FI72613C - Icke-iriserande glasstrukturer, foerfarande foer framstaellning av dessa och anvaendning av dessa. - Google Patents

Description

\väfir*\ r. KUULUTUSJULKAISU no&AX

LBJ (11) UTLÄGGNINGSSKRIFT flO\Ö *J*f$*& (45) Γ’ i 1 , 1 '1 - rjf> r f» 1 ''.'Af (51) Kv.lk.7lnt.CI.* G 02 B 1/10, C 03 C 17/22 SUOMI —FINLAND (21) Patenttihekemus — Patentaruökning 783196 (22) Hakemispäivä — Ansökningsdag 20 1 0 78 ' · (23) Alkupäivä — Glltighetsdag 20.10.78 (41) Tullut julkiseksi — Blivit offentlig 2j ggg

Patentti- ja rekisterihallitus Nähtäväkslpanon Ja kuul.julkaisun pvm__

Patent-och registerstyrelsen ' ' Ansökan utlagd och uti.skriften pubiieerad 27.Ο2.87 (86) Kv. hakemus — Int. ansökan (32)(33)(31) Pyydetty etuoikeus — Begärd prioritet (71)(72) Roy Gerald Gordon, 22 Highland Street, Cambridge, Massachusetts, USA(US) (7^) Oy Koister Ab (5*0 Irisoimattomia lasirakenteita, menetelmä niiden valmistamiseksi ja niiden käyttö - Icke-iriserande g 1asstrukturer, förfarande för fram-ställning av dessa och användning av dessa

Keksinnön kohteena on lasiesineitä tai lasirakenteita, jotka on varustettu ohuella, toiminnallisella, epäorgaanisella päällysteellä (esimerkiksi tinaoksidi-päällysteellä, joka on aine, joka parantaa heijastuvuutta infrapunasäteilyn suhteen). Näillä esineillä on parantunut ulkonäkö johtuen vähentyneestä irisoinnista, joka aikaisemmin on liittynyt tällaisiin ohuisiin päällysteisiin. Keksinnön kohteena on myös menetelmä näiden esineiden valmistamiseksi sekä niiden käyttö.

Lasia ja muita läpinäkyviä aineita voidaan päällystää läpinäkyvillä puolijohtavilla kalvoilla, esimerkiksi tinaoksidilla, indium-oksidilla tai kadmiumstannaatilla, infrapunasäteilyn heijastamiseksi. Tällaiset aineet ovat käyttökelpoisia ikkunoiden valmistukseen, joilla on parantuneet eristysarvot (pienempi lämmönsiirto) uuneissa, rakennusten ikkunoissa jne. Näistä aineista muodostetut päällysteet johtavat myös sähköä ja niitä käytetään vastuskuumennuseliminä ikkunoiden lämmittämiseen ajoneuvoissa höyryn tai jään poistamiseksi.

2 72613

Eräs vähemmän toivottava ominaisuus näissä päällystetyissä ikkunoissa on, että niistä heijastuneessa valossa näkyy interferens-sivärejä (irisointi) ja läpäisseessä valossa niitä näkyy vähemmässä määrässä. Tämä irisointi on ollut vakava este näiden päällystettyjen ikkunoiden laajemmalle käytölle (ks. esimerkiksi American Institute of Physics Conference Proceeding no 25, New York 1975, sivu 288).

Tietyissä tapauksissa, ts. kun lasilla on hyvin tumma värisävy (esimerkiksi, kun sen valon läpäisevyys on pienempi kuin n. 25 %) , tämä irisointi peittyy ja voidaan hyväksyä. Useimpia sovellutuksia varten seiniin ja ikkunoihin rakennuksissa on irisointi, joka normaalisti liittyy päällysteisiin, joiden paksuus on pienempi kuin n.

0,75/am, esteettisistä syistä usein ei-toivottu ominaisuus (ks. esimerkiksi US-patentti 3 710 074). Hyvin vähän tai ei ollenkaan menestystä on saavutettu yritettäessä olennaisesti vähentää tai poistaa ei-toivottua ja näkyvää irisointia kirkkaissa, sinivihreissä ja heikosti värjätyissä laseissa.

Irisointivärit ovat hyvin yleinen ilmiö läpinäkyvissä kalvoissa, joiden paksuus vaihtelee välillä n. 0,1-1 /um, erityisesti alle n.

0,85 /um:n paksuuksissa. Valitettavasti juuri tällä paksuusalueella on käytännön merkitystä useimpia kaupallisia sovellutuksia varten.

N. 0,1 /um ohuemmat puolijohdepäällysteet eivät anna interferenssivä-rejä, mutta tällaisilla ohuilla päällysteillä on huomattavasti huonompi heijastuvuus infrapunavalolle ja huomattavasti alentunut sähkönjohtokyky .

Päällysteet, joiden paksuus on suurempi kuin n. 1 /am, eivät liioin anna näkyvää irisointia päivän valossa, mutta päällysteet, joilla on suuri paksuus, ovat paljon kalliimpia valmistaa, koska tarvitaan suurempia määriä päällystysainetta ja koska päällysteen saos-tamiseen tarvittava aika on vastaavassa määrin pitempi. Edelleen on kalvoilla, joiden paksuus on suurempi kuin 1 /um, taipumus olla sameita, mikä johtuu valon hajaantumisesta pinnan säännöttömyyksistä, jotka tulevat suuremmiksi tällaisella kalvolla. Tällaisilla kalvoilla on myös suurempi taipumus säröilyyn lämpöjännitysten alaisena, mikä johtuu lämpölaajenemiseroista.

Näistä teknisistä ja taloudellisista rajoituksista johtuen on miltei koko kaupallinen päällystettyjen lasiesineiden tuotanto keskittynyt kalvoihin, joiden paksuus on väliltä n. 0,1-0,3 /um ja joilla 3 72613 on selviä irisointivärejä. Tähän asti ei tällaiselle lasille ole löytynyt juuri minkäänlaista käyttöä rakennustarkoituksiin, siitä huolimatta, että sen käyttö olisi kustannuksia alentava energian säästön ansiosta. Siten voivat esimerkiksi lämpöhäviöt infrapunasäteilyn vaikutuksesta lasipintojen läpi lämmitetyssä rakennuksessa olla n. puolet lämpöhäviöistä päällystämättömien ikkunoiden läpi. Irisointivärien läsnäolo näissä päällystetyissä lasituotteissa on pääasiallisin syy siihen, että tällaisia päällysteitä ei käytetä.

Esillä oleva keksintö koskee tuotetta, joka käsittää ainakin yhden läpinäkyvän lasilevyn, joka on varustettu infrapunasäteilyä heijastavaa ainetta olevalla ensimmäisellä epäorgaanisella päällysteellä, jolloin aine muodostuu läpinäkyvästä puolijohteesta, joka pystyy osoittamaan irisoivia värejä päivänvalovalaistuksessa. Tuotteelle on tunnusomaista, että toinen päällyste on sovitettu lasilevyn ja ensimmäisen päällysteen väliin, jolloin tämä toinen päällyste toimii välineenä ensimmäisen päällysteen irisointivärien vähentämiseksi oleellisesti muodostamalla vähintään kaksi rajapintaa, jotka yhdessä toisen päällysteen massan kanssa heijastavat ja taittavat valon niin että irisointivärien havaittavuus päivänvalovalaistuksessa oleellisesti vähenee, jolloin toisen päällysteen taitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toisen päällysteen paksuus on noin 1/4 sellaisen valon aallon-: pituudesta, jonka tyhjöaallonpituus on noin 500 nm, tai toisen pääl- : lysteen kokonaistaitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen pääl- : lysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toinen päällyste : käsittää kaksi kerrosta, joiden kummankin paksuus on noin 1/4 sellai sen valon aallonpituudesta, jonka tyhjöaallonpituus on noin 500 nm, tai toisella päällysteellä on taitekerroingradientti, joka asteittain vaihtelee lasin ja infrapunsäteilyä heijastavan aineen välissä taite-kertoimesta, joka on lähellä lasin taitekerrointa, taitekertoimeen, joka on lähellä infrapunasäteilyä heijastavan aineen taitekerrointa.

Keksintö koskee myös menetelmää edellä kuvatun tuotteen valmistamiseksi. Menetelmälle on tunnusomaista, että levitetään toinen pääl-- lyste, jonka taitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toisen päällysteen pak- 4 7261 3 suus on noin 1/4 sellaisen valon aallonpituudesta, jonka tyhjöaallon-pituus on noin 500 nm, tai jonka kokonaistaitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toinen päällyste käsittää kaksi kerrosta, joiden kummankin paksuus on noin 1/4 sellaisen valon aallonpituudesta, jonka tyhjä-aallonpituus on noin 500 nm, tai jolla on taitekerroingardientti, joka asteittain vaihtelee lasin ja infrapunasäteilyä heijastavan aineen välissä taitekertoimesta, joka on lähellä lasin taitekerrointa, taitekertoimeen, joka on lähellä infrapunasäteilyä heijastavan aineen taitekerrointa ennen ensimmäisen epäorgaanisen päällysteen levittämistä.

