FI79215C - Optoelektronisk anordning. - Google Patents

Optoelektronisk anordning. Download PDF

Info

Publication number
FI79215C
FI79215C FI853647A FI853647A FI79215C FI 79215 C FI79215 C FI 79215C FI 853647 A FI853647 A FI 853647A FI 853647 A FI853647 A FI 853647A FI 79215 C FI79215 C FI 79215C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
component
heel
conductor
holder
light
Prior art date
Application number
FI853647A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI79215B (fi
FI853647A0 (fi
FI853647L (fi
Inventor
Michael Langenwalter
Lothar Spaeter
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of FI853647A0 publication Critical patent/FI853647A0/fi
Publication of FI853647L publication Critical patent/FI853647L/fi
Publication of FI79215B publication Critical patent/FI79215B/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI79215C publication Critical patent/FI79215C/fi

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4202Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/30107Inductance
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3025Electromagnetic shielding

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Description

7921 5
Valoelektroninen laite
Keksinnön kohteena on erityisen valoelektronisen laitteen edelleenkehitysmuoto, joka on määritelty patenttivaatimuksen 1 johdanto-osassa. Tämän johdanto-osan piirteitä on esitetty esim. EP-patentisea 17701. Nämä piirteet ilmenevät myös julkaisusta DE-OS 32 44 882, kuviot 2, 3 ja 5. Samankaltaisia laitteita on edelleen esitetty hakemus julkaisuissa DE-OS 33 11 038, 33 37 131, 34 06 424, 34 29 234 ja 34 29 282.
Keksintö on kehitetty sinänsä ennen kaikkea hakemuksissa P 34 06 424, kuvio 2, edelleen P 34 29 234, kuvio 3 ja P 34 29 282 esitettyjen valoelektronisten laitteiden muunnelmana, niin että periaatteessa tämä keksintö voitaisiin jättää myös näiden hakemusten lisähakemuksena; siten näiden hakemusten julkaisu katsotaan täysin kuuluvaksi tässä tähän hakemukseen. Keksintöä voidaan kuitenkin soveltaa myös tämän lisäksi muihin, patenttivaatimuksen 1 johdanto-osassa määriteltyihin valoelektronisiin laitteisiin, niin että se on käsitelty omassa hakemuksessa.
Julkaisun EP-17701 mukaisessa laitteessa esiintyy haittapuolia valohäviöiden johdosta niissä kohdissa, joissa valonjoh-tojärjestelmä on liitetty kytkentäkappaleeseen, josta edelleen johtaa johtokappale. Tunnetun laitteen haittapuolena on myös valmistuksen hankaluus, koska johtokappale on liimattava kiinni onttoon metalliosaan, joka vastaa esillä olevan keksinnön mukaista metallipäällystettä.
Keksinnön tarkoituksena on aikaansaada mahdollisimman yksinkertainen yhteenliittäminen valonjohtojärjestelmän ja optisen komponentin välillä sekä edelleen lisätä laitteen ylärajataajuutta, esim. pitkälti yli 600 Mbittiä/β samoin kuin vähentää mahdollisimman paljon komponentin ja valonjohtojärjestelmän välisiä valohäviöitä, ilman että rajataajuuden korotus ei ainakaan olennaisesti haittaa tätä.
Keksinnön tehtävä ratkaistaan patenttivaatimuksessa 1 esitetyillä toimenpiteillä. Reikään kiinni liimattava johdinosa 2 7921 5 vältetään. Reikäseinämän metallinen päällyste toimii nimittäin toisaalta sitä varten, että parannetaan mahdollisimman lyhyillä, mahdollisimman leveillä, siis omainduktanssiköyhil-lä (ja usein myös omakapasitanssiköyhillä) tulojohtoraken-teilla ja että tätä suurtaajuuden suhteen edullista reikäsei-nämän päällystettä voidaan käyttää hajavalon heijastimena tarvittaessa niin, että voidaan saada aikaan jopa valohäviöi-den väheneminen huolimatta rajataajuuden paranemisesta.
