 1-4 mukaisella menetelmällä.

12. Patenttivaatimuksen 11 mukainen läpinäkyvän, sumuttoman tinaoksidipäällysteen käsittävä rakenne, jossa 25 ainakin yhdellä alustan pinnoista on infrapunasäteilyä heijastava kerros irisoimista vähentävän tinaoksidipääl-lystekerroksen päällä, tunnettu siitä, että alusta on pinnoitettu jonkin patenttivaatimuksista 5-10 mukaisella menetelmällä.

13. Patenttivaatimuksen 11 mukainen läpinäkyvän, sumuttoman tinaoksidipäällysteen käsittävä rakenne, jossa toisella alustan pinnoista on irisoimista vähentävä tinaoksidipäällystekerros ja toisella alustan pinnoista on infrapunasäteilyä heijastava kerros irisoimista vähentä- 35 vän tinaoksidipäällystekerroksen päällä, tunnettu li i3 83 41 6 siitä, että alusta on pinnoitettu patenttivaatimuksen 6 mukaisella menetelmällä.

14. Jonkin patenttivaatimuksista 11-13 mukainen rakenne, tunnettu siitä, että alusta on lasia.

15. Patenttivaatimuksen 14 mukaisen rakenteen käyt tö lasi-ikkunarakenteissa, tunnettu siitä, että ikkunalasina käytetään patenttivaatimuksen 14 mukaista rakennetta.

16. Patenttivaatimuksen 15 mukainen käyttö, 10 tunnettu siitä, että kaksilasisessa lasi-ikkunara-kenteessa ikkunalaseina käytetään patenttivaatimuksen 14 mukaisia rakenteita, jotka voivat olla erilaisia tai samanlaisia. i4 8341 6