Keksintö koskee lisäksi tuotteen käyttöä lasipintojen irisointi-vapaan ulkonäön aikaansaamiseksi rakennuksessa ja lämpöhäviön estämiseksi rakennuksesta näiden lasipintojen läpi rakennukseen tulevan infrapunasäteilyn takaisin heijastuksella infrapunasäteilyä heijastavaa puolijohdekalvoa olevasta ohuesta päällysteestä, joka on lasin pinnalla ja/tai näiden lasipintojen sähkölämmittämiseksi saattamalla puolijohdetta oleva ohut päällyste jännitteen alaiseksi.

Keksinnöllä on saatu aikaan keino näkyvän irisoinnin poistamiseksi lasilla olevista puolijohtavista ohuista kalvopäällysteistä säilyttäen näiden toivotut ominaisuudet, mitä läpinäkyvyyteen näkyvälle valolle, infrapunasäteilyn heijastukseen sekä sähkönjohtokykyyn tulee. Tämä saavutetaan lisäämättä valmistuskustannuksia oleellisessa määrässä verrattuna tavallisten irisoivien kalvojen käytöstä aiheutuviin kustannuksiin.

Keksinnön mukainen menetelmä on jatkuva ja täysin yhdistettävissä lasiteollisuudessa käytettäviin nykyaikaisiin valmistusprosesseihin.

Tuotteella on suuri lujuus ja se on kestävä valon, kemikaalien ja mekaanisen kulumisen suhteen.

Keksinnössä käytettävät aineet ovat riittävästi saatavissa ja mahdollistavat siten tuotteen laajamittaisen käytön.

Irisointivärejä hävittävien ajateltavissa olevien eri rakenteiden sopivan kvantitatiivisen arvioinnin tekemiseksi mahdolliseksi laskettiin näiden värien voimakkuus käyttäen optisia arvoja ja 5 72613 värin havaitsemistietoja. Tässä tarkastelussa oletetaan kalvokerros-ten olevan tasoja, joilla on samankaltainen paksuus ja samankaltainen taitekerroin joka kerroksessa. Taitekertoimien muutosten oletetaan olevan jyrkkiä tasomaisilla rajapinnoilla toisiinsa rajoittuvien kalvokerrosten välissä. Käytetään todellisia taitekertoimien arvoja, mikä vastaa mitättömiä absorptiohäviöitä kerroksissa. Hei-jastuskertoimet annetaan normaalisti tuleville polaroimattoman valon tasomaisille aalloille.

Käyttäen näitä olettamuksia lasketaan amplitudit heijastukselle ja läpäisylle jokaiselta rajapinnalta Fresnel'in kaavasta.

Sen jälkeen nämä amplitudit lasketaan yhteen ottaen huomioon vaihe-erot, jotka saadaan edettäessä ko. kerrosten läpi. Nämä tulokset ovat osoittautuneet samanarvoisiksi Airy-kaavan kanssa (ks. esimerkiksi Optics of Thin Films, F. Knittl, Wiley and Sons, New York, 1976) moninkertaiselle heijastukselle ja interferenssille ohuissa kalvoissa, kun näitä kaavoja sovelletaan samoihin tapauksiin, joita keksinnön mukaisesti käsitellään.

Heijastuneen valon lasketun voimakkuuden on havaittu vaihtele-van aallonpituuden mukana ja se voimistuu niinmuodoin tietyillä väreillä enemmän kuin muilla. Havaitsijan näkemän heijastuneen värin laskemiseksi on toivottavaa ensin määritellä tulevan valon kirjojakautuma. Tätä tarkoitusta varten voidaan käyttää "International Commission on Illumination Standard Illuminant C:tä", joka määrittelee likimääräisesti normaalin päivänvalovalaistuksen. Heijastuvan valon kirjojakautuma on lasketun heijastuskertoimen ja valaisevan aineen "Illuminant C" kirjon tulo. Värisävy ja värikylläisyys, jonka havaitseva ihminen heijastuksena näkee, lasketaan sen jälkeen tästä heijastuvasta kirjosta käyttäen likimääräisiä väriasteikkoja, jotka ovat ammattimiehen tuntemia. Erään käyttökelpoisen asteikon on esittänyt Hunter teoksessa Food Technology, nide 21, sivut 100-105, 1967. Tätä asteikkoa on käytetty yhteyden laskemiseksi, joka esitetään seu-raavassa selityksessä.

6 72613

Tulokset laskelmista jokaista taitekertoimen ja paksuuden yhdistelmää varten kerroksissa ovat pari lukua, ts. "a" ja "b". "a” edustaa punaista (jos arvo on positiivinen) tai vihreää (jos arvo on negatiivinen) värisävyä, kun taas "b" kuvaa keltaista (jos arvo on positiivinen) tai sinistä (jos arvo on negatiivinen) värisävyä. Nämä värisävytulokset ovat käyttökelpoisia laskelmien vertailua varten näytteissä, joiden joukossa on keksinnön mukaisia, havaittavissa oleviin väreihin. Yksi ainoa luku, "c", edustaa "värikylläi-2 2 1/2 syyttä": c = (a + b ) . Tämä värikylläisyyskerroin, "c" on suo raan suhteutettu silmän kyvylle havaita hankalat irisointivärisä-vyt. Kun kylläisyyskerroin alittaa tietyn arvon, ei jotakin väriä voida nähdä heijastuvassa valossa. Lukuarvo tälle havaittavuuden kynnyskylläisyydelle riippuu nimenomaisesta tasaisesta väriastei-kosta, jota käytettiin, sekä havaitsemisolosuhteista ja valaistus-tasosta (ks. esimerkiksi R.S. Hunter, The Measurement of Appearance, Wiley and Sons, New York, 1975, joka on yleiskatsaus numeerisista väriasteikoista).

Perustan määräämiseksi rakenteiden vertailua varten suoritetaan ensimmäinen sarja laskelmia yksinkertaisen puolijohdekerroksen jäljittelemiseksi lasilla. Taitekerroin puolijohdekerrosta varten asetettiin 2,0:ksi, joka on arvo, joka on likimääräinen tinaoksidi-, indiumoksidi- tai kadmiumstannaatti-kalvoille. Lasialustalle käytettiin arvoa 1,52 ja tämä on arvo, joka on tyypillinen kaupalliselle ikkunalasille. Lasketut värikylläisyysarvot annetaan kuviossa 1 puolijohtavan kalvon paksuuden funktiona. Värikylläisyys osoittautuu suureksi heijastuksille kalvoista, joiden paksuus vaihtelee välillä 0,1 - 0,5 ^um. 0,5 ^um paksummilla kalvoilla värikylläisyys vähenee paksuuden kasvaessa. Nämä tulokset ovat yhtäpitäviä kvalitatiivisten havaintojen kanssa todellisilla kalvoilla. Selvät heilahtelut johtuvat silmän vaihtelevasta herkkyydestä kirjon eri aallonpituuksille. Jokainen huipuista vastaa tiettyä väriä, kuten käyrällä osoitetaan (R = punainen, Y = keltainen, G = vihreä, B = sininen) .

Käyttäen näitä tuloksia todettiin pienin havaittava arvo värikylläisyydelle seuraavalla kokeella: tinaoksidikalvoja, joilla oli jatkuvasti vaihteleva paksuus n. 1,5 yum-.ään asti, saostettiin lasilevyille hapettamalla tetrametyylitinahöyryä. Paksuusprofiili aikaansaatiin lämpötilan vaihtelulla n. 450:stä 500°C:seen lasipin- 7 7261 3 nan poikki. Paksuusprofiili mitattiin sen jälkeen tarkkailemalla interferenssi-ripsuja monokromaattisessa valossa. Tarkkailtaessa epäsuorassa päivänvalossa antoivat kalvot interferenssivärejä oikeissa paikoissa, kuten kuviossa 1 osoitetaan. Kalvojen ne osat, joiden paksuus ylitti 0,85 ^um, eivät antaneet havaittavia interferenssiväre jä epäsuorassa päivän valossa. Vihreää huippua, jonka laskettiin olevan 0,88 ^um:n paksuudessa, ei voitu nähdä. Kynnyksen havaittavuudelle oletetaan sen tähden ylittävän 8 näillä väri-yksiköillä. Samalla tavalla ei laskettua sinistä huippuarvoa 0,03 ^,um:ssä voitu nähdä, mistä syystä kynnys oli yli 11 väriyksikön, mikä on laskettu arvo tälle huipulle. Heikko punainen huippu 0,81 ^umrssä voitiin kuitenkin nähdä hyvissä havainto-olosuhteissa, esimerkiksi käytettäessä taustana mustaa samettia ja ilman heijastavia värillisiä esineitä näkökentässä, mistä syystä kynnys on alle 13 väriyksikön laskettuna tälle värille. Näistä tutkimuksista voidaan päätellä, että kynnys heijastuneen valon havaitsemiseksi on 11 ja 13 väriyksikön välissä tällä asteikolla, mistä syystä arvon 12 yksikköä on oletettu edustavan kynnystä heijastuneen värin havaittavuudelle olosuhteissa, joissa havaitseminen tapahtuu päivän valossa. Tämä tarkoittaa, että yli 12 yksikön värikylläisyys esiintyy näkyvänä värillisenä irisointina, kun taas alle 12 yksikön värikylläisyys näyttää neutraalilta.