Alivaatimuksissa esitetyt lisäpiirteet mahdollistavat lisäetuja. Siten mahdollistavat piirteet vaatimuksen 2 mukaan sen, että toinen tulojohto voidaan erottaa kapasitiiviseeti hyvin ensimmäisestä tulojohdosta ja siten voidaan vähentää komponentin kapasitiivisia silloituksia, vaatimuksen 3 mukaan sen, että toinen tulojohto voidaan muodostaa omainduktanssiköyhästi ja siitä huolimatta molemmat tulojohdot voidaan ohjata tuen komponentista poispäin olevalle pinnalle, vaatimuksen 4 mukaan sen, että toinen tulojohto voidaan yhdistää yksinkertaisesti massatuotantoon sopivalla tavalla komponentin vastaavaan kontaktikohtaan, vaatimuksen 5 mukaan sen, että toinen tulojohto voidaan yhdistää aivan erityisen omainduktanssiköyhästi komponentin vastaavaan kontaktikohtaan, vaatimuksen 6 mukaan sen, että tukea voidaan käyttää samalla vahvistimena, joka vahvistaa komponentista optisesti lähetetyt tai sen vastaanottamat signaalit puolestaan sähköisesti esivahyistimena tai jälkivahvistimena, vaatimuksen 7 mukaan sen, että toisaalta voidaan vähentää komponentin ja tulojohtojen ja toisaalta puo1ijohdekappa-leen/vahvistimen välistä kytkentäkapasiteettia ja siten korottaa edelleen laitteen rajataajuutta sekä vaatimuksen Θ mukaan sen, että voidaan parantaa tai vast, taata yleensä erittäin korkeaa säätötarkkuutta vaativan laitteen sähköinen suojaus ja mekaaninen vakavuus.
Keksinnön periaatetta ja sen edelleenkehitysmuotoja selitetään lähemmin kuvioissa kaaviomaisesti esitettyjen sovellu- 3 7921 5 tusesimerkkien avulla, jolloin kuviot esittävät selvyyden vuoksi vain kaaviomaisesti keksinnön olennaisia osia. Tällöin kuvio 1 esittää komponentin sähköistä ja optista kytkentää, kuvio 2 esittää tämän kytkennän erästä toista esimerkkiä, jossa on komponentin erittäin lyhyt omainduktanssiköyhä kytkentä sen ensimmäisen tulojohdon kautta samalla vahvistimena toimivan tuen vastaaviin liitäntöihin, sekä kuvio 3 esittää kuviota 2 pitkälti vastaavaa esimerkkiä, jossa kuitenkin komponentin ja (etenkin ensimmäisen tulo-johtojen omakapasitanssi on erittäin pieni suhteessa vah-vistinsiruun, minkä ansiosta saadaan aikaan erittäin korkea rajataajuus.
Kaikki kuviot esittävät siis keksinnön mukaisen valoelek-tronisen laitteen sovellutusesimerkkejä valon muuntamiseksi jännitteeksi tai vast, virraksi tai jännitteen tai vast, virran muuntamiseksi valoksi.
Kaikissa esitetyissä laitteissa on valonjohtojärjestelmä, jossa on lasikuitu L, jolloin tämä lasikuitu L on suunnat-; tu joko, vrt. kuvioon 1, pallolinssin K, tai vrt. kuvioi hin 2 ja 3, nimellä "Taper” nimitetyn kärjen kautta komponentin D optisesti aktiiviseen kohtaan. Tämä komponentti D on tällöin sijoitettu aina tuen T takasivulle suhteessa valonjohtojärjestelmään L, jolloin tuessa T on reikä LO, jonka läpi valonjohtojärjestelmä L on kytketty optisesti : J komponentin D optisesti aktiiviseen kohtaan. Komponentti D on siis reiän LO kohdalla kiinnitetty tuen T takasivulle.
Komponentti D voi olla esim. kiintokappalelaser tai valo---- diodi, esim. InGaAs/InP-valodiodi julkaisun telecom report 6 (1983), liite "Nachrichtenubertragung mit Licht", s. 97- 101.
4 7921 5
Valonjohtojärjestelmässä voi olla periaatteessa sinänsä mielivaltainen rakenne ja se voi olla kytketty jäykästi mielivaltaisella tavalla mekaanisesti tukeen T. Kuviossa 1 on esitetty ainoastaan kaaviomaisesti vaippa M ja kuviossa 3 on esitetty metallikotelo MG. Tätä metal1ikoteloa MG ei voida käyttää ainoastaan laitteen sähkö- ja optiseen suojaukseen ympäristöstä tulevien häiriövaikutusten suhteen, vaan sitä voidaan käyttää myös tuen T ja valonjohtojärjestelmän L väliseen jäykkään mekaaniseen liitäntään, nimittäin etenkin myös tavalla, joka on jo esitetty yllä mainituissa hakemuksissa.
Kaikkien keksinnön mukaisten sovellutusesimerkkien eräs erikoisuus on se, että reiän LO seinämässä on kulloinkin metallinen päällyste DD, joka toimii ensimmäisen sähkötulojohdon osana, vrt. kuviossa 1 ensimmäinen tulojohto, joka koostuu useista liitetyistä (gebondeten), keskenään yhdensuuntaisesti kytketyistä massiivisista johtimista D2, suuripintaisesta rengasmaisesta elektrodista E2 ja päällysteestä DD. Komponentissa D on kuvioissa esitetyissä sovellutusesimerkeissä kulloinkin ainoastaan kaksi tulojohtoa, jolloin toinen tulo-" johto muodostetaan kuviossa 1 massiivisella johdinlangalla ' Dl ja suuripintaisella elektrodilla El. Toisen tulojohdon omainduktanssin pienentämiseksi ja siten laitteen rajataa-: : juuden lisäämiseksi voidaan yhden ainoan johtimen Dl sijas ta sijoittaa useita keskenään yhdensuuntaisesti kytkettyä johdinta Dl.
Kuvioiden 2 ja 3 tulojohdot on muodostettu vastaavalla tavalla. Kuviossa 2 esitetty ensimmäinen tulojohto muodostetaan yksinään reikäseinämän päällysteellä DD, jolloin sivuilla olevat metalloinnit reiän ulkopuolella toimivat toi-: saalta komponentin D kanssa tapahtuvaa kontaktointia varten ja toisaalta vahvistinsirun V transistoreiden (kuviossa ei esitetty) kanssa tapahtuvaa liitäntää varten. Vahvistinsirun V transistoreille toimitetaan johtimien Zl ja liitäntä-nastojen Z kautta ulkoa vastaavat potentiaalit, jolloin osa näistä liitäntänastoista Z voi johtaa myös suurtaajuisia vir- 5 7921 5 toja. Kuviossa 2 esitetyssä esimerkissä muodostetaan siis tuki D vahvistinsirulla tai vast, puolijohdesirulla V. Tuki T/vahvistinsiru V on puolestaan rengasmaisen eristinlohkon RP kautta pohjalevyn P päällä, joka voi puolestaan koostua esim. metallista ja joka voi olla laitteen ympärillä olevan metallikotelon osa. Rengasmaisen eristinlohkon RP ja tuen T väliin on sijoitettu vielä metallointi DIA, joka muodostaa toisen tulojohdon osan komponenttiin D ja joka voi olla yhdistetty esitetyssä esimerkissä yhden tai useamman massiivisen johtimen Dl kautta komponenttiin D liittämällä (Bonden). Tämä metallointi DIA on ohjattu esitetyssä esimerkissä reunan ympäri ylöspäin, jolloin ylhäällä voi olla muodostettu liitäntä tuen T/vahvistinsiru V transistoreihin. Tällaisella toisen tulojohdon osana olevalla metalloinnilla DIA on erittäin pieni omainduktanssi ja se lisää siten laitteen raja-taajuutta .
Kuviossa 3 esitetyssä esimerkissä puolijohdesiru/vahvistin-; '· siru V on sijoitettu eristimellä muodostetun tuen T päälle.
Sekä vahvistinsirussa V että tuessa on kummassakin reiät LO, LOF, jotka on järjestetty toistensa suhteen sama-akseli-- sinä, jolloin molempien reikien läpi on saatu aikaan kompo nentin D ja valonjohtojärjestelmän L välinen optinen kyt- kentä. Kuviossa 3 esitetyssä esimerkissä tuen T reikäseinä- män päällyste DD on yhdistetty useiden keskenään yhdensuuntaisesti kytkettyjen massiivisten liitosjohtimien (Bonddracht) D2 kautta rengasmaiseen elektrodiin puolijohdesirun B sama-akselisen reiän LOF ympärille, ja ensimmäinen tulojohto koostuu tästä syystä tästä rengasmaisesta elektrodista R, joka vastaa kuvion 1 elektrodia E2, sekä liitosjohtimista D2 ja - tuen T reiässä LO olevasta metal 1 ipääl lysteestä. Komponen tin D toinen tulojohto koostuu tässä esimerkissä yhdestä tai useammasta keskenään