Voidaan olettaa, että vähäistä vastustusta esiintyy tuotteiden, joiden värikylläisyysarvot ovat 13 tai alempia, kaupallista käyttöä vastaan. On kuitenkin erittäin sopivaa, että arvo on 12 tai pienempi, ja kuten yksityiskohtaisemmin seuraavasta käy ilmi, ei näytä olevan mitään käytännön syytä, miksi edullisimpia keksinnön mukaisia tuotteita, esimerkiksi niitä, joille kokonaan värivapaat pinnat, ts. alle 8, ovat ominaisia, ei voitaisi valmistaa taloudellisesti.

Arvo 12 tai sitä alempi arvo osoittaa heijastusta, joka ei häiritse tai vääristä väriä heijastuneessa kuvassa havaittavalla tavalla. Tämän 12 yksikön kynnysarvon oletetaan olevan kvantitatiivinen standardi, jolla erilaisten monikerrosrakenteiden käyttökelpoisuus tai puutteellinen käyttökelpoisuus voidaan arvioida, mitä irisointivärien vaimentamiseen tulee.

Päällysteet, joiden paksuus on 0,85 ^um tai suurempi, antavat värikylläisyysarvoja, jotka ovat alempia kuin tämä kynnys 12, kuten käy ilmi kuviosta 1. Kokeet, jotka esitetään esimerkissä 15, vahvistavat, että nämä paksummat päällysteet eivät anna häiritse viä irisointivärejä päivänvalovalaistuksessa.

8 72613

Seuraavassa käytetään yksinkertaista kerrosta lasin ja puolijohteen välissä.

Keksinnön eräs suoritusmuoto käsittää yksinkertaisen alus-päällysteen käytön heijastuneen värikylläisyyden välttämiseksi.

Tämä vaatii käytettäväksi tarkkaan valittua yksinkertaista kerrosta, jonka taitekerroin (n^ on lasin taitekertoimen (n^ eli n.

1,52) ja puolijohteen taitekertoimen (nh eli n. 2,0) välissä. Inter- mediäärisestä taitekertoimesta, joka on geometrinen keskiarvo n. = 1/2 1 (n^n^) ' eli n. 1,744, on seurauksena, että heijastumilla väli- kerroksen kummaltakin pinnalta on sama amplitudi. Valitsemalla välikerroksen paksuudeksi n. 1/4 aallonpituutta, sammuttavat nämä kummatkin heijastuvat aallot toisensa eivätkä myötävaikuta irisoin-tiväreihin. Tämä sammutus on tarkka ainoastaan yhdellä ainoalla aallonpituuden arvolla ja aallonpituus täytyy valita huolellisesti. Sen jälkeen suoritettiin tutkimus niiden arvojen löytämiseksi, jotka vähentävät värikylläisyyskerrointa puolijohdinkalvoille, erityisesti paksuusvälillä 0,15 - 0,4 ^um, jotka ovat puolijohteita, jotka ovat kaikkein kiinnostavimpia lämpöheijastumisen kannalta ja joihin liittyy erityisiä ongelmia irisoinnin suhteen. Optimaalinen intermediäärinen kalvon paksuus aluspäällysteelle (ts. päällysteelle lasin ja puolijohteen välissä) osoittautui olevan n. 0,072 ^,um (72 nm), mikä vastaa 1/4 aallonpituutta 500 nm:n (tyhjö) aallonpituudelle. Värikylläisyys pysyy kynnysarvon 12 yksikköä alapuolella puolijohdekalvoille kaikilla paksuuksilla, kuten kuvion 1 käyrästä käy ilmi. Tavalliset voimakkaat irisointivärit lämpöä säteilevästä kalvosta, jonka paksuus on esimerkiksi 0,3 ^um, voidaan vaimentaa myös tällä yksinkertaisella intermediäärisellä aluspäällystekalvol-la.

Tämän yksinkertaista irisointia vastustavan aluspäällyste-kerroksen herkkyyttä taitekertoimen ja paksuuden vaihteluille tutkittiin. Taitekertoimen muutokset - 0,02 ja paksuuden muutokset - 10 %:lla ovat riittäviä nostamaan värikylläisyyden havaittaviin arvoihin. Näiden parametrien tarkka säätö voidaan aikaansaada tunnetuilla lasinpäällystysmenetelmillä. Esimerkiksi US-patentissa 9 7261 3 3 850 679 kuvataan laitetta, joka pystyy päällystämään paksuuden tasaisuudella - 2 %.

Kaksinkertaiset välikerrokset antavat vielä parempia tuloksia .

Tehokas tuote voidaan myös valmistaa käyttäen kahta kerrosta, joilla on intermediäärinen taitekerroin lasilla puolijohdekalvon alla. Puolijohdekalvoilla, joiden paksuus oli väliltä 0,1 - 0,4 ^um, osoittautui olevan mahdollista aikaansaada ainoastaan n. yhden yksikön tai pienempi värikylläisyys. Tämä väli on paljon alempi kuin kynnysarvo havaittavuudelle. Molemmat intermediääriset taite-kerroinarvot (n^ ja n2) tällaiselle rakenteelle voidaan esittää seuraavasti nl = (nh) (rig 1) eli n. 1,63 n2 = 8Nh) 0,74 (ng]_) 0,26 eli n. 1,86.

Optimaalinen paksuus on n. 1/4 aallonpituutta (tyhjö) aallonpituudelle 500 nm eli n.

d ^ = 7 6,7 nm d2 = 67,2 nm.

Kerros, jolla on pienempi taitekerroin (n^), on lähinnä lasia, samalla, kun kerros, jolla on suurempi kerroin (n2), on lähinnä puolijohdekalvoa.

Tämä rakenne, jossa on kaksinkertainen aluskerros, on vielä sietävämpi, mitä parametrien poikkeamiin optimaalisista arvoista tulee kuin suoritusmuoto, jossa on yksinkertainen aluspäällyste.

- 25 %:n vaihtelut optimaalisesta paksuudesta vaimentavat edelleen irisointiarvot alle havaittavan rajan, ts. värikylläisyyden 10 alapuolelle. Hyvin tehokkaat rakenteet voivat niinmuodon perustua tai-tekertoimiin väliltä n. = (n.)0,26 ± 0,03 0,74 ± 0,03 1 h gl „ _ ,0,74 i 0,03, ,0,26 - 0,03 n2 = (nh> "gl mikä vastaa noelle väliä l,62:sta l,65:een ja n2:lle väliä l,88:sta 10 7261 3 1,84:ään. Valmistuksen tarkuusaste, joka vaaditaan päällystepak-suuksien pitämiseksi - 25 %:n toleranssilla, voidaan helposti saavuttaa ennestään tunnetuin menetelmin. Samoin voidaan tarkuus, joka vaaditaan taitekertoimien suhteen, helposti saavuttaa, vaikkakin tarvitaan sekoitettuja aineita vaadittavien arvojen saamiseksi.

On myös havaittu, että lasialustan ja puolijohdekerroksen väliin voidaan rakentaa kalvo, jolla on asteittain vaihteleva koostumus esimerkiksi asteittain vaihteleva piidoksidikalvosta tina-oksidikalvoksi. Tällainen kalvo voidaan parhaiten havainnollistaa kalvona, joka käsittää hyvin suuren joukon välikerroksia.

Suurta joukkoa läpinäkyviä aineita voidaan käyttää tuotteiden valmistukseen, jotka täyttävät edellä esitetyt kriteriot, muodostamalla yksi tai useampia irisointia vastaan vaikuttavia alus-päällystekerroksia. Erilaisilla metallioksidei11a ja -nitrideillä sekä tällaisten seoksilla on toivotut optiset ominaisuudet mitä läpinäkyvyyteen ja taitekertoimeen tulee. Taulukossa A esitetään tiettyjä seoksia, joilla on oikeat taitekerroinarvot yksinkertaista kerrospäällystettä varten lasin ja tinaoksidi- tai indiumoksidikal-von välissä. Tarvittavat painoprosenttiarvot on saatu mitatuista käyristä, joissa taitekerroin on esitetty koostumuksen funktiona, tai ne on laskettu tavallisella Lorentz-Lorenz-lailla seosten tai-tekertoimia varten (Z. Knittl, Optics of Thin Films, Wiley and Sons, New York, 1976, sivu 473) käyttäen mitattuja taitekerroinarvoja puhtaille kalvoille. Tämä sekoituslaki antaa yleisesti riittävän tarkkoja interpolointeja optiselle työlle, vaikkakin lasketut taitekerroinarvot tietyissä tapauksissa ovat jonkin verran pienempiä kuin mitatut arvot. Kalvojen taitekerroinarvot vaihtelevat myös jonkin verran käytetyn päällystysmenetelmän ja käytettyjen olosuhteiden mukaan.

Rutiininomainen tarkistus voidaan ennen valmistusta helposti suorittaa ja jos niin vaaditaan, voidaan koostumus asettaa optimaalisiin arvoihin, jos tätä vaikutusta todella vaaditaan.

Aluminiumoksidikalvot antavat esimerkiksi tietyn vaihtelevuuden taitekertoimeen väliltä n. 1,64 - 1,75, mikä johtuu päällys- 11 7261 3 tysolosuhteista. Taulukoissa A, B ja C tarkoittaa Al2-03~h kalvoja, joilla on suuri taitekerroin (n = 1,7 5) , kun taas A^O^-l tarkoittaa pientä taitekerrointa (n = 1,64). Kalvot, joilla on keskisuuri taitekerroin, vaativat intermediäärisiä koostumuksia antaakseen toivotut taitekerroinarvot.

Taulukot B ja C antavat tiettyjä seoksia, joilla on oikeat taitekerroinarvot (n. 1,63 ja 1,86) käytettäviksi kaksoiskerrokses-sa lasialustan ja primäärisen puolijohdepäällysteen välissä.

Näiden optisten ominaisuuksien lisäksi valitaan sopivia alus-päällystekerroksia, niin että ne ovat kemiallisesti kestäviä ja kestäviä ilmaa, kosteutta, puhdistusliuoksia jne. vastaan. Tällainen vaatimus poistaa useimmissa tapauksissa sentyyppiset germanium-dioksidikalvot, jotka helposti hydrolysoituvat veden vaikutuksesta. Kalvot, jotka on valmistettu n. puoliksi Ge02:sta ja puoliksi Sn02:sta, näyttävät olevan liukenemattomia ja kestäviä veden vaikutusta vastaan.

Taulukko A

Dielektrisiä kalvoja, joiden taitekerroin on n. 1,73 - 1,77 Seos Komponentti A Paino-% Komponentti B Paino-% 1 SI3N4 67-4 Si02 33 - 4 2 Al203-h 100 3 ZnO 78-3 Si02 22 - 3 4 Al203-1 55-8 ZnO 45-8 5 MgO 76-11 ZnO 24 - 11 6 Sn02 81-3 Si02 19 - 3 7 Sn02 50 - 7 Sl^-l 50-7 8 MgO 73 - 11 Sn02 27 - 11 9 In2°3 81-3 Si02 19 - 3 10 ln203 50-7 Al2°3-1 50-7 11 MgO 73 - 12 ln203 27 - 12 12 Ge02 55-7 ZnO 45 - 7 13 Ge02 52-7 Sn02 48-7 14 Ge02 51-7 In2°3 49 - 7 15 Ga2°3 91-3 Si02 9-3 16 Ga2°3 71 ” 10 Λ12°3"1 29 “ 10 IV MgO 53 - 20 Ga2°3 47 “ 20 18 Ga2°3 70 “ 10 Ge02 30 “ 10 7261 3 12

Taulukko B

Dielektrisiä kalvoja, joiden taitekerroin on n. 1,62 - 1,65 Seos Komponentti A Paino-% Komponentti B (jäännös) 1 Si02 53 i 4 Si3N4 2 Al203-1 100 3 Al203-1 97-3 Si02 4 Al203-h 74 ± 5 SiC>2 5 ZnO 59-4 Si02 6 MgO 79-5 Si02 7 Sn02 62-3 Si02 8 In2°3 63-3 Si02 9 Ge02 100 10 Ga2°3 71-3 Si02

Taulukko C

Dielektrisiä kalvoja, joiden taitekerroin on n. 1,86 ^ 0,02 Seos Komponentti A Paino-% Komponentti B (jäännös) 1 si3N4 84-3 Si02 2 ZnO 91-2 SiO- 4- 3 ZnO 76-5 Al203-1 4 ZnO 59-9 Al203~h

5 Zno 68 - 7 MgO

6 Sn02 91-2 Si02 7 Sn02 78 - 5 Al^-l 8 Sn02 60-8 Al203~h

9 Sn02 70 - 6 MgO

10 In2°3 91-2 Si02 11 In2°3 78-5 Al203-1 12 In2°3 61-8 Al203-h

13 In2°3 71-6 MgO

14 ZnO 75 - 7 Ge02 15 Sn02 76-7 Ge02 16 In2°3 76 - 4 Ge02 17 Ga2°3 80 ~ 14 Zn0 18 Ga2°3 79 “ 14 Sn02 19 Ga2°3 78 “ 15 In2°3

Huomautus:

Al203~h = suurtiheyksinen aluminiumoksidikalvo, jonka n on n. 1,75 AI2O3-1 = pientiheyksinen aluminiumoksidikalvo, jonka n on n. 1,64.

13 7261 3

Kaikki nämä kalvot voidaan valmistaa tyhjöhöyrystämällä samanaikaisesti sopivat aineet sopivassa seoksessa. Suurten pintojen, kuten ikkunalasien, päällystämiseen on kemiallinen höyrypäällystys (CVD) normaalissa ilmanpaineessa yksinkertaisempaa ja halvempaa. Kemiallinen höyrysaostus vaatii kuitenkin sopivia haihtuvia yhdisteitä jokaisen aineen muodostamiseksi. Sopivimmat lähteet kemiallista höyrypäällystystä varten ovat kaasut huoneen lämpötilassa.

Pii ja germanium voidaan saostaa kemiallisella höyrypäällystyksel-lä sellaisista kaasuista kuin silaani, SiH^, dimetyylisilaani (CH^^Sil^ ja germaanista (GeH^) . Nesteet, jotka ovat riittävän haihtuvia huoneen lämpötilassa, ovat melkein yhtä sopivia kuin kaasut. Tetrametyylitina on eräs tällainen lähde tinayhdisteiden kemiallista höyrypäällystystä varten, kun taas (C2H,-) 2SiH2 ja SiCl^ ovat haihtuvia nesteitä, jotka ovat sopivia pii-lähteitä. Samalla tavalla ovat trimetyylialuminium ja dimetyylisinkki sekä näiden korkeammat alkyylihomologit haihtuvia lähteitä näille metalleille. Eivät aivan yhtä sopivia, mutta jatkuvasti käyttökelpoisia lähteitä kemiallista höyrypäällystystä varten ovat kiinteät aineet tai nesteet, jotka ovat haihtuvia lämpötiloissa, jotka ovat korkeampia kuin huoneen lämpötila, mutta alempia kuin lämpötila, jossa ne reagoivat ja muodostavat päällystekalvoja. Esimerkkejä tästä viimeksi mainitusta luokasta ovat alumiinin, galliumin, indiumin ja sinkin asetyy-liasetonaatit (joita myös nimitetään 2,4-pentaanidionaateiksi), alu-miniumalkoksidit, esimerkiksi aluminiumisopropoksidi ja aluminium-etylaatti sekä sinkkipropionaatti. Magnesiumilla ei löydy sopivia tunnettuja yhdisteitä, jotka ovat haihtuvia päällystyslämpötilois-sa, mistä syystä kemiallisen höyrypäällystyksen ei oleteta olevan käyttökelpoinen magnesiumoksidikalvojen valmistusta varten.

Tyypillisiä olosuhteita, joissa metallioksidi-kalvoja hyvällä tuloksella on valmistettu kemiallisella höyrypäällystyksellä, esitetään taulukossa D. Tyypillisesti on organometalliyhdistehöyryä läsnä ilmassa n. 1 tilavuusprosentin pitoisuudessa. Tällä tavalla valmistetuilla kalvoilla on hyvä tarttuvuus sekä lasialustaan että sen jälkeen levitettyyn tinaoksidi- tai indiumoksidi-päällysteker-rokseen. Sekaoksidikerroksia on valmistettu näistä kaikista metal-lipareista käyttäen kemiallisia höyrypäällystysmenetelmiä (lukuun ottamatta magnesiumia, jolle ei sopivaa haihtuvaa yhdistettä ole %· 14 72 61 3 ollut saatavissa). Taitekertoimet sekakalvoille mitattiin sopivasti ottamalla näkyvä heijastuskirjo aallonpituuden funktiona. Maksimien ja minimien sijainnit ja korkeudet heijastuneen voimakkuuden suhteen voidaan saattaa suhteisiin saostetun kalvon taitekertoimen kanssa. Reagoivien aineiden pitoisuudet asetetaan sen jälkeen sellaisiksi, että saadaan toivottu taitekerroin.

Näitä menetelmiä käyttäen on valmistettu joukko boorisili-kaattilasi (Pyrex) -näytteitä käyttäen (Si02 ~ Si3N4) > (Si02 -Sn02) , (Ge02 - SnC>2) , (A12C>3 - Sn02) , (Al203 - Ga2°3^ tai *Al2°3 ”

AnO) sekakerroksina paksuudeltaan 0,3 ^um:n Sn02-puolijohdekerrok-sen alla. Jos taitekertoimet ja paksuusarvot säädetään oikein, tulee heijastuvasta päivänvalosta silmälle neutraali ja väritön. Päällysteet ovat kirkkaita ja läpinäkyviä sekä vapaita näkyvästä sumusta (hajaantuneesta valosta).