yhdensuuntaisesti kytketystä liitos-johtimesta Dl sekä metal1ikohdasta El, joka on yhdistettävissä tarvittaessa johtavasta tuen T toisen reiän LOI metal-lipäällysteen DDl kanssa; mahd. reiän LOI ympärille sijoitettu päällyste DDl toimii esim. induktanssin pienentämiseksi, 6 79215 jolloin tämä ylöspäin johtava päällyste DD1, etenkin, mikäli omakapasitanssin lisäämistä pidetään liian merkityksettömänä, on yhdistettävissä myös toisen metalloinnin ja johtimien Dll kautta puolijohdesirun V transistoreiden kanssa. Toinen tulo-johto koostuu siis kuviossa 3 esitetyssä esimerkissä liitos-johtimista Dll, metalloinneista, jotka kulkevat myös reiän LOI läpi, ja liitoslangoista Dl.
Muutoin kuv. 3 esittää karkeasti esimerkkinä, että eristimillä I eristetystä ulospäin ohjatut 1iitäntänastat Z muodostavat metallikotelon MG sisään sijoitetun laitteen sähköliitännät. Tämä metallikotelo MG suojaa laitetta optisesti ja sähköisesti ympäristön vaikutuksia vastaan sekä stabilisoi pitkäaikaisesti erittäin suurella tarkkuudella säädetyn optisen kytkennän valonjohtojärjestelmän L ja komponentin D välillä.
Kuviossa 3 esitetty tuki T voi olla muodostettu samoin kuin kuviossa 2 esitetty rengasmainen lohko RP sekä kuviossa 1 esitetty tuki myös Ai20^-substraattimassalla. Reikä LO, myös LOF ja LOI voi olla porattu esim. laserilla. Etenkin -|· kun tuki on puolijohdesiru, vrt. kuvio 2, silloin reikä voi daan valmistaa myös suuremmalla tarkkuudella syövyttämällä.
" Metallinen päällyste DD, myös DDl, sinänsä myös metalloinnit
El, E2, DIA, R voidaan valmistaa kulloinkin esim. valopaina-tuksella, myös aiipainevalopainatuksella sekä käytettäessä piitä substraattina epitaksialla.
Puolijohdesiru B, vrt. etenkin kuviot 2 ja 3, voidaan tarkastaa huolimatta sen reikäseinämässä olevasta metallipäällys-teestä laitteen sisällä erikseen, riippumatta siitä, onko komponentti D jo asennettu vai ei. Samoin komponentti D voidaan tarkastaa sen asennuksen jälkeen periaatteessa riippumatta puolijohdesirusta V, mikä on tärkeää etenkin kuviois-• sa 2 ja 3 eistetyssä laitteessa, koska siinä voidaan päästä käsiksi komponenttiin D vain vaivoin levyn P sijoittamisen jälkeen.
7 79215
Reiän LO metallipäällysteellä, myös mahd., vrt. kuvio 3, sama-akseliseen reikään LOF sijoitetulla metallipäällysteellä on myös valoaheijastavia ominaisuuksia, minkä ansiosta hajavalohäviöitä voidaan periaatteessa vähentää, mikäli tähän on tarvetta. Kun tällöin kaikki näissä reikäseinä-missä olevat metal1ipäällysteet verhoavat kulloinkin ympäriinsä koko reiät, on nimittäin näiden päällysteiden valon-heijastus kulloinkin erittäin suuri.
Kaikissa kuvioissa esitetyissä esimerkeissä toinen tulo-johto, vrt. El/Dl , on sijoitettu komponenttiin D komponenttiin D päin olevaan tuen T takapintaan (tai vast, sen päälle). Siten molempien tulojohtojen välinen kapasitanssi voidaan tehdä pienemmäksi kuin silloin, kun molemmat tulojohdot kulkisivat tiiviisti vierekkäin komponentista poispäin olevalla tuen sivulla.
Liitäntäjohtimien Dl, samoin liitäntä johtimien D2, vrt. kuviot 1 ja 3, tulisi olla mahdollisimman lyhyitä, jotta näiden johtimien omakapasitanssi ja omainduktanssi on mahdollisimman pieni. Näiden johtimien omainduktanssia voidaan vähentää edelleen siten, että useita tällaisia johtimia sijoitetaan ... kulloinkin toistensa suhteen yhdensuuntaisesti kytkettyinä, kuten jo mainittiin.
Keksintö mahdollistaa siis tulojohtojen erittäin alhaiset omainduktanssit (ja omakapasitanssit), minkä ansiosta laitteen ylärajataajuudesta tulee vastaavasti korkea.