Taulukko D

Valikoima haihtuvia hapettuvia organometalli-yhdisteitä, jotka ovat sopivia metallioksidikerrosten ja sekametallioksidikerrosten saostamiseen hapettavilla kaasuilla, kuten 02:lla tai N20:lla

Yhdiste Höyrystyslämpötila Päällystyslämpötila (6C) (°C) 1 SiH^ kaasu 20:ssä 300-500 2 (CH3)2SiH2 kaasu 20:ssä 400-600 3 (C2H5)2SiH2 20 400-600 4 GeH^ kaasu 20:ssä 300-450 5 (CH3)3Al 20 400-650 6 Al(OC2H5)3 200-300 400-650 7 Al(OC3H7)3 200-220 400-600 8 A1(C5H702)3 200-220 500-650 9 Ga(C5H502)3 200-220 350-650 10 In(C5H702)3 200-220 300-600 11 (CH3)2Zn 20 100-600 12 Zn(C3H502)2 200-250 450-650 13 (CH3)4Sn 20 450-650 14 Ta(OC4Hg)5 150-250 400-600 15 Ti(OC3H7)4 100-150 400-600 16 Zr(OC4Hg)4 200-250 400-600 17 Hf(OC4Hg)4 200-250 400-600 is 7261 3

Kun samoja päällysteitä kokeiltiin tavallisella ikkunalasilla (sooda-kalkkilasilla tai pehmeällä lasilla) osoittivat monet saaduista päällysteistä huomattavaa samentumista eli valon hajaantumista. Kun kerros, joka ensimmäisenä levitetään pehmeälle lasille, on amorfinen ja koostuu Sioista, Si3N4:stä tai GeC^rsta tai näiden aineiden seoksista, on päällyste vapaa samentumisesta riippumatta jälkeentulevasta kerroksesta. Al2C>3 antaa jopa kirkkaampia päällysteitä, edellyttäen, että tämä aine saostetaan amorfisessa muodossa, edullisesti n. 550°C:n lämpötilan alapuolella. Jos ensimmäinen kerros sisältää suuria määriä Ga2C>3, ZnO, ln2°3 tai SnC>2, on samentuminen todennäköistä.

Ensimmäinen irisointia vastustava kerros, joka saostetaan ikkunalasipinnalle, on edullisesti amorfinen kiteisen asemesta. Piioksinitridiä pidetään edullisena. Sen jälkeen levitetyt kerrokset voivat olla monikiteisiä aiheuttamatta valon hajaantumista.

Natrium- ja muilla alkali-ioneilla on haitallinen vaikutus infrapunaheijastukseen ja sähkönjohtokykyyn tinaoksidi- ja indium-oksidi-kalvoissa.

Edellä esitetyt amorfiset kalvot ja erityisesti piioksidi-nitridikalvot ovat hyviä sulkukerroksia natrium-ionien diffuusiota vastaan lasista puolijohdekerrokseen. Muuttamalla happi/typpi-suh-detta kalvoissa voidaan koko taitekerroinväli lasin taitekertoimesta n. 1,5 tinaoksidin tai indiumoksidin taitekertoimeen, joka on n.

2, kattaa. Samoilla lähtöreagensseilla voidaan niinmuodoin valmistaa irisointia vastaan vaikuttavia rakenteita, joissa on mielivaltainen lukumäärä taitekerroinjaksoja. Siten voidaan valmistaa myös kalvoja, joissa reaktiokomponenttien suhde jatkuvasti muuttuu. Ainoastaan helposti saatavia ja hinnaltaan halpoja aineita tarvitaan piioksinit-ridin valmistukseen.

Lukuisia haihtuvia reagensseja on saatavissa piioksidinitri-di-kalvojen valmistusta varten. Taulukossa E esitetään joitakin so-pivimmista haihtuvista aineista piioksinitridin kemiallista höyry-saostusta varten. Reaktiota SiH^ + N2H4 pidetään parempana, koska tämä reaktio näyttää antavan suurempia saostumisnopeuksia lämpötila-alueella, joka on kiinnostava ikkunalasia varten, ts. 500-600°C. Kuitenkin voivat myös lukuisat muut reagenssiyhdistelmät antaa arvokkaita piioksinitridikalvoja.

16 7261 3

Taulukko E

Lähdealueita piioksinitridi-kalvojen kemiallista höyrysaos-tusta varten

Piilähteitä: Typpilähteitä:

SiH4 N2H4 CH3NHNH2 (CH3)2SiH2 NH3 (CH3)2NNH2 (C2H^) 2SiH2 Lähteitä sekä hapelle että typelle

(CH3)4Si NO

SiCl4 NH2OH

SiBr4 N2H4H20

Happilähteitä: °2 h20 n20

Interferenssivärejä, ts. irisointia, voidaan vähentää käyttämällä heijastuksia toiminallisen epäorgaanisen päällysteen kahdesta ohuesta päällysteestä erillisillä, mutta yhdensuuntaisilla lasipinnoilla. Jos päällystepaksuudet, esimerkiksi tinaoksidi-päällysteiden paksuudet valitaan niin, että ne poikkeavat n. 1/4 aallonpituudella (n. 0,07 ^im = 0,50 ^im:lle ja n = 2,0) häviävät interfe-renssivärit käytännössä. Interferenssivärit vähenevät tilaan, jossa väreistä ei enää tule esteettistä ongelmaa valmistajalle ja asiakkaalle. Esimerkiksi punaisen heijastuksen lisävarjäytyminen jossakin päällysteessä ja lähellä sijaitsevan interferenssijärjestyksen vihreä heijastus jossakin toisessa päällysteessä yhdistyvät käytännöllisesti katsoen valkoisen (neutraalin) heijastuksen muodostamiseksi. Samalla tavalla on valonläpäisy tällaisen komplementtipäällysteiden yhdistelmän läpi myös väriltään neutraali.

Tätä värikompensaatiota käytetään kaksoislaseissa interfe-renssivärien voimakkuuden vähentämiseksi lämpä heijastavista puo-lijohtavista päällysteistä. Jos esimerkiksi Sn02-päällysteitä käytetään kaksoislasitetun ikkunan kahdella sisäpinnalla, voidaan ne valita niin, että niiden paksuusero on 0,07 yum. Laajennetuille valolähteille sammuvat heijastusvärit hyvin, jos lasipinnat ovat jota- 17 7261 3 kuinkin yhdensuuntaiset. Pieniä valolähteitä tai tarkkarajaisia valolähteitä varten ei kompensaatiosta heijastuksen suhteen tule täydellinen elleivät päällystetyt pinnat ole erittäin yhdensuuntaiset. Läpäisyhavaintojen suhteen eivät vaatimukset yhdensuuntaisista pinnoista ole läheskään yhtä ankarat.

On myös huomattava, että kalvot, joissa interferenssivärejä on vähennetty voimakkuuden suhteen aluspäällysteellä, jolla on intermediäärinen tai asteittain muuttuva taitekerroin, myös voidaan yhdsitää pareiksi antamaan lisävärikompensaatio.

Seuraavassa tarkastellaan liitteinä olevia kuvioita.

Kuvio 1 on graafinen esitys, joka havainnollistaa lasketun värinvoimakkuuden vaihtelua eri väreille puolijohdekalvon paksuuden mukana.

Kuvio 2 esittää kaavamaisesti poikkileikkausta irisoimattomasta päällystetystä keksinnön mukaisesta lasirakenteesta, jossa on yksinkertainen irisointia vastaan vaikuttava välikerros.

Kuvio 3 esittää kaavamaisesti poikkileikkausta irisoimattomasta päällystetystä lasista, joka on aikaansaatu keksinnön mukaisesti useilla irisointia vastaan vaikuttavilla välikerroksilla.

Kuvio 4 esittää kaavamaisesti poikkileikkausta kaksoislasite-tusta ikkunarakenteesta, jolla on olennaisesti parantunut ulkonäkö seurauksena päällysteistä, jotka ovat lasilla ja jotka vähentävät tai poistavat häiritsevän irisoinnin.

Kuviossa 2 esitetään läpinäkyvä levy 20, joka käsittää lasi-alustan 22, jonka päällä on Si^N^/SiC^ (tai jonkin muun taulukon A mukaisen aineen-) välikalvo 24, jonka paksuus on C,072 /um ja taitekerroin 1,744. Kalvon 24 päällä on päällyste 26, jonka paksuus on 0,4/am ja joka on infrapunasäteilyä heijastava puolijohde, tinaoksidi.

Kuvio 3 esittää ikkunaa 36, joka on valmistettu samasta puoli johdekalvosta 26 ja samasta lasista 22 ja kahdesta välipäällys-teestä seuraavasti: päällyste 30, jonka paksuus on 0,077 /am ja 18 7261 3 taitekerroin n. 1,63. Päällyste 32, jonka paksuus on n. 0,067 /um ja taitekerroin n. 1,86. Päällyste 30 on valmistettu jostakin taulukossa B esitetystä aineesta. Päällyste 32 on valmistettu jostakin taulukossa C esitetystä aineesta.

Kuvio 4 esittää kaksoislasistettua ikkunarakennetta 40, joka käsittää eristävän ilmatilan 42 sisemmän läpinäkyvän levyn 44 ja ulomman läpinäkyvän levyn 46 välissä. Molemmat levyt 44 ja 46 on valmistettu lasista 45, jossa on puolijohdepäällyste 43a ja 48b lasin sisäpinnalla.

Puolijohdepäällysteen 48a paksuus on n. 0,2 /um, mutta päällysteen 48b paksuus on n. 0,27 /im. Siten näiden kahden päällysteen paksuuden välillä on n. 1/4 aallonpituuden ero.

Esimerkki 1

Lasi, jossa oli yksinkertainen irisointia vastaan vaikuttava aluspäällystekerros, valmistettiin kuumentamalla kirkasta ikkunala-silevyä, jonka läpimitta oli 15 cm, n. 580°C:seen. Kaasuseosta, joka sisälsi n. 0,4 % silaania (SiH^), 0,1 % typpioksidia (NO), 2 % hyd-ratsiinia ja loput typpeä (N2) johdettiin lasipinnan yli n.

yhden minuutin ajan määrässä 1 1/min. Tällöin lasipinta päällystyi :tasaisella, läpinäkyvällä piioksinitridi-kalvolla. Pinta päällystettiin sen jälkeen vielä fluorilla kyllästetyllä tinaoksidikerrok-sella johtamalla kaasuseosta, jossa oli 1 % tetrametyylitinää (CH^^^n, 3 % bromitrifluorimetaania CF^Br, 20 % happea 02 ja loput N2> piioksinitridipinnan ohi 560°C:ssa n. yhden minuutin ajan. Sen jälkeen päällystetty lasi sai hitaasti jäähtyä ilmassa huoneen lämpötilaan n. yhden tunnin aikana.

Tällä tavalla päällystetyssä lasissa ei ollut näkyviä inter-ferenssivärejä heijastuneessa tai läpäisseessä päivän valossa. Pinta heijasti n. 90 % infrapunasäteilystä aallonpituudella 10 /um ja läpäisi n. 90 % näkyvästä valosta. Sähköisen kerrosvastuksen mitattiin olevan n. 3 ohmia/neliö.

Piioksinitridi-kalvon ominaisuuksien mittaamiseksi poistet- 19 „ Λ 7261 3 tiin tinaoksidikalvo osalta päällystettyä pintaa hankaamalla sink-kipölyn ja laimennetun kloorivetyhapon seoksella. Tämä syövytysai-ne ei vaikuta piioksinitridi-aluspäällysteeseen. Piioksinitridi-kalvon taitekertoimen mitattiin olevan 1,7 4 CH2>l2-neste^oestu^sel-la, jota jäljempänä selostetaan. Piioksinitridi-kalvon näkyvä hei-jastuvuus mitattiin ja maksimi löytyi 5 000 Ä:ssa sekä paksuudella 0,072 yum, mikä vastasi toivottua 1/4 aallonpituuspaksuudesta 5 000 Ä:n valolle.

Taitekerroin näille piioksinitridi-kalvoille riippuu typpi/ happisuhteesta kalvoissa. Tätä koostumusta voidaan helposti säätää muuttamalla ^H^/NO-suhdetta kaasussa. N/O-suhteen suurentaminen suurentaa myös taitekerrointa. Tarkka taitekerroinarvo riippuu myös lähtöaineiden puhtausasteesta ja erityisesti vesimäärästä, joka on läsnä epäpuhtautena hydratsiinissa. Kaupallinen hydratsiini sisältää aina vähintään muutaman harvan prosentin vettä. Kuivaamalla hydratsiini tislaamalla jostakin kuivausaineesta, esimerkiksi nat-riumhydroksidista, kaliumhydroksidista tai bariumoksidista, voidaan kalvon taitekerrointa suurentaa. Kääntäen voidaan taitekerrointa pienentää lisäämällä hydratsiiniin vettä. Kalvon taitekerroin riippuu myös tarkoista olosuhteista kalvon lisäkasvussa, sen ohella saostuslämpötilasta, kaasuvirtauksesta (määrästä aikayksikössä) : jne. Edellä esitettyjen olosuhteiden ei sen tähden voida odottaa antavan kalvoa, jonka taitekerroin on täsmälleen n = 1,74, jos käy-: tetään muita reagensseja tai saostusolosuhteita. Pienten koostumuk sen säätöjen tulee kuitenkin olla riittäviä antaakseen kalvoja, joilla on halutut taitekerroinarvot.

Myös puolijohdekalvoilla voi olla taitekerroinarvoja, jotka poikkeavat arvosta 2,0, joka on mitattu kuvatuille tinaoksidi-kalvoille. Vastaavaa optimaalista arvoa tai arvoja yksinkertaista tai (kaksinkertaista) aluspäällystekerrosta varten voidaan tällöin säätää edellä esitetyin yhteyksin. Vastaavat kaasufaasikoostumukset, jotka antavat kalvoja, joilla on toivottu taitekerroin irisointia vastaan vaikuttaville aluspäällysteille, voidaan sen jälkeen määrätä rutiinikokein sopivakseen jokaisen kemiallisesta höyrysaostus-tekniikasta perillä olevan valmistajan tai tutkijan vaatimuksiin.

Kalvon, jolla on mitattu taitekerroin, paksuus määrätään helposti mittaamalla heijastuskirjo näkyvässä ja infrapunavalossa. Tä-mä kirjo voidaan helposti laskea kalvon paksuuden funktiona käyttäen 20 7 2 6 1 3

Fresnel'in ja Airy'n optisia standardikaavoja. Useimmissa edellä esitetyistä käytännön rakenteista toivotaan aikaansaatavan kalvo, jonka paksuus on 1/4 aallonpituutta n. 5 000 A:n aallonpituudella (ilmassa). Tässä tapauksessa antaa heijastuskirjo yksinkertaiselle tällaiselle kalvolle lasilla leveän maksimin, joka on keskittynyt aallonpituudelle 5 000 A.

Esimerkki 2

Aluminium-2,4-pentaanidionaatti, AlfCi-H^C^)^ (jota myös nimitetään aluminiumasetyyliasetonaatiksi) on valkoinen jähmeä aine, joka sulaa 189°C:ssa kirkkaaksi nesteeksi, joka kiehuu 315°C:ssa. Tätä ainetta pantiin pulputuspulloon, joka oli kuumennettu n. 250°C:seen ja jonka läpi johdettiin typpeä kanninkaasuksi. Kun tämä kaasuseos sekoitettiin kuivan hapen kanssa 250°C:ssa ei saatu minkäänlaista reaktiota. Kun happeen kuitenkin lisättiin kosteutta, saatiin voimakas valkoinen savunmuodostus kaasuseoksessa. Tämä savu on merkki hydrolyysistä. Tämän ennenaikaisen hydrolyysireaktion estämiseksi täytyy kaasuvirrat pitää niin kuivina kuin mahdollista.

Aluminium-2,4-pentaanidionaattihöyryä, typpikanninkaasua ja 20 % happea sisältävä seos johdettiin kuumennettujen lasipintojen yli. 500°C:ssa saatiin ohut päällyste, jonka paksuus oli pienempi kuin 0,1 ^,um ja joka voitiin havaita ainoastaan lisääntyneestä hei-jastavuudesta. 525°C:ssa saatiin 0,3 yiim:n kalvon paksuus n. kolmen minuutin aikana. Tässä kalvossa näkyi heikkoja interferenssi-värejä valkoisessa valossa ja selviä interferenssinauhoja monokro-. maattisessa valaistuksessa. 550°C:ssa aluminiumoksidi-kalvo kasvoi vielä nopeammin ja muodostui vähäinen määrä jauhetta homogeenisen ydinmuodostuksen vaikutuksesta ja se saostui laitteen pinnoille.

Tämän jälkeen annettiin fluori-kyllästetyn tinaoksidi-kalvon kasvaa aluminiumoksidi-kalvojen päälle lämpötiloissa väliltä 500-540°C. Paksuudet väliltä 0,3 - 0,5 ^,um tutkittiin huolellisesti, koska nämä paksuusarvot antoivat voimakkaimmat interferenssivärit. Värien voimakkuus pieneni olennaisesti verrattuna samanpaksuisiin tinaoksidi-kalvoihin ilman aluminiumoksidi-aluspäällystettä.

Kalvoissa, joissa aluminiumoksidi-kalvon paksuus oli 1/4 aallonpituudesta (aallonpituus 500 nm, mikä on hyvin lähellä huippu-arvoa silmän kirjoherkkyydelle päivänvalovalaistuksessa) havaittiin suurin irisointivärin vähennys. Näillä paksuusarvoilla (n. 0,072 ^um 21 7261 3 1/4 aallonpituudelle) sammuttavat heijastukset lasi-Al203~ ja Al203-Sn02~rajapinnoilta toisensa tehokkaimmin. Huomattava värin voimakkuuden väheneminen saadaan kuitenkin myös, kun A^O^in paksuus ei ole optimaalinen.

Lasialustana käytetään sekä Pyrex-tyyppistä boorisilikaatti-lasia että sooda-kalkkilasia (ikkunalasia). Hyviä tuloksia saatiin kummallakin näillä alustoilla.

Myös aluminiumoksidi-kerros oli tehokas estämään sooda-kalk-kilasipinnan pinnallista kiteytymistä, kun tinaoksidia levitettiin 500-540°C:ssa. Aluminiumoksidin oletetaan suojaavan sooda-kalkki-lasipintaa kiteytymistä vastaan niiden ytimien ympärille, jotka tinaoksidikiteet saavat aikaan ja myötävaikuttaa siten sen estämiseen, että lasista tulee valoa hajottavaa päällystysprosessissa.

Esimerkki 3

Kaksoislasitettu ikkuna on valmistettu kirkkaasta sooda-kalkki-tyyppisestä lasista. Lasia on käsitelty piidioksidi-tyyppisellä päällysteellä valon hajaantumisen poistamiseksi tavanomaisella menetelmällä, joka esitetään US-patentissa 2 617 745.

Tämän kaksoislasitetun ikkunan rakenne on yhtäpitävä kuviossa 4 esitettyjen kanssa. Sisäpinnalla A on tinaoksidi-päällyste, jonka paksuus on 0,26 ,um. Sisäpinnalla B on tinaoksidiyhdistelmä- ' + päällyste, jonka paksuus on 0,33 - 0,02 ^um. Kummallakin näistä päällysteistä on, tarkasteltaessa kumpaakin sinänsä, hyvin näkyvä, : voimakasvärinen irisointiväri, joka oli vallitsevasti punainen tai vihreä useimpien havainnon tekijöiden mielestä. Yhdistettäessä pääasiallisesti yhdensuuntaisiksi toistensa kanssa, kuten kuviossa 4 esitetyssä rakenteessa, peittyi irisointiväri suuresti sekä katseltaessa kaksoislasirakenteen puolelta, joka on käännetty aurinkoa kohti, että saman rakenteen toiselta puolelta.

Esimerkki 4

Suoritettiin kokeita kerrosten valmistamiseksi, joilla oli asteittain muuttuva taitekerroin lasin taitekertoimen (n = n. 1,5) ja tinaoksidi-päällysteiden taitekertoimen (n = n. 2,0) väliltä. Käytettiin asteittain muuttuvaa Si Sn. 0„-kerrosta, jossa "x" as-teittäin pieneni yhdestä nollaan, kun kerrosta rakennettiin lasipinnalle. Sn02~kerroksen paksuus oli n. 0,3 ^um ja sen alla olevan 22 7261 3 asteittain muuttuvan alueen paksuus oli n. 0,3 ^um. Saadut rakenteet antoivat huomattavasti vähentyneen interferenssivärin verrattuna Sn02-kerroksiin, joilla oli sama paksuus, mutta joissa ei ollut asteittain muuttuvaa välikerrosaluetta lasin ja Sn02:n välissä.

Hapettuvat pii-lähteet ovat toisessa tapauksessa SiH^ (l-%:isesta seoksesta, jossa N2 on kanninkaasuna) ja toisessa tapauksessa (CH3)2SiH2 (sylinteristä, jossa on puhdasta kaasua). Saos-taminen suoritettiin 480°C:n pintalämpötilassa. Kaasupitoisuudet olivat alussa n. 0,4 % silaania (tai alkyyli-substitucitua silaania), 10 % happea ja loput typpeä. Sen jälkeen tuotiin asteittain tetra-metyylitinaa (CH^J^Sn 1 %:n pitoisuuteen asti n. kolmen minuutin aikana, samalla, kun silaanipitoisuus asteittain vähennettiin nollaan samassa aikavälissä. Sen jälkeen kanninkaasu tetrametyylitinalle suljettiin ja laite huuhdeltiin puhtaaksi n. viidessä minuutissa ilmalla silaanin viimeisten jälkien poistamiseksi. Sen jälkeen johdettiin kaasuvirta, jossa oli 1 % (CH3)4Sn, 3 % CF^Br, 20 % C>2 sekä loput typpeä, pinnan alle kolmen minuutin ajan fluorilla kyllästetyn tinaoksidi-kerroksen saostamiseksi, jonka paksuus oli n. 0,4 ^um.

Interferenssivärit olivat olennaisesti vähemmän liikkuvia näillä päällysteillä, joissa on aluspäällyste, jonka taitekerroin asteittain muuttuu.

Esimerkki 5

Samankaltainen prosessi toteutettiin käyttäen GeH^ SiH4:n asemesta. Asteittain muuttuvan kerroksen muodostaa GexSn^_x02, jossa "x" asteittain pienenee yhdestä nollaan, kun kerros rakentuu lasille. Koska puhtaan Ge02:n taitekerroin on n. 1,65 on asteittain muuttuvalla kerroksella jatkuvasti taitekerroin-aukko lasin taite-kertoimesta (n. 1,5). Päällysteen tasaisuus oli kuitenkin jonkin verran parempi kuin SiH^rllä saatu. Irisoinnin näkyvyyden vähennystä todettiin saumassa määrin kuin esimerkissä 4.

Esimerkit 6-9

Esimerkki 1 toistettiin käyttäen välikerroksena lasin ja tinaoksidin välissä seuraavia taulukosta A valittuja aineita:

Esimerkki 6: 82 % Tn203/18 % Si02

Esimerkki 7: 58 % Ge02/42 ?. ZnO

23

Esimerkki 8: 70 % Ga2O^/30 % AJ^O^-l

Esimerkki 9: 60 % Al2O^-l/40 % ZnO

Kaikissa näissä tapauksissa saatiin alhainen irisointi.

Esimerkit 10-14

Seuraavia aineita, jotka kaikki on valittu taulukoista B ja C, käytettiin kahtena välikerroksena korvaamassa esimerkeissä 1 ja 6-9 esitetty yksinkertainen välikerros: n = n. 1,63 n = n. 1,86

Esimerkki 10: 97 % Al203~l/3 % SiC>2 84 % Si3N4/16 % SiC>2

Esimerkki 11: 60 % ZnO/40 % Si02 90 % ZnO/10 % Si02

Esimerkki 12: 63 % ln203/37 % SiC>2 60 % SnC>2/40 % Al203~h

Esimerkki 13: 70 % Ga203/29 % SiC>2 76 % SnO/24 % GeC>2

Esimerkki 14: 62 % Sn02/38 % SiC>2 61 % In203/39 % Al^-h

Esimerkki 15

Tinaoksi-päällyste levitetään lasialustalle erilaisin paksuuksin. (Lasialusta päällystetään ensin ultra-ohuella piioksinit-ridi-kalvolla amorfisen, valon hajaantumista estävän pinnan saamiseksi. )

Tinaoksidin paksuus Irisoinnin näkyvyys 0,3 voimakas 0,6 selvä, mutta heikompi 0,9 tuskin näkyvä, paitsi fluoroivassa valossa 1,3 heikko myös fluoroivassa valossa

Kaksi viimeksi mainittua ainetta eivät ole esteettisesti häiritseviä käytettäessä rakennustarkoituksiin.

Seuraavassa esitetään menetelmä päällysteen laadun määrittämiseksi .

Yksinkertainen menetelmä ohuiden kalvojen taitekertoimen nopeasti tarkistamiseksi on kehitetty saostusolosuhteiden löytämiseksi kalvoille, joilla on toivottu taitekerroin. Voidaan esimerkiksi olettaa, että aluspäällystyskerrosta varten halutaan kalvo, jonka taitekerroin n = 1,74. Valitaan neste, jolla on tämä taitekerroin. Esimerkiksi dijodimetaania, n = 1,74 voidaan käyttää. Kalvo, jonka paksuus on n. 0,2-2 ^um, saostetaan lasipinnalle. Päällystettyä 24 7261 3 lasia tarkkaillaan heijastuneella valolla monokromaattisesta valolähteestä, esimerkiksi suodatetusta elohopealampusta aallonpituudella λ = 5 461 A. Päällystetty lasi antaa interferenssimallin, jossa on tummia ja vaaleita nauhoja, jos kalvon paksuus vaihtelee lasipinnan poikki. Kalvolle tuodaan pisara nestettä, jolla on tunnettu taitekerroin. Jos kalvon taitekerroin täsmällisesti on yhtäpitävä nesteen taitekertoimen kanssa, häviää interferenssimalli pisaran alta.

Jos kalvon ja pisaran taitekertoimet eivät ole tarkasti yhtäpitäviä, näkyy interferenssimalli jatkuvasti pisaran alla, mutta heikommalla voimakkuudella. Jos tämä heikko interferenssimalli pisaran alla on suorana jatkeena kalvon loppuosalla olevalle nauhamal-lille, on kalvon taitekerroin suurempi kuin vertailuliuoksen. Jos toisaalta nauhamalli pisaran alla on päinvastainen (vaaleat ja tummat alueet ovat vaihtaneet paikkaa) verrattuna malliin, joka esiintyy nestepisaran ulkopuolella, on kalvon taitekerroin pienempi kuin vertailunesteen.

Käyttämällä tätä yksinkertaista, mutta tarkkaa kalvon taitekertoimen mittausta voidaan olosuhteet kalvon valmistamiseksi helposti säätää sarjalla kokeita yhtäpitävyyden saavuttamiseksi toivotun arvon kanssa. Valitsemalla muita vertailunesteitä, voidaan kalvot säätää erilaisiin muihin arvoihin. Taitekerroin n = 1,63, jota käytettiin kahden kerroksen aluspäällysteessä, voidaan asettaa käyttäen 1,1,2,2-tetrabromietaania vertailunesteenä. Taitekerroin n = 1,86 toista kerrosta varten kaksikerrosaluspäällysteessä voidaan asettaa rikin ja fosforin liuokselle dijodimetaanissa, kuten West kuvaa julkaisussa American Mineral, niden 21, sivu 245 (1936). Edellä esitetystä on ammattimiehelle selvää, että tätä yleistä menetelmää voidaan käyttää laadun tarkkailuun valmistuksessa. Nesteitä, joilla on tunnetut taitekertoimet, tuottaa kaupallisesti myös Cargille Laboratories, New Jersey, A. f. s.

On ilmeistä, että keksinnön mukainen menetelmä tekee mahdolliseksi parantaa lämmönsäästöä rakennuksissa, joissa on huomattavia lasipintoja, ja myös soveltaa sähköiseen ikkunoiden kuumentamiseen, esimerkiksi autoissa ja lentokoneissa, käyttämällä keksinnön mukaisten päällysteiden vastusominaisuuksia. Näillä päällysteillä on yleensä ohminen vastus, tavallisesti puolijohde-tyyppinen.

Claims (17)

25 72 61 3

1. Tuote, joka käsittää ainakin yhden läpinäkyvän lasilevyn, joka on varustettu infrapunasäteilyä heijastavaa ainetta olevalla ensimmäisellä epäorgaanisella päällysteellä, jolloin aine muodostuu läpinäkyvästä puolijohteesta, joka pystyy osoittamaan irisoivia värejä päivänvalovalaistuksessa, tunnettu siitä, että toinen päällyste on sovitettu lasilevyn ja ensimmäisen pääl-lysteeen väliin, jolloin tämä toinen päällyste toimii välineenä ensimmäisen päällysteen irisointivärien vähentämiseksi oleellisesti muodostamalla vähintään kaksi rajapintaa, jotka yhdessä toisen päällysteen massan kanssa heijastavat ja taittavat valon niin että irisointivärien havaittavuus päivänvalovalaistuksessa oleellisesti vähenee, jolloin toisen päällysteen taitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toisen päällysteen paksuus on noin 1/4 sellaisen valon aallonpituudesta, jonka tyhjöaallonpituus on noin 500 nm, tai toisen päällysteen kokonaistaitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toinen päällyste käsittää kaksi kerrosta, joiden kummankin paksuus on noin 1/4 sellaisen valon aallonpituudesta, jonka tyhjöaallonpituus on noin 500 nm, tai toisella päällysteellä on taitekerroingradientti, joka asteittain vaihtelee lasin ja infrapunasäteilyä heijastavan aineen välissä taitekertoimesta, joka on lähellä lasin taitekerrointa, tai- : tekertoimeen, joka on lähellä infrapunasäteilyä heijastavan aineen : taitekerrointa.

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen tuote, tunnettu siitä, että puolijohtavaa ainetta olevan ensimmäisen kerroksen paksuus on alle 0,4 pm.

3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen tuote, tunnet-t u siitä, että tuote käsittää ainoastaan lasilevyjä, jotka muodostuvat kirkkaasta lasista tai lasista, jolla on vaalea värisävy ja jolla ei ole metallinkiiltoa, pronssinkiiltoa harmaasävyä eikä muita tummia sävyjä, jotka voivat vaimentaa irisoinnin näkyvyyttä ja edullisesti vähentää tuotteen läpäisevyyden pienemmäksi kuin noin 25 %. 26 7261 3

4. Jonkin patenttivaatimuksen 1-3 mukainen tuote, tunnettu siitä, että ensimmäisen ja toisen päällysteen yhteinen tai tuotteen kaikkien epäorgaanisten päällysteiden paksuus on 0,1-1 pm.

5. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että sen värikylläisyysarvo on alle 5, edullisesti alle 8 ja erityisesti alle 13.

6. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että ensimmäinen päällyste on stannioksidia.

7. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että toinen päällyste on amorfista ainetta ja muodostaa välineen lasin samentumisen välttämiseksi ensimmäistä päällystettä levitettäessä.

8. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että toisen päällysteen taitekerroin on noin 1,7-1,8 ja paksuus on noin 64-80 nm, jolloin ensimmäisen päällysteen taitekerroin on noin 2 ja lasin taitekerroin on noin 1,5.

9. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että toinen päällyste on pääasiassa metalli-oksidia, erityisesti alumiinioksidia, metallinitridiä tai näiden seosta, erityisesti selityksen taulukossa A kuvattuja seoksia 1-18.

10. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että amorfinen kalvo on piioksinitridiä.

11. Jonkin patenttivaatimuksen 1-9 mukainen tuote, tunnettu siitä, että toinen päällyste muodostuu kahdesta kerroksesta käsittäen a) lähempänä lasia olevan kerroksen, jonka koostumus on kuvattu selityksen taulukossa B, ja b) lähempänä ensimmäistä päällystettä olevan kerroksen, jonka koostumus on kuvattu selityksen taulukossa C.

12. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että toinen päällyste muodostuu kahdesta kerroksesta käsittäen a) lähempänä lasia olevan kerroksen, jonka taitekerroin likimääräisesti saadaan kaavasta 27 7261 3 n =„ °'26n °'74 a se gl ja b) lähempänä ensimmäistä päällystettä olevan toisen kerroksen, jonka taitekerroin likimääräisesti saadaan kaavasta 0,74 0,26 n. = n n , b se gl joissa ngc on ensimmäisen päällysteen taitekerroin ja n ^ on lasin taitekerroin.

13. Patenttivaatimuksen 12 mukainen tuote, tunnettu siitä, että toinen päällyste muodostuu kahdesta kerroksesta käsittäen a) lähempänä lasia olevan kerroksen, jonka taitekerroin on noin 1,6-1,7, b) lähempänä ensimmäistä päällystettä olevan kerroksen, jonka taitekerroin on noin 1,8-1,9, jolloin ensimmäisen päällysteen taitekerroin on noin 2 ja lasin taitekerroin on noin 1,5.

14. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että toinen päällyste muodostuu piioksinitri- diseoksesta, jonka kaava on xSi02 (1-x) Si^N^, tai Si Sn^_^02:n tai Ge Sn, .-0_:n seoksista, jolloin X' vaihtelee lähes yhdestä lasin X «la JL pinnalla nollaan tai lähes nollaan ensimmäisen päällysteen rajapinnalla.

15. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että gradientti muuttuu asteittain lukuisilla osakerroksilla, joilla on asteittain erilaiset taitekertoimet.

16. Menetelmä jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukaisen tuotteen valmistamiseksi, joka tuote käsittää ainakin yhden läpinäkyvän lasilevyn, joka on varustettu infrapunasäteilyä heijastavaa ainetta olevalla ensimmäisellä epäorgaanisella päällysteellä, jolloin aine muodostuu läpinäkyvästä puolijohteesta, joka pystyy osoittamaan irisoivia värejä päivänvalovalaistuksessa, ja toisen päällysteen, joka on sovitettu lasilevyn ja ensimmäisen päällysteen väliin, jolloin tämä toinen päällyste toimii välineenä ensimmäisen päällysteen irisointivärien vähentämiseksi oleellisesti muodostama!- 28 7 2 6 1 3 la vähintään kaksi rajapintaa, jotka yhdessä toisen päällysteen massan kanssa heijastavat ja taittavat valon niin että irisointi-värien havaittavuus päivänvalovalaistuksessa oleellisesti vähenee, tunnettu siitä, että levitetään toinen päällyste, jonka taitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taiteker-toimien tulon neliöjuuri, jolloin toisen päällysteen paksuus on noin 1/4 sellaisen valon aallonpituudesta, jonka tyhjöaallonpituus on noin 500 nm, tai jonka kokonaistaitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toinen päällyste käsittää kaksi kerrosta, joiden kummankin paksuus on noin 1/4 sellaisen valon aallonpituudesta, jonka tyhjäaallonpituus on noin 500 nm, tai jolla on taitekerroingradientti, joka asteittain vaihtelee lasin ja infrapunasäteilyä heijastavan aineen välissä taitekertoimesta, joka on lähellä lasin taitekerrointa, taitekertoi-meen, joka on lähellä infrapunasäteilyä heijastavan aineen taitekerrointa ennen ensimmäisen epäorgaanisen päällysteen levittämistä.

17. Tuotteen käyttö, joka tuote käsittää ainakin yhden läpinäkyvän lasilevyn, joka on varustettu infrapunasäteilyä heijastavan ainetta olevalla ensimmäisellä epäorgaanisella päällysteellä, jolloin aine muodostuu läpinäkyvästä puolijohteesta, joka pystyy osoittamaan irisoivia värejä päivänvalovalaistuksessa, ja toisen päällysteen, joka on sovitettu lasilevyn ja ensimmäisen päällysteen väliin, jolloin tämä toinen päällyste toimii välineenä ensimmäisen päällysteen irisointivärien vähentämiseksi oleellisesti muodostamalla vähintään kaksi rajapintaa, jotka yhdessä toisen päällysteen massan kanssa heijastavat ja taittavat valon niin että irisointivärien havaittavuus päivänvalovalaistuksessa oleellisesti vähenee, jolloin toisen päällysteen taitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toisen päällysteen paksuus on noin 1/4 sellaisen valon aallonpituudesta, jonka tyhjö-aallonpituus on noin 500 nm, tai toisen päällysteen kokonaistaitekerroin on likimäärin lasin ja ensimmäisen päällysteen taitekertoimien tulon neliöjuuri, jolloin toinen päällyste käsittää kaksi kerrosta, joiden kummankin paksuus on noin 1/4 sellaisen valon aallonpituudesta, jonka tyhjöaallonpituus on noin 500 nm, tai toisella päällysteellä on taitekerroingradientti, joka asteittain vaihtelee 29 7261 3 lasin ja infrapunasäteilyä heijastavan aineen välissä taitekertoi-mesta, joka on lähellä lasin taitekerrointa, taitekertoimeen, joka on lähellä infrapunasäteilyä heijastavan aineen taitekerrointa, tunnettu siitä, että tuotetta käytetään lasipintojen irisoin-tivapaan ulkonäön aikaansaamiseksi rakennuksessa ja lämpöhäviön estämiseksi rakennuksesta näiden lasipintojen läpi rakennukseen tulevan infrapunasäteilyn takaisinheijastuksella infrapunasäteilyä heijastavaa puolijohdekalvoa olevasta ohuesta päällysteestä, joka on lasin pinnalla, ja/tai näiden lasipintojen sähkölämmittämiseksi saattamalla puolijohdetta oleva ohut päällyste jännitteen alaiseksi. 30 7261 3