Claims (8)

1· Valoelektroninen laite valon muuttamieekei jännitteek si tai vast, virraksi tai jännitteen tai vast, virran muuttamiseksi valoksi, jossa laitteessa on valonjohtojärjestelmä (K, L> esim. linssi CK) ja/tai lasikuitu CL), tuki CT), jonka päälle on kiinnitetty valoelektroninen komponentti CD), jossa on vähintään kaksi sähkötulojohtoa CE1/D1, E2/D2/DD), - tukeen CT) siten sijoitettu reikä CLO), että komponentin CD) optisesti aktiivinen kohta on suunnattu reiän CLO) läpi valonjohtojärjestelmään CK, L), ja reiän seinämässä metallinen päällyste CDD), joka kokonaan peittää reiän koko kehän sekä laitteen käytössä muodostaa osan komponentin CD) ensimmäisestä, suurtaajuusvirran johtavasta tulojohdosta, tunnettu siitä, että valonjohtojärjestelmä ulottuu vain vähän matkaa reiän CLO) sisään eikä tällöin kosketa reiän päällystettä, ja että tätä siten käytetään hajonneen valon heijastimena.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laite, tunnettu siitä että toinen tulojohto CE1/D1) komponenttiin CD) on sijoitettu tulen CT) komponenttiin CD) päin olevaan takapintaan tai vast, sen päälle.
3. Patenttivaatimuksen 2 muakinen laite, tunnettu siitä että tuessa CT) on toinen reikä CLOl), jossa on ainakin osittain metallieesti verhottu oma päällyste CDD1), joka muodostaa toisen tulojohdon CE1/D1) osan.
4. Patenttivaatimuksen 2 tai 3 mukainen laite, tunnettu siitä, että toisen tulojohdon CE1/D1) päätykappaleeksi on sijoitettu komponentin CD) vastaavaan kontaktikohtaan massiivinen liitäntäjohdin CD1).
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen laite, tunnettu siitä että useita 1iitäntäjohtimia (Dl) on kytketty sähköisesti rinnan.
6. Jonkin patenttivaatimuksen 1-5 mukainen laite, tunnettu siitä, että tuki (T) on puolijohdesiru <V) (kuvio 2).
7. Jonkin patenttivaatimuksen 1-5 mukainen laite, tunnettu siitä, että tuki <T) on eristinlevy, jonka päälle on kiinnitetty reiän <LOF> sisältävä puolijohdesiru (V) siten komponentista <D> poispäin olevalle tuen pinnalle, että tuen reikä (LO) on samankeskinen puolijohdesirun reiän (LOF) kanssa < kuvio 3).
8. Jonkin patenttivaatimuksen 1-7 mukainen laite, tunnettu siitä, että tuki (T) ja komponentti (D) on sijoitettu meta11ikotelon (MG) sisälle, jossa on sähköisesti eristetyt (I) tulojohtonastat (Z) sekä aukko valonjohtojärjestelmän (L) läpivientiä varten.
FI853647A 1984-09-24 1985-09-23 Optoelektronisk anordning. FI79215C (fi)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3435013 1984-09-24
DE3435013 1984-09-24

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI853647A0 FI853647A0 (fi) 1985-09-23
FI853647L FI853647L (fi) 1986-03-25
FI79215B FI79215B (fi) 1989-07-31
FI79215C true FI79215C (fi) 1989-11-10

Family

ID=6246208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI853647A FI79215C (fi) 1984-09-24 1985-09-23 Optoelektronisk anordning.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4656352A (fi)
EP (1) EP0175936B1 (fi)
DE (1) DE3566169D1 (fi)
FI (1) FI79215C (fi)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4867532A (en) * 1985-10-16 1989-09-19 British Telecommunications Public Limited Company Wavelength selection device having a diffraction grating mounted on a torsion member
JP2580142B2 (ja) * 1985-10-28 1997-02-12 アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー 多層セラミックレ−ザパッケ−ジ
US4799210A (en) * 1986-11-05 1989-01-17 Unisys Corporation Fiber optic read/write head for an optical disk memory system
US4826272A (en) * 1987-08-27 1989-05-02 American Telephone And Telegraph Company At&T Bell Laboratories Means for coupling an optical fiber to an opto-electronic device
FR2640430B1 (fr) * 1988-12-09 1992-07-31 Cit Alcatel Composant opto-electronique comprenant, notamment un boitier dans lequel est decoupee une fenetre
US5730134A (en) * 1996-09-09 1998-03-24 General Electric Company System to monitor temperature near an invasive device during magnetic resonance procedures
JP2001059923A (ja) * 1999-06-16 2001-03-06 Seiko Epson Corp 光モジュール及びその製造方法、半導体装置並びに光伝達装置
DE10032796A1 (de) * 2000-06-28 2002-01-17 Infineon Technologies Ag Optomodul
DE10034865B4 (de) * 2000-07-18 2006-06-01 Infineon Technologies Ag Optoelektronisches oberflächenmontierbares Modul
DE10209047A1 (de) * 2002-03-01 2003-12-18 Siemens Ag Faseroptisches Kommunikationsmodul und Verfahren zum Betreiben eines solchen Moduls
JP2006030660A (ja) * 2004-07-16 2006-02-02 Shinko Electric Ind Co Ltd 基板、半導体装置、基板の製造方法、及び半導体装置の製造方法
US10071583B2 (en) * 2009-10-16 2018-09-11 Apple Inc. Marking of product housings
EP2860560B1 (en) * 2013-10-14 2019-07-24 ams AG Semiconductor device with optical and electrical vias

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2440563A1 (fr) * 1978-11-02 1980-05-30 Labo Electronique Physique Dispositif de liaison entre fibres optiques et/ou dispositifs electro-optiques, et procede pour assurer leur positionnement optimal
JPS6060043B2 (ja) * 1979-02-09 1985-12-27 富士通株式会社 光半導体パッケ−ジ
US4268113A (en) * 1979-04-16 1981-05-19 International Business Machines Corporation Signal coupling element for substrate-mounted optical transducers
JPS57102077A (en) * 1980-12-16 1982-06-24 Mitsubishi Electric Corp Photo coupling device by photo semiconductor element and optical fiber
US4355321A (en) * 1981-02-02 1982-10-19 Varian Associates, Inc. Optoelectronic assembly including light transmissive single crystal semiconductor window
DE3142918A1 (de) * 1981-10-29 1983-05-11 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Opto-elektrische koppelanordnung
DE3244882A1 (de) * 1982-12-03 1984-06-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Sende- oder empfangsvorrichtung mit einer mittels eines traegers gehalterten diode
DE3311038A1 (de) * 1983-03-25 1984-09-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optische sender- und empfaengervorrichtung
DE3429282A1 (de) * 1984-08-08 1985-04-11 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optoelektronisches modul

Also Published As

Publication number Publication date
EP0175936A1 (de) 1986-04-02
FI79215B (fi) 1989-07-31
FI853647A0 (fi) 1985-09-23
DE3566169D1 (en) 1988-12-15
FI853647L (fi) 1986-03-25
EP0175936B1 (de) 1988-11-09
US4656352A (en) 1987-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI79215C (fi) Optoelektronisk anordning.
KR101602528B1 (ko) 광전자 디바이스용 프리몰드된 캐비티
US7327005B2 (en) Optical semiconductor package with incorporated lens and shielding
US5362976A (en) High frequency semiconductor device having optical guide package structure
US6437899B1 (en) Opto-electric conversion semiconductor device
KR102180382B1 (ko) 수신용 광 모듈
US11012042B2 (en) Receiver module
KR20000048017A (ko) 광 반도체장치
US4834490A (en) Transmitting receiving device with a diode mounted on a support
KR100575950B1 (ko) 티오 캔 구조의 광수신 모듈
CN114296191B (zh) 硅光组件及硅光组件的封装方法
US6796723B2 (en) Submount for opto-electronic module and packaging method using the same
JP2007242708A (ja) 光受信サブアセンブリ
US20110249946A1 (en) Opto electrical converting module and component used for the same
CN211348740U (zh) 一种光模块
CN105977241B (zh) 一种用于光电子集成芯片的封装结构
CN101884118A (zh) 光电转换模块
CN108540234A (zh) 探测器集成化阵列结构及探测器接收模块
CN112491479B (zh) 光接收装置
WO2022224308A1 (ja) 受光素子および光受信回路
CN107608038A (zh) 一种光学次模块及光模块
US6108477A (en) Photonic component with electrical conduction paths
KR100211939B1 (ko) 경사진 광섬유 지지용 브이홈 블록을 이용한 광결합 방법
JPH04365381A (ja) 半導体受光素子搭載用ステム
KR100440431B1 (ko) 고속 광전 모듈의 광전소자 서브마운트

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed

Owner name: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT